JPH0799868B2 - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
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- JPH0799868B2 JPH0799868B2 JP59273144A JP27314484A JPH0799868B2 JP H0799868 B2 JPH0799868 B2 JP H0799868B2 JP 59273144 A JP59273144 A JP 59273144A JP 27314484 A JP27314484 A JP 27314484A JP H0799868 B2 JPH0799868 B2 JP H0799868B2
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- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/60—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/71—Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
- H04N25/75—Circuitry for providing, modifying or processing image signals from the pixel array
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/76—Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
Description
【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は固体撮像装置に関するものであり、特に、光電
変換された電気信号を直ちにディジタル変換して蓄積
し、全ての画素から得られる光情報をディジタル信号と
して取り出そうとするものである。
変換された電気信号を直ちにディジタル変換して蓄積
し、全ての画素から得られる光情報をディジタル信号と
して取り出そうとするものである。
既に周知の如く、ディジタル信号の形式にて信号伝送や
各種の信号処理を行うことにより、SN比の劣化を極めて
少なくすることができる。かかる観点から、撮像装置に
おいてもできるだけ初期の信号処理段階にて映像信号を
ディジタル化し、その後に各種の処理を行おうとする試
みがなされている。
各種の信号処理を行うことにより、SN比の劣化を極めて
少なくすることができる。かかる観点から、撮像装置に
おいてもできるだけ初期の信号処理段階にて映像信号を
ディジタル化し、その後に各種の処理を行おうとする試
みがなされている。
しかし、従来の撮像装置においては、光電変換された信
号を、できるだけ早くディジタル信号に変換する場合で
も、固体撮像素子の画素から得られる各々のアナログ情
報を時系列のアナログ情報として一度素子外に取り出し
た後に、AD（アナログ・デジタル）変換器によりディジ
タル信号に変換していた。すなわち、第９図（Ａ）に示
されるように、撮像管2Aから送出されたアナログ信号は
前置増幅器4Aを介してA/D変換器6Aに導入されていた。
あるいは、第９図（Ｂ）に示されるように、固体撮像素
子2Bから送出された信号も前置増幅器4Bを介してA/D変
換器6Bに導入されていた。
号を、できるだけ早くディジタル信号に変換する場合で
も、固体撮像素子の画素から得られる各々のアナログ情
報を時系列のアナログ情報として一度素子外に取り出し
た後に、AD（アナログ・デジタル）変換器によりディジ
タル信号に変換していた。すなわち、第９図（Ａ）に示
されるように、撮像管2Aから送出されたアナログ信号は
前置増幅器4Aを介してA/D変換器6Aに導入されていた。
あるいは、第９図（Ｂ）に示されるように、固体撮像素
子2Bから送出された信号も前置増幅器4Bを介してA/D変
換器6Bに導入されていた。
撮像装置としてもその後に多くの信号処理を必要とする
ものであり、したがってデイジタル信号としての処理上
のメリットはあるが、このような構成を採る限り、AD変
換を行う以前の撮像素子におけるアナログ信号処理は従
来通りであり、そこでの問題は全て解決されずに残って
