JPH08153761A - プローブヘッドおよびプローブヘッドの支持機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 極小ピッチで配設される電子部品の複数の電
極に対して、高精度で点的に接触するプローブ部を備え
ると共に、電極とプローブ部との接触状態を容易に把握
することができる構造を備えたプローブヘッドの提供。 【構成】 電気的検査を必要とする検査対象物Ｐの電極
Ｐ’に接するプローブ部１１を備えたヘッド１０に突き
出し稜部１０ａを備えさせる。プローブ部１１は、複数
の、かつ、相互に絶縁された導電性突条１１ｂを、検査
対象物Ｐに備えられた複数の電極Ｐ’のピッチに略等し
いピッチで備えた基板１１ａにより構成されている。導
電性突条１１ｂは、基板１１ａに接着して備えられた導
線性板部に対するエッチング処理により形成されてい
る。プローブ部１１は、ヘッド１０に対して、各導電性
突条１１ｂをヘッド１０の突き出し稜部１０ａを挟む両
面１０ｂ、１０ｃに亙って折曲状に備えさせるように、
備えられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣ、ＬＳＩ、ＬＣ
Ｄパネルなどの電子部品の電気的検査に用いられるプロ
ーブ部を備えたヘッドに関し、より詳細には、該電子部
品において主として１００μｍ以下の極少ピッチで設け
られる複数の電極に対応したプローブ部を備えたプロー
ブヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年におけるＩＣ、ＬＳＩ、ＬＣＤパネ
ルのなどの電子部品の高集積化、微細化に伴い、こうし
た電子部品に設けられる電極間のピッチも極少化してき
ている。

【０００３】このため、極少ピッチで配列されるこうし
た電子部品の複数の電極からの信号の採取を可能とする
ために、該複数の電極のピッチに対応したピッチを備え
た複数の導電性パターンを基板上に形成させると共に、
この導電性パターン上に前記電極に接触するバンプを設
けさせたプローブカードが提案されている（特開昭６３
−２６３７３８、特開平３−１２２５７０、特開平３−
２１９６５０、特開平４−６５１４０）。

【０００４】これらのプローブカードの前記導電性パタ
ーンは、エッチング処理により該プローブカードの基板
面に形成されることから、これらのプローブカードによ
れば、同じくエッチング処理技術の進歩に相応して、今
後ますます極小ピッチ化が進むことが予測される電子部
品の複数の電極に追随して、前記バンプ間のピッチを極
小化させていくことができるメリットがある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、これらのバン
プは、エッチング処理などにより形成されるバンプ成形
用の孔を利用して個別に成形されることから、複数のバ
ンプの形状、寸法を均一に揃えることが難しく、また、
こうしたバンプを、前記プローブカードの基板上に形成
させた複数の導電性パターン上に、それぞれ適切に接着
などして設ける作業は容易なものではなかった。

【０００６】こうしたことから、特に、各導電性パター
ン上にそれぞれ設けられたバンプ相互の高さにバラ付き
が生じることが少なくなく、この場合には、電子部品の
複数の電極のすべてに、各導電性パターン上に設けられ
たバンプを接触させることができなくなる。

【０００７】もちろん、所望のバンプを備えたプローブ
カードを得ることもできるが、前記困難性から、歩留ま
りが悪いことが多く、また、その製造にあたり複雑な工
程と高度な技術を要するため、安価にこうしたプローブ
カードを提供することに不向きなものであった。

【０００８】また、前記従来ののプローブカードでは、
電子部品の電極側に向けられたプローブカードの基板面
に形成された導電性パターン上にバンプが形成されてい
るため、各バンプがそれぞれ適切に電子部品の電極に接
触しているか否かを、該接触時に外部より確認すること
が困難であった。

