JPH06238524A - 型彫り放電加工装置 - Google Patents
型彫り放電加工装置Info
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- JPH06238524A JPH06238524A JP5045750A JP4575093A JPH06238524A JP H06238524 A JPH06238524 A JP H06238524A JP 5045750 A JP5045750 A JP 5045750A JP 4575093 A JP4575093 A JP 4575093A JP H06238524 A JPH06238524 A JP H06238524A
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- JP
- Japan
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- electric discharge
- machining
- tool electrode
- column
- vibrating device
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
- B23H7/26—Apparatus for moving or positioning electrode relatively to workpiece; Mounting of electrode
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H1/00—Electrical discharge machining, i.e. removing metal with a series of rapidly recurring electrical discharges between an electrode and a workpiece in the presence of a fluid dielectric
- B23H1/02—Electric circuits specially adapted therefor, e.g. power supply, control, preventing short circuits or other abnormal discharges
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
- B23H7/26—Apparatus for moving or positioning electrode relatively to workpiece; Mounting of electrode
- B23H7/28—Moving electrode in a plane normal to the feed direction, e.g. orbiting
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- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 放電間隙から加工屑を効率的に除去できると
共に放電位置を積極的に分散できる型彫り放電加工装置
の提供。 【構成】 型彫り放電加工装置１において、工具電極３
と被加工物間５に放電間隙Ｓ内で充分許容される微小傾
斜と復帰を与える振動装置６を設ける。
共に放電位置を積極的に分散できる型彫り放電加工装置
の提供。 【構成】 型彫り放電加工装置１において、工具電極３
と被加工物間５に放電間隙Ｓ内で充分許容される微小傾
斜と復帰を与える振動装置６を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、工具電極と被加工物
の間に放電を生じせしめて被加工物を除去加工する型彫
り放電加工装置に関する。
の間に放電を生じせしめて被加工物を除去加工する型彫
り放電加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】型彫り放電加工は、加工液中で工具電極
と被加工物を相対的に移動させながら、両者間に連続し
た放電を持続させて加工を行う。この場合に、工具電極
と被加工物間の放電間隙に加工屑や加工液の分解物、あ
るいは気泡が発生する。これらの加工屑などは、異常放
電の原因となり良好な放電状態の持続を難しくするの
で、放電間隙から速やかに除去する必要がある。
と被加工物を相対的に移動させながら、両者間に連続し
た放電を持続させて加工を行う。この場合に、工具電極
