JPH08112722A - 放電加工装置 - Google Patents
放電加工装置Info
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- JPH08112722A JPH08112722A JP6250383A JP25038394A JPH08112722A JP H08112722 A JPH08112722 A JP H08112722A JP 6250383 A JP6250383 A JP 6250383A JP 25038394 A JP25038394 A JP 25038394A JP H08112722 A JPH08112722 A JP H08112722A
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
- B23H7/14—Electric circuits specially adapted therefor, e.g. power supply
- B23H7/18—Electric circuits specially adapted therefor, e.g. power supply for maintaining or controlling the desired spacing between electrode and workpiece
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
- B23H7/38—Influencing metal working by using specially adapted means not directly involved in the removal of metal, e.g. ultrasonic waves, magnetic fields or laser irradiation
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- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 微細な放電加工の高速化及び安定化を実現す
る放電加工装置を提供する。 【構成】 加工用電極１３と被加工物１５との間に電圧
を印加することにより被加工物を放電加工する放電加工
装置において、加工用電極１３と被加工物１５との間隙
を常に適正に保ちながら両者を相対的に、圧電素子１１
０を用いた振動付加部１１１によって振動をさせると、
間隙が小さくなったときには放電加工が進行し、大きく
なったときには絶縁が保たれるという状態が振動の周波
数に応じて安定して発生する。この周波数を５０Ｈｚ〜
５００Ｈｚの範囲に設定すると、短絡またはアーク状態
の発生が低減する。また、振動により放電間隙の加工屑
の排出が促進される。
る放電加工装置を提供する。 【構成】 加工用電極１３と被加工物１５との間に電圧
を印加することにより被加工物を放電加工する放電加工
装置において、加工用電極１３と被加工物１５との間隙
を常に適正に保ちながら両者を相対的に、圧電素子１１
０を用いた振動付加部１１１によって振動をさせると、
間隙が小さくなったときには放電加工が進行し、大きく
なったときには絶縁が保たれるという状態が振動の周波
数に応じて安定して発生する。この周波数を５０Ｈｚ〜
５００Ｈｚの範囲に設定すると、短絡またはアーク状態
の発生が低減する。また、振動により放電間隙の加工屑
の排出が促進される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、数百μｍ以下の微細な
放電加工の高速化及び安定化を目的とした放電加工装置
に関するものである。
放電加工の高速化及び安定化を目的とした放電加工装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】数百μｍ以下の微細な放電加工におい
て、加工用電極形状の転写や被加工物の加工面粗さをμ
ｍあるいはサブμｍオーダーで高精度に加工しようとす
る場合、単発の放電エネルギーを１０-7Ｊのオーダーま
で微小化しなければならない。放電エネルギーが小さい
ため加工用電極と被加工物の放電間隙は数μｍであり、
加工屑が放電間隙に滞留したり加工用電極と被加工物の
短絡またはアーク状態が発生しやすくなるという問題点
がある。そこで、円形穴加工の場合は加工用電極を回転
させることにより、加工屑の排出と短絡あるいはアーク
状態の発生の低減を促し、加工の高速化と安定化がなさ