【０００９】そこでこの発明は、第一に、単純なエッチ
ング処理により形成することができると共に、極小ピッ
チで配設される電子部品の複数の電極に対して、高精度
で点的に接触するプローブ部を備えたプローブヘッドを
提供することを目的とする。また、第二に、電子部品の
電極にプローブ部を接しさせている際に、外部より該電
極とプローブ部との接触状態を容易に把握することがで
きる構造を備えたプローブヘッドを提供することを目的
とする。さらに第三に、極小ピッチで配設される電子部
品の電極に形成される酸化皮膜を効果的に掻きとって、
該電極にプローブ部を電気的に接触させることが可能な
構造を備えた前記プローブヘッドの支持機構を提供する
ことを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、請求項１に係る発明では、電気的検査を必要とする
検査対象物Ｐの電極Ｐ’に接するプローブ部１１を備え
たヘッド１０に突き出し稜部１０ａを備えさせると共
に、前記プローブ部１１は、複数の、かつ、相互に絶縁
された導電性突条１１ｂを、前記検査対象物Ｐに備えら
れた複数の電極Ｐ’のピッチに略等しいピッチで備えた
基板１１ａにより構成されており、前記プローブ部１１
が、前記ヘッド１０に対して、前記各導電性突条１１ｂ
を該ヘッド１０の前記突き出し稜部１０ａを挟む両面１
０ｂ、１０ｃに亙って折曲状に備えさせるように、備え
られている構造のものとした。

【００１１】また、請求項２に係る発明では、電気的検
査を必要とする検査対象物Ｐの電極Ｐ’に接するプロー
ブ部１１を備えたヘッド１０に突き出し稜部１０ａを備
えさせると共に、前記プローブ部１１は、複数の、か
つ、相互に絶縁された導電性突条１１ｂを、前記検査対
象物Ｐに備えられた複数の電極Ｐ’のピッチに略等しい
ピッチで備えた基板１１ａにより構成されており、前記
導電性突条１１ｂは、前記基板１１ａに接着して備えら
れた導線性板部に対するエッチング処理により形成され
てあり、前記プローブ部１１が、前記ヘッド１０に対し
て、前記各導電性突条１１ｂを該ヘッド１０の前記突き
出し稜部１０ａを挟む両面１０ｂ、１０ｃに亙って折曲
状に備えさせるように、備えられている構造のものとし
た。

【００１２】また、請求項３に係る発明では、プローブ
ヘッド１０の支持機構を、請求項１又は請求項２記載の
プローブヘッド１０の取付部（取付板３１）と、この取
付部（取付板３１）を常時下方に付勢する付勢手段（バ
ネ３２ｅ）と、該取付部（取付板３１）を前記付勢に抗
して斜め上方に移動可能に支持する支持部とを備える構
造のものとした。

【００１３】

【作用】請求項１及び請求項２に係るプローブヘッド１
０は、ヘッド１０に突き出し稜部１０ａが備えられてい
ると共に、プローブ部１１が、前記ヘッド１０に対し
て、各導電性突条１１ｂを該突き出し稜部１０ａを挟む
両面に亘って折曲状に備えさせるように備えられている
ことから、この突き出し稜部１０ａに接する部分にある
各導電性突条１１ｂを、検査対象物Ｐの電極Ｐ’に対し
て点的に接触させることができる。

【００１４】また、該突き出し稜部１０ａに接する部分
にある各導電性突条１１ｂと検査対象物Ｐの電極Ｐ’と
の接触状態を、前記突き出し稜部１０ａの上側から確認
することができる。

【００１５】また、さらに、請求項２に係るプロ−ブヘ
ッド１０では、導電性突条１１ｂは、前記基板１１ａに
接着して備えられた導電性板部に対するエッチング処理
により形成されていることから、該導電性板部の板厚寸
法に各導電性突条１１ｂの高さを揃えて、各導電性突条
１１ｂを構成することができる。

