CN220272424U - 一种全自动清洗晶圆的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种全自动清洗晶圆的装置，包括清洗箱，其特征在于，所述清洗箱的两端分别设有进料口和出料口，所述清洗箱内沿进料口至出料口方向依次设有若干组PVA滚刷装置和若干组烘干装置，且所述清洗箱上端前部设有若干组喷淋机构。本实用新型与现有技术相比的优点在于：本申请主要解决的技术问题是采用主动直齿轮以及从动直齿轮同步反向的驱动方式带动PVA滚刷、滚轮的转动从而实现晶圆的全自动匀速清洗与烘干，避免了人工操作的不确定性。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体是指一种全自动清洗晶圆的装置。
背景技术
在如今的半导体清洗制程中，脱胶后晶圆清洗是半自动化生产，需要人工干预进行上下料，不确定性因素高，不利于清洗机的自动控制化生产。因此对现有的晶圆清洗装置予以改进，以解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是克服以上的技术缺陷，提供一种全自动清洗晶圆的装置。
为解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为：一种全自动清洗晶圆的装置，包括清洗箱，所述清洗箱的两端分别设有进料口和出料口，所述清洗箱内沿进料口至出料口方向依次设有若干组PVA滚刷装置和若干组烘干装置，且所述清洗箱上端前部设有若干组喷淋机构；
所述PVA滚刷装置包括两个上下设置的PVA滚刷，上下设置的两个PVA滚刷之间形成第一传料通道，所述PVA滚刷的两端分别通过第一转轴和第二转轴与清洗箱侧壁转动连接；
所述烘干装置包括两个上下设置的气管且气管上设有若干热气孔，上下设置的两个气管之间形成与第一传料通道等高的第二传料通道，靠近所述第二传料通道的一端转动设有滚轮转轴且所述滚轮转轴上相对设有支撑滚轮；
所述清洗箱的外侧还设有驱动装置且驱动装置能够同步带动PVA滚刷以及支撑滚轮的转动。
进一步地，所述驱动装置包括伺服电机，所述伺服电机的输出轴设有减速机，所述减速机的输出轴设有主动锥齿轮，所述清洗箱的外侧通过安装座转动设有齿轮转轴，所述齿轮转轴上设有若干从动锥齿轮，其中一个所述从动锥齿轮与主动锥齿轮啮合传动，所述第一转轴以及滚轮转轴的外端均设有与相应从动锥齿轮啮合的次从动锥齿轮，位于同一组PVA滚刷装置下方的第一转轴设有主动直齿轮且位于同一组PVA滚刷装置上方的第一转轴设有与主动直齿轮啮合的从动直齿轮。
进一步地，位于第一传料通道的一侧相对设有两个定位导轮。
进一步地，所述喷淋机构包括水管，所述水管的上端设有球阀，所述水管的下端设有喷头。
本实用新型与现有技术相比的优点在于：本申请主要解决的技术问题是采用主动直齿轮以及从动直齿轮同步反向的驱动方式带动PVA滚刷、滚轮的转动从而实现晶圆的全自动匀速清洗与烘干，避免了人工操作的不确定性。且洁净度高，提高了晶圆的成品率，整个全自动清洗晶圆的装置易操作、清洗速度快，节省了设备运行时间，提高了生产效率。
附图说明
图1为本发明的全自动清洗晶圆的装置的结构示意图；
图2为本发明的PVA滚刷装置的结构示意图；
图3为本发明的水路的结构示意图；
图4为本发明的烘干装置的结构示意图；
图5为本发明的驱动装置的结构示意图；
如图所示：1、清洗箱，2、PVA滚刷装置，21、PVA滚刷，22、第一转轴，23、第二转轴，24、定位导轮，3、喷淋机构，31、水管，32、球阀，4、烘干装置，41、滚轮转轴，42、支撑滚轮，43、气管，5、驱动装置，51、从动直齿轮，52、从动锥齿轮，53、齿轮转轴，54、减速机，55、伺服电机，56、主动锥齿轮，57、主动直齿轮，58、次从动锥齿轮。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明。
下面结合附图来进一步说明本实用新型的具体实施方式。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。
需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
结合附图1-附图5，一种全自动清洗晶圆的装置，包括清洗箱1，清洗箱1的两端分别设有进料口和出料口，清洗箱1内沿进料口至出料口方向依次设有若干组PVA滚刷装置2和若干组烘干装置4，且清洗箱1上端前部设有若干组喷淋机构3；
PVA滚刷装置2包括两个上下设置的PVA滚刷21，上下设置的两个PVA滚刷21之间形成第一传料通道，PVA滚刷21的两端分别通过第一转轴22和第二转轴23与清洗箱1侧壁转动连接，PVA滚刷21利用其柔软的材质和旋转的运动，能够有效地清洁晶圆表面，PVA滚刷21与晶圆接触时，能够移除附着在晶圆上的污染物和杂质，从而实现清洗的效果；
