JPH08112923A - サーマルヘッド - Google Patents
サーマルヘッドInfo
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- JPH08112923A JPH08112923A JP25230094A JP25230094A JPH08112923A JP H08112923 A JPH08112923 A JP H08112923A JP 25230094 A JP25230094 A JP 25230094A JP 25230094 A JP25230094 A JP 25230094A JP H08112923 A JPH08112923 A JP H08112923A
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- Japan
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- oxide film
- thermal head
- single crystalline
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 十分な耐摩耗性を維持しながら従来よりも薄
い保護層を形成し、熱応答性の高いサーマルヘッドを提
供すること。 【構成】 基板の表面に形成されたグレーズ層１と、こ
のグレーズ層１上に形成された複数の発熱素子２と、こ
れらの各発熱素子２に電力を供給する個別電極４ｂおよ
び共通電極４ａと、前記グレーズ層１、各発熱素子２お
よび各電極４ａ，４ｂ上に形成された保護層７とを有す
るサーマルヘッドであって、前記グレーズ層１と前記発
熱素子２との間にアンダーコート層として非単結晶質の
酸化膜３を形成するようにしたもの。
い保護層を形成し、熱応答性の高いサーマルヘッドを提
供すること。 【構成】 基板の表面に形成されたグレーズ層１と、こ
のグレーズ層１上に形成された複数の発熱素子２と、こ
れらの各発熱素子２に電力を供給する個別電極４ｂおよ
び共通電極４ａと、前記グレーズ層１、各発熱素子２お
よび各電極４ａ，４ｂ上に形成された保護層７とを有す
るサーマルヘッドであって、前記グレーズ層１と前記発
熱素子２との間にアンダーコート層として非単結晶質の
酸化膜３を形成するようにしたもの。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、サーマルプリンタに搭
載されるサーマルヘッドに関する。
載されるサーマルヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】まず、従来のサーマルヘッドの一般的な
構成を説明する。絶縁性を有するアルミナ基板上に高融
点ガラスを焼成した、いわゆるグレーズドアルミナ基板
上に、ジュール熱を発生させる複数の発熱素子が形成さ
れ、これらの発熱素子に電力を供給するための共通電
極、および個別電極が接続されている。そして、これら
の発熱素子、電極などの上に前記発熱素子が印画時の発
熱により酸化することを防止するための耐酸化層とし
て、たとえばＳｉＯ2 膜が３μｍ成膜され、さらにこの
ＳｉＯ2 膜上には、インクリボンあるいは感熱記録紙と
の摺動による摩耗からヘッドを保護するための耐摩耗層
として、たとえばＴａ2 Ｏ5 膜が４μｍ成膜されてい
る。
構成を説明する。絶縁性を有するアルミナ基板上に高融
点ガラスを焼成した、いわゆるグレーズドアルミナ基板
上に、ジュール熱を発生させる複数の発熱素子が形成さ
れ、これらの発熱素子に電力を供給するための共通電
極、および個別電極が接続されている。そして、これら
の発熱素子、電極などの上に前記発熱素子が印画時の発
熱により酸化することを防止するための耐酸化層とし
て、たとえばＳｉＯ2 膜が３μｍ成膜され、さらにこの
ＳｉＯ2 膜上には、インクリボンあるいは感熱記録紙と
の摺動による摩耗からヘッドを保護するための耐摩耗層
として、たとえばＴａ2 Ｏ5 膜が４μｍ成膜されてい
る。
【０００３】しかしながら、前述の感熱記録紙には多種
多様なものが使用されており、これらの中にはサーマル
