JPH08143827A - 接着剤付きポリイミドフィルムおよび積層体 - Google Patents
接着剤付きポリイミドフィルムおよび積層体Info
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- JPH08143827A JPH08143827A JP28559794A JP28559794A JPH08143827A JP H08143827 A JPH08143827 A JP H08143827A JP 28559794 A JP28559794 A JP 28559794A JP 28559794 A JP28559794 A JP 28559794A JP H08143827 A JPH08143827 A JP H08143827A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 接着剤付きポリイミドフィルムの反りを低減
する。 【構成】 ポリマ−が芳香族テトラカルボン酸成分と芳
香族ジアミン成分とからなり、弾性率が４００ｋｇ／ｍ
ｍ2 以上であるポリイミドフィルムと接着剤とからなる
接着剤付きポリイミドフィルムであって、フィルムおよ
び接着剤のそれぞれの厚み、弾性率の間の以下の式で規
定されるＸが０．７以上である。 Ｘ＝（Ｔ１2 ×Ｅ１）／（Ｔ２2 ×Ｅ２×１０2 ） 〔但し、Ｔ１：ポリイミドフィルムの厚み（μｍ）、Ｅ
１：ポリイミドフィルムの弾性率（ｋｇ／ｍｍ2 ）、Ｔ
２：硬化後の接着剤の厚み（μｍ）、Ｅ２：硬化後の接
着剤の弾性率（ｋｇ／ｍｍ2 ）〕
する。 【構成】 ポリマ−が芳香族テトラカルボン酸成分と芳
香族ジアミン成分とからなり、弾性率が４００ｋｇ／ｍ
ｍ2 以上であるポリイミドフィルムと接着剤とからなる
接着剤付きポリイミドフィルムであって、フィルムおよ
び接着剤のそれぞれの厚み、弾性率の間の以下の式で規
定されるＸが０．７以上である。 Ｘ＝（Ｔ１2 ×Ｅ１）／（Ｔ２2 ×Ｅ２×１０2 ） 〔但し、Ｔ１：ポリイミドフィルムの厚み（μｍ）、Ｅ
１：ポリイミドフィルムの弾性率（ｋｇ／ｍｍ2 ）、Ｔ
２：硬化後の接着剤の厚み（μｍ）、Ｅ２：硬化後の接
着剤の弾性率（ｋｇ／ｍｍ2 ）〕
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、接着剤付きポリイミ
ドフィルムの改良に関するものである。更に詳しくは、
他の導体と張り合わせることができ、接着剤の硬化後で
も反りが小さく、種々の製造工程での寸法精度も高く、
他部品を実装する際の位置合わせが良好な接着剤付きポ
リイミドフィルムに関するものである。
ドフィルムの改良に関するものである。更に詳しくは、
他の導体と張り合わせることができ、接着剤の硬化後で
も反りが小さく、種々の製造工程での寸法精度も高く、
他部品を実装する際の位置合わせが良好な接着剤付きポ
リイミドフィルムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、芳香族テトラカルボン酸成分と芳
香族ジアミン成分とからなる芳香族ポリイミドフィルム
の片面にエポキシ樹脂系、ポリアミド系、アクリル樹脂
系系等の接着剤を設けた接着性ポリイミドフィルムは、
優れた電気絶縁性、機械的強度、耐熱性、寸法安定性な
どを有しており、フレキシブルプリント配線銅張板やＴ
ＡＢ用などの製造に使用されている。
香族ジアミン成分とからなる芳香族ポリイミドフィルム
の片面にエポキシ樹脂系、ポリアミド系、アクリル樹脂
系系等の接着剤を設けた接着性ポリイミドフィルムは、
優れた電気絶縁性、機械的強度、耐熱性、寸法安定性な
どを有しており、フレキシブルプリント配線銅張板やＴ
ＡＢ用などの製造に使用されている。
【０００３】しかし、電子産業分野における高品質・高
精度の要望は近年ますます強くなってきており、接着剤
付きポリイミドフィルムについても製造工程での寸法精
度、他部品を実装する際の位置合わせの改善が必要にな
っている。このため、特公平４−６２１３号公報に記載
されているように寸法安定なポリイミドフィルムが提案
されている。
精度の要望は近年ますます強くなってきており、接着剤
付きポリイミドフィルムについても製造工程での寸法精
度、他部品を実装する際の位置合わせの改善が必要にな
っている。このため、特公平４−６２１３号公報に記載
されているように寸法安定なポリイミドフィルムが提案
されている。
【０００４】しかし、このポリイミドフィルムに接着剤
を設けた接着剤付きポリイミドフィルムを使用して金属
箔と張り合わせた後、金属箔をエッチィンで除くと接着
剤を内側にして反りが生じる場合があり、依然として接
着剤付きポリイミドフィルムにおける前記問題点は完全
には解決されていなかったのである。
を設けた接着剤付きポリイミドフィルムを使用して金属
箔と張り合わせた後、金属箔をエッチィンで除くと接着
剤を内側にして反りが生じる場合があり、依然として接
着剤付きポリイミドフィルムにおける前記問題点は完全
には解決されていなかったのである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は、製
造工程での寸法精度も高く、接着剤の硬化後も反りが小
さいので加工性が良好で他部品を実装する際の位置合わ
せが良好な接着剤付きポリイミドフィルム、およびその
積層体を提供することである。
造工程での寸法精度も高く、接着剤の硬化後も反りが小
さいので加工性が良好で他部品を実装する際の位置合わ
せが良好な接着剤付きポリイミドフィルム、およびその
積層体を提供することである。
【０００６】すなわち、この発明は、ポリマ−が芳香族
テトラカルボン酸成分と芳香族ジアミン成分とからな
り、弾性率が４００ｋｇ／ｍｍ2 以上であるポリイミド
フィルムと、その片面に設けた接着剤とからなり、下記
式によって規定されるＸが０．７以上であることを特徴
とする接着剤付きポリイミドフィルムに関するものであ
る。 Ｘ＝（Ｔ１2 ×Ｅ１）／（Ｔ２2 ×Ｅ２×１０2 ） 〔但し、Ｔ１：ポリイミドフィルムの厚み（μｍ）、Ｅ
１：ポリイミドフィルムの弾性率（ｋｇ／ｍｍ2 ），Ｔ
２：硬化後の接着剤の厚み（μｍ）、Ｅ２：硬化後の接
着剤の弾性率（ｋｇ／ｍｍ2 ）〕
テトラカルボン酸成分と芳香族ジアミン成分とからな
り、弾性率が４００ｋｇ／ｍｍ2 以上であるポリイミド
フィルムと、その片面に設けた接着剤とからなり、下記
式によって規定されるＸが０．７以上であることを特徴
とする接着剤付きポリイミドフィルムに関するものであ
る。 Ｘ＝（Ｔ１2 ×Ｅ１）／（Ｔ２2 ×Ｅ２×１０2 ） 〔但し、Ｔ１：ポリイミドフィルムの厚み（μｍ）、Ｅ
１：ポリイミドフィルムの弾性率（ｋｇ／ｍｍ2 ），Ｔ
２：硬化後の接着剤の厚み（μｍ）、Ｅ２：硬化後の接
着剤の弾性率（ｋｇ／ｍｍ2 ）〕
【０００７】またこの発明は、ポリマ−が芳香族テトラ
カルボン酸成分と芳香族ジアミン成分とからなり、弾性
率が４００ｋｇ／ｍｍ2 以上であるポリイミドフィルム
と、その片面に設けた接着剤とからなり、下記式によっ