と被加工物間の放電間隙に加工屑や加工液の分解物、あ
るいは気泡が発生する。これらの加工屑などは、異常放
電の原因となり良好な放電状態の持続を難しくするの
で、放電間隙から速やかに除去する必要がある。
【０００３】従来、加工屑などの除去は工具電極のジャ
ンプ運動で放電間隙（および加工間隙）に加工液の流動
を促したり、放電間隙に加工液を噴射したり、噴流を導
入したり、あるいは放電間隙の加工液を吸引するなどし
て積極的に行われている。
ンプ運動で放電間隙（および加工間隙）に加工液の流動
を促したり、放電間隙に加工液を噴射したり、噴流を導
入したり、あるいは放電間隙の加工液を吸引するなどし
て積極的に行われている。
【０００４】しかし、工具電極にジャンプ運動を付加す
る方式ではジャンプ中に放電加工が休止するので、加工
速度が低下する難点がある。加工液を噴射するもので
は、噴射個所が偏るので、工具電極の消耗や被加工物に
対する加工速度も偏ることがあり、加工精度が低下す
る。また、加工深さが大きくなると放電間隙の全域に噴
射の勢力を及ぼすことが困難である。さらに、噴流や吸
引を利用するものでは前加工によって加工電極や被加工
物に孔などの流路を作る必要があり、使用条件が限られ
る難点がある。
る方式ではジャンプ中に放電加工が休止するので、加工
速度が低下する難点がある。加工液を噴射するもので
は、噴射個所が偏るので、工具電極の消耗や被加工物に
対する加工速度も偏ることがあり、加工精度が低下す
る。また、加工深さが大きくなると放電間隙の全域に噴
射の勢力を及ぼすことが困難である。さらに、噴流や吸
引を利用するものでは前加工によって加工電極や被加工
物に孔などの流路を作る必要があり、使用条件が限られ
る難点がある。
【０００５】なお、従来、集中放電を防止する手段とし
ていわゆる揺動加工法が実行されているが、これによれ
ば放電位置を換えることはできるが集中放電の状況に対
して積極的に放電位置を分散させることはできなかっ
た。
ていわゆる揺動加工法が実行されているが、これによれ
ば放電位置を換えることはできるが集中放電の状況に対
して積極的に放電位置を分散させることはできなかっ
た。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、放電間隙
から加工屑を効率的に除去できると共に放電位置を積極
的に分散できる型彫り放電加工装置の提供を課題とす
る。
から加工屑を効率的に除去できると共に放電位置を積極
的に分散できる型彫り放電加工装置の提供を課題とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】工具電極と被加工物間
に、微小傾斜と復帰を与える振動装置を設ける。振幅は
放電間隙内で十分に許容される大きさとする。相対的な
微小傾斜の振動方向を変化させることがある。
に、微小傾斜と復帰を与える振動装置を設ける。振幅は
放電間隙内で十分に許容される大きさとする。相対的な
微小傾斜の振動方向を変化させることがある。
【０００８】
【作用】相対的な微小傾斜と復帰を与える振動装置は、
工具電極と被加工物間に連続または断続した相対運動を
与え、放電間隙の加工液に対しポンプ作用を行う。ま
た、この相対運動は工具電極と被加工物間の間隙寸法を
各部分において常時変化させる。
工具電極と被加工物間に連続または断続した相対運動を
与え、放電間隙の加工液に対しポンプ作用を行う。ま
た、この相対運動は工具電極と被加工物間の間隙寸法を
各部分において常時変化させる。
【０００９】
【実施例】図１は、型彫り放電加工装置１のコラム２に
取り付けられた工具電極３とテーブル４に載置された被
加工物５の部分を示している。コラム２の下端には振動
装置６が固定され、その下部に電極ホルダ７のチャック
を介して前記の工具電極３が装着されている。工具電極
３はこの実施例において底面が平らな円柱状である。前
記の振動装置６、電極ホルダ７および工具電極３はコラ
ム２の中心軸線ｚに中心軸を一致させて配置されてい
る。
取り付けられた工具電極３とテーブル４に載置された被
加工物５の部分を示している。コラム２の下端には振動
装置６が固定され、その下部に電極ホルダ７のチャック
を介して前記の工具電極３が装着されている。工具電極
３はこの実施例において底面が平らな円柱状である。前
記の振動装置６、電極ホルダ７および工具電極３はコラ
ム２の中心軸線ｚに中心軸を一致させて配置されてい
る。
【００１０】振動装置６は平行ばね体８とセラミック圧
電素子９で構成される。平行ばね体８はステンレス製で
上下の平行板部１０（ａ，ｂ）とこれらをつなぐ連結部