【００１６】また、請求項３に係るプローブヘッド１０
の支持機構は、プローブヘッド１０の取付部（取付板３
１）を常時下方に付勢する付勢手段（バネ３２ｅ）と、
この取付部（取付板３１）を該付勢に抗して斜め上方に
移動可能に支持する支持部（支持盤３２）とを備えるこ
とから、ヘッド１０に備えられたプローブ部１１の各導
電性突条１１ｂを、検査対象物Ｐの電極Ｐ’に対して所
要の接触圧で接触させることができ、また、この接触状
態を保ちながら、該電極Ｐ’面をこするように各導電性
突条１１ｂの接触部分１１ｂ’を移動させることができ
る。

【００１７】

【実施例】以下、この発明に係るプローブヘッドおよび
プローブヘッドの支持機構の典型的な実施例を、図１な
いし図５に基いて、説明する。

【００１８】なお、図１は、プローブヘッド１０の構成
および使用状態を理解し易いように、該ヘッド１０を側
面より、該ヘッド１０を断面にして示している。

【００１９】また、図２は、前記ヘッド１０の支持機構
３０の全体構成を理解し易いように、該支持機構３０を
分解して示している。

【００２０】また、図３は、前記ヘッド１０の支持機構
３０の動作を理解し易いように、該支持機構３０を側面
より、断面にして示している。

【００２１】また、図４は、前記支持機構３０の取付板
３１に前記ヘッド１０を組付けた状態で、該ヘッド１０
を底面側より見て示している。

【００２２】さらに、図５は、検査対象物Ｐの電極Ｐ’
と前記ヘッド１０の導電性突条１１ｂとが接触した状態
を、該ヘッド１０の上面側より、該ヘッド１０の一部を
拡大して示している。

【００２３】図１に示されるように、プローブヘッド１
０は、図２に示される支持機構３０の取付部としての取
付板３１に取付けられると共に、該取付板３１への取付
側と反対側の底面１０ｂおよび側面１０ｃの一部に、複
数の導電性突条１１ｂを備えたプローブ部１１を備えて
構成されている。そして、この導電性突条１１ｂを、Ｌ
Ｃ、ＬＳＩ、ＬＣＤパネルなどの電子部品としての検査
対象物Ｐの電極Ｐ’に電気的に接触させて、該検査対象
物の電気的測定、試験を行うように用いられる。

【００２４】前記ヘッド１０は、前記底面１０ｂに対し
て、該底面１０ｂに対する一方の側面１０ｃを、該側面
１０ｃと底面１０ｂとの接し合う縁部が該ヘッド１０の
外方へ向けられた突き出し稜部１０ａとなるように、傾
斜した面とした構成としている。

【００２５】そして、この突き出し稜部１０ａを挟んだ
前記底面１０ｂと前記側面１０ｃ間に亘り、かつ、両面
１０ｂ、１０ｃに沿うように複数の前記導電性突条１１
ｂ、１１ｂ…を備えた板状のプローブ部１１を接着層１
１ｄを介して、湾曲させた状態で接着して備えた構成と
してある。

【００２６】該プローブ部１１は、前記複数の導電性突
条１１ｂ、１１ｂ…が相互に絶縁されるように、絶縁材
料よりなる基板１１ａの一面に、前記検査対象物Ｐに備
えられた複数の電極Ｐ’のピッチに略等しいピッチで相
互に間隔を開けて設けられている。そして、この複数の
導電性突条１１ｂ、１１ｂ…は、各導電性突条１１ｂ、
１１ｂ…がそれぞれ、前記ヘッド１０の突き出し稜部１
０ａにより湾曲されている箇所で、前記検査対象物Ｐの
対応した電極Ｐ’にその一部を電気的に接触させるよう
に、前記基板１１ａの一方縁からこの一方縁に対向する
他方縁に亘って設けられている。

【００２７】複数の前記導電性突条１１ｂ、１１ｂ…
は、前記基板１１ａの一面に接着して備えられる導電性
板部に対して、適宜のエッチング処理を施すことによ
り、該基板１１ａの一面に前記のように設けられる。