て規定されるＸが０．７以上である接着剤付きポリイミ
ドフィルムに、該接着剤を介して金属箔が積層されてい
ることを特徴とする積層体に関するものである。 Ｘ＝（Ｔ１2 ×Ｅ１）／（Ｔ２2 ×Ｅ２×１０2 ） 〔但し、Ｔ１：ポリイミドフィルムの厚み（μｍ）、Ｅ
１：ポリイミドフィルムの弾性率（ｋｇ／ｍｍ2 ），Ｔ
２：硬化後の接着剤の厚み（μｍ）、Ｅ２：硬化後の接
着剤の弾性率（ｋｇ／ｍｍ2 ）〕
カルボン酸成分と芳香族ジアミン成分とからなり、弾性
率が４００ｋｇ／ｍｍ2 以上であるポリイミドフィルム
と、その片面に設けた接着剤とからなり、下記式によっ
て規定されるＸが０．７以上である接着剤付きポリイミ
ドフィルムに、該接着剤を介して金属箔が積層されてい
ることを特徴とする積層体に関するものである。 Ｘ＝（Ｔ１2 ×Ｅ１）／（Ｔ２2 ×Ｅ２×１０2 ） 〔但し、Ｔ１：ポリイミドフィルムの厚み（μｍ）、Ｅ
１：ポリイミドフィルムの弾性率（ｋｇ／ｍｍ2 ），Ｔ
２：硬化後の接着剤の厚み（μｍ）、Ｅ２：硬化後の接
着剤の弾性率（ｋｇ／ｍｍ2 ）〕
【０００８】なお、上記のポリイミドフィルムおよび硬
化後の接着剤の弾性率（ＭＤ）は、ＡＳＴＭ−Ｄ−８８
２に従って求めたものであり、硬化後の接着剤の弾性率
とは積層体とは別に、測定用に接着剤の両面に銅箔を重
ね合わせて硬化後銅箔をエッチングして除いたものにつ
いて求めた弾性率をいう。
化後の接着剤の弾性率（ＭＤ）は、ＡＳＴＭ−Ｄ−８８
２に従って求めたものであり、硬化後の接着剤の弾性率
とは積層体とは別に、測定用に接着剤の両面に銅箔を重
ね合わせて硬化後銅箔をエッチングして除いたものにつ
いて求めた弾性率をいう。
【０００９】この発明において用いられるポリイミドフ
ィルムは、芳香族テトラカルボン酸成分と芳香族ジアミ
ン成分とからなり弾性率が４００ｋｇ／ｍｍ2 以上、好
ましくは４１０ｋｇ／ｍｍ2 以上、特に好ましくは４２
０ｋｇ／ｍｍ2 以上であって、好ましくは耐薬品性が優
れているものである。弾性率が４００ｋｇ／ｍｍ2 より
小さいと、寸法変化率が小さく（従って寸法精度が高く
て）かつ反りの小さいというこの発明の効果を奏する積
層体を得ることが困難になる。
ィルムは、芳香族テトラカルボン酸成分と芳香族ジアミ
ン成分とからなり弾性率が４００ｋｇ／ｍｍ2 以上、好
ましくは４１０ｋｇ／ｍｍ2 以上、特に好ましくは４２
０ｋｇ／ｍｍ2 以上であって、好ましくは耐薬品性が優
れているものである。弾性率が４００ｋｇ／ｍｍ2 より
小さいと、寸法変化率が小さく（従って寸法精度が高く
て）かつ反りの小さいというこの発明の効果を奏する積
層体を得ることが困難になる。
【００１０】このようなポリイミドフィルムは、例え
ば、以下の方法によって好適に製造することができる。
すなわち、５〜１２５μｍの厚みのポリイミドフィルム
を製造する場合には、有機極性溶媒中芳香族テトラカル
ボン酸類と芳香族ジアミン類とから得られる芳香族ポリ
アミック酸の溶液組成物を濾過および脱泡し、ホッパ
−、Ｔダイより金属ドラム、金属ベルトなどの基体上に
均一の厚さに流延し、熱風、赤外線等で６０〜１６０℃
に加熱し溶剤を徐々に除去し自己支持性になるまで前乾
燥を行い、次に金属ドラムまたは金属ベルトより自己支
持性フィルムを剥離し、ついでイミド化するとともに溶
媒等の揮発成分を蒸発・除去してポリイミドフィルムを
製造することができる。
ば、以下の方法によって好適に製造することができる。
すなわち、５〜１２５μｍの厚みのポリイミドフィルム
を製造する場合には、有機極性溶媒中芳香族テトラカル
ボン酸類と芳香族ジアミン類とから得られる芳香族ポリ
アミック酸の溶液組成物を濾過および脱泡し、ホッパ
−、Ｔダイより金属ドラム、金属ベルトなどの基体上に
均一の厚さに流延し、熱風、赤外線等で６０〜１６０℃
に加熱し溶剤を徐々に除去し自己支持性になるまで前乾
燥を行い、次に金属ドラムまたは金属ベルトより自己支
持性フィルムを剥離し、ついでイミド化するとともに溶
媒等の揮発成分を蒸発・除去してポリイミドフィルムを
製造することができる。
【００１１】前記の芳香族テトラカルボン酸類は、好適
には、３，３' ，４，４' −ビフェニルテトラカルボン
酸またはその酸二無水物、あるいはその酸の炭素数１〜
５の低級アルコ−ルエステル化物、２，３，３' ，４'
−ビフェニルテトラカルボン酸またはその酸二無水物、
あるいはその酸の炭素数１〜５の低級アルコ−ルエステ
ル化物などのビフェニルテトラカルボン酸類を、好まし
くは全テトラカルボン酸成分に対して、５０モル％以
上、特に６０モル％以上含有する芳香族テトラカルボン
酸を好適に挙げることができる。特に、３，３' ，４，
４' −ビフェニルテトラカルボン酸またはその酸二無水
物を５０モル％以上、特に好ましくは６０モル％以上含
有する芳香族テトラカルボンを用いると、最終的に得ら
れるポリイミドフィルムの弾性率、耐薬品性などの点に
おいて優れているので好適である。
には、３，３' ，４，４' −ビフェニルテトラカルボン
酸またはその酸二無水物、あるいはその酸の炭素数１〜
５の低級アルコ−ルエステル化物、２，３，３' ，４'
−ビフェニルテトラカルボン酸またはその酸二無水物、
あるいはその酸の炭素数１〜５の低級アルコ−ルエステ
ル化物などのビフェニルテトラカルボン酸類を、好まし
くは全テトラカルボン酸成分に対して、５０モル％以
上、特に６０モル％以上含有する芳香族テトラカルボン
酸を好適に挙げることができる。特に、３，３' ，４，
４' −ビフェニルテトラカルボン酸またはその酸二無水
物を５０モル％以上、特に好ましくは６０モル％以上含
有する芳香族テトラカルボンを用いると、最終的に得ら
れるポリイミドフィルムの弾性率、耐薬品性などの点に
おいて優れているので好適である。
【００１２】また、前記の芳香族テトラカルボン酸成分
として、ビフェニルテトラカルボン酸類の他にピロメリ
ット酸またはその酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸またはその酸二無水物、ビス（３，４−ジカル
ボキシフェニル）メタンまたはその酸二無水物、２，２
−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）プロパンまた
はその酸二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニ
ル）スルホンまたはそれらのの酸二無水物など、あるい
はそれらの炭素数１〜５の低級アルコ−ルエステルを使
用することができる。
として、ビフェニルテトラカルボン酸類の他にピロメリ
ット酸またはその酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸またはその酸二無水物、ビス（３，４−ジカル
ボキシフェニル）メタンまたはその酸二無水物、２，２
−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）プロパンまた