いるので各種の雑音が重畳してSN比を十分に高めること
ができないなど、良好な撮像ができないという欠点がみ
られた。
ものであり、したがってデイジタル信号としての処理上
のメリットはあるが、このような構成を採る限り、AD変
換を行う以前の撮像素子におけるアナログ信号処理は従
来通りであり、そこでの問題は全て解決されずに残って
いるので各種の雑音が重畳してSN比を十分に高めること
ができないなど、良好な撮像ができないという欠点がみ
られた。
本発明の目的は、上述の点に鑑み、各画素において光電
変換された画素毎の電気信号を、ディジタル信号に変換
して信号処理するよう構成した固体撮像装置を提供する
ことにある。
変換された画素毎の電気信号を、ディジタル信号に変換
して信号処理するよう構成した固体撮像装置を提供する
ことにある。
かかる目的を達成するために、本発明に係る固体撮像装
置は、少なくとも１次元的に配列され、入射フォトン数
に応じたパルス状信号を送出する複数の受光手段と、前
記受光手段の各々に接続され、前記パルス状信号を計数
し、保持する計数保持手段と、任意の周期で前記計数保
持手段の計数値を初期状態に戻す手段と、前記計数保持
手段からデジタル信号を逐次読み出す走査手段とを具備
し、同時もしくは近接した時間的間隔をもってフォトン
が前記受光手段に入射したときには、前記パルス状信号
のピーク値もしくは持続時間に基づいて前記デジタル信
号の値を修正する手段を前記計数保持手段に備えたもの
である。
置は、少なくとも１次元的に配列され、入射フォトン数
に応じたパルス状信号を送出する複数の受光手段と、前
記受光手段の各々に接続され、前記パルス状信号を計数
し、保持する計数保持手段と、任意の周期で前記計数保
持手段の計数値を初期状態に戻す手段と、前記計数保持
手段からデジタル信号を逐次読み出す走査手段とを具備
し、同時もしくは近接した時間的間隔をもってフォトン
が前記受光手段に入射したときには、前記パルス状信号
のピーク値もしくは持続時間に基づいて前記デジタル信
号の値を修正する手段を前記計数保持手段に備えたもの
である。
以下、実施例に基づいて本発明を詳細に説明する。
本発明に係る固体撮像装置は、到来するフォトン（光
子）の数をデジタル的に計測して、画素ごとのデジタル
信号を送出するものである。そこで、到来するフォトン
の数について言及していく。１ルーメンに含まれるフォ
トンの数は毎秒当たり、波長（入）550nmについては0.4
×1016個/sec、白色光については1.3×1016個/secであ
るといわれている。よって、いま１画素の大きさが約10
×10μm2とした場合には、１ルックスの面照度を有する
その面積内に到達するフォトンの数は、白色光について
は毎秒あたり、 1.3×1016×10×10×10-12個/sec ＝1.3×106個/sec ……（１） となり、これを通常のテレビジョンのフレームタイム
（1/30秒）に換算すると、 となる。従って、このフォトンの数をカウントすること
により、当該画素の入射光量に応じた信号をディジタル
信号として取り出すことが可能となる。
子）の数をデジタル的に計測して、画素ごとのデジタル
信号を送出するものである。そこで、到来するフォトン
の数について言及していく。１ルーメンに含まれるフォ
トンの数は毎秒当たり、波長（入）550nmについては0.4
×1016個/sec、白色光については1.3×1016個/secであ
るといわれている。よって、いま１画素の大きさが約10
×10μm2とした場合には、１ルックスの面照度を有する
その面積内に到達するフォトンの数は、白色光について
は毎秒あたり、 1.3×1016×10×10×10-12個/sec ＝1.3×106個/sec ……（１） となり、これを通常のテレビジョンのフレームタイム
（1/30秒）に換算すると、 となる。従って、このフォトンの数をカウントすること
により、当該画素の入射光量に応じた信号をディジタル
信号として取り出すことが可能となる。
ここで、上記第（２）式のフォトン数は、 4.3×104＜216＝6.55×104 であるから、16ビットの２進数を用いて表現することが
できる。更に、この光量の10倍、あるいは100倍の入射
光までも取り扱う場合を考えると、 4.3×104+1＜219（＝5.24×105） 4.3×104+2＜223（＝8.39×106） となるので、それぞれ19ビットあるいは23ビットの２進
数を用いて表現することが可能である。
