CN216597536U - 一种具有辊轮清洗功能的硅片传送系统 - Google Patents

一种具有辊轮清洗功能的硅片传送系统 Download PDF

Info

Publication number
CN216597536U
CN216597536U CN202123389184.XU CN202123389184U CN216597536U CN 216597536 U CN216597536 U CN 216597536U CN 202123389184 U CN202123389184 U CN 202123389184U CN 216597536 U CN216597536 U CN 216597536U
Authority
CN
China
Prior art keywords
pipe
roller
silicon wafer
water
water inlet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202123389184.XU
Other languages
English (en)
Inventor
张淋
郑勇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzhou Puyite Automation System Co ltd
Original Assignee
Suzhou Puyite Automation System Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzhou Puyite Automation System Co ltd filed Critical Suzhou Puyite Automation System Co ltd
Priority to CN202123389184.XU priority Critical patent/CN216597536U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN216597536U publication Critical patent/CN216597536U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种具有辊轮清洗功能的硅片传送系统，包括水平并列设置在传送框架内部并由伺服电机一驱动同步转动的多根辊轮，以及用于辊轮清洗的喷淋组件；喷淋组件包括进水管，设置在进水管上的气动隔膜阀及手动球阀，以及设置在进水管出水端并位于辊轮上方的喷水管；喷水管包括内管及同轴转动套设在内管外部的外管，内管沿轴向开设有五排内喷孔，外管沿轴向开设有三排外喷孔。当硅片通过辊轮传送时，传感器检测到硅片，水通过气动隔膜阀通入并通过手动球阀控制水流量大小，可以对辊轮进行清洗以防止硅片携带的药液在辊轮表面结晶以减少辊轮维护时间并提高硅片的良率，并同时实现清洗硅片。