はその酸二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニ
ル）スルホンまたはそれらのの酸二無水物など、あるい
はそれらの炭素数１〜５の低級アルコ−ルエステルを使
用することができる。
【００１３】前記の芳香族ジアミン成分は、例えば、ｐ
−またはｍ−フェニレンジアミン、３，５−ジアミノト
ルエン、２，５−ジアミノトルエンなどフェニレンジア
ミン類を、好ましくは全芳香族ジアミン成分に対して、
５０モル％以上、特に６０モル％以上、さらに好ましく
は７０モル％以上含有する芳香族ジアミン成分を好適に
挙げることができる。特に、ｐ−フェニレンジアミンを
６０モル％以上、特に７０モル％以上の含有率で含有す
る芳香族ジアミン成分を好適に挙げることができる。ｐ
−フェニレンジアミンを５０モル％以上含有する芳香族
ジアミンを用いると、最終的に得られるポリイミドフィ
ルムの耐熱性、弾性率などの点において優れているので
好適である。
−またはｍ−フェニレンジアミン、３，５−ジアミノト
ルエン、２，５−ジアミノトルエンなどフェニレンジア
ミン類を、好ましくは全芳香族ジアミン成分に対して、
５０モル％以上、特に６０モル％以上、さらに好ましく
は７０モル％以上含有する芳香族ジアミン成分を好適に
挙げることができる。特に、ｐ−フェニレンジアミンを
６０モル％以上、特に７０モル％以上の含有率で含有す
る芳香族ジアミン成分を好適に挙げることができる。ｐ
−フェニレンジアミンを５０モル％以上含有する芳香族
ジアミンを用いると、最終的に得られるポリイミドフィ
ルムの耐熱性、弾性率などの点において優れているので
好適である。
【００１４】また、前記芳香族ジアミン成分として、フ
ェニレンジアミン類の他に４，４'−ジアミノジフェニ
ルエ−テル、３，４' −ジアミノジフェニルエ−テル、
３，３' −ジアミノジフェニルエ−テルなどのジアミノ
ジフェニルエ−テル類、４，４' −ジアミノジフェニル
メタン、４，４' −ジアミノジフェニルプロパン、４，
４' −ジアミノジフェニルスルホン、４，４' −ジアミ
ノジフェニルスルフィドなどを使用することができる。
ェニレンジアミン類の他に４，４'−ジアミノジフェニ
ルエ−テル、３，４' −ジアミノジフェニルエ−テル、
３，３' −ジアミノジフェニルエ−テルなどのジアミノ
ジフェニルエ−テル類、４，４' −ジアミノジフェニル
メタン、４，４' −ジアミノジフェニルプロパン、４，
４' −ジアミノジフェニルスルホン、４，４' −ジアミ
ノジフェニルスルフィドなどを使用することができる。
【００１５】前記の芳香族ポリアミック酸は、前述のよ
うに芳香族テトラカルボン酸成分と芳香族ジアミン成分
とから１０〜９０℃程度の低温での重合で得られたポリ
イミド前駆体であると共に、下記の式で算出される対数
粘度（測定温度：３０℃、濃度：０．５ｇ／１００ｍｌ
溶液、溶媒：Ｎ−メチル−２−ピロリドン）が０．１〜
７、特に０．２〜５程度であり、有機極性溶媒に約２〜
５０重量％、特に５〜４０重量％の濃度で均一に溶解し
ているポリマ−であることが好ましい。 対数粘度＝自然対数（溶液粘度／溶媒粘度）／溶液の濃
度
うに芳香族テトラカルボン酸成分と芳香族ジアミン成分
とから１０〜９０℃程度の低温での重合で得られたポリ
イミド前駆体であると共に、下記の式で算出される対数
粘度（測定温度：３０℃、濃度：０．５ｇ／１００ｍｌ
溶液、溶媒：Ｎ−メチル−２−ピロリドン）が０．１〜
７、特に０．２〜５程度であり、有機極性溶媒に約２〜
５０重量％、特に５〜４０重量％の濃度で均一に溶解し
ているポリマ−であることが好ましい。 対数粘度＝自然対数（溶液粘度／溶媒粘度）／溶液の濃
度
【００１６】前記の有機極性溶媒は、前記の芳香族ポリ
アミック酸を均一に溶解することができるものであれば
よく、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ
−ジエチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアセトアミ
ド、Ｎ，Ｎ−ジメチルメトキシアセトアミドなどのＮ，
Ｎ−ジ低級アルキルカルボキシルアミド類、Ｎ−メチル
−２−ピロリドン、ジメチルスルホキシド、ジエチルス
ルホキシド、ジメチルスルホン、ジエチルスルホン、ヘ
キサメチルスルホルアミドなどを挙げることができる。
アミック酸を均一に溶解することができるものであれば
よく、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ
−ジエチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアセトアミ
ド、Ｎ，Ｎ−ジメチルメトキシアセトアミドなどのＮ，
Ｎ−ジ低級アルキルカルボキシルアミド類、Ｎ−メチル
−２−ピロリドン、ジメチルスルホキシド、ジエチルス
ルホキシド、ジメチルスルホン、ジエチルスルホン、ヘ
キサメチルスルホルアミドなどを挙げることができる。
【００１７】この発明に用いられるポリイミドフィルム
は、例えば、前述の芳香族テトラカルボン酸成分と芳香
族ジアミン成分との略等モルを、有機極性溶媒中、約１
００℃以下の低い温度で重合して得られた高分子量の芳
香族ポリアミック酸が、有機極性溶媒に約２〜５０重量
％の濃度で均一に溶解している芳香族ポリアミック酸溶
液を、製膜用ド−プ液として使用し約１６０℃以下の流
延温度で支持体面上に液状の薄膜を形成し、その薄膜を
支持体上で約１５０℃以下の乾燥温度で約０．１〜１時
間乾燥する溶液流延法などの製膜法で形成される好まし
くは厚み９〜２００μｍの自己支持性の固化フィルム
を、加熱してイミド化・溶媒除去して得られる。
は、例えば、前述の芳香族テトラカルボン酸成分と芳香
族ジアミン成分との略等モルを、有機極性溶媒中、約１
００℃以下の低い温度で重合して得られた高分子量の芳
香族ポリアミック酸が、有機極性溶媒に約２〜５０重量
％の濃度で均一に溶解している芳香族ポリアミック酸溶
液を、製膜用ド−プ液として使用し約１６０℃以下の流
延温度で支持体面上に液状の薄膜を形成し、その薄膜を
支持体上で約１５０℃以下の乾燥温度で約０．１〜１時
間乾燥する溶液流延法などの製膜法で形成される好まし
くは厚み９〜２００μｍの自己支持性の固化フィルム
を、加熱してイミド化・溶媒除去して得られる。
【００１８】また、この発明に用いられるポリイミドフ
ィルムは、前述の芳香族テトラカルボン酸成分と芳香族
ジアミン成分との略等モルを、前記溶媒中、約１００℃
以下の低い温度で重合して得られた高分子量の芳香族ポ
リアミック酸溶液に、ピリジン、β−ピコリンなどの第
３級アミン化合物や無水酢酸のような化学変換剤などを
加えて均一に混合して得られた組成物を、製膜用ド−プ
液として使用して約１５０℃以下の流延温度で、支持体
面上にキャストして液状の薄膜を形成する製膜法によっ
て得られる好ましくは厚み９〜２００μｍの自己支持性
の固化フィルムを、加熱処理して得られる。ポリイミド
フィルムは厚み１０〜１２５μｍのものが好適に使用さ