れている。
て、加工用電極形状の転写や被加工物の加工面粗さをμ
ｍあるいはサブμｍオーダーで高精度に加工しようとす
る場合、単発の放電エネルギーを１０-7Ｊのオーダーま
で微小化しなければならない。放電エネルギーが小さい
ため加工用電極と被加工物の放電間隙は数μｍであり、
加工屑が放電間隙に滞留したり加工用電極と被加工物の
短絡またはアーク状態が発生しやすくなるという問題点
がある。そこで、円形穴加工の場合は加工用電極を回転
させることにより、加工屑の排出と短絡あるいはアーク
状態の発生の低減を促し、加工の高速化と安定化がなさ
れている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、加工用
電極を回転させることができない角穴など非円形穴加工
の場合は、上記問題点のために特に加工速度が遅く、実
用的でなかった。また、円形穴加工のさらなる高速化、
安定化も大きな課題である。
電極を回転させることができない角穴など非円形穴加工
の場合は、上記問題点のために特に加工速度が遅く、実
用的でなかった。また、円形穴加工のさらなる高速化、
安定化も大きな課題である。
【０００４】本発明は、放電間隙に滞留する加工屑の排
出を促進し、加工用電極と被加工物の短絡またはアーク
状態の発生を低減する手段を備えた放電加工装置におい
て、微細な放電加工の高速化及び安定化を実現すること
を目的とする。
出を促進し、加工用電極と被加工物の短絡またはアーク
状態の発生を低減する手段を備えた放電加工装置におい
て、微細な放電加工の高速化及び安定化を実現すること
を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の特徴は、加工用電極と被加工物との間に電圧
を印加することにより前記被加工物を放電加工する放電
加工装置において、前記加工用電極と前記被加工物との
間の短絡またはアーク状態の有無を検出するための短絡
検出部と、前記短絡検出部において短絡またはアーク状
態が検出されたときは前記加工用電極と前記被加工物と
の間隙を大きくし短絡及びアーク状態が検出されないと
きは前記間隙を小さくするように前記加工用電極または
前記被加工物を駆動する駆動部と、前記加工用電極と前
記被加工物との間に相対的に振動を与えるための振動付
加部とを備え、前記振動付加部が圧電素子を用いて構成
され、かつ前記振動の周波数が５０Ｈｚ〜５００Ｈｚの
範囲に設定されているか、或いは前記振動の振幅が加工
用電極と被加工物との間の放電間隙の２倍〜４０倍の範
囲に設定されており、更には前記周波数及び振幅の両者
が上記の範囲に設定されている点にある。
の本発明の特徴は、加工用電極と被加工物との間に電圧
を印加することにより前記被加工物を放電加工する放電
加工装置において、前記加工用電極と前記被加工物との
間の短絡またはアーク状態の有無を検出するための短絡
検出部と、前記短絡検出部において短絡またはアーク状
態が検出されたときは前記加工用電極と前記被加工物と
の間隙を大きくし短絡及びアーク状態が検出されないと
きは前記間隙を小さくするように前記加工用電極または
前記被加工物を駆動する駆動部と、前記加工用電極と前
記被加工物との間に相対的に振動を与えるための振動付
加部とを備え、前記振動付加部が圧電素子を用いて構成
され、かつ前記振動の周波数が５０Ｈｚ〜５００Ｈｚの
範囲に設定されているか、或いは前記振動の振幅が加工
用電極と被加工物との間の放電間隙の２倍〜４０倍の範
囲に設定されており、更には前記周波数及び振幅の両者
が上記の範囲に設定されている点にある。
【０００６】
【作用】加工用電極と被加工物との間に電圧を印加する
ことにより被加工物を放電加工する放電加工装置におい
て、加工用電極と被加工物との間の短絡またはアーク状
態の有無を検出する短絡検出部において、短絡またはア
ーク状態が検出されたときは加工用電極と被加工物との
間隙を大きくし短絡及びアーク状態が検出されないとき
は間隙を小さくするように加工用電極または被加工物を
駆動するため、加工用電極と被加工物との間隙が常に適
正に保たれる。ここで、圧電素子を用いて構成された振
動付加部により、加工用電極及び／または被加工物に振
動を与えると、加工用電極と被加工物との間隙が小さく
なったときには放電加工が進行し、間隙が大きくなった
ときには絶縁が保たれるという状態が発生し、また振動
により放電間隙の加工屑の排出が促進される。
ことにより被加工物を放電加工する放電加工装置におい
て、加工用電極と被加工物との間の短絡またはアーク状
態の有無を検出する短絡検出部において、短絡またはア