【００２８】典型的には、前記基板１１ａの一面に備え
られた導電性板部上にフォトレジストを塗布した後、前
記導電性突条１１ｂ、１１ｂ…部分以外の部分をマスク
した上で露光処理し、次いでエッチング液に浸してマス
ク部分をエッチングし、この後レジストを除去して、基
板１１ａの一面に複数の前記導電性突条１１ｂ、１１ｂ
…を設ける手法を採ることが好ましい。この手法を用い
た場合には、特に、このエッチング処理により設けられ
る前記各導電性突条１１ｂ、１１ｂ…は、基板１１ａの
一面に接着して備えられた前記導電性板部の一部を前記
エッチングにより取り除き形成されることから、こうし
て形成される各導電性突条１１ｂ、１１ｂ…の高さを前
記導電性板部の板厚と同一の高さに正確に揃えさせるこ
とができる。

【００２９】また、これとは別に、例えば、前記基板１
１ａ上にフォトレジストを塗布した後、前記導電性突条
１１ｂ、１１ｂ…を形成させる部分のみをマスクした上
で露光処理し、該マスク部分のレジストを除去した後、
無電解メッキ法によりレジスト除去部分にある前記基板
１１ａ面上にニッケル薄膜を形成させ、次いで、このニ
ッケル薄膜上に電解メッキ法により銅などの導電性メッ
キ膜を形成させて、前記基板１１ａの一面に複数の前記
導電性突条１１ｂ、１１ｂ…を設ける手法を用いても良
い。

【００３０】前記非導電性の基板１１ａ及び導電性板部
に形成される導電性突条１１ｂは、この基板１１ａおよ
び導電性突条１１ｂを備えた前記プローブ部１１を前記
ヘッド１０の突き出し稜部１０ａを挾んだ側面１０ｃと
底面１０ｂとに亘り、かつ両面１０ｃ、１０ｂに沿って
湾曲させて接着する観点から、弾性変形特性を備えた材
質を用いて構成される。

【００３１】さらに、基板１１ａは、温度変形を起こし
難い材料より構成されていることが、この基板１１ａ上
に形成される前記各導電性突条１１ｂ、１１ｂ…のレベ
ルとピッチとを均一に揃える観点から望ましい。例え
ば、ポリイミド、ポリエステルを用いて、この基板１１
ａを構成することが望ましい。

【００３２】またさらに、導電性突条１１ｂは、検査対
象物Ｐの電極Ｐ’への度重なる接触に対する所要の耐久
性が必要とされるので、ある程度の硬度を備えた材質を
もって構成することが望ましく、この観点からは、例え
ば、タングステン、ベリリウム銅、あるいは、これらの
合金を用いて構成することが望ましい。また、導電性突
条１１ｂと検査対象物Ｐの電極Ｐ’間の電気的抵抗の低
減が特に要請される場合には、該導電性突条１１ｂの先
端部に金メッキを施しても良い。

【００３３】なお、この実施例では、特に図１に示され
るように、前記基板１１ａと前記導電性突条１１ｂとの
間に弾性材層１１ｃを挟み込み状態に備えた構成として
ある。すなわち、この実施例では、基板１１ａの一面に
シート状のゴムや弾性プラスチックなどの弾性材を接着
した上で、さらにこの弾性材上に前記導電性板部を接
着、用意し、前記エッチング処理により該弾性材により
構成される弾性材層１１ｃ上に前記複数の導電性突条１
１ｂ、１１ｂ…が形成される構成としてある。このよう
に、導電性突条１１ｂ、１１ｂ…と基板１１ａ間に弾性
材層１１ｃを設けておくことにより、該導電性突条１１
ｂ、１１ｂ…が接触する検査対象物Ｐの複数の電極
Ｐ’、Ｐ’…のレベルが不揃いの場合であっても、各電
極Ｐ’、Ｐ’…のレベルの違いをこの弾性材層１１ｃに
より吸収して、該各電極Ｐ’、Ｐ’…に対して、対応す
る前記各導電性突条１１ｂ、１１ｂ…をそれぞれ適切に
接触させることができる。