れる。得られたポリイミドフィルムは必要であればさら
にプラズマ処理、コロナ処理によって処理してもよい。
ィルムは、前述の芳香族テトラカルボン酸成分と芳香族
ジアミン成分との略等モルを、前記溶媒中、約１００℃
以下の低い温度で重合して得られた高分子量の芳香族ポ
リアミック酸溶液に、ピリジン、β−ピコリンなどの第
３級アミン化合物や無水酢酸のような化学変換剤などを
加えて均一に混合して得られた組成物を、製膜用ド−プ
液として使用して約１５０℃以下の流延温度で、支持体
面上にキャストして液状の薄膜を形成する製膜法によっ
て得られる好ましくは厚み９〜２００μｍの自己支持性
の固化フィルムを、加熱処理して得られる。ポリイミド
フィルムは厚み１０〜１２５μｍのものが好適に使用さ
れる。得られたポリイミドフィルムは必要であればさら
にプラズマ処理、コロナ処理によって処理してもよい。
【００１９】この発明において使用されるポリイミドフ
ィルムを製造するための前記の製膜用ド−プ液は、リン
含有化合物および微細の無機充填剤を配合したものが好
ましい。リン化合物としては特に制限はないが、例え
ば、モノステアリルリン酸エステル、モノカプロイルリ
ン酸エステル、モノオクチルリン酸エステル、モノラウ
リルリン酸エステル、モノミリスチルリン酸エステル、
ジオクチルリン酸エステル、ジステアリルリン酸エステ
ル等のリン酸エステルやこれらリン酸エステルのアミン
塩が好ましく、無機充填剤としては、コロイダルシリカ
が好ましい。これらの配合量は、芳香族ポリアミック酸
重合体１００重量部に対してリン化合物が０．０１〜１
重量部、微細の無機充填剤が０．０２〜６重量であるこ
とが好ましい。
ィルムを製造するための前記の製膜用ド−プ液は、リン
含有化合物および微細の無機充填剤を配合したものが好
ましい。リン化合物としては特に制限はないが、例え
ば、モノステアリルリン酸エステル、モノカプロイルリ
ン酸エステル、モノオクチルリン酸エステル、モノラウ
リルリン酸エステル、モノミリスチルリン酸エステル、
ジオクチルリン酸エステル、ジステアリルリン酸エステ
ル等のリン酸エステルやこれらリン酸エステルのアミン
塩が好ましく、無機充填剤としては、コロイダルシリカ
が好ましい。これらの配合量は、芳香族ポリアミック酸
重合体１００重量部に対してリン化合物が０．０１〜１
重量部、微細の無機充填剤が０．０２〜６重量であるこ
とが好ましい。
【００２０】この発明において使用される前記のポリイ
ミドフィルムは、自己支持性の固化フィルムを好適には
１００〜４００℃の温度で約０．２〜５時間加熱処理し
て、該フィルムを形成しているポリアミック酸を実質的
にアミド−酸結合の存在しないように、イミド化すると
ともに該フィルムから前記溶媒などの揮発成分を蒸発し
除去することによって製造することが好ましい。
ミドフィルムは、自己支持性の固化フィルムを好適には
１００〜４００℃の温度で約０．２〜５時間加熱処理し
て、該フィルムを形成しているポリアミック酸を実質的
にアミド−酸結合の存在しないように、イミド化すると
ともに該フィルムから前記溶媒などの揮発成分を蒸発し
除去することによって製造することが好ましい。
【００２１】前記の加熱処理は約１００〜１７０℃の比
較的低い温度で約１〜３０分間第一次加熱処理し、次い
で１７０〜２２０℃の温度で約１〜３０分間第二次加熱
処理して、そして２２０〜４００℃の高温で約１〜３０
分間第三次加熱処理するように段階的に行うことが好ま
しい。必要であれば４００〜６００℃の高い温度で第四
次高温加熱処理してもよい。また、２５０℃以上の連続
加熱処理においては、ピンテンタ−、クリップ、枠など
で行うことが好ましい。この高温加熱処理によって揮発
性成分の含有率を、フィルムの厚みが１００μｍ以下の
場合は０．４％（重量％）以下、特に０．３％以下に、
フィルムの厚みが１００μｍより大きい場合でも１．１
％以下、特に０．９％以下にすることが好ましく、こう
することにより積層体にした場合の接着強度にバラツキ
がなく寸法精度・加工性の信頼性が高くなる。
較的低い温度で約１〜３０分間第一次加熱処理し、次い
で１７０〜２２０℃の温度で約１〜３０分間第二次加熱
処理して、そして２２０〜４００℃の高温で約１〜３０
分間第三次加熱処理するように段階的に行うことが好ま
しい。必要であれば４００〜６００℃の高い温度で第四
次高温加熱処理してもよい。また、２５０℃以上の連続
加熱処理においては、ピンテンタ−、クリップ、枠など
で行うことが好ましい。この高温加熱処理によって揮発
性成分の含有率を、フィルムの厚みが１００μｍ以下の
場合は０．４％（重量％）以下、特に０．３％以下に、
フィルムの厚みが１００μｍより大きい場合でも１．１
％以下、特に０．９％以下にすることが好ましく、こう
することにより積層体にした場合の接着強度にバラツキ
がなく寸法精度・加工性の信頼性が高くなる。
【００２２】ポリイミドフィルム中の揮発性成分の含有
率は、次の計算式によって算出される。 揮発性成分（重量％）＝〔（Ｗ0 −Ｗ）／Ｗ0 〕×１０
０ Ｗ0 ：空気中１５０℃×１０分乾燥後の重量（試料：１
００×１００ｍｍ2 ） Ｗ ：空気中４５０℃×２０分乾燥後の重量（試料：１
００×１００ｍｍ2 ）
率は、次の計算式によって算出される。 揮発性成分（重量％）＝〔（Ｗ0 −Ｗ）／Ｗ0 〕×１０
０ Ｗ0 ：空気中１５０℃×１０分乾燥後の重量（試料：１
００×１００ｍｍ2 ） Ｗ ：空気中４５０℃×２０分乾燥後の重量（試料：１
００×１００ｍｍ2 ）
【００２３】この発明の接着剤付きポリイミドフィルム
は、前記の弾性率が４００ｋｇ／ｍｍ2 以上であるポリ
イミドフィルムと、その片面に設けた接着剤とからな
り、下記式によって規定されるＸが０．７以上、好まし
くは１．０以上である接着剤付きポリイミドフィルムで
ある。 Ｘ＝（Ｔ１2 ×Ｅ１）／（Ｔ２2 ×Ｅ２×１０2 ） 〔但し、Ｔ１：ポリイミドフィルムの厚み（μｍ）、Ｅ
１：ポリイミドフィルムの弾性率（ｋｇ／ｍｍ2 ），Ｔ
２：接着剤の厚み（μｍ）、Ｅ２：硬化後の接着剤の弾
性率（ｋｇ／ｍｍ2 ）〕 前記の式で規定されるＸが０．７より小さいと、接着剤
付きポリイミドフィルムの反りが大きくなるので望まし
くない。
は、前記の弾性率が４００ｋｇ／ｍｍ2 以上であるポリ
イミドフィルムと、その片面に設けた接着剤とからな
り、下記式によって規定されるＸが０．７以上、好まし
くは１．０以上である接着剤付きポリイミドフィルムで
ある。 Ｘ＝（Ｔ１2 ×Ｅ１）／（Ｔ２2 ×Ｅ２×１０2 ） 〔但し、Ｔ１：ポリイミドフィルムの厚み（μｍ）、Ｅ
１：ポリイミドフィルムの弾性率（ｋｇ／ｍｍ2 ），Ｔ
２：接着剤の厚み（μｍ）、Ｅ２：硬化後の接着剤の弾
性率（ｋｇ／ｍｍ2 ）〕 前記の式で規定されるＸが０．７より小さいと、接着剤
付きポリイミドフィルムの反りが大きくなるので望まし
くない。
【００２４】この発明の接着剤付きポリイミドフィルム
は、例えば前記ポリイミドフィルムに液状の接着剤を塗
布した後乾燥して、あるいは前記ポリイミドフィルムに