ーク状態が検出されたときは加工用電極と被加工物との
間隙を大きくし短絡及びアーク状態が検出されないとき
は間隙を小さくするように加工用電極または被加工物を
駆動するため、加工用電極と被加工物との間隙が常に適
正に保たれる。ここで、圧電素子を用いて構成された振
動付加部により、加工用電極及び／または被加工物に振
動を与えると、加工用電極と被加工物との間隙が小さく
なったときには放電加工が進行し、間隙が大きくなった
ときには絶縁が保たれるという状態が発生し、また振動
により放電間隙の加工屑の排出が促進される。
【０００７】そして、前記振動の周波数を５０Ｈｚ〜５
００Ｈｚの低周波域に設定することにより、放電加工の
高速化と振動による悪影響の排除を可能とすることがで
きる。すなわち図３に示すように周波数を５０Ｈｚ以上
にすると加工速度が振動なしの場合に比較し２〜４倍に
達し、放電加工の高速化が達成される。好ましくは、図
４に示すように周波数を１００Ｈｚ以上にすると、加工
速度が振動なしの場合に比較し４〜５倍にも達し、より
一層の高速化が達成される。この高速化は周波数が２０
０Ｈｚ程度になったときピークに達し、更に周波数を高
めても加工速度は上昇しなくなる。従って、防振部を必
要とするような高周波で振動させる必要はなく、実用上
知られている加工用電極、被加工物及びその保持部の共
振周波数の１／２以下の周波数であれば十分に振動の効
果が得られる。従って前記周波数を５００Ｈｚ以下に設
定することにより、十分な安全率を見込んで前記共振周
波数の１／２以下にすることができる。上記に説明した
ように前記周波数を５０Ｈｚ〜５００Ｈｚに設定するこ
とにより、放電加工の高速化を実現し、かつ防振部を必
要とせずに安定した放電加工を行うことができるが、よ
り好ましくは前記周波数を１００Ｈｚ〜３００Ｈｚに設
定するとよい。
００Ｈｚの低周波域に設定することにより、放電加工の
高速化と振動による悪影響の排除を可能とすることがで
きる。すなわち図３に示すように周波数を５０Ｈｚ以上
にすると加工速度が振動なしの場合に比較し２〜４倍に
達し、放電加工の高速化が達成される。好ましくは、図
４に示すように周波数を１００Ｈｚ以上にすると、加工
速度が振動なしの場合に比較し４〜５倍にも達し、より
一層の高速化が達成される。この高速化は周波数が２０
０Ｈｚ程度になったときピークに達し、更に周波数を高
めても加工速度は上昇しなくなる。従って、防振部を必
要とするような高周波で振動させる必要はなく、実用上
知られている加工用電極、被加工物及びその保持部の共
振周波数の１／２以下の周波数であれば十分に振動の効
果が得られる。従って前記周波数を５００Ｈｚ以下に設
定することにより、十分な安全率を見込んで前記共振周
波数の１／２以下にすることができる。上記に説明した
ように前記周波数を５０Ｈｚ〜５００Ｈｚに設定するこ
とにより、放電加工の高速化を実現し、かつ防振部を必
要とせずに安定した放電加工を行うことができるが、よ
り好ましくは前記周波数を１００Ｈｚ〜３００Ｈｚに設
定するとよい。
【０００８】また、前記振動の振幅を加工用電極と被加
工物との間の放電間隙の２倍〜４０倍の範囲に設定する
と、加工速度の安定化を図ることができる。すなわち前
記倍率を２倍未満とすると、図５に示すように、加工速
度の変動が著しくなり、安定した放電加工を行うことが
困難になる。他方前記倍率を高めると徐々に加工速度が
低下するので、これを４０倍以下としている。このよう
に前記倍率を４０倍以下とすることは、圧電素子を無理
なく駆動できるという観点からも好ましいものである。
工物との間の放電間隙の２倍〜４０倍の範囲に設定する
と、加工速度の安定化を図ることができる。すなわち前
記倍率を２倍未満とすると、図５に示すように、加工速
度の変動が著しくなり、安定した放電加工を行うことが
困難になる。他方前記倍率を高めると徐々に加工速度が
低下するので、これを４０倍以下としている。このよう
に前記倍率を４０倍以下とすることは、圧電素子を無理
なく駆動できるという観点からも好ましいものである。
【０００９】なお、前記振動の周波数及び振幅の両者
を、上記の範囲に設定することにより、最適条件で放電
加工の高速化と安定化を図りうることはいうまでもな
い。
を、上記の範囲に設定することにより、最適条件で放電
加工の高速化と安定化を図りうることはいうまでもな
い。
【００１０】
【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を詳細
に説明する。
に説明する。