【００３４】このように構成されるプローブ部１１は、
ヘッド１０に対して、前記のように、該ヘッド１０の突
き出し稜部１０ａを挟んだ底面１０ｂと側面１０ｃに亘
って、かつ、両面１０ｂ、１０ｃに沿うように接着され
ているので、該突き出し稜部１０ａ部分で、該突き出し
稜部１０ａの形状に沿って図１に示されるように湾曲さ
れ、この湾曲部分にある前記導電性突条１１ｂを検査対
象物Ｐの電極Ｐ’に対して、点的に接触させる形状とす
る。従ってまた、本プローブヘッド１０では、該ヘッド
１０の前記突き出し稜部１０ａの形状を適宜変えること
により、前記導電性突条１１ｂと電極Ｐ’との接触面積
などを必要に応じて適宜容易に変更できる。

【００３５】また、プローブ部１１は、前記のようにヘ
ッド１０の側面１０ｃに沿って接着されており、この側
面１０ｃは前記底面１０ｂに対して該底面１０ｂ側に傾
斜した面とされていることから、図５に示されるよう
に、プローブ部１１の前記各導電性突条１１ｂ、１１ｂ
…と前記検査対象物Ｐの各電極Ｐ’、Ｐ’…との接触状
態を、拡大鏡、顕微鏡などを用いて上方から確認するこ
とができる。前記ヘッド１０の上部から見える前記側面
１０ｃに沿った各導電性突条１１ｂ、１１ｂ…は、各電
極Ｐ’、Ｐ’…のピッチと略同ピッチでそれぞれ設けら
れていることから、このヘッド１０の上部から見える各
導電性突条１１ｂ、１１ｂ…の位置が、対応する各電極
Ｐ’、Ｐ’…の直上に位置していれば、各導電性突条１
１ｂ、１１ｂ…はそれぞれ対応する各電極Ｐ’、Ｐ’…
に前記突き出し稜部１０ａの部分でそれぞれ適切に接触
していることになる。

【００３６】なお、このように各導電性突条１１ｂ、１
１ｂ…と各電極Ｐ’、Ｐ’…との接触状態を、ヘッド１
０の上方から確認可能とする観点からは、ヘッド１０の
底面１０ｂと側面１０ｃとのなす角度は、直角よりも小
さい角度である必要があるが、直角以下であれば何度で
も良く、底面１０ｂに対する側面１０ｃの傾斜角は必要
に応じて適宜変更して構わない。

【００３７】また、この実施例では、特に、図１に示さ
れるように、ヘッド１０の底面１０ｂが突き出し稜部１
０ａの側から前記側面１０ｃに対抗する側の側面１０ｄ
側に向けて上方に漸次傾斜する面として構成してあり、
これにより、前記突き出し稜部１０ａ部にある導電性突
条１１ｂを電極Ｐ’に対して点的に接触し易くさせると
共に、前記導電性突条１１ｂ、１１ｂ…に対応する複数
の導電性パターン２２、２２…を基板２１上に備えた板
状のリード部２０を、この側面１０ｄ側でプローブ部１
１に対して接続した場合に、このリード部２０が前記突
き出し稜部１０ａよりも下方に突き出されないようにし
て、測定対象物Ｐの電極Ｐ’に該突き出し稜部１０ａ部
分にある導電性突条１１ｂを接触させるにあたってリー
ド部２０が邪魔とならない構成とされている。

【００３８】なお、このように底面１０ｂを傾斜するよ
うにヘッド１０を形成することに代えて、ヘッド１０が
その底面１０ｂを前記のように傾斜させるように、前記
取付板３１に対してヘッド１０を傾斜させて取り付ける
構成としても良い。