接着剤シ−トを積層して得られる。一般的にはこの接着
剤層を設けたポリイミドフィルムは、前記の接着剤の塗
布乾燥後あるいはポリイミドフィルムと接着剤シ−トと
の積層と同時に金属箔を接着剤面と張り合わせ、接着剤
を硬化して積層体を形成する。
は、例えば前記ポリイミドフィルムに液状の接着剤を塗
布した後乾燥して、あるいは前記ポリイミドフィルムに
接着剤シ−トを積層して得られる。一般的にはこの接着
剤層を設けたポリイミドフィルムは、前記の接着剤の塗
布乾燥後あるいはポリイミドフィルムと接着剤シ−トと
の積層と同時に金属箔を接着剤面と張り合わせ、接着剤
を硬化して積層体を形成する。
【００２５】この発明の接着剤付きポリイミドフィルム
は前記の式で規定されるＸを０．７以上とすることによ
って、硬化後の接着性ポリイミドフィルム、一般的には
金属箔を全面エッチングで除去しポリイミドフィルムと
接着剤（硬化）だけにしたフィルムの局率半径によって
評価される反りを小さくすることができるのである。す
なわち、この発明の接着剤付きポリイミドフィルムは硬
化後の平坦度を示す局率半径が好ましくは１００ｍｍ以
上、特に好ましくは１１０ｍｍ以上であって平坦性が高
い、すなわち反りが小さい。
は前記の式で規定されるＸを０．７以上とすることによ
って、硬化後の接着性ポリイミドフィルム、一般的には
金属箔を全面エッチングで除去しポリイミドフィルムと
接着剤（硬化）だけにしたフィルムの局率半径によって
評価される反りを小さくすることができるのである。す
なわち、この発明の接着剤付きポリイミドフィルムは硬
化後の平坦度を示す局率半径が好ましくは１００ｍｍ以
上、特に好ましくは１１０ｍｍ以上であって平坦性が高
い、すなわち反りが小さい。
【００２６】前記の局率半径はＪＩＳ規格Ｃ５０１２に
示された方法により、以下の計算式で算出された値であ
る。 局率半径＝Ｌ2 ／８ｈ〔Ｌ：試料の長さ（ｍｍ）、ｈ：
反りの高さ（ｍｍ）〕
示された方法により、以下の計算式で算出された値であ
る。 局率半径＝Ｌ2 ／８ｈ〔Ｌ：試料の長さ（ｍｍ）、ｈ：
反りの高さ（ｍｍ）〕
【００２７】この発明において使用される接着剤として
は、エポキシ樹脂系、ポリアミド系、アクリル樹脂系、
ポリイミド系等の耐熱性の熱硬化性接着剤が挙げられ
る。接着剤は溶液タイプであってもよく、あるいはシ−
トタイプでもよい。接着剤は固化後の厚みが４〜６０μ
ｍであることが好ましい。
は、エポキシ樹脂系、ポリアミド系、アクリル樹脂系、
ポリイミド系等の耐熱性の熱硬化性接着剤が挙げられ
る。接着剤は溶液タイプであってもよく、あるいはシ−
トタイプでもよい。接着剤は固化後の厚みが４〜６０μ
ｍであることが好ましい。
【００２８】この発明の接着剤付きポリイミドフィルム
はポリイミドフィルム本来の耐熱性、機械的物性を保持
したままで接着性を有しており、硬化後の反りが少な
く、金属箔との積層体（通常は回路）は反りが従来の積
層体に比較して大幅に改善される。
はポリイミドフィルム本来の耐熱性、機械的物性を保持
したままで接着性を有しており、硬化後の反りが少な
く、金属箔との積層体（通常は回路）は反りが従来の積
層体に比較して大幅に改善される。
【００２９】この発明の積層体は、接着剤付きポリイミ
ドフィルムの接着剤面に金属を積層することによって得
ることができる。前記金属箔としては、電解銅箔、圧延
銅箔、４２アロイなどの金属箔があげられる。
ドフィルムの接着剤面に金属を積層することによって得
ることができる。前記金属箔としては、電解銅箔、圧延
銅箔、４２アロイなどの金属箔があげられる。
【００３０】この発明の積層体は反りが小さく、寸法精
度が高く、高温の作業環境にさらされる用途に好適に使
用される。この発明の積層体は、例えば、ＦＰＣ、ＴＡ
Ｂ等に好適に使用することができる。
度が高く、高温の作業環境にさらされる用途に好適に使
用される。この発明の積層体は、例えば、ＦＰＣ、ＴＡ
Ｂ等に好適に使用することができる。
【００３１】
【実施例】以下にこの発明の実施例を示す。以下の記載
において部は重量部を示す。以下の各例において硬化接
着剤の厚みは、別に接着剤の両面に銅箔を重ね合わせて
硬化後銅箔をエッチングして除いた試料の厚みを、厚み
測定器〔小野測器製作所株式会社製、デジタルダイヤル
ゲ−ジ ＤＧ−７５１〕を用いて測定した。
において部は重量部を示す。以下の各例において硬化接
着剤の厚みは、別に接着剤の両面に銅箔を重ね合わせて
硬化後銅箔をエッチングして除いた試料の厚みを、厚み
測定器〔小野測器製作所株式会社製、デジタルダイヤル
ゲ−ジ ＤＧ−７５１〕を用いて測定した。
【００３２】参考例１ Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド２４７０部中に３，
３' ，４，４' −ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
２９４．３３部とｐ−フェニレンジアミン１０８．１４
部を加え約１０時間反応させてポリアミック酸溶液を得
た。このポリアミック酸の対数粘度は２．６６であり、
溶液の３０℃での粘度は３１００ポイズであった。
３' ，４，４' −ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
２９４．３３部とｐ−フェニレンジアミン１０８．１４
部を加え約１０時間反応させてポリアミック酸溶液を得
た。このポリアミック酸の対数粘度は２．６６であり、
溶液の３０℃での粘度は３１００ポイズであった。
【００３３】参考例２ Ｎ−メチル−２−ピロリドン１９８０部中に３，３' ，
４，４' −ビフェニルテトラカルボン酸二無水物１４
７．２部、ピロメリット酸二無水１００．１部、ｐ−フ
ェニレンジアミン７５．７部、４，４' −ジアミノジフ
ェニルエ−テル６０．６部を加え約６時間反応してポリ
アミック酸溶液を得た。このポリアミック酸の対数粘度
は２．５１であり、溶液の３０℃での粘度は２９００ポ
イズであった。
４，４' −ビフェニルテトラカルボン酸二無水物１４
７．２部、ピロメリット酸二無水１００．１部、ｐ−フ
ェニレンジアミン７５．７部、４，４' −ジアミノジフ
ェニルエ−テル６０．６部を加え約６時間反応してポリ
アミック酸溶液を得た。このポリアミック酸の対数粘度
は２．５１であり、溶液の３０℃での粘度は２９００ポ
イズであった。
【００３４】参考例３ Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド３０３７部中に３，
３' ，４，４' −ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
２９４．２２部と４，４' −ジアミノジフェニルエ−テ
ル２００．２４部を加え室温で約１０時間反応させてポ
リアミック酸溶液を得た。このポリアミック酸の対数粘
度は２．７１であり、溶液の３０℃での粘度は２６００
ポイズであった。
３' ，４，４' −ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