ヘッドの耐摩耗層を著しく摩耗させるものがあり、前述
したＴａ2 Ｏ5 系の耐摩耗層では十分な耐摩耗性を得る
ことが難しくなった。
多様なものが使用されており、これらの中にはサーマル
ヘッドの耐摩耗層を著しく摩耗させるものがあり、前述
したＴａ2 Ｏ5 系の耐摩耗層では十分な耐摩耗性を得る
ことが難しくなった。
【０００４】そこで、この問題を解決するために、耐摩
耗性の高いＣｒ−Ｏ−Ｎ系耐摩耗層が開発されている。
この耐摩耗層を用いたサーマルヘッドの具体例として４
μｍのＣｒ−Ｏ−Ｎ系耐摩耗層と３μｍのＳｉＯ2 系耐
酸化層とから構成された保護層を有するサーマルヘッド
は、耐摩耗性の面で十分な信頼性を有するものである。
耗性の高いＣｒ−Ｏ−Ｎ系耐摩耗層が開発されている。
この耐摩耗層を用いたサーマルヘッドの具体例として４
μｍのＣｒ−Ｏ−Ｎ系耐摩耗層と３μｍのＳｉＯ2 系耐
酸化層とから構成された保護層を有するサーマルヘッド
は、耐摩耗性の面で十分な信頼性を有するものである。
【０００５】一方、近年のプリンタには、より高速化よ
り高精細化されることが要求されている。これに対応す
るためにはサーマルヘッドの熱応答性を高めることが必
要であり、前記保護層の厚さはできるだけ薄くすること
が望ましい。
り高精細化されることが要求されている。これに対応す
るためにはサーマルヘッドの熱応答性を高めることが必
要であり、前記保護層の厚さはできるだけ薄くすること
が望ましい。
【０００６】耐摩耗性を維持しながら前記保護層を薄く
する方法としては、前記耐摩耗層の厚さを変えずに耐酸
化層を薄くすることが考えられる。たとえば、ＳｉＯ2
系耐酸化層を１μｍ形成し、その上にＣｒ−Ｏ−Ｎ系耐
摩耗層を４μｍ形成すれば、保護層の総厚としては２μ
ｍ程度薄くしても十分な耐摩耗性が得られることが期待
された。
する方法としては、前記耐摩耗層の厚さを変えずに耐酸
化層を薄くすることが考えられる。たとえば、ＳｉＯ2
系耐酸化層を１μｍ形成し、その上にＣｒ−Ｏ−Ｎ系耐
摩耗層を４μｍ形成すれば、保護層の総厚としては２μ
ｍ程度薄くしても十分な耐摩耗性が得られることが期待
された。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、実際に
サーマルヘッドを作製して耐久試験を行なった結果、こ
の構成からなるサーマルヘッドでは保護層のクラック、
剥離等が発生し、ごく早期に発熱素子が酸化してしまう
のがわかった。この早期破壊の生じた原因は、Ｃｒ−Ｏ
−Ｎ膜のような耐摩耗性に優れる材料は一般的に弾性的
に変形しずらく脆い材料であるために、前記感熱記録紙
とサーマルヘッドとの摺動により発生した応力を保護層
内部で吸収することができないことによるものと考えら
れる。つまり、前述の３μｍに形成されたＳｉＯ2 系の
耐酸化層は酸化防止機能の他に、応力緩和の機能を果た
しているのである。
サーマルヘッドを作製して耐久試験を行なった結果、こ
の構成からなるサーマルヘッドでは保護層のクラック、
剥離等が発生し、ごく早期に発熱素子が酸化してしまう
のがわかった。この早期破壊の生じた原因は、Ｃｒ−Ｏ
−Ｎ膜のような耐摩耗性に優れる材料は一般的に弾性的
に変形しずらく脆い材料であるために、前記感熱記録紙
とサーマルヘッドとの摺動により発生した応力を保護層
内部で吸収することができないことによるものと考えら
れる。つまり、前述の３μｍに形成されたＳｉＯ2 系の
耐酸化層は酸化防止機能の他に、応力緩和の機能を果た
しているのである。
【０００８】そこで、本発明は前述した従来のものにお
ける問題点を克服し、十分な耐摩耗性を維持しながら従
来よりも薄い保護層を形成し、熱応答性の高いサーマル
ヘッドを提供することを目的とする。
ける問題点を克服し、十分な耐摩耗性を維持しながら従
来よりも薄い保護層を形成し、熱応答性の高いサーマル
ヘッドを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明の請求項１に記載のサーマルヘッドは、
基板の表面に形成されたグレーズ層と、このグレーズ層
上に形成された複数の発熱素子と、これらの各発熱素子
に電力を供給する個別電極および共通電極と、前記グレ