Description

一种具有辊轮清洗功能的硅片传送系统
技术领域
本实用新型涉及光伏电池片生产技术领域，特别涉及一种具有辊轮清洗功能的硅片传送系统。
背景技术
在进行光伏电池片生产时，切割后的硅片需要经过多道制程工艺才能形成最终的电池片，尤其是清洗制绒阶段，硅片需要经过多道工艺槽内的药液处理，经过药液处理后的硅片再经过工艺槽之间的硅片传送系统从前道工艺槽输送至后道工艺槽内，硅片在传送系统上进行输送过程中会存在如下问题：①硅片表面残留的药液在传送系统中输送过程会在硅片表面产生结晶，从而导致硅片变得更脆且易破碎；②硅片附带的药液还会残留到辊轮上面，从而使辊轮变得脏污甚至在辊轮表面产生结晶，硅片通过时会被辊轮表面的结晶划伤，因此需要经常维护清洗或者更换辊轮，从而影响生产效率。
实用新型内容
为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种具有辊轮清洗功能的硅片传送系统，包括传送框架，以及水平并列设置在所述传送框架内部并由伺服电机一驱动同步转动的多根辊轮；还包括用于所述辊轮清洗的喷淋组件以及设置在所述传送框架底部的排水管；
所述喷淋组件包括连通至所述传送框架内部的进水管，设置在所述进水管上的气动隔膜阀及手动球阀，以及设置在所述进水管出水端并与所述进水管连通的喷水管，所述喷水管水平设置在所述传送框架内部并位于所述辊轮上方，且所述喷水管与所述辊轮平行设置；
所述喷水管包括内管及同轴转动套设在所述内管外部的外管，所述内管沿轴向开设有五排内喷孔以分别对应下方的五根所述辊轮，所述外管沿轴向开设有三排外喷孔以分别对应下方的三根所述辊轮，且所述外喷孔之间的夹角与所述内喷孔之间的夹角一致，以使至少一个所述外喷孔与至少一个所述内喷孔对应贯通。
其中，还包括伺服电机二，所述伺服电机二的驱动端连接至所述外管，所述外管的两端均通过轴承座安装在所述传送框架内部，以通过所述伺服电机二驱动所述外管转动，从而实现不同数量及角度所述外喷孔与不同数量及角度所述内喷孔的对应贯通。
其中，还包括PLC控制器，以及传感器，所述气动隔膜阀、传感器及伺服电机二均连接至所述PLC控制器，通过所述传感器感应所述辊轮上是否有硅片，并通过所述PLC控制器控制所述气动隔膜阀通水并同时控制所述伺服电机二驱动所述外管转动以实现不同所述内喷孔的通断。
其中，所述外管的内侧与所述内管的外侧均镀有耐磨涂层，以避免摩擦损坏及碎屑堵塞。
其中，所述辊轮的下侧还设置有沿所述辊轮长度方向的刮板，以将所述辊轮表面药液刮除避免形成结晶。
通过上述技术方案，本实用新型具有如下有益效果：对应辊轮设置有喷淋组件，当硅片通过辊轮传送时，传感器检测到硅片，水通过气动隔膜阀通入并通过手动球阀控制水流量大小，可以对辊轮进行清洗以防止硅片携带的药液在辊轮表面结晶以减少辊轮维护时间并提高硅片的良率，并同时实现清洗硅片。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1为本实用新型实施例所公开的硅片传送系统结构示意图；
图2-6为实施例的喷水管不同喷淋角度时的截面结构示意图。
图中数字表示：10.传送框架；11.辊轮；12.刮板；20.进水管；21.气动隔膜阀；22.手动球阀；23.喷水管；231.内管；2311.内喷孔；232.外管；2321.外喷孔；30.排水管。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
参考图1，本实用新型提供的具有辊轮清洗功能的硅片传送系统，包括传送框架10，以及水平并列设置在传送框架10内部并由伺服电机一驱动同步转动的多根辊轮11，且辊轮11的下侧设置有沿辊轮11长度方向的刮板12以将辊轮11表面药液刮除避免形成结晶；还包括用于辊轮11清洗的喷淋组件以及设置在传送框架10底部的排水管30；
喷淋组件包括连通至传送框架10内部的进水管20，设置在进水管20上的气动隔膜阀21及手动球阀22，以及设置在进水管20出水端并与进水管20连通的喷水管23，喷水管23水平设置在传送框架10内部并位于辊轮11上方，且喷水管23与辊轮11平行设置；
喷水管23包括内管231及同轴转动套设在内管231外部的外管232，且外管232的内侧与内管231的外侧均镀有耐磨涂层以避免摩擦损坏及碎屑堵塞；内管231沿轴向开设有五排内喷孔2311以分别对应下方的五根辊轮11，外管232沿轴向开设有三排外喷孔2321以分别对应下方的三根辊轮11，且外喷孔2321之间的夹角与内喷孔2311之间的夹角一致，以使至少一个外喷孔2321与至少一个内喷孔2311对应贯通。
还包括伺服电机二，伺服电机二的驱动端连接至外管232，外管232的两端均通过轴承座安装在传送框架10内部，以通过伺服电机二驱动外管232转动，从而实现不同数量及角度外喷孔2321与不同数量及角度内喷孔2311的对应贯通；还包括PLC控制器，以及传感器，气动隔膜阀21、传感器及伺服电机二均连接至PLC控制器，通过传感器感应辊轮11上是否有硅片，并通过PLC控制器控制气动隔膜阀21通水并同时控制伺服电机二驱动外管232转动以实现不同内喷孔2311的通断。
本实用新型工作时，可以如图2所示通过伺服电机二驱动外管232转动使三个外喷孔2321同时对应中部的三个内喷孔2311，或如图3所示通过伺服电机二驱动外管232转动使三个外喷孔2321同时对应左侧的三个内喷孔2311，或如图4所示通过伺服电机二驱动外管232转动使三个外喷孔2321同时对应右侧的三个内喷孔2311，或如图5所示通过伺服电机二驱动外管232转动使两个外喷孔2321同时对应左侧的两个内喷孔2311，或如图6所示通过伺服电机二驱动外管232转动使两个外喷孔2321同时对应右侧的两个内喷孔2311，依次类推以实现不同数量及角度内喷孔2311的通断而实现不同数量及角度对辊轮11及硅片的喷淋清洗。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对上述实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (5)