【００１１】図１は、本発明による放電加工装置の一実
施例である。この一実施例として示した放電加工装置
は、放電加工装置本体１０と制御部１１で構成される。
放電加工装置本体１０は、加工用電極保持部１２で保持
された加工用電極１３と、加工台１４上に保持された被
加工物１５をＺ軸方向に微小な間隙で対向させ放電加工
する型彫り放電加工装置であり、加工液１６の入った加
工槽１７に固定されたコラム１８とコラム１８に固定さ
れた板ばね１９の間に加圧されて接続された圧電素子１
１０からなる振動付加部１１１を具備し、圧電素子１１
０が振動するとコラム１８を固定端として板ばね１９が
振動に応じて弾性変形し、板ばね１９に接続された加工
台１４を介して被加工物１５に振動が伝わる構造であ
る。
施例である。この一実施例として示した放電加工装置
は、放電加工装置本体１０と制御部１１で構成される。
放電加工装置本体１０は、加工用電極保持部１２で保持
された加工用電極１３と、加工台１４上に保持された被
加工物１５をＺ軸方向に微小な間隙で対向させ放電加工
する型彫り放電加工装置であり、加工液１６の入った加
工槽１７に固定されたコラム１８とコラム１８に固定さ
れた板ばね１９の間に加圧されて接続された圧電素子１
１０からなる振動付加部１１１を具備し、圧電素子１１
０が振動するとコラム１８を固定端として板ばね１９が
振動に応じて弾性変形し、板ばね１９に接続された加工
台１４を介して被加工物１５に振動が伝わる構造であ
る。
【００１２】制御部１１は、加工用電極１３と被加工物
１５の間にＲＣ回路により加工用電極を印加するための
加工用電極印加部１１２と、加工用電極１３と被加工物
１５との間の短絡の有無を検出するための短絡検出部１
１３と、加工用電極１３を加工用電極保持部１２を介し
て回転させるための回転制御部１１４と、Ｚ軸方向に駆
動するためのＺ軸駆動部１１５と、圧電素子１１０に任
意の駆動電圧を印加するための圧電素子駆動部１１６か
らなる。加工中のＺ軸駆動部１１５は、加工用電極保持
部１２を介して加工用電極１３を一定の送り設定速度で
加工用電極１３と被加工物１５との間隙が小さくなるよ
うにＺ軸プラス方向（図の下方）に駆動し、短絡検出部
１１３が加工用電極１３と被加工物１５の短絡を検出し
た場合には加工用電極１３と被加工物１５との間隙が大
きくなるようにＺ軸マイナス方向（図の上方）に駆動す
る。
１５の間にＲＣ回路により加工用電極を印加するための
加工用電極印加部１１２と、加工用電極１３と被加工物
１５との間の短絡の有無を検出するための短絡検出部１
１３と、加工用電極１３を加工用電極保持部１２を介し
て回転させるための回転制御部１１４と、Ｚ軸方向に駆
動するためのＺ軸駆動部１１５と、圧電素子１１０に任
意の駆動電圧を印加するための圧電素子駆動部１１６か
らなる。加工中のＺ軸駆動部１１５は、加工用電極保持
部１２を介して加工用電極１３を一定の送り設定速度で
加工用電極１３と被加工物１５との間隙が小さくなるよ
うにＺ軸プラス方向（図の下方）に駆動し、短絡検出部
１１３が加工用電極１３と被加工物１５の短絡を検出し
た場合には加工用電極１３と被加工物１５との間隙が大
きくなるようにＺ軸マイナス方向（図の上方）に駆動す
る。
【００１３】図２は、図１に基づいて説明した放電加工
装置を適用した場合の、被加工物１５を加工除去した体
積を加工に要した時間で除した加工速度と、加工用電極
１３の送り設定速度との関係を表す図である。図中では
加工用電極１３の回転の有無と被加工物１５の振動の有
無により４種類の条件について、それぞれ「停止」は加
工用電極１３が非回転で被加工物１５が振動していない
場合、「回転」は加工用電極１３が回転し被加工物１５
が振動していない場合、「振動」は加工用電極１３が非
回転で被加工物１５が振動している場合、「回転＋振
動」は加工用電極１３が回転し被加工物１５が振動して
いる場合を示している。加工用電極１３の回転数は３０
００ｒｐｍであり、被加工物１５のＺ方向の振動は振幅
が２０μｍ、周波数が１００Ｈｚの正弦波の振動であ
る。加工は、純タングステン製の直径５０μｍの加工用
電極１３でステンレス製の被加工物１５を加工用電圧が
８０Ｖ、抵抗が１．１ｋΩ、コンデンサが１０ｐＦのＲ
Ｃ回路を加工用電源として鉱物油の加工液１６中で放電
加工した。このときの放電間隙は約１μｍである。な
お、本実施例では加工条件や加工用電極１３と被加工物
１５の材質を限定して説明するが、導電性のある材質で
あればいかなる加工条件においても振動により本発明の
効果が得られることはいうまでもない。被加工物１５を