ーズ層、各発熱素子および各電極上に形成された保護層
とを有するサーマルヘッドであって、前記グレーズ層と
前記発熱素子との間にアンダーコート層として非単結晶
質の酸化膜を形成したことを特徴としている。
ために、本発明の請求項１に記載のサーマルヘッドは、
基板の表面に形成されたグレーズ層と、このグレーズ層
上に形成された複数の発熱素子と、これらの各発熱素子
に電力を供給する個別電極および共通電極と、前記グレ
ーズ層、各発熱素子および各電極上に形成された保護層
とを有するサーマルヘッドであって、前記グレーズ層と
前記発熱素子との間にアンダーコート層として非単結晶
質の酸化膜を形成したことを特徴としている。
【００１０】また、請求項２に記載の本発明のサーマル
ヘッドは、基板の表面に形成されたグレーズ層と、この
グレーズ層上に形成された複数の発熱素子と、これらの
各発熱素子に電力を供給する個別電極および共通電極
と、前記グレーズ層、各発熱素子および各電極上に形成
された保護層とを有するサーマルヘッドであって、前記
保護層を２層構造とし、下層を耐酸化層として非単結晶
質の酸化膜により形成し、上層を耐摩耗層としたことを
特徴としている。
ヘッドは、基板の表面に形成されたグレーズ層と、この
グレーズ層上に形成された複数の発熱素子と、これらの
各発熱素子に電力を供給する個別電極および共通電極
と、前記グレーズ層、各発熱素子および各電極上に形成
された保護層とを有するサーマルヘッドであって、前記
保護層を２層構造とし、下層を耐酸化層として非単結晶
質の酸化膜により形成し、上層を耐摩耗層としたことを
特徴としている。
【００１１】また、請求項３に記載の本発明のサーマル
ヘッドは、請求項１または請求項２において、非単結晶
質の酸化膜を非単結晶質の酸化アルミニウム膜により形
成したことを特徴としている。
ヘッドは、請求項１または請求項２において、非単結晶
質の酸化膜を非単結晶質の酸化アルミニウム膜により形
成したことを特徴としている。
【００１２】また、請求項４に記載の本発明のサーマル
ヘッドは、請求項１または請求項２において、非単結晶
質の酸化膜を非単結晶質の酸化ジルコニウム膜により形
成したことを特徴としている。
ヘッドは、請求項１または請求項２において、非単結晶
質の酸化膜を非単結晶質の酸化ジルコニウム膜により形
成したことを特徴としている。
【００１３】また、請求項５に記載の本発明のサーマル
ヘッドは、請求項１または請求項２において、非単結晶
質の酸化膜を非単結晶質の酸化イットリウム膜により形
成したことを特徴としている。
ヘッドは、請求項１または請求項２において、非単結晶
質の酸化膜を非単結晶質の酸化イットリウム膜により形
成したことを特徴としている。
【００１４】
【作用】 前述した構成からなる請求項１に記載のサー
マルヘッドによれば、グレーズ層上にアンダーコート層
として降伏強さや弾性限が高くクラックが発生しにくい
非単結晶質の酸化膜を形成するため、感熱記録紙との摺
動により発生した応力の一部はアンダーコート層で吸収
され、保護層に作用する応力を軽減することができると
ともに、グレーズ層を脆性破壊から保護する役割を有す
る。
マルヘッドによれば、グレーズ層上にアンダーコート層
として降伏強さや弾性限が高くクラックが発生しにくい
非単結晶質の酸化膜を形成するため、感熱記録紙との摺
動により発生した応力の一部はアンダーコート層で吸収
され、保護層に作用する応力を軽減することができると
ともに、グレーズ層を脆性破壊から保護する役割を有す
る。
【００１５】また、請求項２に記載のサーマルヘッドに
よれば、保護層の下層が耐酸化層として弾性変形しやす
く、クラックの発生しにくい非単結晶質の酸化膜により
形成しているので感熱記録紙との摺動により発生した応
力は主にこの非単結晶質の酸化膜で吸収され、クラッ
ク、剥離等の早期破壊を防止できる。
よれば、保護層の下層が耐酸化層として弾性変形しやす
く、クラックの発生しにくい非単結晶質の酸化膜により
形成しているので感熱記録紙との摺動により発生した応
力は主にこの非単結晶質の酸化膜で吸収され、クラッ
ク、剥離等の早期破壊を防止できる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明を図１乃至図２に示す実施例に
より説明する。これらの図面は作図の便宜上、グレーズ
層１の断面形状を平面形状に描かれているが、実際には
中央部に凸部を有する形状に形成されているものであ
る。
より説明する。これらの図面は作図の便宜上、グレーズ
層１の断面形状を平面形状に描かれているが、実際には
中央部に凸部を有する形状に形成されているものであ
る。
【００１７】図１は本発明の第１実施例としてのサーマ
ルヘッドの部分断面構成図を示しており、Ａｌ2 Ｏ3 等
の絶縁性基板（図示せず）の表面上に保温層として機能
するグレーズ層１が形成されている。そして、従来のサ
ーマルヘッドであれば、このグレーズ層１の上面に直接
発熱素子２が形成されるが、第１実施例では、前記発熱
素子２の形成前に、非単結晶質の酸化膜である非晶質酸
化アルミニウム膜や非晶質酸化ジルコニウム膜、もしく
は非晶質酸化イットリウム膜等の弾性限の高い非晶質酸
化膜３が、グレーズ層１の全面に約０．２μｍ成膜さ
れ、アンダーコート層を構成している。この非晶質酸化
アルミニウム膜等の非晶質酸化膜３は、アルミナのター
ゲットをＡｒ雰囲気でスパッタリングすることにより成
膜されている。
ルヘッドの部分断面構成図を示しており、Ａｌ2 Ｏ3 等
の絶縁性基板（図示せず）の表面上に保温層として機能
するグレーズ層１が形成されている。そして、従来のサ
ーマルヘッドであれば、このグレーズ層１の上面に直接
発熱素子２が形成されるが、第１実施例では、前記発熱
素子２の形成前に、非単結晶質の酸化膜である非晶質酸
化アルミニウム膜や非晶質酸化ジルコニウム膜、もしく
は非晶質酸化イットリウム膜等の弾性限の高い非晶質酸
化膜３が、グレーズ層１の全面に約０．２μｍ成膜さ
れ、アンダーコート層を構成している。この非晶質酸化
アルミニウム膜等の非晶質酸化膜３は、アルミナのター
ゲットをＡｒ雰囲気でスパッタリングすることにより成
膜されている。
【００１８】その後、Ｔａ2 Ｎなどからなる発熱素子２
がスパッタリングあるいは蒸着などにより成膜され、そ
の後エッチングによりパターニングされる。このパター
ニングされた発熱素子２の両側上面には、各発熱素子２
に給電するための共通電極４ａおよび個別電極４ｂがそ
れぞれ形成されている。
がスパッタリングあるいは蒸着などにより成膜され、そ
の後エッチングによりパターニングされる。このパター
ニングされた発熱素子２の両側上面には、各発熱素子２
に給電するための共通電極４ａおよび個別電極４ｂがそ
れぞれ形成されている。
【００１９】そして、前記非晶質酸化膜３、発熱素子２
および電極の上面には、これらを覆うようにしてＳｉ−
Ａｌ−Ｏ−Ｎ（以下、ＳｉＡｌＯＮと略す）系の材料に
よる０．２μｍの膜厚の耐酸化層５と、Ｃｒ−Ｏ−Ｎ系
の材料による０．８μｍの膜厚の耐摩耗層６とを交互に
計５回繰り返し積層された保護層７が形成されている。
つまり、計１０層（５μｍ）に積層された保護層７とさ
れている。
および電極の上面には、これらを覆うようにしてＳｉ−
Ａｌ−Ｏ−Ｎ（以下、ＳｉＡｌＯＮと略す）系の材料に
よる０．２μｍの膜厚の耐酸化層５と、Ｃｒ−Ｏ−Ｎ系
の材料による０．８μｍの膜厚の耐摩耗層６とを交互に
計５回繰り返し積層された保護層７が形成されている。
つまり、計１０層（５μｍ）に積層された保護層７とさ
れている。
【００２０】つぎに、前述した第１実施例の作用を説明
する。
する。
【００２１】前記非晶質酸化アルミニウム膜等の非晶質
酸化膜は、弾性限が高く、かつ、高強度ゆえクラックが
発生しにくい特性を有しているため、これを発熱素子２
のアンダーコート層とすることにより、感熱記録紙との
摺動により発生した応力の一部はこのアンダーコート層
で吸収され前記保護層７に作用する応力を軽減するとと
もに、下層の比較的脆い材料であるグレーズ層１を保護
する役割を果たしている。
酸化膜は、弾性限が高く、かつ、高強度ゆえクラックが
発生しにくい特性を有しているため、これを発熱素子２
のアンダーコート層とすることにより、感熱記録紙との
摺動により発生した応力の一部はこのアンダーコート層
で吸収され前記保護層７に作用する応力を軽減するとと
もに、下層の比較的脆い材料であるグレーズ層１を保護