【００３９】また、前記プローブ部１１とリード部２０
との接続にあたっては、該プローブ部１１の前記側面１
０ｄ側で広ピッチとしてある前記各導電性突条１１ｂ、
１１ｂ…の端部と、これに対応した該リード部２０の各
導電性パターン２２、２２…とがそれぞれ重なり合わさ
れるように、該プローブ部１１に対してリード部２０を
取り付ける必要があるが、この取付を容易ならしめる観
点からは、この取付にあたり、導電性の微粒子の混入さ
れた接着剤を用い、この接着剤中の該微粒子が前記プロ
ーブ部１１の各導電性突条１１ｂ、１１ｂ…とこれに対
応したリード部２０の導電性パターン２２、２２…間に
両者に接して挟み込まれるように、該接着剤を塗付など
した後、前記プローブ部１１に対して前記リード部２０
を押圧して行うことが好ましい。

【００４０】次いで、主として図２および図３に基い
て、以上のように構成されるプローブヘッド１０の支持
機構３０について説明する。

【００４１】この支持機構３０は、本体３０’に対し
て、前記プローブヘッド１０の支持部と、該プローブヘ
ッド１０の取付部としての取付板３１とを備えさせて構
成されている。

【００４２】前記プローブヘッド１０は、該取付板３１
に対して、前記プローブヘッド１０の上面１０ｅ側を下
面に添装させて、取り付けられる。そして、この取付板
３１が、前記支持部を構成する支持盤３２の支持桿３２
ｂにより支持される構成とされている。

【００４３】なお、この実施例では、特に、該取付板３
１に対して前記のように添装されるプローブヘッド１０
をネジ３１ｄで組み付ける構成としており、プローブヘ
ッド１０の取り替えを容易に行うことができる。

【００４４】前記支持盤３２には、該支持盤３２の上面
と下面に亘って連通されると共に、下面側から上面側に
向けて、漸次該支持盤の本体３０’への取付側に向けて
傾斜される一対の傾斜穴３２ａ、３２ａが設けられてい
る。そして、この一対の傾斜穴３２ａ、３２ａ内に、前
記支持桿３２ｂが摺動可能に挿し入れられている。

【００４５】一方、前記取付板３１は、その上面に前記
支持桿３２ｂの下端部を収め入れる穴３１ａを備えてお
り、この実施例では該取付板３１は、この穴３１ａ内に
前記支持桿３２ｂの先端部を収め入れた状態で、該穴３
１ａの穴軸に略直交する向きに、該穴３１ａの穴壁と該
取付板３１の側面との間に亘って開設されたネジ穴３１
ｂ内に螺装されたボルト３１ｃを該ネジ穴３１ｂ内で螺
進させて、該ボルト３１ｃを前記支持桿３２ｂの先端部
に押し当て、締め付けることにより、該支持桿３２ｂの
先端部に対して取り付けられる構成とされている。

【００４６】また、前記支持盤３２の上面から付き出さ
れている前記一対の支持桿３２ｂ、３２ｂの上端部は、
該上端部に亘る長さを備えた押え板３２ｃの穴３２
ｃ’、３２ｃ’にそれぞれ挿し入れられており、この押
え板３２ｃの上面側でこの穴３２ｃ’内より突き出され
る該支持桿３２ｂの上端部にリング３２ｄを嵌込み、こ
れをピン３２ｄ’により固定することにより、この一対
の支持桿３２ｂ、３２ｂの上端部間に該押え板３２ｃを
組み付けている。

【００４７】また、前記支持桿３２ｂの上端部は、小径
部３２ｂ’とされており、この小径部３２ｂ’には、前
記押え板３２ｃの下面に一端側を、該支持桿３２ｂの小
径部３２ｂ’と大径部との間に設けられた段面３２ｂ”
に他端側を、それぞれ接しさせる長さを備えた付勢手段
としてのバネ３２ｅが巻装されている。

【００４８】また、前記一対の支持桿３２ｂ、３２ｂの
上端部間に亘るように該一対の支持桿３２ｂ、３２ｂに
組み付けられた押え板３２ｃは、前記一対の穴３２
ｃ’、３２ｃ’間に設けられた穴３２ｃ”内に挿し入れ
られたボルト３２ｆを、前記支持盤３２の上面より開設
された雌ネジ穴３２ｇに螺装させることで、該支持盤３
２に一体に組み付けられている。