１１が一体に形成されており、内部の空間に４個の圧電
素子９（ａ〜ｄ）がコラム２の中心軸線ｚに対して等距
離に、かつ、相互間でも等距離に配置されている（図
２）。圧電素子９は、いずれも複数の素子単位を同数、
これらの伸縮軸をコラム２の中心軸線ｚと平行となるよ
うに結合したもので、前記の平行ばね８に上下面を確実
に接触させ、かつ、予圧を付与した状態の嵌合により取
り付けられている。
電素子９で構成される。平行ばね体８はステンレス製で
上下の平行板部１０（ａ，ｂ）とこれらをつなぐ連結部
１１が一体に形成されており、内部の空間に４個の圧電
素子９（ａ〜ｄ）がコラム２の中心軸線ｚに対して等距
離に、かつ、相互間でも等距離に配置されている（図
２）。圧電素子９は、いずれも複数の素子単位を同数、
これらの伸縮軸をコラム２の中心軸線ｚと平行となるよ
うに結合したもので、前記の平行ばね８に上下面を確実
に接触させ、かつ、予圧を付与した状態の嵌合により取
り付けられている。
【００１１】圧電素子９を嵌合で取り付けるのは、ビス
など使用した際の緩みやガタの発生を防止するためであ
る。また、予圧を付与するのは、圧電素子９が元の形状
寸法に復帰した時、平行ばね８の変形を速やかに元へ戻
すためである。
など使用した際の緩みやガタの発生を防止するためであ
る。また、予圧を付与するのは、圧電素子９が元の形状
寸法に復帰した時、平行ばね８の変形を速やかに元へ戻
すためである。
【００１２】振動装置６は、実施例において厚さが４０
ｍｍ、幅７０ｍｍであり、圧電素子９は１００Ｖの電源
で駆動される。４個の圧電素子９（ａ〜ｄ）は平行に配
置された圧電素子９ａ，９ｂの右側対と同９ｃ，９ｄの
左側対に、半周期ずれた正弦波状電圧が印加される。こ
れにより右側対と左側対の圧電素子９（ａ，ｂ），９
（ｃ，ｄ）は交互に同時に伸長し、下方の平行板１０ｂ
の端部位置Ｐ，Ｑ（図３）で中心軸線ｚと平行な方向に
最大２０μｍの変位を交互に得られる。
ｍｍ、幅７０ｍｍであり、圧電素子９は１００Ｖの電源
で駆動される。４個の圧電素子９（ａ〜ｄ）は平行に配
置された圧電素子９ａ，９ｂの右側対と同９ｃ，９ｄの
左側対に、半周期ずれた正弦波状電圧が印加される。こ
れにより右側対と左側対の圧電素子９（ａ，ｂ），９
（ｃ，ｄ）は交互に同時に伸長し、下方の平行板１０ｂ
の端部位置Ｐ，Ｑ（図３）で中心軸線ｚと平行な方向に
最大２０μｍの変位を交互に得られる。
【００１３】この変位によって工具電極３の先端が変位
する。その機構は実際には複雑であるが、図４のように
右側対である圧電素子９（ａ，ｂ）が伸長するとき、下
方の平行板部１０ｂの下面はその左端点Ｑを中心に傾斜
するものと単純化して考察すると、振動装置６の下面か
ら工具電極３の先端中心Ｒ点までの寸法はこの実施例に
おいて５５ｍｍなので、ＰＱ間の距離Ｌ1 とＱＲ間の距
離Ｌ2 はほぼ等しく、また双方の直線ＰＱ，ＱＲ個所に
おける傾斜による変位角度θも等しいので、前記のよう
にＰ点に２０μｍの変位があると、工具電極３は側方
（ｘ，ｙ方向）へ片側約２０μｍ弱だけ振れ、放電面と
なる電極３下面は下方の平行板１０ｂと同程度に傾斜
し、傾斜下端の変位量は１０μｍ以下である。
する。その機構は実際には複雑であるが、図４のように
右側対である圧電素子９（ａ，ｂ）が伸長するとき、下
方の平行板部１０ｂの下面はその左端点Ｑを中心に傾斜
するものと単純化して考察すると、振動装置６の下面か
ら工具電極３の先端中心Ｒ点までの寸法はこの実施例に
おいて５５ｍｍなので、ＰＱ間の距離Ｌ1 とＱＲ間の距
離Ｌ2 はほぼ等しく、また双方の直線ＰＱ，ＱＲ個所に
おける傾斜による変位角度θも等しいので、前記のよう
にＰ点に２０μｍの変位があると、工具電極３は側方
（ｘ，ｙ方向）へ片側約２０μｍ弱だけ振れ、放電面と
なる電極３下面は下方の平行板１０ｂと同程度に傾斜
し、傾斜下端の変位量は１０μｍ以下である。
【００１４】加工液中のテーブル４に被加工物５を載置
し、工具電極３を被加工物５の表面に近接させ、放電加
工を開始する。工具電極３の下面と被加工物５の表面間
には放電間隙約１００μｍ（荒加工）が維持され、ま
た、振動装置６が駆動される。振動装置６の圧電素子９
（ａ，ｂ）と圧電素子９（ｃ，ｄ）は交互に駆動され、
これによって工具電極３はコラム２の中心軸ｚに対して
左右に繰り返し連続して振動される。
し、工具電極３を被加工物５の表面に近接させ、放電加
工を開始する。工具電極３の下面と被加工物５の表面間
には放電間隙約１００μｍ（荒加工）が維持され、ま
た、振動装置６が駆動される。振動装置６の圧電素子９
（ａ，ｂ）と圧電素子９（ｃ，ｄ）は交互に駆動され、
これによって工具電極３はコラム２の中心軸ｚに対して