できる。更に、この光量の10倍、あるいは100倍の入射
光までも取り扱う場合を考えると、 4.3×104+1＜219（＝5.24×105） 4.3×104+2＜223（＝8.39×106） となるので、それぞれ19ビットあるいは23ビットの２進
数を用いて表現することが可能である。
次に、フォトンが光センサ部に到達する周期について述
べる。既述の第（１）式に示す場合、毎秒当たりのフォ
トン数は1.3×106個/secとなるが、これら全てのフォト
ンが等しい周期をもって光センサ部に到達したものとす
ると、その周波数は1.3MHzとなる。しかし、一般の到達
周期はランダムであると考えられるので、ある一時点に
おいて、フォトンが10倍の密度で到達する場合、その周
波数は13MHz,100倍の密度で到達する場合、その周波数
は130MHzとなる。
べる。既述の第（１）式に示す場合、毎秒当たりのフォ
トン数は1.3×106個/secとなるが、これら全てのフォト
ンが等しい周期をもって光センサ部に到達したものとす
ると、その周波数は1.3MHzとなる。しかし、一般の到達
周期はランダムであると考えられるので、ある一時点に
おいて、フォトンが10倍の密度で到達する場合、その周
波数は13MHz,100倍の密度で到達する場合、その周波数
は130MHzとなる。
第10図に示すグラフは、到来するフォトンの平均数がｍ
であるとき、フォトン数ｎが観測される確率Pn を示している（東北大通研シンポジウム1983年３月、神
谷武志氏「光デバイスの可能性」図１のグラフを書きな
おしたものである）。このグラフから明らかなように、
ある特定の時期に到来するフォトンを峻別するための周
波数応答性能は、せいぜい10倍程度（すなわち13MHz）
の余裕を持っておけば十分である。
であるとき、フォトン数ｎが観測される確率Pn を示している（東北大通研シンポジウム1983年３月、神
谷武志氏「光デバイスの可能性」図１のグラフを書きな
おしたものである）。このグラフから明らかなように、
ある特定の時期に到来するフォトンを峻別するための周
波数応答性能は、せいぜい10倍程度（すなわち13MHz）
の余裕を持っておけば十分である。
もう一方の考え方として、到来する光もノイズ成分を持
っており、一時に高い密度で到来するフォトンは、前記
ノイズ成分に相当すると考えられる。従って、密度の高
いフォトンをすべてカウントしない方が、ノイズを少な
くできると考えることもできる。従って、その意味から
も周波数応答性は、平均周波数（1.3MHz）の10倍程度あ
れば十分であり、それ以上の高い周波数でカウントする
必要はない。
っており、一時に高い密度で到来するフォトンは、前記
ノイズ成分に相当すると考えられる。従って、密度の高
いフォトンをすべてカウントしない方が、ノイズを少な
くできると考えることもできる。従って、その意味から
も周波数応答性は、平均周波数（1.3MHz）の10倍程度あ
れば十分であり、それ以上の高い周波数でカウントする
必要はない。
但し、入射ホトンの全数の計測を必要とするときは、後
述の回路を設けることにより達成することができる。
述の回路を設けることにより達成することができる。
第１図（Ｂ）は、第４図以降において詳述する各実施例
の前提となる、フォトン数計測のための概略模式図であ
り、通常のICプロセスに従って単一のウエハ上にライン
センサを構成する態様を表している。第１図（Ａ）はこ
の内１画素分の光電変換，計数保持手段を示す。ここ
で、8A〜8Nは到来するフォトンの数に対応したパルス状
信号を送出する光センサ部、10A〜10Nはこの光センサ部
から送出されるパルス状信号をカウントする16〜23ビッ
トのパルスカウンタである。12A〜12Nは光センサ部に含
まれるフォトダイオードや光導電膜などの光電変換素子
あるいは高速光電子増倍素子（例えば、アバランシェフ
ォトダイオード、または光電面とマイクロチャンネルプ
レートの組合わせ等）であり、フォトンが到来する受光
面上に１列に配列してある。また、14は水平走査回路で
あり、各々の16〜23ビットカウンタ10A〜10Nを付勢する
ことにより、そのデジタル係数値を逐次読み出すと同時
にリセットも行う。この読み出しを行う為の付勢方法は
従来から知られているアドレススイッチング手法を用い
るものが好適である。
の前提となる、フォトン数計測のための概略模式図であ
り、通常のICプロセスに従って単一のウエハ上にライン