振動させない場合、送り設定速度が２〜３μｍ／ｓにお
いて加工速度が最大となり、送り設定速度をそれ以上に
すると短絡またはアーク状態となり加工用電極１３と被
加工物１５が引き離される回数が多くなり加工速度の向
上は見込めず、むしろ低下する場合がある。一方、被加
工物１５に振動を与え、適正な送り設定速度（４〜８μ
ｍ／ｓ）とすることにより、加工用電極１３が非回転の
場合で従来の５倍、回転している場合で従来の２倍の加
工速度が得られるようになる。
装置を適用した場合の、被加工物１５を加工除去した体
積を加工に要した時間で除した加工速度と、加工用電極
１３の送り設定速度との関係を表す図である。図中では
加工用電極１３の回転の有無と被加工物１５の振動の有
無により４種類の条件について、それぞれ「停止」は加
工用電極１３が非回転で被加工物１５が振動していない
場合、「回転」は加工用電極１３が回転し被加工物１５
が振動していない場合、「振動」は加工用電極１３が非
回転で被加工物１５が振動している場合、「回転＋振
動」は加工用電極１３が回転し被加工物１５が振動して
いる場合を示している。加工用電極１３の回転数は３０
００ｒｐｍであり、被加工物１５のＺ方向の振動は振幅
が２０μｍ、周波数が１００Ｈｚの正弦波の振動であ
る。加工は、純タングステン製の直径５０μｍの加工用
電極１３でステンレス製の被加工物１５を加工用電圧が
８０Ｖ、抵抗が１．１ｋΩ、コンデンサが１０ｐＦのＲ
Ｃ回路を加工用電源として鉱物油の加工液１６中で放電
加工した。このときの放電間隙は約１μｍである。な
お、本実施例では加工条件や加工用電極１３と被加工物
１５の材質を限定して説明するが、導電性のある材質で
あればいかなる加工条件においても振動により本発明の
効果が得られることはいうまでもない。被加工物１５を
振動させない場合、送り設定速度が２〜３μｍ／ｓにお
いて加工速度が最大となり、送り設定速度をそれ以上に
すると短絡またはアーク状態となり加工用電極１３と被
加工物１５が引き離される回数が多くなり加工速度の向
上は見込めず、むしろ低下する場合がある。一方、被加
工物１５に振動を与え、適正な送り設定速度（４〜８μ
ｍ／ｓ）とすることにより、加工用電極１３が非回転の
場合で従来の５倍、回転している場合で従来の２倍の加
工速度が得られるようになる。
【００１４】図３及び図４は、図１に基づいて説明した
放電加工装置を適用した場合の、加工速度と振動の周波
数の関係を表す図である。振動条件を変化させ、加工用
電極１３は常に回転させ、送り設定速度は８μｍ／ｓと
した。それ以外は図２に基づいて説明した条件と同様で
ある。これによれば周波数が５０Ｈｚ未満では十分な加
工速度の向上を認めることができない。しかし、図４に
示すように周波数が２００Ｈｚを超えた付近から加工速
度は上昇しなくなる。従って、防振部を必要とするよう
な高周波で振動させる必要はなく、実用上知られている
加工用電極及び被加工物及びその保持部の共振周波数の
１／２以下の周波数であれば十分に振動の効果が得られ
る。このため前記周波数の範囲を５０Ｈｚ〜５００Ｈｚ
に設定した。
放電加工装置を適用した場合の、加工速度と振動の周波
数の関係を表す図である。振動条件を変化させ、加工用
電極１３は常に回転させ、送り設定速度は８μｍ／ｓと
した。それ以外は図２に基づいて説明した条件と同様で
ある。これによれば周波数が５０Ｈｚ未満では十分な加
工速度の向上を認めることができない。しかし、図４に
示すように周波数が２００Ｈｚを超えた付近から加工速
度は上昇しなくなる。従って、防振部を必要とするよう
な高周波で振動させる必要はなく、実用上知られている
加工用電極及び被加工物及びその保持部の共振周波数の
１／２以下の周波数であれば十分に振動の効果が得られ
る。このため前記周波数の範囲を５０Ｈｚ〜５００Ｈｚ
に設定した。
【００１５】図５は、図１に基づいて説明した放電加工
装置を適用した場合の、加工速度と振動の振幅の関係を
表す図である。図中の「●」は同一条件（放電間隙は１
μｍ）での加工結果の平均を、「×」はばらつきの上限
及び下限を表している。振動の周波数は１００Ｈｚであ
る。これによれば加工速度は振幅が２μｍ（放電間隙の
２倍）程度のとき最大となるが、振幅２μｍ未満とする
と結果のばらつきが大きい。振幅を前記放電間隙の２倍
以上とすることによってばらつきが小さくでき加工を安
定化することができる。また振幅を放電間隙の２倍以上
にし、かつその倍率を高めると徐々に加工速度が低下す
るので、この倍率を４０倍以下に設定した。このように