左右に繰り返し連続して振動される。
【００１５】このようにして加工が進行し、加工がある
深さまで進行した状態が図３に模式的に示されている。
この状況で工具電極３は実線のニュートラル位置から振
動装置６によって次ぎの瞬間、破線の傾斜位置に変位さ
れる。この変位はマイクロ秒単位の非常に速い変位なの
で実線位置から破線位置へ移動する際に、放電間隙Ｓに
ポンプ作用が発生する。これにより、放電間隙Ｓの加工
液は図の矢印のように流動し、これに連れて加工屑が放
電間隙Ｓから速やかに排出される。このポンプ作用は工
具電極３自体の変位によるので、加工深さに影響される
ことが少ない。
深さまで進行した状態が図３に模式的に示されている。
この状況で工具電極３は実線のニュートラル位置から振
動装置６によって次ぎの瞬間、破線の傾斜位置に変位さ
れる。この変位はマイクロ秒単位の非常に速い変位なの
で実線位置から破線位置へ移動する際に、放電間隙Ｓに
ポンプ作用が発生する。これにより、放電間隙Ｓの加工
液は図の矢印のように流動し、これに連れて加工屑が放
電間隙Ｓから速やかに排出される。このポンプ作用は工
具電極３自体の変位によるので、加工深さに影響される
ことが少ない。
【００１６】また、工具電極３先端の傾斜による左右へ
の振れは前記のように片側約２０μｍ弱であって、荒加
工時の平均的な加工間隙が通常１００μｍ以上であるこ
とからして工具電極３の先端が傾斜によって被加工物５
に衝突してしまうことはない。さらに、工具電極３の下
面の変位は前記のように１０μｍ程度であるから、この
場合も荒加工としての放電間隙１００μｍからすれば充
分に許容される微小傾斜のため、工具電極３の傾斜運動
によって良好な放電の持続が阻害されることはなく、加
工速度の低下がない。
の振れは前記のように片側約２０μｍ弱であって、荒加
工時の平均的な加工間隙が通常１００μｍ以上であるこ
とからして工具電極３の先端が傾斜によって被加工物５
に衝突してしまうことはない。さらに、工具電極３の下
面の変位は前記のように１０μｍ程度であるから、この
場合も荒加工としての放電間隙１００μｍからすれば充
分に許容される微小傾斜のため、工具電極３の傾斜運動
によって良好な放電の持続が阻害されることはなく、加
工速度の低下がない。
【００１７】さらに、工具電極３が傾斜することによ
り、工具電極３の下面と被加工物５との対面間隔（放電
間隙）の最短位置は常時変化しており、仮に集中放電が
発生してもただちにこれを分散させてしまうことができ
る。
り、工具電極３の下面と被加工物５との対面間隔（放電
間隙）の最短位置は常時変化しており、仮に集中放電が
発生してもただちにこれを分散させてしまうことができ
る。
【００１８】以上は一実施例であって、本発明は図示し
た具体的な構成に限定されない。工具電極と被加工物間
の相対的な振動は被加工物側を振動させるものであって
も良い。
た具体的な構成に限定されない。工具電極と被加工物間
の相対的な振動は被加工物側を振動させるものであって
も良い。
【００１９】工具電極３の振動方向は、実施例のように
左右方向だけではなく、図２において圧電素子９（ｂ，
ｃ）によって前側対を圧電素子９（ａ，ｄ）によって後
側対を作り、これらの対を交互に伸長させることによっ
て前後に振動させることもできる。さらに、圧電素子９
の左右の対と前後の対の組み合わせを順次組合わせるこ
とや圧電素子９（ａ〜ｄ）のそれぞれを単一で使用する
ことにより、工具電極３が行う傾斜による振動方向を変
化させることができる。このようにすると、放電間隙Ｓ
における加工液の流動方向が変化し、加工屑などが一定
個所に沈殿するなどの事態を防止することができる。
左右方向だけではなく、図２において圧電素子９（ｂ，
ｃ）によって前側対を圧電素子９（ａ，ｄ）によって後
側対を作り、これらの対を交互に伸長させることによっ
て前後に振動させることもできる。さらに、圧電素子９
の左右の対と前後の対の組み合わせを順次組合わせるこ
とや圧電素子９（ａ〜ｄ）のそれぞれを単一で使用する
ことにより、工具電極３が行う傾斜による振動方向を変
化させることができる。このようにすると、放電間隙Ｓ
における加工液の流動方向が変化し、加工屑などが一定
個所に沈殿するなどの事態を防止することができる。
【００２０】また、工具電極３の振動の態様として常に
ニュートラル位置から片側方向へのみ変位する傾斜運動
をその振動の方向を変更しながら行わせるものであって
も良い。さらに、振動の態様は、圧電素子９に正弦波状
電圧を印加するときのように傾斜が連続的に変化しつつ
発生するものに換え、電圧をパルス状に印加するときの
ように傾斜が断続的に発生するものであっても良い。工