センサを構成する態様を表している。第１図（Ａ）はこ
の内１画素分の光電変換，計数保持手段を示す。ここ
で、8A〜8Nは到来するフォトンの数に対応したパルス状
信号を送出する光センサ部、10A〜10Nはこの光センサ部
から送出されるパルス状信号をカウントする16〜23ビッ
トのパルスカウンタである。12A〜12Nは光センサ部に含
まれるフォトダイオードや光導電膜などの光電変換素子
あるいは高速光電子増倍素子（例えば、アバランシェフ
ォトダイオード、または光電面とマイクロチャンネルプ
レートの組合わせ等）であり、フォトンが到来する受光
面上に１列に配列してある。また、14は水平走査回路で
あり、各々の16〜23ビットカウンタ10A〜10Nを付勢する
ことにより、そのデジタル係数値を逐次読み出すと同時
にリセットも行う。この読み出しを行う為の付勢方法は
従来から知られているアドレススイッチング手法を用い
るものが好適である。
かくして、第１図によれば１次元の固体撮像装置（所謂
ラインセンサ）を構成することができる。なお、各々の
カウンタの詳細構成は第２図に示すとおり、フリップフ
ロップを縦続接続してある。
ラインセンサ）を構成することができる。なお、各々の
カウンタの詳細構成は第２図に示すとおり、フリップフ
ロップを縦続接続してある。
第１図に示した回路を動作させる場合は、まず１フレー
ム時間に相当する1/30秒間について、入射フォトン数に
対応したパルス状信号をフォトダイオード12A〜12Nから
カウンタ10A〜10Nに導入し、カウントが終了した時点で
水平走査回路14を用いてこれら各カウンタからその計数
値を逐次読み出す。そして、計数値の読み出し後にこれ
らカウンタを零にリセットし、以下同じ動作を繰り返
す。このことにより、受光面における照度を各画素単位
でディジタル信号に直接変換し、出力することができ
る。
ム時間に相当する1/30秒間について、入射フォトン数に
対応したパルス状信号をフォトダイオード12A〜12Nから
カウンタ10A〜10Nに導入し、カウントが終了した時点で
水平走査回路14を用いてこれら各カウンタからその計数
値を逐次読み出す。そして、計数値の読み出し後にこれ
らカウンタを零にリセットし、以下同じ動作を繰り返
す。このことにより、受光面における照度を各画素単位
でディジタル信号に直接変換し、出力することができ
る。
第３図は、第１図の構成を２次元的に配列した状態を示
す模式図である。この第３図では、第１図（Ｂ）に示し
たラインセンサ（ウエハ）を約10μｍの厚さに薄片化
し、所定枚数だけ垂直方向に有機絶縁装着材あるいは異
方向性導電接着材等を用いて貼り合わせ、もって２次元
像の撮像が可能なセンサを構成したものである、ここ
で、16は垂直走査回路を示し、各ウエハ毎に備えられて
いる水平走査回路14のいずれかひとつを指定して水平走
査線を特定する機能を果たす。
す模式図である。この第３図では、第１図（Ｂ）に示し
たラインセンサ（ウエハ）を約10μｍの厚さに薄片化
し、所定枚数だけ垂直方向に有機絶縁装着材あるいは異
方向性導電接着材等を用いて貼り合わせ、もって２次元
像の撮像が可能なセンサを構成したものである、ここ
で、16は垂直走査回路を示し、各ウエハ毎に備えられて
いる水平走査回路14のいずれかひとつを指定して水平走
査線を特定する機能を果たす。
このように、ある２次元平面上にフォトダイオードをマ
トリクス状に配列すると共に、各々のウエファ相互を電
気的に絶縁して重ね合わせることにより、通常の二次元
画像走査を行うことが可能となる。なお、第３図ではフ
ォトン計数用のカウンタを３次元的に配列してあるの
で、水平・垂直走査回路のみならず、その他の信号処理
回路をこれらカウンタに隣接して（すなわち、第３図の
右側スペース内に）設けることも可能であり、時に画素
毎にこの信号処理回路を設ける場合には有効である。
トリクス状に配列すると共に、各々のウエファ相互を電
気的に絶縁して重ね合わせることにより、通常の二次元
画像走査を行うことが可能となる。なお、第３図ではフ
ォトン計数用のカウンタを３次元的に配列してあるの
で、水平・垂直走査回路のみならず、その他の信号処理
回路をこれらカウンタに隣接して（すなわち、第３図の
右側スペース内に）設けることも可能であり、時に画素
毎にこの信号処理回路を設ける場合には有効である。
第４図は本発明の第１実施例を示すブロック図である。