烘干装置4包括两个上下设置的气管43且气管43上设有若干热气孔，上下设置的两个气管43之间形成与第一传料通道等高的第二传料通道，靠近第二传料通道的一端转动设有滚轮转轴41且滚轮转轴41上相对设有支撑滚轮42，烘干装置4通过向晶圆表面喷射热气，加速水分的蒸发并实现烘干的效果；
清洗箱1的外侧还设有驱动装置5且驱动装置5能够同步带动PVA滚刷21以及支撑滚轮42的转动。
在本实施例中，驱动装置5包括伺服电机55，伺服电机55的输出轴设有减速机54，减速机54的输出轴设有主动锥齿轮56，清洗箱1的外侧通过安装座转动设有齿轮转轴53，齿轮转轴53上设有若干从动锥齿轮52，其中一个从动锥齿轮52与主动锥齿轮56啮合传动，第一转轴22以及滚轮转轴41的外端均设有与相应从动锥齿轮52啮合的次从动锥齿轮58，位于同一组PVA滚刷装置2下方的第一转轴22设有主动直齿轮57且位于同一组PVA滚刷装置2上方的第一转轴22设有与主动直齿轮57啮合的从动直齿轮51，伺服电机55驱动减速机54输出轴转动，通过主动锥齿轮56和从动锥齿轮52的啮合传动，将转动力传递到齿轮转轴53上，且齿轮转轴53通过次从动锥齿轮58将转动力传递到第一转轴22和滚轮转轴41上，第一转轴22带动下方的PVA滚刷21的转动，通过主动直齿轮57和从动直齿轮51的啮合同步带动上部的PVA滚刷21的转动，从而能够实现晶圆的全自动匀速清洗与烘干。
在本实施例中，位于第一传料通道的一侧相对设有两个定位导轮24，定位导轮24可防止晶圆在传送的过程中左右偏移。
在本实施例中，喷淋机构3包括水管31，水管31的上端设有球阀32，水管31的下端设有喷头。
本申请在具体实施中，晶圆首先通过清洗箱1的进料口进入清洗装置，每个PVA滚刷装置2包括两个上下设置的PVA滚刷21，它们之间形成第一传料通道。PVA滚刷21利用其柔软的材质和旋转的运动，在晶圆表面有效地清洁。当PVA滚刷21与晶圆接触时，能够移除附着在晶圆上的污染物和杂质，且配合喷淋机构3实现清洗的效果；滚轮转轴41在转动的过程中带动支撑滚轮42的转动从而带动晶圆的移动，且晶圆在第二传料通道移动的过程中烘干装置4通过向晶圆表面喷射热气，加速水分的蒸发，实现对晶圆的烘干效果，经过清洗和烘干处理后，晶圆从清洗箱1的出料口排出。
以上对本实用新型及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。
Claims (4)
1.一种全自动清洗晶圆的装置，包括清洗箱(1)，其特征在于，所述清洗箱(1)的两端分别设有进料口和出料口，所述清洗箱(1)内沿进料口至出料口方向依次设有若干组PVA滚刷装置(2)和若干组烘干装置(4)，且所述清洗箱(1)上端前部设有若干组喷淋机构(3)；
所述PVA滚刷装置(2)包括两个上下设置的PVA滚刷(21)，上下设置的两个PVA滚刷(21)之间形成第一传料通道，所述PVA滚刷(21)的两端分别通过第一转轴(22)和第二转轴(23)与清洗箱(1)侧壁转动连接；
所述烘干装置(4)包括两个上下设置的气管(43)且气管(43)上设有若干热气孔，上下设置的两个气管(43)之间形成与第一传料通道等高的第二传料通道，靠近所述第二传料通道的一端转动设有滚轮转轴(41)且所述滚轮转轴(41)上相对设有支撑滚轮(42)；
所述清洗箱(1)的外侧还设有驱动装置(5)且驱动装置(5)能够同步带动PVA滚刷(21)以及支撑滚轮(42)的转动。
2.根据权利要求1所述的一种全自动清洗晶圆的装置，其特征在于，所述驱动装置(5)包括伺服电机(55)，所述伺服电机(55)的输出轴设有减速机(54)，所述减速机(54)的输出轴设有主动锥齿轮(56)，所述清洗箱(1)的外侧通过安装座转动设有齿轮转轴(53)，所述齿轮转轴(53)上设有若干从动锥齿轮(52)，其中一个所述从动锥齿轮(52)与主动锥齿轮(56)啮合传动，所述第一转轴(22)以及滚轮转轴(41)的外端均设有与相应从动锥齿轮(52)啮合的次从动锥齿轮(58)，位于同一组PVA滚刷装置(2)下方的第一转轴(22)设有主动直齿轮(57)且位于同一组PVA滚刷装置(2)上方的第一转轴(22)设有与主动直齿轮(57)啮合的从动直齿轮(51)。
3.根据权利要求1所述的一种全自动清洗晶圆的装置，其特征在于，位于第一传料通道的一侧相对设有两个定位导轮(24)。
4.根据权利要求1所述的一种全自动清洗晶圆的装置，其特征在于，所述喷淋机构(3)包括水管(31)，所述水管(31)的上端设有球阀(32)，所述水管(31)的下端设有喷头。
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