1.一种具有辊轮清洗功能的硅片传送系统，其特征在于，包括传送框架(10)，以及水平并列设置在所述传送框架(10)内部并由伺服电机一驱动同步转动的多根辊轮(11)；还包括用于所述辊轮(11)清洗的喷淋组件以及设置在所述传送框架(10)底部的排水管(30)；
所述喷淋组件包括连通至所述传送框架(10)内部的进水管(20)，设置在所述进水管(20)上的气动隔膜阀(21)及手动球阀(22)，以及设置在所述进水管(20)出水端并与所述进水管(20)连通的喷水管(23)，所述喷水管(23)水平设置在所述传送框架(10)内部并位于所述辊轮(11)上方，且所述喷水管(23)与所述辊轮(11)平行设置；
所述喷水管(23)包括内管(231)及同轴转动套设在所述内管(231)外部的外管(232)，所述内管(231)沿轴向开设有五排内喷孔(2311)以分别对应下方的五根所述辊轮(11)，所述外管(232)沿轴向开设有三排外喷孔(2321)以分别对应下方的三根所述辊轮(11)，且所述外喷孔(2321)之间的夹角与所述内喷孔(2311)之间的夹角一致，以使至少一个所述外喷孔(2321)与至少一个所述内喷孔(2311)对应贯通。
2.根据权利要求1所述的一种具有辊轮(11)清洗功能的硅片传送系统，其特征在于，还包括伺服电机二，所述伺服电机二的驱动端连接至所述外管(232)，所述外管(232)的两端均通过轴承座安装在所述传送框架(10)内部。
3.根据权利要求2所述的一种具有辊轮(11)清洗功能的硅片传送系统，其特征在于，还包括PLC控制器，以及传感器，所述气动隔膜阀(21)、传感器及伺服电机二均连接至所述PLC控制器。
4.根据权利要求1所述的一种具有辊轮(11)清洗功能的硅片传送系统，其特征在于，所述外管(232)的内侧与所述内管(231)的外侧均镀有耐磨涂层，以避免摩擦损坏及碎屑堵塞。
5.根据权利要求1所述的一种具有辊轮(11)清洗功能的硅片传送系统，其特征在于，所述辊轮(11)的下侧还设置有沿所述辊轮(11)长度方向的刮板(12)。
CN202123389184.XU 2021-12-29 2021-12-29 一种具有辊轮清洗功能的硅片传送系统 Active CN216597536U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202123389184.XU CN216597536U (zh) 2021-12-29 2021-12-29 一种具有辊轮清洗功能的硅片传送系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202123389184.XU CN216597536U (zh) 2021-12-29 2021-12-29 一种具有辊轮清洗功能的硅片传送系统

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN216597536U true CN216597536U (zh) 2022-05-24

Family

ID=81629714

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202123389184.XU Active CN216597536U (zh) 2021-12-29 2021-12-29 一种具有辊轮清洗功能的硅片传送系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN216597536U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103909079B (zh) 通过式清洗机及其清洗方法
CN112024522A (zh) 一种石英玻璃管的清洗机
CN111170322B (zh) 一种高纯石英砂提纯清洗机
CN216597536U (zh) 一种具有辊轮清洗功能的硅片传送系统
CN216297299U (zh) 一种多功能全自动清洗系统
CN203695538U (zh) 通过式清洗机
CN210450052U (zh) 一种浮法玻璃清洗机台
CN219805034U (zh) 一种高压喷淋清洗机
CN211802624U (zh) 一种触摸屏蚀刻后清洗装置
CN202802923U (zh) 一种水平真空带式过滤机的滤布清洗装置
CN216369413U (zh) 一种具有节水功能的玻璃清洗机
CN216224338U (zh) 一种具备智能自清理功能的化工用反应釜
CN214289040U (zh) 一种在线真空喷边机
CN211437515U (zh) 一种铝型材挤压成型冷却装置
CN210876412U (zh) 一种卷材清洗结构
CN220272424U (zh) 一种全自动清洗晶圆的装置
CN207343336U (zh) 一种螺旋喷淋清洗机
CN220779032U (zh) 一种喷雾干燥设备
CN219683402U (zh) 一种太阳能电池片在线刻蚀碱槽齿轮结晶清洗装置
CN216563165U (zh) 一种太阳能电池片在线刻蚀去离子水节水清洗装置
CN212525300U (zh) 一种环保机械设备的内部清理装置
CN218928103U (zh) 一种装饰板材表面辊涂胶装置
CN216423397U (zh) 一种高强度pe管生产用的冷却装置
CN217497659U (zh) 一种用于皮带机的清洗机
CN213591229U (zh) 一种清洁效率高的铝制板清洗装置

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant