JPH0768816A - サーマルヘッド - Google Patents
サーマルヘッドInfo
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- JPH0768816A JPH0768816A JP23898993A JP23898993A JPH0768816A JP H0768816 A JPH0768816 A JP H0768816A JP 23898993 A JP23898993 A JP 23898993A JP 23898993 A JP23898993 A JP 23898993A JP H0768816 A JPH0768816 A JP H0768816A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 インクリボンを用いた普通紙への印字品質が
良好で、また感熱記録紙を用いた場合でも耐摩耗性が良
好な長寿命のものとすること。 【構成】 保護層６Ａの上層として耐摩耗性の良好な酸
化クロムと高融点金属の窒化物（ＣｒＮ、ＴｉＮ等）の
混合体、または耐摩耗性の良好な酸化クロムと高融点金
属の炭化物（ＣｒＣ、ＴｉＣ等）の混合体からなる耐摩
耗層８Ａを設け、保護層６Ａの下層として耐クラック性
に良好なＳＩＡＬＯＮまたはＳｉ−Ｏ−Ｎからなる耐ク
ラック層７Ａを設けている。
良好で、また感熱記録紙を用いた場合でも耐摩耗性が良
好な長寿命のものとすること。 【構成】 保護層６Ａの上層として耐摩耗性の良好な酸
化クロムと高融点金属の窒化物（ＣｒＮ、ＴｉＮ等）の
混合体、または耐摩耗性の良好な酸化クロムと高融点金
属の炭化物（ＣｒＣ、ＴｉＣ等）の混合体からなる耐摩
耗層８Ａを設け、保護層６Ａの下層として耐クラック性
に良好なＳＩＡＬＯＮまたはＳｉ−Ｏ−Ｎからなる耐ク
ラック層７Ａを設けている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、サーマルプリンタに使
用されるサーマルヘッドに係り、特に感熱記録紙を用い
ての記録に際し、耐摩耗性が良くしかも長寿命の保護層
を有するサーマルヘッドに関する。
用されるサーマルヘッドに係り、特に感熱記録紙を用い
ての記録に際し、耐摩耗性が良くしかも長寿命の保護層
を有するサーマルヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】サーマルプリンタに搭載されるサーマル
ヘッドは、例えば、複数個の発熱素子を同一基板上に直
線的に配列し、所望の印字情報にしたがってこれらの発
熱素子に選択的に通電し加熱させせ、感熱記録紙を発色
記録させるか、あるいはインクリボンを介して普通紙に
転写記録するために用いられている。
ヘッドは、例えば、複数個の発熱素子を同一基板上に直
線的に配列し、所望の印字情報にしたがってこれらの発
熱素子に選択的に通電し加熱させせ、感熱記録紙を発色
記録させるか、あるいはインクリボンを介して普通紙に
転写記録するために用いられている。
【０００３】図３は従来のサーマルヘッドを示したもの
で、アルミナ等のセラミックからなる絶縁性基板１上に
は、保温層として機能するガラス等からなるグレーズ層
２が形成されており、このグレーズ層２は、その上面の
断面形状が２段の凸部をなすように形成されているこの
グレーズ層２の凸部２ａの上面には、Ｔａ2 Ｎ等からな
る発熱素子３が、蒸着あるいはスパッタリング等により
絶縁性基板１及びグレーズ層２の表面に膜状に被着され
た後、フォトリソ技術によりエッチングされて複数個直
線上に整列して形成されており、これら発熱素子３上の
一側には、各発熱素子３に接続される共通電極４が形成
されている。
で、アルミナ等のセラミックからなる絶縁性基板１上に
は、保温層として機能するガラス等からなるグレーズ層
２が形成されており、このグレーズ層２は、その上面の
断面形状が２段の凸部をなすように形成されているこの
グレーズ層２の凸部２ａの上面には、Ｔａ2 Ｎ等からな
る発熱素子３が、蒸着あるいはスパッタリング等により
絶縁性基板１及びグレーズ層２の表面に膜状に被着され
た後、フォトリソ技術によりエッチングされて複数個直
線上に整列して形成されており、これら発熱素子３上の
一側には、各発熱素子３に接続される共通電極４が形成
されている。
【０００４】また、前記各発熱素子３の他側には、各発
熱素子３に独立して選択的に通電を行なう個別電極５が
それぞれ接続されており、前記共通電極４および個別電
極５は、例えばアルミニウム、銅からなり、蒸着あるい
はスパッタリング等により絶縁性基板１、グレーズ層２
および各発熱素子３上に被着された後、フォトリソ技術
によりエッチングされて所望形状のパターンに形成され
ている。
熱素子３に独立して選択的に通電を行なう個別電極５が
それぞれ接続されており、前記共通電極４および個別電
極５は、例えばアルミニウム、銅からなり、蒸着あるい
はスパッタリング等により絶縁性基板１、グレーズ層２
および各発熱素子３上に被着された後、フォトリソ技術
によりエッチングされて所望形状のパターンに形成され
ている。
【０００５】さらに、これらの発熱素子３、共通電極４
および個別電極５の表面には、前記発熱素子３および各
電極４、５を保護するほぼ７〜１０μｍの膜厚の保護層
６が形成されており、この保護層６は、前記各電極４、
５の端子部以外の全ての表面を被覆している。
および個別電極５の表面には、前記発熱素子３および各
電極４、５を保護するほぼ７〜１０μｍの膜厚の保護層
６が形成されており、この保護層６は、前記各電極４、
５の端子部以外の全ての表面を被覆している。
【０００６】ところで、前記保護層６は、各発熱素子３
を酸化による劣化から保護するＳｉＯ2 等からなるほぼ
２μｍの膜厚の耐酸化層７と、この耐酸化層７の上面に
積層されインクリボン等の接触による摩耗から発熱素子
３および各電極４、５を保護するＴａ2 Ｏ5 等からなる
ほぼ５〜８μｍの膜厚の耐摩耗層８とにより構成されて
おり、この保護層６をなす耐酸化層７および耐摩耗層８
は、スパッタリング等の手段により順次積層するように
して形成される。
を酸化による劣化から保護するＳｉＯ2 等からなるほぼ
２μｍの膜厚の耐酸化層７と、この耐酸化層７の上面に
積層されインクリボン等の接触による摩耗から発熱素子
３および各電極４、５を保護するＴａ2 Ｏ5 等からなる
ほぼ５〜８μｍの膜厚の耐摩耗層８とにより構成されて
おり、この保護層６をなす耐酸化層７および耐摩耗層８
は、スパッタリング等の手段により順次積層するように
して形成される。
【０００７】このようなサーマルヘッドを用いる熱転写
プリンタにおいては、このサーマルヘッドをプラテンの
前方に搬送される所定の用紙にインクリボンを介して圧
接させた状態で、所定の印字信号に基づいて発熱素子３
の個別電極５に選択的に通電を行ない、所望の発熱素子
３を選択的に発熱させることにより、前記インクリボン
のインクの部分に溶融して用紙に転写し、用紙上に所望
の印字を行なうことができる。
プリンタにおいては、このサーマルヘッドをプラテンの
前方に搬送される所定の用紙にインクリボンを介して圧
接させた状態で、所定の印字信号に基づいて発熱素子３
の個別電極５に選択的に通電を行ない、所望の発熱素子
３を選択的に発熱させることにより、前記インクリボン
のインクの部分に溶融して用紙に転写し、用紙上に所望
の印字を行なうことができる。
【０００８】そして近年、このような熱転写プリンタに
あっても、印字の高品質化が要望されており、これを実
現するために、サーマルヘッドの発熱素子３の中心から
インクリボンの剥離をおこなう絶縁性基板１の端部まで
の寸法を小さくするとともに、グレーズ層２の凸部２ａ
をおおきく突出させて、この凸部２ａの上に発熱素子３
を形成するようにしている。
あっても、印字の高品質化が要望されており、これを実
現するために、サーマルヘッドの発熱素子３の中心から
インクリボンの剥離をおこなう絶縁性基板１の端部まで
の寸法を小さくするとともに、グレーズ層２の凸部２ａ
をおおきく突出させて、この凸部２ａの上に発熱素子３
を形成するようにしている。
【０００９】このような構成にすることにより、発熱素
子３の発熱により溶融されたインクリボンのインクが冷
却固化する前に用紙からインクリボンを剥離することが
できるとともに、サーマルヘッドの発熱部にプラテンの
圧接荷重が集中的に作用するため、インクリボンを用い
ての用紙への良好な印字をおこなうことができる。
子３の発熱により溶融されたインクリボンのインクが冷
却固化する前に用紙からインクリボンを剥離することが
できるとともに、サーマルヘッドの発熱部にプラテンの
圧接荷重が集中的に作用するため、インクリボンを用い
ての用紙への良好な印字をおこなうことができる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来のサーマルヘッドにおいては、インクリボンを用
いての印字品質は向上したものの、インクリボンを用い
ない感熱記録紙への印字の際には、保護層６の摩耗が大
きく、このために生じるサーマルヘッドの破壊が問題と
なっていたこれはサーマルヘッドを前述のような構成と
したため、Ｔａ2 Ｏ5 等からなる保護層６が、一般に感
熱記録紙に含まれるＣａＣ０3 、ＳｉＯ2 等との摩擦に
対して破壊しやすい性質を有しているためである。
た従来のサーマルヘッドにおいては、インクリボンを用
いての印字品質は向上したものの、インクリボンを用い
ない感熱記録紙への印字の際には、保護層６の摩耗が大
きく、このために生じるサーマルヘッドの破壊が問題と
なっていたこれはサーマルヘッドを前述のような構成と
したため、Ｔａ2 Ｏ5 等からなる保護層６が、一般に感
熱記録紙に含まれるＣａＣ０3 、ＳｉＯ2 等との摩擦に
対して破壊しやすい性質を有しているためである。
【００１１】このため、感熱記録紙への印字をおこなっ
ても保護膜が摩耗しないようにサーマルヘッドの凸形状
または保護層６の膜厚を変える必要があり、このように
するとインクリボンを用いての普通紙への印字品質が劣
化するという問題があった。
ても保護膜が摩耗しないようにサーマルヘッドの凸形状
または保護層６の膜厚を変える必要があり、このように
するとインクリボンを用いての普通紙への印字品質が劣
化するという問題があった。
【００１２】本発明は、このような点に鑑みてなされた
ものであり、インクリボンを用いての普通紙への印字品
質が良好で、また感熱記録紙を用いた場合でも耐摩耗性
が良好な長寿命のサーマルヘッドを提供することを目的
としている。
ものであり、インクリボンを用いての普通紙への印字品
質が良好で、また感熱記録紙を用いた場合でも耐摩耗性
が良好な長寿命のサーマルヘッドを提供することを目的
としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに本発明のサーマルヘッドにおいては、基板の表面に
保温層を形成し、この保温層の上面に複数の発熱素子
と、これらの発熱素子に接続される個別電極および共通
電極と、上層と下層の２層構造からなる保護層とを形成
してなるサーマルヘッドにおいて、保護層がＳＩＡＬＯ
ＮまたはＳｉ−Ｏ−Ｎの下層と、酸化クロムと高融点金
属の窒化物との混合体の上層と、からなることを特徴と
する。
めに本発明のサーマルヘッドにおいては、基板の表面に
保温層を形成し、この保温層の上面に複数の発熱素子
と、これらの発熱素子に接続される個別電極および共通
電極と、上層と下層の２層構造からなる保護層とを形成
してなるサーマルヘッドにおいて、保護層がＳＩＡＬＯ
ＮまたはＳｉ−Ｏ−Ｎの下層と、酸化クロムと高融点金
属の窒化物との混合体の上層と、からなることを特徴と
する。
【００１４】また、請求項２においては、基板の表面に
保温層を形成し、この保温層の上面に複数の発熱素子
と、これらの発熱素子に接続される個別電極および共通
電極と、上層と下層の２層構造からなる保護層とを形成
してなるサーマルヘッドにおいて、保護層がＳＩＡＬＯ
ＮまたはＳｉ−Ｏ−Ｎの下層と、酸化クロムと高融点金
属の炭化物との混合体の上層と、からなることを特徴と
する。
保温層を形成し、この保温層の上面に複数の発熱素子
と、これらの発熱素子に接続される個別電極および共通
電極と、上層と下層の２層構造からなる保護層とを形成
してなるサーマルヘッドにおいて、保護層がＳＩＡＬＯ
ＮまたはＳｉ−Ｏ−Ｎの下層と、酸化クロムと高融点金
属の炭化物との混合体の上層と、からなることを特徴と
する。
【００１５】
【作用】このような構成からなるサーマルヘッドによれ
ば、保護層の下層をＳＩＡＬＯＮまたはＳｉ−Ｏ−Ｎと
することにより密着力および耐クラック性にすぐれ、上
層を酸化クロムと高融点金属の窒化物との混合体、また
は酸化クロムと高融点金属の炭化物との混合体とするこ
とにより耐摩耗性および耐クラック性を高めることがで
き、インクリボンを用いての普通紙への印字品質が良好
で、また感熱記録紙に対しては耐摩耗性に優れたサーマ
ルヘッドとすることができる。
ば、保護層の下層をＳＩＡＬＯＮまたはＳｉ−Ｏ−Ｎと
することにより密着力および耐クラック性にすぐれ、上
層を酸化クロムと高融点金属の窒化物との混合体、また
は酸化クロムと高融点金属の炭化物との混合体とするこ
とにより耐摩耗性および耐クラック性を高めることがで
き、インクリボンを用いての普通紙への印字品質が良好
で、また感熱記録紙に対しては耐摩耗性に優れたサーマ
ルヘッドとすることができる。
【００１６】
【実施例】以下に、本発明の実施例について説明する。
なお、上述した従来例と同一の部品には同一の番号を付
し、詳細な説明は省略する。
なお、上述した従来例と同一の部品には同一の番号を付
し、詳細な説明は省略する。
【００１７】図１は本発明に係るサーマルヘッドの実施
例を示すものであり、前述した従来例の構成と異なるの
は、保護層６Ａの上層として耐摩耗性の良好な酸化クロ
ムと高融点金属の窒化物（ＣｒＮ、ＴｉＮ等）の混合
体、または耐摩耗性の良好な酸化クロムと高融点金属の
炭化物（ＣｒＣ、ＴｉＣ等）の混合体からなる耐摩耗層
８Ａを設け、保護層６Ａの下層として耐クラック性に良
好なＳＩＡＬＯＮまたはＳｉ−Ｏ−Ｎからなる耐クラッ
ク層７Ａを設けていることである。
例を示すものであり、前述した従来例の構成と異なるの
は、保護層６Ａの上層として耐摩耗性の良好な酸化クロ
ムと高融点金属の窒化物（ＣｒＮ、ＴｉＮ等）の混合
体、または耐摩耗性の良好な酸化クロムと高融点金属の
炭化物（ＣｒＣ、ＴｉＣ等）の混合体からなる耐摩耗層
８Ａを設け、保護層６Ａの下層として耐クラック性に良
好なＳＩＡＬＯＮまたはＳｉ−Ｏ−Ｎからなる耐クラッ
ク層７Ａを設けていることである。
【００１８】本発明者は、耐摩耗層８Ａの感熱記録紙に
対する耐摩耗性が極めて良好なこと（従来材料の３〜５
倍）を耐摩耗テストを行なって発見した。しかしなが
ら、耐摩耗層８Ａは酸化クロムを主成分とするため、熱
膨張係数が８×１０-6／℃と大きいばかりでなく、ビッ
カース硬度ＨV がほぼ１６００と大きいため、膜の圧縮
応力が小さな状態で用いるとクラックや剥離といった故
障モードの発生しやすいことが実験的に判明した。
対する耐摩耗性が極めて良好なこと（従来材料の３〜５
倍）を耐摩耗テストを行なって発見した。しかしなが
ら、耐摩耗層８Ａは酸化クロムを主成分とするため、熱
膨張係数が８×１０-6／℃と大きいばかりでなく、ビッ
カース硬度ＨV がほぼ１６００と大きいため、膜の圧縮
応力が小さな状態で用いるとクラックや剥離といった故
障モードの発生しやすいことが実験的に判明した。
【００１９】そこでさらに実験を継続したところ、保護
層６Ａを２層化するとともに、スパッタリングのガス圧
力を調整して耐クラック層７Ａと耐摩耗層８Ａとの膜の
圧縮応力を約３００ＭＰａとし、その膜厚比を略１：１
とすることによってクラックや剥離等といった故障モー
ドの発生をおさえることができる。例えば、耐クラック
層７ＡとしてＳＩＡＬＯＮを２μｍ以上とすることによ
り、耐摩耗層８Ａの摩耗以外の故障モードが激減した。
またＳＩＡＬＯＮを２〜３μｍとし耐摩耗層８Ａも同じ
く２〜３μｍとして用いると、耐摩耗性が良好で、しか
もクラックや剥離等といった故障モードのないサーマル
ヘッドとなる。
層６Ａを２層化するとともに、スパッタリングのガス圧
力を調整して耐クラック層７Ａと耐摩耗層８Ａとの膜の
圧縮応力を約３００ＭＰａとし、その膜厚比を略１：１
とすることによってクラックや剥離等といった故障モー
ドの発生をおさえることができる。例えば、耐クラック
層７ＡとしてＳＩＡＬＯＮを２μｍ以上とすることによ
り、耐摩耗層８Ａの摩耗以外の故障モードが激減した。
またＳＩＡＬＯＮを２〜３μｍとし耐摩耗層８Ａも同じ
く２〜３μｍとして用いると、耐摩耗性が良好で、しか
もクラックや剥離等といった故障モードのないサーマル
ヘッドとなる。
【００２０】なお前述した実施例においては耐クラック
層７ＡとしてＳＩＡＬＯＮについて述べたが、ＳＩＡＬ
ＯＮとほぼ同等の特性を有するＳｉ−Ｏ−Ｎ等の絶縁性
のセラミックスであれば代替が可能である。また耐摩耗
性の良好な酸化クロムと高融点金属の窒化物（ＣｒＮ、
ＴｉＮ等）の混合体、または耐摩耗性の良好な酸化クロ
ムと高融点金属の炭化物（ＣｒＣ、ＴｉＣ等）の混合体
からなる耐摩耗層８Ａは耐摩耗性が極めて良好であるた
め、保護層６Ａの全体の膜厚を従来の７〜１０μｍより
も薄く４〜６μｍとできるのでスパッタリングの時間が
短くなり、生産性の高いものとなるし、蓄熱が少なく熱
効率が高まり印字品質も改善される。
層７ＡとしてＳＩＡＬＯＮについて述べたが、ＳＩＡＬ
ＯＮとほぼ同等の特性を有するＳｉ−Ｏ−Ｎ等の絶縁性
のセラミックスであれば代替が可能である。また耐摩耗
性の良好な酸化クロムと高融点金属の窒化物（ＣｒＮ、
ＴｉＮ等）の混合体、または耐摩耗性の良好な酸化クロ
ムと高融点金属の炭化物（ＣｒＣ、ＴｉＣ等）の混合体
からなる耐摩耗層８Ａは耐摩耗性が極めて良好であるた
め、保護層６Ａの全体の膜厚を従来の７〜１０μｍより
も薄く４〜６μｍとできるのでスパッタリングの時間が
短くなり、生産性の高いものとなるし、蓄熱が少なく熱
効率が高まり印字品質も改善される。
【００２１】図２は、十條製紙（株）製の感熱記録紙
（ＴＰ５０ＫＨ−Ｆ５）を用いて、印字スピードを５０
ｃｐｓ、プラテンへの圧接圧４５０ｇにて記録をおこな
ったときのサーマルヘッドの走行距離と保護層の摩耗寸
法との関係を示すグラフである。
（ＴＰ５０ＫＨ−Ｆ５）を用いて、印字スピードを５０
ｃｐｓ、プラテンへの圧接圧４５０ｇにて記録をおこな
ったときのサーマルヘッドの走行距離と保護層の摩耗寸
法との関係を示すグラフである。
【００２２】図２からもわかるように本発明におけるサ
ーマルヘッドの摩耗寸法は、従来のサーマルヘッドのそ
れに比べてほぼ１／５であり、極めて良好なことが理解
できる。このため発熱部の突出量を大きくでき、ラフ紙
に対する印字においても印字品質および印字効率が向上
し、特に印字性に優れたサーマルプリンタを提供でき
る。
ーマルヘッドの摩耗寸法は、従来のサーマルヘッドのそ
れに比べてほぼ１／５であり、極めて良好なことが理解
できる。このため発熱部の突出量を大きくでき、ラフ紙
に対する印字においても印字品質および印字効率が向上
し、特に印字性に優れたサーマルプリンタを提供でき
る。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
感熱記録紙を用いての記録において耐摩耗性と印字寿命
が飛躍的に向上するとともに、インクリボンを用いての
記録においても良好な印字品質と印字寿命を得ることが
できる。
感熱記録紙を用いての記録において耐摩耗性と印字寿命
が飛躍的に向上するとともに、インクリボンを用いての
記録においても良好な印字品質と印字寿命を得ることが
できる。
【図１】本発明の実施例のサーマルヘッドを示す縦断面
図である。
図である。
【図２】感熱記録紙に記録をおこなったときのサーマル
ヘッドの走行距離と保護層の摩耗寸法との関係を示すグ
ラフ。
ヘッドの走行距離と保護層の摩耗寸法との関係を示すグ
ラフ。
【図３】従来のサーマルヘッドを示す縦断面図である。
１ 基板 ２ 保温層 ３ 発熱素子 ４ 共通電極 ５ 個別電極 ６、６Ａ 保護層 ７、７Ａ 耐クラック層 ８、８Ａ 耐摩耗層
Claims (2)
- 【請求項１】 基板の表面に保温層を形成し、この保温
層の上面に複数の発熱素子と、これらの発熱素子に接続
される個別電極および共通電極と、上層と下層の２層構
造からなる保護層とを形成してなるサーマルヘッドにお
いて、 前記保護層がＳＩＡＬＯＮまたはＳｉ−Ｏ−Ｎの下層
と、 酸化クロムと高融点金属の窒化物との混合体の上層と、 からなることを特徴とするサーマルヘッド。 - 【請求項２】 基板の表面に保温層を形成し、この保温
層の上面に複数の発熱素子と、これらの発熱素子に接続
される個別電極および共通電極と、上層と下層の２層構
造からなる保護層とを形成してなるサーマルヘッドにお
いて、 前記保護層がＳＩＡＬＯＮまたはＳｉ−Ｏ−Ｎの下層
と、 酸化クロムと高融点金属の炭化物との混合体の上層と、 からなることを特徴とするサーマルヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23898993A JPH0768816A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | サーマルヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23898993A JPH0768816A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | サーマルヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0768816A true JPH0768816A (ja) | 1995-03-14 |
Family
ID=17038271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23898993A Withdrawn JPH0768816A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | サーマルヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0768816A (ja) |
-
1993
- 1993-08-31 JP JP23898993A patent/JPH0768816A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001031 |