本実施例は、一度に多数のフォトンが到来したために光
センサ部からフォトン数に対応したパルス数が得られな
い場合に特に有用な固体撮像装置である、ここで、18は
フォトダイオード、20は広帯域増幅器、22は微分回路で
ある。また、24はレベル検出器であり、増幅器20の出力
信号が所定レベルを越えた場合に、その出力信号におけ
る超過レベル成分をA/D変換器26に送出する機能を果た
す。28はパルスカウンタであり、微分回路28から送出さ
れるパルスSDの数をカウントする。但し、A/D変換器26
からパルスSMが送出された場合には、このパルスSMが表
わす数だけカウンタ28の計数値をインクリメントする。
本実施例は、一度に多数のフォトンが到来したために光
センサ部からフォトン数に対応したパルス数が得られな
い場合に特に有用な固体撮像装置である、ここで、18は
フォトダイオード、20は広帯域増幅器、22は微分回路で
ある。また、24はレベル検出器であり、増幅器20の出力
信号が所定レベルを越えた場合に、その出力信号におけ
る超過レベル成分をA/D変換器26に送出する機能を果た
す。28はパルスカウンタであり、微分回路28から送出さ
れるパルスSDの数をカウントする。但し、A/D変換器26
からパルスSMが送出された場合には、このパルスSMが表
わす数だけカウンタ28の計数値をインクリメントする。
なお、上記説明は１画素ぶんについての構成であるの
で、フォトダイオードを一列に、あるいは面状に配列す
ることにより、種々の光センサを形成することができる
（第１図（Ｂ），第３図参照）。
で、フォトダイオードを一列に、あるいは面状に配列す
ることにより、種々の光センサを形成することができる
（第１図（Ｂ），第３図参照）。
第５図は第４図の動作を説明する波形図である。本図
は、上から、広帯域増幅器20の出力信号、A/D変換器26
の出力信号SM、微分回路22の出力信号SD、パルスカウン
タ28の各ビット出力、フォトダイオード18に入射したフ
ォトン数の経時的変化を表している。
は、上から、広帯域増幅器20の出力信号、A/D変換器26
の出力信号SM、微分回路22の出力信号SD、パルスカウン
タ28の各ビット出力、フォトダイオード18に入射したフ
ォトン数の経時的変化を表している。
本図から明らかなように、時刻t1〜t4において入射する
フォトンの数は１個ずつであり、微分回路22の出力パル
スSDをパルスカウンタ28が逐次カウントしている。とこ
ろが、時刻t5に至って４個のフォトンが到来すると、広
帯域増幅器20からは所定のしきい値電圧Vsを越える出力
信号が送出される。レベル検出器24はこの旨を検出する
と、そのしきい値電圧Vsを差し引いた超過電圧ぶんをA/
D変換器26に送出する。A/D変換器26は、その超過電圧を
デジタル信号SM（フォトン３個ぶんに相当する）に変換
してパルスカウンタ28の第１ビット入力端子（図示せ
ず）に供給する。これにより、パルスカウンタ28は“3"
だけ計数値が修正され、フォトン数に対応した計数値を
示すことになる。
フォトンの数は１個ずつであり、微分回路22の出力パル
スSDをパルスカウンタ28が逐次カウントしている。とこ
ろが、時刻t5に至って４個のフォトンが到来すると、広
帯域増幅器20からは所定のしきい値電圧Vsを越える出力
信号が送出される。レベル検出器24はこの旨を検出する
と、そのしきい値電圧Vsを差し引いた超過電圧ぶんをA/
D変換器26に送出する。A/D変換器26は、その超過電圧を
デジタル信号SM（フォトン３個ぶんに相当する）に変換
してパルスカウンタ28の第１ビット入力端子（図示せ
ず）に供給する。これにより、パルスカウンタ28は“3"
だけ計数値が修正され、フォトン数に対応した計数値を
示すことになる。
なお、これまでの説明は単一の画素に入射するフォトン
について述べたが、その他の図示しない画素に入射する
フォトンについても同様である。
について述べたが、その他の図示しない画素に入射する
フォトンについても同様である。
第６図は本発明の第２実施例を示す概略ブロック図、第
７図は第６図に対応した詳細回路図、第８図は第６図の
動作を説明する波形図である。
７図は第６図に対応した詳細回路図、第８図は第６図の
動作を説明する波形図である。
第６図において、30はフォトダイオード32を含む受光部
である。34は時間・パルス変換回路であり、増幅器20の
出力信号が“所定のレベルE0以上を持続する時間”をそ