【００４９】従って、このように構成される支持部３０
は、取付板３１の下面に取り付けられるプローブヘッド
１０を前記バネ３２ｅにより常時下方に向けて付勢す
る。

【００５０】この結果、この支持機構３０によれば、図
３に示されるように、プローブヘッド１０の前記突き出
し稜部１０ａ部に位置する導電性突条１１ｂの接触部分
１１ｂ’を検査対象物Ｐ電極Ｐ’に押し付け、接触させ
た際に、該電極Ｐ’に対する該接触部分１１ｂ’の接触
状態を充分に確保させながら、このプローブヘッド１０
を、前記バネ３２ｅの付勢に抗して前記傾斜穴３２ａの
傾斜に沿って斜め上方に移動させることができる。

【００５１】このプローブヘッド１０の斜め上方に向け
た移動により、図３において想像線で示されるように、
該ヘッド１０の前記接触部分１１ｂ’は、同図において
符号ｘで示される寸法分、該電極Ｐ’の先端側に向けて
該電極Ｐ’面をこすりながら後退する。これにより、該
電極Ｐ’面上に酸化被膜が形成されている場合にも、こ
の皮膜を効果的に掻き取りながら、充分に前記接触部分
１１ｂ’を該電極Ｐ’に密着させることができ、こうし
た場合でも、該接触部分１１ｂ’と電極Ｐ’との電気的
な接触を充分に確保することができる。なお、前記接触
部分１１ｂ’による前記電極Ｐ’のこすり量の調整は、
前記傾斜穴３２ａの傾斜角を変えることにより、すなわ
ち、支持盤３２の構成を変えることのみによって容易に
行うことができる。

【００５２】また、電極Ｐ’とヘッド１０の接触部分１
１ｂ’との接触圧の調整は、押え板３２ｃを支持盤３２
に対して固定しているボルト３２ｆを適宜螺進退させる
ことによって、該押え板３２ｃと支持盤３２との間の間
隔ｙを適宜変化させることにより容易に行うことができ
る。

【００５３】また、この実施例では特に、支持盤３２の
前記一対の傾斜穴３２ａのそれぞれ側方に、該支持盤３
２の上面及び下面に亘る一対のネジ穴３２ｈ、３２ｈが
開設されており、このネジ穴３２ｈ内に螺装された適宜
のボルト（図示は省略する）を、該ネジ穴３２ｈ内で螺
進退させて、該ボルトの先端を該ネジ穴３２ｈの下側か
ら適宜の寸法を突き出させて前記取付板３１の上面に当
設させることにより、該取付板３１の水平度、すなわ
ち、この取付板３１に取り付けられているヘッド１０の
水平度を調整できる構成としある。

【００５４】なお、この実施例では、ヘッド１０の支持
機構３０に前記のように構成するが、支持機構３０は、
ヘッド１０を斜め上方に移動させる構造のものであれば
良く、その具体的な構成は必要に応じて適宜変更しても
構わない。

【００５５】

【発明の効果】請求項１及び請求項２に係るプローブヘ
ッド１０は、ヘッド１０に突き出し稜部１０ａが備えら
れていると共に、プローブ部１１が、前記ヘッド１０に
対して、各導電性突条１１ｂを該突き出し稜部１０ａに
挟む両面に亘って折曲状に備えさせるように備えられて
おり、この突き出し稜部１０ａに接する部分にある各導
電性突条１１ｂを、検査対象物Ｐの電極Ｐ’に対して点
的に接触させることができる。また、特に、請求項２記
載のプロ−ブヘッド１０では、導電性突条１１ｂは、前
記基板１１ａに接着して備えられた導電性板部に対する
エッチング処理により形成されており、該導電性板部の
板厚寸法に各導電性突条１１ｂの高さを揃えて、各導電
性突条１１ｂを構成することができるので、単純なエッ
チング処理により、比較的低廉に、極小ピッチで配設さ
れる電子部品の複数の電極Ｐ’に対して、高精度で点的
に接触するプローブ部１１を備えたプローブヘッド１０
を提供できる特長を有する。