２９４．２２部と４，４' −ジアミノジフェニルエ−テ
ル２００．２４部を加え室温で約１０時間反応させてポ
リアミック酸溶液を得た。このポリアミック酸の対数粘
度は２．７１であり、溶液の３０℃での粘度は２６００
ポイズであった。
【００３５】参考例４ Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド２５７０部中に４，４'
−ジアミノジフェニルエ−テル２００．２４部を添加
後、ピロメリット酸二無水物２１８．１２部を加え約６
時間反応させてポリアミック酸溶液を得た。このポリア
ミック酸の対数粘度は１．６０であり、溶液の３０℃で
の粘度は３００ポイズであった。
−ジアミノジフェニルエ−テル２００．２４部を添加
後、ピロメリット酸二無水物２１８．１２部を加え約６
時間反応させてポリアミック酸溶液を得た。このポリア
ミック酸の対数粘度は１．６０であり、溶液の３０℃で
の粘度は３００ポイズであった。
【００３６】実施例１ 参考例１で調製したポリアミック酸重合体１００部に対
して、モノステアリルリン酸エステルトリエタノ−ルア
ミン塩０．１部およびコロイダルシリカ（シリカの平均
粒子径７５ｎｍ）０．５部（固形分換算）を加え、室温
（２５℃）で６時間攪拌してポリアミック酸組成物を得
た。この組成物をステンレスベルト上に流延塗布し、１
２０℃で１０分間乾燥したのち、ステンレスベルト面よ
り剥がし自己支持性フィルムを得た。得られた自己支持
性フィルムをピンテンタ−で把持して１５０℃で５分間
加熱し、次いで２００℃に昇温してその温度で７分間加
熱し、その温度で７分間熱処理し、さらに２５０℃に昇
温し、その温度で９分間加熱し、最後に４５０℃にまで
昇温し、その温度で７分間熱処理して、ポリマ−のイミ
ド化およびフィルムの乾燥を行って、厚み１２５μｍの
ポリイミドフィルムを製造した。このポリイミドフィル
ムの引張弾性率は７８０ｋｇ／ｍｍ2 で、揮発性成分の
含有率（重量％）は０．７％であった。
して、モノステアリルリン酸エステルトリエタノ−ルア
ミン塩０．１部およびコロイダルシリカ（シリカの平均
粒子径７５ｎｍ）０．５部（固形分換算）を加え、室温
（２５℃）で６時間攪拌してポリアミック酸組成物を得
た。この組成物をステンレスベルト上に流延塗布し、１
２０℃で１０分間乾燥したのち、ステンレスベルト面よ
り剥がし自己支持性フィルムを得た。得られた自己支持
性フィルムをピンテンタ−で把持して１５０℃で５分間
加熱し、次いで２００℃に昇温してその温度で７分間加
熱し、その温度で７分間熱処理し、さらに２５０℃に昇
温し、その温度で９分間加熱し、最後に４５０℃にまで
昇温し、その温度で７分間熱処理して、ポリマ−のイミ
ド化およびフィルムの乾燥を行って、厚み１２５μｍの
ポリイミドフィルムを製造した。このポリイミドフィル
ムの引張弾性率は７８０ｋｇ／ｍｍ2 で、揮発性成分の
含有率（重量％）は０．７％であった。
【００３７】このポリイミドフィルム（ベルト面）と電
解銅箔（３５μｍ）との間に、シ−ト状のポリイミド系
接着剤（硬化後の厚み２０μｍ、ポリイミドシロキサ
ン、フェノ−ルノボラック樹脂およびエポキシ樹脂の重
量比５：２：３からなる組成、硬化後の接着剤の引張弾
性率２２０ｋｇ／ｍｍ2 ）を挟み、１３０℃でラミネ−
ト（ロ−ル使用）して３層体とした。この３層体を１０
０℃で２時間、１２０℃で１時間、１８０℃で６時間加
熱して接着剤を硬化して積層体を作製した。この積層体
の接着強度（１８０度剥離強度、ＡＳＴＭ−Ｄ−９０３
による。）を表１に示す。また、この積層体の銅を塩化
第２鉄水溶液（濃度３０重量％）で全面エッチングし
て、ポリイミドフィルムに接着剤が接着したものを得
た。この局率半径を測定した。
解銅箔（３５μｍ）との間に、シ−ト状のポリイミド系
接着剤（硬化後の厚み２０μｍ、ポリイミドシロキサ
ン、フェノ−ルノボラック樹脂およびエポキシ樹脂の重
量比５：２：３からなる組成、硬化後の接着剤の引張弾
性率２２０ｋｇ／ｍｍ2 ）を挟み、１３０℃でラミネ−
ト（ロ−ル使用）して３層体とした。この３層体を１０
０℃で２時間、１２０℃で１時間、１８０℃で６時間加
熱して接着剤を硬化して積層体を作製した。この積層体
の接着強度（１８０度剥離強度、ＡＳＴＭ−Ｄ−９０３
による。）を表１に示す。また、この積層体の銅を塩化
第２鉄水溶液（濃度３０重量％）で全面エッチングし
て、ポリイミドフィルムに接着剤が接着したものを得
た。この局率半径を測定した。
【００３８】また、前記のポリイミドフィルムをスリッ
トし、３５ｍｍ幅のテ−プとし、その上に２６ｍｍ幅の
テ−プ状のポリイミド系接着剤（厚み２０μｍ、ポリイ
ミドシロキサン、フェノ−ルノボラック樹脂およびエポ
キシ樹脂の重量比５：２：３からなる組成、硬化後の接
着剤の引張弾性率２２０ｋｇ／ｍｍ2 ）をポリイミドテ
−プ（ベルト面）の中央に１２０℃でラミネ−し、接着
剤付きポリイミドテ−プを作製した。この接着剤付きポ
リイミドテ−プにスプロケット穴やデバイスホ−ルをパ
ンチングで開け、銅箔（３５μｍ）を１３０℃で張り合
わせ、接着剤を１００℃で２時間、１２０℃で１時間、
１８０℃で６時間加熱して接着剤を硬化させた。続い
て、この銅張板のポリイミドテ−プの上にＡ、Ｂの２点
を刻印し、この間隔Ａ、Ｂの長さを測定した。さらに、
常法に従いこの銅張板にパタ−ニングを行い、次にエッ
チング、水洗・乾燥工程を経た後、ＩＬ（インナ−リ−
ド）やＯＬ（オウタ−リ−ド）等の回路を形成しＴＡＢ
用キャリアテ−プを作製した（工程中での最高操作温
度：９０℃）。このＴＡＢ用キャリアテ−プにおいて上
記のＡ、Ｂ間の距離を測定した。
トし、３５ｍｍ幅のテ−プとし、その上に２６ｍｍ幅の
テ−プ状のポリイミド系接着剤（厚み２０μｍ、ポリイ
ミドシロキサン、フェノ−ルノボラック樹脂およびエポ
キシ樹脂の重量比５：２：３からなる組成、硬化後の接
着剤の引張弾性率２２０ｋｇ／ｍｍ2 ）をポリイミドテ
−プ（ベルト面）の中央に１２０℃でラミネ−し、接着
剤付きポリイミドテ−プを作製した。この接着剤付きポ
リイミドテ−プにスプロケット穴やデバイスホ−ルをパ
ンチングで開け、銅箔（３５μｍ）を１３０℃で張り合
わせ、接着剤を１００℃で２時間、１２０℃で１時間、
１８０℃で６時間加熱して接着剤を硬化させた。続い
て、この銅張板のポリイミドテ−プの上にＡ、Ｂの２点
を刻印し、この間隔Ａ、Ｂの長さを測定した。さらに、
常法に従いこの銅張板にパタ−ニングを行い、次にエッ
チング、水洗・乾燥工程を経た後、ＩＬ（インナ−リ−
ド）やＯＬ（オウタ−リ−ド）等の回路を形成しＴＡＢ
用キャリアテ−プを作製した（工程中での最高操作温
度：９０℃）。このＴＡＢ用キャリアテ−プにおいて上
記のＡ、Ｂ間の距離を測定した。
【００３９】以下の式を用いて寸法変化率を求めた。こ
の値が小さいほど寸法の変化が小さく寸法精度が良い。 寸法変化率＝〔（Ｌ0 −Ｌ）／Ｌ0 〕×１００（％） Ｌ0 ：エッチング前のＡ、Ｂ間の長さ Ｌ ：エッチング後のＡ、Ｂ間の長さ 結果をまとめて表１および表２に示す。