する役割を果たしている。
【００２２】また、実際にこの構成からなるサーマルヘ
ッドについて、耐久試験を行なったところ、クラック、
剥離等の早期破壊は生じず、実用的にも十分な耐久性が
得られた。
ッドについて、耐久試験を行なったところ、クラック、
剥離等の早期破壊は生じず、実用的にも十分な耐久性が
得られた。
【００２３】以上のような第１実施例のサーマルヘッド
によれば、非晶質酸化アルミニウム膜等の非晶質酸化膜
をアンダーコート層として使用したことにより、保護層
７の内部応力が緩和されるとともにグレーズ層１も保護
される。したがって、前記保護層７は従来の保護層７よ
りも厚さを２μｍ薄く形成したにもかかわらず、十分な
耐摩耗性を維持することができるため、熱応答性の高い
サーマルヘッドを得ることができる。
によれば、非晶質酸化アルミニウム膜等の非晶質酸化膜
をアンダーコート層として使用したことにより、保護層
７の内部応力が緩和されるとともにグレーズ層１も保護
される。したがって、前記保護層７は従来の保護層７よ
りも厚さを２μｍ薄く形成したにもかかわらず、十分な
耐摩耗性を維持することができるため、熱応答性の高い
サーマルヘッドを得ることができる。
【００２４】つぎに、図２に本発明のサーマルヘッドの
第２実施例を示す。
第２実施例を示す。
【００２５】第２実施例のサーマルヘッドは２層から構
成される保護層７のうちの下層を非晶質酸化膜３により
成膜したことを特徴としている。つまり、耐酸化層５と
耐摩耗層６からなる保護層７のうち、下層に形成される
耐酸化層５を前記非晶質酸化膜３により形成して、その
高弾性材料の特徴を活かそうとするものである。
成される保護層７のうちの下層を非晶質酸化膜３により
成膜したことを特徴としている。つまり、耐酸化層５と
耐摩耗層６からなる保護層７のうち、下層に形成される
耐酸化層５を前記非晶質酸化膜３により形成して、その
高弾性材料の特徴を活かそうとするものである。
【００２６】まず、Ａｌ2 Ｏ3 等の絶縁性基板（図示せ
ず）の表面上に保温層たる前記グレーズ層１が形成さ
れ、このグレーズ層１の上面には、Ｔａ2 Ｎなどの発熱
素子２がスパッタリングあるいは蒸着などにより成膜さ
れ、その後エッチングによりパターニングされる。この
パターニングされた発熱素子２の両側上面には、各発熱
素子２に給電するための共通電極４ａ及び個別電極４ｂ
がそれぞれ形成されている。
ず）の表面上に保温層たる前記グレーズ層１が形成さ
れ、このグレーズ層１の上面には、Ｔａ2 Ｎなどの発熱
素子２がスパッタリングあるいは蒸着などにより成膜さ
れ、その後エッチングによりパターニングされる。この
パターニングされた発熱素子２の両側上面には、各発熱
素子２に給電するための共通電極４ａ及び個別電極４ｂ
がそれぞれ形成されている。
【００２７】そして、これらのグレーズ層１、発熱素子
２及び電極４を覆うようにして非晶質酸化アルミニウム
膜や非晶質酸化ジルコニウム膜もしくは非晶質酸化イッ
トリウム膜等の非晶質酸化膜が、たとえば非晶質酸化ア
ルミニウムの場合にはアルミナのターゲットをＡｒ雰囲
気でスパッタリングする方法により１μｍの厚さに成膜
され、耐酸化層５が形成される。さらに、この耐酸化層
５の上面にはＣｒ−Ｏ−Ｎ膜が４μｍの厚さに成膜され
耐摩耗層６が形成され、両者が発熱素子２等の保護層７
として機能する。
２及び電極４を覆うようにして非晶質酸化アルミニウム
膜や非晶質酸化ジルコニウム膜もしくは非晶質酸化イッ
トリウム膜等の非晶質酸化膜が、たとえば非晶質酸化ア
ルミニウムの場合にはアルミナのターゲットをＡｒ雰囲
気でスパッタリングする方法により１μｍの厚さに成膜
され、耐酸化層５が形成される。さらに、この耐酸化層
５の上面にはＣｒ−Ｏ−Ｎ膜が４μｍの厚さに成膜され
耐摩耗層６が形成され、両者が発熱素子２等の保護層７
として機能する。
【００２８】つぎに、第２実施例の作用について説明す
る。
る。
【００２９】前述した非晶質酸化アルミニウム膜等の非
晶質酸化膜３は、降伏強さが高く、さらに弾性変形しや
すいとともに、クラックが発生しにくいという材料特性
を有している。したがって、これらを保護層７の下層と
して成膜することにより、サーマルヘッドと感熱記録紙