【００５６】また、請求項１及び請求項２に係るプロ−
ブヘッド１０では、該突き出し稜部１０ａに接する部分
にある各導電性突条１１ｂと検査対象物Ｐの電極Ｐ’と
の接触状態を、前記突き出し稜部１０ａの上側から容易
に把握することができ、このプローブヘッド１０を用い
た検査に際し、該検査対象物Ｐの該電極Ｐ’と各導電性
突条１１ｂとの位置合せを容易になしえ、検査作業を円
滑になしうる特長を有する。

【００５７】また、プローブヘッド１０のプローブ部１
１を構成する基板１１ａの厚さ、材質、各導電性突条１
１ｂ間のピッチなど、比較的簡単に変更しうる構造の変
更により、該プローブヘッド１０のインピータンスなど
の電気的特性を、検査対象物Ｐおよび該ヘッド１０に接
続される各種測定器の特性に合わせて容易に調整しうる
特長を有する。

【００５８】また、請求項３に係るプローブヘッド１０
の支持機構３０は、プローブヘッド１０の取付部３１を
常時下方に付勢する付勢手段（バネ３２ｅ）と、この取
付部（取付板３１）を該付勢に抗して斜め上方に移動可
能に支持する支持部（支持盤３２）とを備えることか
ら、ヘッド１０に備えられたプローブの各導電性突条１
１ｂを、検査対象物Ｐの電極Ｐ’に対して所要の接触圧
で接触させることができ、また、この接触状態を保ちな
がら、該電極Ｐ’面をこするように各導電性突条１１ｂ
の接触部分１１ｂ’を移動させることができるので、極
少ピッチで配設される電子部品の電極Ｐ’に形成される
酸化皮膜を効果的に掻きとって、該電極Ｐ’にプローブ
を電気的に接触させることができる特長を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】プローブヘッド１０の側断面図

【図２】プローブヘッド１０および支持機構３０の分解
斜視図

【図３】プローブヘッド１０および支持機構３０の使用
状態を示す側断面図

【図４】プローブヘッド１０の底面図

【図５】プローブヘッド１０の要部拡大図

【符号の説明】

Ｐ 検査対象物 Ｐ’ 電極 １０ プローブヘッド １０ａ 突き出し稜部 １１ａ 基板 １１ｂ 導電性突条 ３０ 支持機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｒ 31/28

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電気的検査を必要とする検査対象物の電
   極に接するプローブ部を備えたヘッドであって、 該ヘッドは、突き出し稜部を備えていると共に、 前記プローブ部は、複数の、かつ、相互に絶縁された導
   電性突条を、前記検査対象物に備えられた複数の電極の
   ピッチに略等しいピッチで備えた基板により構成されて
   おり、 該プローブ部が、前記ヘッドに対して、前記各導電性突
   条を該ヘッドの前記突き出し稜部を挟む両面に亙って折
   曲状に備えさせるように、備えられていることを特徴と
   するプローブヘッド。
2. 【請求項２】 電気的検査を必要とする検査対象物の電
   極に接するプローブ部を備えたヘッドであって、 該ヘッドは、突き出し稜部を備えていると共に、 前記プローブ部は、複数の、かつ、相互に絶縁された導
   電性突条を、前記検査対象物に備えられた複数の電極の
   ピッチに略等しいピッチで備えた基板により構成されて
   おり、 前記導電性突条は、前記基板に接着して備えられた導線
   性板部に対するエッチング処理により形成されてあり、 前記プローブ部が、前記ヘッドに対して、前記各導電性
   突条を該ヘッドの前記突き出し稜部を挟む両面に亙って
   折曲状に備えさせるように、備えられていることを特徴
   とするプローブヘッド。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２記載のプローブヘ
   ッドの取付部と、この取付部を常時下方に付勢する付勢
   手段と、該取付部を前記付勢に抗して斜め上方に移動可
   能に支持する支持部とを備えることを特徴とするプロー
   ブヘッドの支持機構。