具電極３を振動させる駆動源としては圧電素子９の他に
静電モータや電磁石などを使用することができる。
ニュートラル位置から片側方向へのみ変位する傾斜運動
をその振動の方向を変更しながら行わせるものであって
も良い。さらに、振動の態様は、圧電素子９に正弦波状
電圧を印加するときのように傾斜が連続的に変化しつつ
発生するものに換え、電圧をパルス状に印加するときの
ように傾斜が断続的に発生するものであっても良い。工
具電極３を振動させる駆動源としては圧電素子９の他に
静電モータや電磁石などを使用することができる。
【００２１】
【発明の効果】深い型彫り加工でも、放電間隙の加工屑
がスムーズに排出され、また、放電個所が積極的に分散
されるので、良好な放電状態が維持されて放電加工の効
率が上昇する。
がスムーズに排出され、また、放電個所が積極的に分散
されるので、良好な放電状態が維持されて放電加工の効
率が上昇する。
【図１】模式的に示した正面図。
【図２】図１におけるＡ−Ａの断面図。
【図３】作用を説明するための正面図。
【図４】振動の状態を示す正面図。
１ 型彫り放電加工装置 ２ コラム ３ 工具電極 ４ テーブル ５ 被加工物 ６ 振動装置 ７ 電極ホルダ ８ 平行ばね体 ９ 圧電素子 １０ 平行板部 １１ 連結部
Claims (2)
- 【請求項１】 工具電極と被加工物間に、放電間隙内で
十分に許容される微小傾斜と復帰を与える振動装置を備
えていることを特徴とした型彫り放電加工装置。 - 【請求項２】 微小傾斜の振動方向が変化することを特
徴とした請求項１に記載の型彫り放電加工装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5045750A JPH06238524A (ja) | 1993-02-10 | 1993-02-10 | 型彫り放電加工装置 |
| PCT/JP1994/000149 WO1994017947A1 (en) | 1993-02-10 | 1994-02-02 | Die sinking electrical discharge apparatus |
| EP94905831A EP0636443A4 (en) | 1993-02-10 | 1994-02-02 | ELECTRIC DISCHARGE APPARATUS FOR DIE MACHINING. |
| KR1019940703404A KR950700802A (ko) | 1993-02-10 | 1994-09-29 | 다이 조각 방전 가공장치 |
| US08/846,499 US5773781A (en) | 1993-02-10 | 1997-04-28 | Profiling electrical discharge machining apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5045750A JPH06238524A (ja) | 1993-02-10 | 1993-02-10 | 型彫り放電加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06238524A true JPH06238524A (ja) | 1994-08-30 |
Family
ID=12727988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5045750A Pending JPH06238524A (ja) | 1993-02-10 | 1993-02-10 | 型彫り放電加工装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0636443A4 (ja) |
| JP (1) | JPH06238524A (ja) |
| KR (1) | KR950700802A (ja) |
| WO (1) | WO1994017947A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002239842A (ja) * | 2001-02-22 | 2002-08-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マイクロ放電加工方法及び装置 |
| KR101036996B1 (ko) * | 2009-07-02 | 2011-05-25 | 김영탁 | 방전기 |