との摺動により発生した応力は、主にこの非晶質酸化ア
ルミニウム膜で吸収され、クラック、剥離等の早期破壊
は起こらなくなる。
晶質酸化膜３は、降伏強さが高く、さらに弾性変形しや
すいとともに、クラックが発生しにくいという材料特性
を有している。したがって、これらを保護層７の下層と
して成膜することにより、サーマルヘッドと感熱記録紙
との摺動により発生した応力は、主にこの非晶質酸化ア
ルミニウム膜で吸収され、クラック、剥離等の早期破壊
は起こらなくなる。
【００３０】このように第２実施例のサーマルヘッドの
構成によれば、保護層７の下層を非晶質酸化アルミニウ
ム膜等の降伏強さや弾性限の高い非晶質酸化膜３により
形成したため、サーマルヘッドと感熱記録紙との摺動に
より発生した応力は、前記保護層７の下層で緩和され
る。
構成によれば、保護層７の下層を非晶質酸化アルミニウ
ム膜等の降伏強さや弾性限の高い非晶質酸化膜３により
形成したため、サーマルヘッドと感熱記録紙との摺動に
より発生した応力は、前記保護層７の下層で緩和され
る。
【００３１】したがって、十分な耐摩耗性を維持しなが
ら保護層７を薄くすることができるため、熱応答性の高
いサーマルヘッドを得ることができる。
ら保護層７を薄くすることができるため、熱応答性の高
いサーマルヘッドを得ることができる。
【００３２】なお、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、必要に応じて変更することができる。
のではなく、必要に応じて変更することができる。
【００３３】たとえば、耐摩耗層６としてＣｒ−Ｏ−Ｎ
系材料以外の硬質材を使用してもよいし、この場合で
も、非晶質アルミナ膜等の非晶質酸化膜３によるアンダ
ーコート層の効果は同様に期待できるものである。
系材料以外の硬質材を使用してもよいし、この場合で
も、非晶質アルミナ膜等の非晶質酸化膜３によるアンダ
ーコート層の効果は同様に期待できるものである。
【００３４】また、本発明に用いられる非単結晶質の酸
化膜としては、上述した非晶質膜に限らず微結晶体の集
合である多結晶体、あるいは特に最近注目されているナ
ノ結晶体からなる酸化膜であっても同様な効果が得られ
るものである。
化膜としては、上述した非晶質膜に限らず微結晶体の集
合である多結晶体、あるいは特に最近注目されているナ
ノ結晶体からなる酸化膜であっても同様な効果が得られ
るものである。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように本発明のサーマルヘ
ッドによれば、非晶質酸化アルミニウム膜等の降伏強さ
や弾性限の高い非単結晶質の酸化膜を発熱素子の下にア
ンダーコート層として使用するため、保護層内部の応力
が緩和されるとともにグレーズ層も保護される。
ッドによれば、非晶質酸化アルミニウム膜等の降伏強さ
や弾性限の高い非単結晶質の酸化膜を発熱素子の下にア
ンダーコート層として使用するため、保護層内部の応力
が緩和されるとともにグレーズ層も保護される。
【００３６】また、前記非単結晶質の酸化膜を保護層の
耐酸化層として使用することにより、感熱記録紙との摺
動により発生する応力を保護層の下層で緩和することが
できる。
耐酸化層として使用することにより、感熱記録紙との摺
動により発生する応力を保護層の下層で緩和することが
できる。
【００３７】したがって、十分な耐摩耗性を維持しなが
ら保護層を薄くすることができるため、熱応答性の高い
サーマルヘッドを得ることができる。
ら保護層を薄くすることができるため、熱応答性の高い
サーマルヘッドを得ることができる。
【図１】本発明の第１実施例のサーマルヘッドの縦断面
図
図
【図２】本発明の第２実施例のサーマルヘッドの縦断面
図
図
１ グレーズ層 ２ 発熱素子 ３ 非晶質酸化膜 ４ａ 共通電極、４ｂ 個別電極 ５ 耐酸化層 ６ 耐摩耗層 ７ 保護層
フロントページの続き (72)発明者 対馬 登 東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アルプ ス電気株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 基板の表面に形成されたグレーズ層と、