の値が小さいほど寸法の変化が小さく寸法精度が良い。 寸法変化率＝〔（Ｌ0 −Ｌ）／Ｌ0 〕×１００（％） Ｌ0 ：エッチング前のＡ、Ｂ間の長さ Ｌ ：エッチング後のＡ、Ｂ間の長さ 結果をまとめて表１および表２に示す。
【００４０】実施例２ 接着剤としてシ−ト状のポリイミド系接着剤（硬化後の
厚み２０μｍ、ポリイミドシロキサン、フェノ−ルノボ
ラック樹脂およびエポキシ樹脂の組成、硬化後の接着剤
の引張弾性率１６０ｋｇ／ｍｍ2 ）を用いた他は実施例
１と同様に実施した。結果をまとめて表１および表２に
示す。
厚み２０μｍ、ポリイミドシロキサン、フェノ−ルノボ
ラック樹脂およびエポキシ樹脂の組成、硬化後の接着剤
の引張弾性率１６０ｋｇ／ｍｍ2 ）を用いた他は実施例
１と同様に実施した。結果をまとめて表１および表２に
示す。
【００４１】実施例３ ポリイミドフィルムとして、ポリアミック酸組成物の流
延塗布量を少なくして自己支持性の固化フィルムの厚み
を変えて得た弾性率８１０ｋｇ／ｍｍ2 、揮発性成分含
有率０．２％、厚み７５μｍのポリイミドフィルムを用
い、接着剤として厚みを１０μｍに変えた接着剤を用い
た他は実施例１と同様に実施した。結果をまとめて表１
および表２に示す。
延塗布量を少なくして自己支持性の固化フィルムの厚み
を変えて得た弾性率８１０ｋｇ／ｍｍ2 、揮発性成分含
有率０．２％、厚み７５μｍのポリイミドフィルムを用
い、接着剤として厚みを１０μｍに変えた接着剤を用い
た他は実施例１と同様に実施した。結果をまとめて表１
および表２に示す。
【００４２】実施例４ 接着剤としてシ−ト状のポリイミド系接着剤（硬化後の
厚み２０μｍ、ポリイミドシロキサン、フェノ−ルノボ
ラック樹脂およびエポキシ樹脂の組成、硬化後の接着剤
の引張弾性率１６０ｋｇ／ｍｍ2 ）を用いた他は実施例
３と同様に実施した。結果をまとめて表１および表２に
示す。
厚み２０μｍ、ポリイミドシロキサン、フェノ−ルノボ
ラック樹脂およびエポキシ樹脂の組成、硬化後の接着剤
の引張弾性率１６０ｋｇ／ｍｍ2 ）を用いた他は実施例
３と同様に実施した。結果をまとめて表１および表２に
示す。
【００４３】実施例５ ポリイミドフィルムとして、参考例２で調製したポリア
ミック酸溶液を用いた他は実施例１に記載の方法と同様
にして得た弾性率５８０ｋｇ／ｍｍ2 、揮発性成分含有
率０．９％、厚み１２５μｍのポリイミドフィルムを用
い、接着剤として厚みを１０μｍに変えた接着剤を用い
た他は実施例１と同様に実施した。結果をまとめて表１
および表２に示す。
ミック酸溶液を用いた他は実施例１に記載の方法と同様
にして得た弾性率５８０ｋｇ／ｍｍ2 、揮発性成分含有
率０．９％、厚み１２５μｍのポリイミドフィルムを用
い、接着剤として厚みを１０μｍに変えた接着剤を用い
た他は実施例１と同様に実施した。結果をまとめて表１
および表２に示す。
【００４４】実施例６ 接着剤としてシ−ト状のポリイミド系接着剤（硬化後の
厚み２０μｍ、ポリイミドシロキサン、フェノ−ルノボ
ラック樹脂およびエポキシ樹脂の組成、硬化後の接着剤
の引張弾性率１６０ｋｇ／ｍｍ2 ）を用いた他は実施例
５と同様に実施した。結果をまとめて表１および表２に
示す。
厚み２０μｍ、ポリイミドシロキサン、フェノ−ルノボ
ラック樹脂およびエポキシ樹脂の組成、硬化後の接着剤
の引張弾性率１６０ｋｇ／ｍｍ2 ）を用いた他は実施例
５と同様に実施した。結果をまとめて表１および表２に
示す。
【００４５】実施例７ ポリイミドフィルムとして、ポリアミック酸組成物の流
延塗布量を少なくして自己支持性の固化フィルムの厚み
を変えて得た弾性率５８０ｋｇ／ｍｍ2 、揮発性成分含
有率０．３％、厚み７５μｍのポリイミドフィルムを用
い、接着剤として厚みを１０μｍに変えた接着剤を用い
た他は実施例６と同様に実施した。結果をまとめて表１
および表２に示す。
延塗布量を少なくして自己支持性の固化フィルムの厚み
を変えて得た弾性率５８０ｋｇ／ｍｍ2 、揮発性成分含
有率０．３％、厚み７５μｍのポリイミドフィルムを用
い、接着剤として厚みを１０μｍに変えた接着剤を用い
た他は実施例６と同様に実施した。結果をまとめて表１
および表２に示す。
【００４６】比較例１ ポリイミドフィルムとして弾性率８１０ｋｇ／ｍｍ2 、
揮発性成分含有率０．２％、厚み７５μｍのポリイミド
フィルムを用いた他は実施例１と同様に実施した。結果
をまとめて表１および表２に示す。
揮発性成分含有率０．２％、厚み７５μｍのポリイミド
フィルムを用いた他は実施例１と同様に実施した。結果
をまとめて表１および表２に示す。
【００４７】比較例２ ポリイミドフィルムとして、参考例３で調製したポリア
ミック酸溶液を用い、ポリアミック酸組成物の流延塗布
量を少なくして自己支持性の固化フィルムの厚みを変え
て得た弾性率３８０ｋｇ／ｍｍ2 、揮発性成分含有率
０．５％、厚み７５μｍのポリイミドフィルムを用い、
接着剤としてシ−ト状のポリイミド系接着剤（固化後の
厚み１０μｍ、ポリイミドシロキサン、フェノ−ルノボ
ラック樹脂およびエポキシ樹脂の組成、硬化後の接着剤
の引張弾性率１６０ｋｇ／ｍｍ2 ）を用いた他は実施例
１と同様に実施した。結果をまとめて表１および表２に
示す。
ミック酸溶液を用い、ポリアミック酸組成物の流延塗布
量を少なくして自己支持性の固化フィルムの厚みを変え
て得た弾性率３８０ｋｇ／ｍｍ2 、揮発性成分含有率
０．５％、厚み７５μｍのポリイミドフィルムを用い、
接着剤としてシ−ト状のポリイミド系接着剤（固化後の
厚み１０μｍ、ポリイミドシロキサン、フェノ−ルノボ
ラック樹脂およびエポキシ樹脂の組成、硬化後の接着剤
の引張弾性率１６０ｋｇ／ｍｍ2 ）を用いた他は実施例
１と同様に実施した。結果をまとめて表１および表２に
示す。
【００４８】比較例３ ポリイミドフィルムとして、参考例４で調製したポリア
ミック酸溶液を用い、ポリアミック酸組成物の流延塗布
量を少なくして自己支持性の固化フィルムの厚みを変え
て得た弾性率３１０ｋｇ／ｍｍ2 、揮発性成分含有率
１．２％、厚み７５μｍのポリイミドフィルムを用い、
接着剤としてシ−ト状のポリイミド系接着剤（硬化後の
厚み２０μｍ、ポリイミドシロキサン、フェノ−ルノボ
ラック樹脂およびエポキシ樹脂の組成、硬化後の接着剤
の引張弾性率８０ｋｇ／ｍｍ2 ）を用いた他は実施例１
と同様に実施した。結果をまとめて表１および表２に示
す。
ミック酸溶液を用い、ポリアミック酸組成物の流延塗布
量を少なくして自己支持性の固化フィルムの厚みを変え
て得た弾性率３１０ｋｇ／ｍｍ2 、揮発性成分含有率
１．２％、厚み７５μｍのポリイミドフィルムを用い、
接着剤としてシ−ト状のポリイミド系接着剤（硬化後の
厚み２０μｍ、ポリイミドシロキサン、フェノ−ルノボ
ラック樹脂およびエポキシ樹脂の組成、硬化後の接着剤
の引張弾性率８０ｋｇ／ｍｍ2 ）を用いた他は実施例１
と同様に実施した。結果をまとめて表１および表２に示
す。
【００４９】
【表１】
【００５０】
【表２】
【００５１】
【発明の効果】この発明は以上説明したように構成され