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| JP3253812B2 (ja) * | 1994-10-17 | 2002-02-04 | 松下電器産業株式会社 | 放電加工装置 |
| DE102004013549A1 (de) * | 2004-03-19 | 2005-10-06 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zum Erodieren konischer Bohrungen |
| DE102007054308B4 (de) | 2007-11-08 | 2009-09-10 | INSTITUT FüR MIKROTECHNIK MAINZ GMBH | Antriebsvorrichtung für Erodierwerkzeuge |
| CN104827144B (zh) * | 2015-04-21 | 2017-04-12 | 浙江工业大学 | 工具电极低频振动电解加工装置 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5226839B2 (ja) * | 1973-05-18 | 1977-07-16 | ||
| JPS5923940B2 (ja) * | 1977-12-08 | 1984-06-06 | 株式会社井上ジャパックス研究所 | 電気加工装置 |
| JPS6010857B2 (ja) * | 1979-02-14 | 1985-03-20 | フアナツク株式会社 | ワイヤカット放電加工装置 |
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| JPS60255323A (ja) * | 1984-05-30 | 1985-12-17 | Mitsubishi Electric Corp | 放電加工装置 |
| FR2577156A1 (fr) * | 1985-02-11 | 1986-08-14 | Lumia Angelo | Mandrin simultanement tournant et vibrant pour desintegreuse |
| JPH0761576B2 (ja) * | 1985-07-12 | 1995-07-05 | 株式会社井上ジャパックス研究所 | 放電加工装置 |
| JPS63201022U (ja) * | 1987-06-15 | 1988-12-26 | ||
| JPH02152729A (ja) * | 1988-11-30 | 1990-06-12 | Fuji Electric Co Ltd | 放電加工方法 |
| JPH0360928A (ja) * | 1989-07-28 | 1991-03-15 | Sodick Co Ltd | 放電加工装置 |
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-
1993
- 1993-02-10 JP JP5045750A patent/JPH06238524A/ja active Pending
-
1994
- 1994-02-02 EP EP94905831A patent/EP0636443A4/en not_active Withdrawn
- 1994-02-02 WO PCT/JP1994/000149 patent/WO1994017947A1/ja not_active Application Discontinuation
- 1994-09-29 KR KR1019940703404A patent/KR950700802A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002239842A (ja) * | 2001-02-22 | 2002-08-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マイクロ放電加工方法及び装置 |
| KR101036996B1 (ko) * | 2009-07-02 | 2011-05-25 | 김영탁 | 방전기 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR950700802A (ko) | 1995-02-20 |
| EP0636443A1 (en) | 1995-02-01 |
| EP0636443A4 (en) | 1995-08-09 |
| WO1994017947A1 (en) | 1994-08-18 |
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