このグレーズ層上に形成された複数の発熱素子と、これ
らの各発熱素子に電力を供給する個別電極および共通電
極と、前記グレーズ層、各発熱素子および各電極上に形
成された保護層とを有するサーマルヘッドであって、前
記グレーズ層と前記発熱素子との間にアンダーコート層
として非単結晶質の酸化膜を形成したことを特徴とする
サーマルヘッド。 - 【請求項２】 基板の表面に形成されたグレーズ層と、
このグレーズ層上に形成された複数の発熱素子と、これ
らの各発熱素子に電力を供給する個別電極および共通電
極と、前記グレーズ層、各発熱素子および各電極上に形
成された保護層とを有するサーマルヘッドであって、前
記保護層を２層構造とし、下層を耐酸化層として非単結
晶質の酸化膜により形成し、上層を耐摩耗層としたこと
を特徴とするサーマルヘッド。 - 【請求項３】 前記非単結晶質の酸化膜を非単結晶質の
酸化アルミニウム膜により形成したことを特徴とする前
記請求項１または請求項２に記載のサーマルヘッド。 - 【請求項４】 前記非単結晶質の酸化膜を非単結晶質の
酸化ジルコニウム膜により形成したことを特徴とする前
記請求項１または請求項２に記載のサーマルヘッド。 - 【請求項５】 前記非単結晶質の酸化膜を非単結晶質の
酸化イットリウム膜により形成したことを特徴とする前
記請求項１または請求項２に記載のサーマルヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25230094A JPH08112923A (ja) | 1994-10-18 | 1994-10-18 | サーマルヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25230094A JPH08112923A (ja) | 1994-10-18 | 1994-10-18 | サーマルヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08112923A true JPH08112923A (ja) | 1996-05-07 |
Family
ID=17235337
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25230094A Withdrawn JPH08112923A (ja) | 1994-10-18 | 1994-10-18 | サーマルヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08112923A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009157269A1 (ja) * | 2008-06-26 | 2009-12-30 | 京セラ株式会社 | 記録ヘッド、および該記録ヘッドを備える記録装置 |
-
1994
- 1994-10-18 JP JP25230094A patent/JPH08112923A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009157269A1 (ja) * | 2008-06-26 | 2009-12-30 | 京セラ株式会社 | 記録ヘッド、および該記録ヘッドを備える記録装置 |
| CN102076502A (zh) * | 2008-06-26 | 2011-05-25 | 京瓷株式会社 | 记录头以及具有该记录头的记录装置 |
| JP5031900B2 (ja) * | 2008-06-26 | 2012-09-26 | 京セラ株式会社 | 記録ヘッド、および該記録ヘッドを備える記録装置 |
| US8325209B2 (en) | 2008-06-26 | 2012-12-04 | Kyocera Corporation | Recording head and recording apparatus provided with the recording head |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020115 |