JPH08148463A - 塗布カップ洗浄装置 - Google Patents
塗布カップ洗浄装置Info
- Publication number
- JPH08148463A JPH08148463A JP31125294A JP31125294A JPH08148463A JP H08148463 A JPH08148463 A JP H08148463A JP 31125294 A JP31125294 A JP 31125294A JP 31125294 A JP31125294 A JP 31125294A JP H08148463 A JPH08148463 A JP H08148463A
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- Japan
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- cleaning fluid
- cup
- cleaning liquid
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 塗布カップ洗浄装置において、コストをかけ
ずに、洗浄能力を向上させる。 【構成】 塗布カップを回転させる手段２，３，５，
６，８、これによって回転される塗布カップ１の内壁へ
向けて、固定されたノズル１２より洗浄液を吐出させる
手段４，７，８，９を具備する。
ずに、洗浄能力を向上させる。 【構成】 塗布カップを回転させる手段２，３，５，
６，８、これによって回転される塗布カップ１の内壁へ
向けて、固定されたノズル１２より洗浄液を吐出させる
手段４，７，８，９を具備する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、回転塗布装置に使用さ
れる塗布カップを洗浄する装置に関するものである。
れる塗布カップを洗浄する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、回転塗布装置のカップ洗浄装置
は、実開昭５８−４０２７５号公報およびび実公平６−
２８２２３号公報等に記載されているように、塗布カッ
プ部に、パイプによりまたは成形により洗浄液を導く工
夫をし、その導液部に加工された穴より洗浄液を吐出
し、塗布カップ内面を洗浄するよう構成されている。
は、実開昭５８−４０２７５号公報およびび実公平６−
２８２２３号公報等に記載されているように、塗布カッ
プ部に、パイプによりまたは成形により洗浄液を導く工
夫をし、その導液部に加工された穴より洗浄液を吐出
し、塗布カップ内面を洗浄するよう構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、上
記従来例では、洗浄液の自重落下による洗浄のため、次
のような欠点があった。すなわち、塗布カップ内面は
円錐状のため、上部より下部の洗浄部面積が大きく、自
重落下による洗浄液の流れでは、塗布カップ内面下部に
おいて洗浄液のひろがりが十分でなく、未洗浄部が発生
しやすい、洗浄液が自重落下しながらカップ内面を洗
浄するため、汚れが落ちにくく、また、十分な洗浄のた
めには、洗浄液を多量に使用する必要があり、その処理
を含めコストがかかる、塗布カップ内側に設けられた
吐出口より洗浄液を吐出させるため、吐出口より高い位
置の汚れ、および吐出口と同程度の高さにある汚れにつ
いては洗浄することができない、等である。
記従来例では、洗浄液の自重落下による洗浄のため、次
のような欠点があった。すなわち、塗布カップ内面は
円錐状のため、上部より下部の洗浄部面積が大きく、自
重落下による洗浄液の流れでは、塗布カップ内面下部に
おいて洗浄液のひろがりが十分でなく、未洗浄部が発生
しやすい、洗浄液が自重落下しながらカップ内面を洗
浄するため、汚れが落ちにくく、また、十分な洗浄のた
めには、洗浄液を多量に使用する必要があり、その処理
を含めコストがかかる、塗布カップ内側に設けられた
吐出口より洗浄液を吐出させるため、吐出口より高い位
置の汚れ、および吐出口と同程度の高さにある汚れにつ
いては洗浄することができない、等である。
【０００４】本発明の目的は、このような従来技術の問
題点に鑑み、塗布カップ洗浄装置において、コストをか
けずに、洗浄能力を向上させることにある。
題点に鑑み、塗布カップ洗浄装置において、コストをか
けずに、洗浄能力を向上させることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明の塗布カップ洗浄装置は、塗布カップを回転させ
る手段、これによって回転される塗布カップの内壁へ向
けて、固定されたノズルより洗浄液を吐出させる手段を
具備することを特徴とする。
本発明の塗布カップ洗浄装置は、塗布カップを回転させ
る手段、これによって回転される塗布カップの内壁へ向
けて、固定されたノズルより洗浄液を吐出させる手段を
具備することを特徴とする。
【０００６】
【作用】この構成において、洗浄時には、塗布カップ内
面に向け、一定の圧力で複数のノズルより洗浄液を吐出
し、同時に塗布カップを回転させる。これにより、少量
の洗浄液で十分な洗浄効果が得られる。また、洗浄液に
圧力を加えて塗布カップ内面に当てることにより、洗浄
効果がさらに向上する。また、ノズル形状やノズル数の
選択が容易であるため、洗浄対象に対しての最適化が容
易に行なわれ、洗浄液の使用量が削減される。したがっ
て、洗浄コストも減少する。
面に向け、一定の圧力で複数のノズルより洗浄液を吐出
し、同時に塗布カップを回転させる。これにより、少量
の洗浄液で十分な洗浄効果が得られる。また、洗浄液に
圧力を加えて塗布カップ内面に当てることにより、洗浄
効果がさらに向上する。また、ノズル形状やノズル数の
選択が容易であるため、洗浄対象に対しての最適化が容
易に行なわれ、洗浄液の使用量が削減される。したがっ
て、洗浄コストも減少する。
【０００７】
【実施例】図１は本発明の一実施例に係る塗布カップ洗
浄装置を示す。このカップ洗浄装置は塗布装置に組み込
まれている。同図において、１は塗布カップ、２は塗布
カップ１の外周に設けられたギア、３はギア２と噛み合
って塗布カップ１を回転させるためのピニオン、４は塗
布カップ１の内壁に洗浄液を吐出するためのパイプ、５
はピニオン３を回転させるモータ、６はモータ５の回転
をその回転速度を減速させてピニオン３に伝える減速装
置、７はパイプ４に設けられた洗浄液バルブ、８はモー
タ５の駆動および洗浄液バルブ７の駆動を制御する制御
器、９は洗浄液バルブ７を介してパイプ４に洗浄液を供
給する洗浄液供給手段、１０は塗布カップ１を有する回
転塗布装置によってフォトレジストが塗布されるウェー
ハ、１１はこの塗布時にウェーハ１０を保持して回転さ
せるスピンチャック、１２はパイプ４に設けられ、洗浄
液が塗布カップ１の内壁に向けて吐出されるように方向
が定められた洗浄液ノズルである。
浄装置を示す。このカップ洗浄装置は塗布装置に組み込
まれている。同図において、１は塗布カップ、２は塗布
カップ１の外周に設けられたギア、３はギア２と噛み合
って塗布カップ１を回転させるためのピニオン、４は塗
布カップ１の内壁に洗浄液を吐出するためのパイプ、５
はピニオン３を回転させるモータ、６はモータ５の回転
をその回転速度を減速させてピニオン３に伝える減速装
置、７はパイプ４に設けられた洗浄液バルブ、８はモー
タ５の駆動および洗浄液バルブ７の駆動を制御する制御
器、９は洗浄液バルブ７を介してパイプ４に洗浄液を供
給する洗浄液供給手段、１０は塗布カップ１を有する回
転塗布装置によってフォトレジストが塗布されるウェー
ハ、１１はこの塗布時にウェーハ１０を保持して回転さ
せるスピンチャック、１２はパイプ４に設けられ、洗浄
液が塗布カップ１の内壁に向けて吐出されるように方向
が定められた洗浄液ノズルである。
【０００８】この構成において、洗浄時には、制御器８
は、洗浄液バルブ７を開状態とすることにより、洗浄液
を洗浄液供給手段９より洗浄液パイプ４に供給させ、洗
浄液ノズル１２より塗布カップ１内面へ吐出させる。ま
たこの間、制御器８は、モータ５を回転させることによ
り、減速装置６、およびピニオン３を介してギア２を回
転させ、塗布カップ１を回転させる。これにより、カッ
プ１の内面全体が洗浄される。これによれば、少量の洗
浄液で、洗い残りのない洗浄が可能である。また、洗浄
液に圧力を加えて、塗布カップ内面に当てることによ
り、洗浄効果をさらに向上させることができる。
は、洗浄液バルブ７を開状態とすることにより、洗浄液
を洗浄液供給手段９より洗浄液パイプ４に供給させ、洗
浄液ノズル１２より塗布カップ１内面へ吐出させる。ま
たこの間、制御器８は、モータ５を回転させることによ
り、減速装置６、およびピニオン３を介してギア２を回
転させ、塗布カップ１を回転させる。これにより、カッ
プ１の内面全体が洗浄される。これによれば、少量の洗
浄液で、洗い残りのない洗浄が可能である。また、洗浄
液に圧力を加えて、塗布カップ内面に当てることによ
り、洗浄効果をさらに向上させることができる。
【０００９】図２は本発明の他の実施例に係る塗布カッ
プ洗浄装置を示す。図中、１３は塗布装置においてウェ
ーハ１０を支持して回転させるためのスピンシャフト、
１５はスピンシャフト１３より回転動力を得るためのロ
ーラ、１４はローラ１５をスピンシャフト１３との間で
断続させる手段、１６はピニオン３にローラ１５の回転
を伝えるベルトである。これにより、回転塗布装置にお
けるスピンシャフト１３の回転動力を利用して、ピニオ
ン３を駆動させることもできる。
プ洗浄装置を示す。図中、１３は塗布装置においてウェ
ーハ１０を支持して回転させるためのスピンシャフト、
１５はスピンシャフト１３より回転動力を得るためのロ
ーラ、１４はローラ１５をスピンシャフト１３との間で
断続させる手段、１６はピニオン３にローラ１５の回転
を伝えるベルトである。これにより、回転塗布装置にお
けるスピンシャフト１３の回転動力を利用して、ピニオ
ン３を駆動させることもできる。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、塗
布カップを回転させ、固定されたノズルより塗布カップ
内壁に洗浄液を吐出させるようにしたため、塗布カップ
内面全体に洗浄液を行き渡らせて、洗浄残りをなくすこ
とができる。また、洗浄液に圧力を加えて塗布カップ内
面に当てることにより、洗浄効果をさらに向上させるこ
とができる。また、ノズル形状やノズル数の選択が容易
であるため、洗浄対象に対しての最適化が容易であり、
洗浄液の使用量を削減することができる。したがって、
洗浄コストも減少させることができる。
布カップを回転させ、固定されたノズルより塗布カップ
内壁に洗浄液を吐出させるようにしたため、塗布カップ
内面全体に洗浄液を行き渡らせて、洗浄残りをなくすこ
とができる。また、洗浄液に圧力を加えて塗布カップ内
面に当てることにより、洗浄効果をさらに向上させるこ
とができる。また、ノズル形状やノズル数の選択が容易
であるため、洗浄対象に対しての最適化が容易であり、
洗浄液の使用量を削減することができる。したがって、
洗浄コストも減少させることができる。
【図１】 図１は本発明の一実施例に係る塗布カップ洗
浄装置の断面図である。
浄装置の断面図である。
【図２】 図２は本発明の他の実施例に係る塗布カップ
洗浄装置の断面図である。
洗浄装置の断面図である。
【符号の説明】 １：塗布カップ、２：ギア、３：ピニオン、４：洗浄液
パイプ、５：モーター、６：減速装置、７：バルブ、
８：制御器、９：洗浄液供給手段、１０：ウェーハ、１
１：スピンチャック、１２：洗浄液ノズル。
パイプ、５：モーター、６：減速装置、７：バルブ、
８：制御器、９：洗浄液供給手段、１０：ウェーハ、１
１：スピンチャック、１２：洗浄液ノズル。
Claims (1)
- 【請求項１】 塗布カップを回転させる手段、これによ
って回転される塗布カップの内壁へ向けて、固定された
ノズルより洗浄液を吐出させる手段を具備することを特
徴とする塗布カップ洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31125294A JPH08148463A (ja) | 1994-11-22 | 1994-11-22 | 塗布カップ洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31125294A JPH08148463A (ja) | 1994-11-22 | 1994-11-22 | 塗布カップ洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08148463A true JPH08148463A (ja) | 1996-06-07 |
Family
ID=18014921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31125294A Pending JPH08148463A (ja) | 1994-11-22 | 1994-11-22 | 塗布カップ洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08148463A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100525302B1 (ko) * | 2005-04-29 | 2005-11-02 | 에스브이에스 주식회사 | 반도체 웨이퍼의 스핀컵 세정방법 및 그 세정장치 |
| KR100871821B1 (ko) * | 2007-03-29 | 2008-12-03 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
| CN103801527A (zh) * | 2012-11-13 | 2014-05-21 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 一种cup自动清洗系统 |
-
1994
- 1994-11-22 JP JP31125294A patent/JPH08148463A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100525302B1 (ko) * | 2005-04-29 | 2005-11-02 | 에스브이에스 주식회사 | 반도체 웨이퍼의 스핀컵 세정방법 및 그 세정장치 |
| KR100871821B1 (ko) * | 2007-03-29 | 2008-12-03 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
| CN103801527A (zh) * | 2012-11-13 | 2014-05-21 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 一种cup自动清洗系统 |
| CN103801527B (zh) * | 2012-11-13 | 2015-08-26 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 一种光刻胶收集杯自动清洗系统 |
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