前記倍率を４０倍以下とすることは、圧電素子を無理な
く駆動できるという観点からも好ましいものである。
装置を適用した場合の、加工速度と振動の振幅の関係を
表す図である。図中の「●」は同一条件（放電間隙は１
μｍ）での加工結果の平均を、「×」はばらつきの上限
及び下限を表している。振動の周波数は１００Ｈｚであ
る。これによれば加工速度は振幅が２μｍ（放電間隙の
２倍）程度のとき最大となるが、振幅２μｍ未満とする
と結果のばらつきが大きい。振幅を前記放電間隙の２倍
以上とすることによってばらつきが小さくでき加工を安
定化することができる。また振幅を放電間隙の２倍以上
にし、かつその倍率を高めると徐々に加工速度が低下す
るので、この倍率を４０倍以下に設定した。このように
前記倍率を４０倍以下とすることは、圧電素子を無理な
く駆動できるという観点からも好ましいものである。
【００１６】
【発明の効果】以上のように本発明は、放電間隙に滞留
する加工屑の排出を促進し、加工用電極と被加工物との
短絡またはアーク状態の発生を低減することができ、加
工の高速化及び安定化を実現することができる優れた放
電加工装置を実現するものである。
する加工屑の排出を促進し、加工用電極と被加工物との
短絡またはアーク状態の発生を低減することができ、加
工の高速化及び安定化を実現することができる優れた放
電加工装置を実現するものである。
【図１】本発明の一実施例を示す構成図。
【図２】加工速度と送り設定速度との関係を表す図。
【図３】加工速度と振動の周波数の関係を表す図。
【図４】加工速度と振動の周波数の関係を表す図。
【図５】加工速度と振動の振幅の関係を表す図。
１１ 制御部 １３ 加工用電極 １５ 被加工物 １１０ 圧電素子 １１１ 振動付加部 １１３ 短絡検出部 １１５ Ｚ軸駆動部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 古澤 可憲 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 加工用電極と被加工物との間に電圧を印
加することにより前記被加工物を放電加工する放電加工
装置において、前記加工用電極と前記被加工物との間の
短絡またはアーク状態の有無を検出するための短絡検出
部と、前記短絡検出部において短絡またはアーク状態が
検出されたときは前記加工用電極と前記被加工物との間
隙を大きくし短絡及びアーク状態が検出されないときは
前記間隙を小さくするように前記加工用電極または前記
被加工物を駆動する駆動部と、前記加工用電極と前記被
加工物との間に相対的に振動を与えるための振動付加部
とを備え、前記振動付加部が圧電素子を用いて構成さ
れ、前記振動の周波数が５０Ｈｚ〜５００Ｈｚの範囲に
設定されていることを特徴とする放電加工装置。 - 【請求項２】 加工用電極と被加工物との間に電圧を印
加することにより前記被加工物を放電加工する放電加工
装置において、前記加工用電極と前記被加工物との間の
短絡またはアーク状態の有無を検出するための短絡検出
部と、前記短絡検出部において短絡またはアーク状態が
検出されたときは前記加工用電極と前記被加工物との間
隙を大きくし短絡及びアーク状態が検出されないときは
前記間隙を小さくするように前記加工用電極または前記
被加工物を駆動する駆動部と、前記加工用電極と前記被
加工物との間に相対的に振動を与えるための振動付加部
とを備え、前記振動付加部が圧電素子を用いて構成さ
れ、前記振動の振幅が加工用電極と被加工物との間の放
電間隙の２倍〜４０倍の範囲に設定されていることを特
徴とする放電加工装置。 - 【請求項３】 加工用電極と被加工物との間に電圧を印
加することにより前記被加工物を放電加工する放電加工
装置において、前記加工用電極と前記被加工物との間の
短絡またはアーク状態の有無を検出するための短絡検出
部と、前記短絡検出部において短絡またはアーク状態が
検出されたときは前記加工用電極と前記被加工物との間
隙を大きくし短絡及びアーク状態が検出されないときは
前記間隙を小さくするように前記加工用電極または前記
被加工物を駆動する駆動部と、前記加工用電極と前記被
加工物との間に相対的に振動を与えるための振動付加部
とを備え、前記振動付加部が圧電素子を用いて構成さ
れ、前記振動の周波数が５０Ｈｚ〜５００Ｈｚの範囲に
設定されると共に、前記振動の振幅が加工用電極と被加
工物との間の放電間隙の２倍〜４０倍の範囲に設定され
ていることを特徴とする放電加工装置。
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