ているので、以下に記載のような効果を奏する。
ているので、以下に記載のような効果を奏する。
【００５２】この発明の接着剤付きポリイミドフィルム
は製造工程での寸法精度が高く、接着剤の硬化後の反り
が小さい。このため、加工性が良好で他部品を実装する
際の位置合わせが良好である。
は製造工程での寸法精度が高く、接着剤の硬化後の反り
が小さい。このため、加工性が良好で他部品を実装する
際の位置合わせが良好である。
【００５３】この接着剤付きポリイミドフィルムを用い
た金属箔との積層体は、接着強度が実用的な範囲で大き
く、種々の製造工程を経て他部品を実装する際の位置合
わせが良好である。
た金属箔との積層体は、接着強度が実用的な範囲で大き
く、種々の製造工程を経て他部品を実装する際の位置合
わせが良好である。
Claims (5)
- 【請求項１】 ポリマ−が芳香族テトラカルボン酸成分
と芳香族ジアミン成分とからなり、弾性率が４００ｋｇ
／ｍｍ2 以上であるポリイミドフィルムと、その片面に
設けた接着剤とからなり、下記式によって規定されるＸ
が０．７以上であることを特徴とする接着剤付きポリイ
ミドフィルム。 Ｘ＝（Ｔ１2 ×Ｅ１）／（Ｔ２2 ×Ｅ２×１０2 ） 〔但し、Ｔ１：ポリイミドフィルムの厚み（μｍ）、Ｅ
１：ポリイミドフィルムの弾性率（ｋｇ／ｍｍ2 ），Ｔ
２：硬化後の接着剤の厚み（μｍ）、Ｅ２：硬化後の接
着剤の弾性率（ｋｇ／ｍｍ2 ）〕 - 【請求項２】 ポリイミドフィルムの厚みが７〜１２５
μｍであり、接着剤の厚みが４〜６０μｍである請求項
１記載の接着剤付きポリイミドフィルム。 - 【請求項３】 ポリマ−が５０モル％以上のビフェニル
テトラカルボン酸成分と５０モル％以上のフェニレンジ
アミン成分とからなるものである請求項１記載の接着剤
付きポリイミドフィルム。 - 【請求項４】 接着剤がポリイミド系である請求項１記
載の接着剤付きポリイミドフィルム。 - 【請求項５】 ポリマ−が芳香族テトラカルボン酸成分
と芳香族ジアミン成分とからなリ、弾性率が４００ｋｇ
／ｍｍ2 以上であるポリイミドフィルムと、その片面に
設けた接着剤とからなり、下記式によって規定されるＸ
が０．７以上である接着剤付きポリイミドフィルムに、
該接着剤を介して金属箔が積層されていることを特徴と
する積層体。 Ｘ＝（Ｔ１2 ×Ｅ１）／（Ｔ２2 ×Ｅ２×１０2 ） 〔但し、Ｔ１：ポリイミドフィルムの厚み（μｍ）、Ｅ
１：ポリイミドフィルムの弾性率（ｋｇ／ｍｍ2 ），Ｔ
２：硬化後の接着剤の厚み（μｍ）、Ｅ２：硬化後の接
着剤の弾性率（ｋｇ／ｍｍ2 ）〕
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28559794A JP3178279B2 (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | 接着剤付きポリイミドフィルムおよび積層体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28559794A JP3178279B2 (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | 接着剤付きポリイミドフィルムおよび積層体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08143827A true JPH08143827A (ja) | 1996-06-04 |
| JP3178279B2 JP3178279B2 (ja) | 2001-06-18 |
Family
ID=17693609
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28559794A Expired - Lifetime JP3178279B2 (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | 接着剤付きポリイミドフィルムおよび積層体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3178279B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001270035A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-02 | Ube Ind Ltd | フレキシブル金属箔積層体 |
| WO2005061227A1 (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-07 | Teijin Limited | 積層体 |
| KR100572646B1 (ko) * | 1998-07-17 | 2006-04-24 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | 폴리이미드계 복합체 및 이 복합체를 사용한 전자 부품, 및 폴리이미드계 수성 분산액 |
| JP2013207145A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | 銅箔、銅張積層体、フレキシブル配線板及び立体成型体 |
| CN115175816A (zh) * | 2020-03-23 | 2022-10-11 | 东洋纺株式会社 | 层叠体 |
-
1994
- 1994-11-18 JP JP28559794A patent/JP3178279B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
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| CN103358618A (zh) * | 2012-03-29 | 2013-10-23 | Jx日矿日石金属株式会社 | 铜箔、镀铜膜层叠体、挠性配线板以及立体成形体 |
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| KR101539839B1 (ko) * | 2012-03-29 | 2015-07-27 | 제이엑스 닛코 닛세키 킨조쿠 가부시키가이샤 | 구리박, 구리 피복 적층체, 플렉시블 배선판 및 입체 성형체 |
| CN115175816A (zh) * | 2020-03-23 | 2022-10-11 | 东洋纺株式会社 | 层叠体 |
| CN115175816B (zh) * | 2020-03-23 | 2024-03-08 | 东洋纺株式会社 | 层叠体 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3178279B2 (ja) | 2001-06-18 |
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