の時間に対応したパルス数（入射フォトンの数に対応す
る）に変換して出力する機能を果たす。36は変換回路34
の出力パルスを計数するパルスカウンタである。
である。34は時間・パルス変換回路であり、増幅器20の
出力信号が“所定のレベルE0以上を持続する時間”をそ
の時間に対応したパルス数（入射フォトンの数に対応す
る）に変換して出力する機能を果たす。36は変換回路34
の出力パルスを計数するパルスカウンタである。
次に、これら第６図〜第８図を参照して本実施例の動作
を説明する。但し、受光部30へのフォトン入射に伴って
フォトダイオード32から光電子増倍出力が得られるが、
受光部30の出力は次の条件を満たすようなものとする。
すなわち、唯１個のフォトンが入射した場合にも、そ
の出力レベルは期間tPにわたって所定レベルE0（変換回
路34のトリガレベル）以上を保持するよう予め調整して
おく。また、フォトンが一時に多数入射した場合に
は、そのフォトン数Ｐに比例して、おおよそ期間Ｐ・tP
にわたって上記レベルE0以上の出力を有するよう構成し
ておく（第７図参照）。
を説明する。但し、受光部30へのフォトン入射に伴って
フォトダイオード32から光電子増倍出力が得られるが、
受光部30の出力は次の条件を満たすようなものとする。
すなわち、唯１個のフォトンが入射した場合にも、そ
の出力レベルは期間tPにわたって所定レベルE0（変換回
路34のトリガレベル）以上を保持するよう予め調整して
おく。また、フォトンが一時に多数入射した場合に
は、そのフォトン数Ｐに比例して、おおよそ期間Ｐ・tP
にわたって上記レベルE0以上の出力を有するよう構成し
ておく（第７図参照）。
時間・パルス変換回路34は上記期間tPよりも若干長い期
間tOを１周期としてパルスを自励発振するものであり、
入力レベルがE0を越えている限り、周期tOのパルスを連
続的に送出する。従って、時間・パルス変換回路34から
は、入射したフォトンの個数に対応したパルスが送出さ
れ、これがパルスカウンタ36によりカウントされること
になる。
間tOを１周期としてパルスを自励発振するものであり、
入力レベルがE0を越えている限り、周期tOのパルスを連
続的に送出する。従って、時間・パルス変換回路34から
は、入射したフォトンの個数に対応したパルスが送出さ
れ、これがパルスカウンタ36によりカウントされること
になる。
かくして、離散的に到達するフォトンについては１個ず
つカウントを行い、他方、一度に多数到達するフォトン
については、まずアナログ量である時間の長さに変換
し、その時間に対応して発生されるパルスの数をカウン
トすることができるので、常にフォトンの数を正確に計
測することが可能となる。なお、上記tPやtOの値として
は、例えば0.1μsec以下に設定するのが好適である。
つカウントを行い、他方、一度に多数到達するフォトン
については、まずアナログ量である時間の長さに変換
し、その時間に対応して発生されるパルスの数をカウン
トすることができるので、常にフォトンの数を正確に計
測することが可能となる。なお、上記tPやtOの値として
は、例えば0.1μsec以下に設定するのが好適である。
一般に、表示用ブラウン管（CRT）などにより表現し得
るコントラスト比は20対１が限度であると言われてい
る。それを２進数で表す場合、８ビットつまり、28の諧
調の映像信号があれば十分であると言われている。そこ
で、本発明によるデジタル固体映像装置からの223にも
およぶ出力を映像信号にどのように対応させるかによっ
て、種々の特性が得られる。次に２〜３の例について述
べる。
るコントラスト比は20対１が限度であると言われてい
る。それを２進数で表す場合、８ビットつまり、28の諧
調の映像信号があれば十分であると言われている。そこ
で、本発明によるデジタル固体映像装置からの223にも
およぶ出力を映像信号にどのように対応させるかによっ
て、種々の特性が得られる。次に２〜３の例について述
べる。
（１）デジタル固体撮像装置の223の出力を直線的に映
像信号の28に変換する（第11図（Ａ）参照）。その具体
的一例を第11図（Ｂ）に示す。しかし、自然界における
通常の一場面では、コントラスト比が100対１から高々1
000対１なのでCRT上では極一部のコントラスト範囲に圧
縮されてしまい、良好な変換方式とはいえない（特殊用
途となる）。
像信号の28に変換する（第11図（Ａ）参照）。その具体
的一例を第11図（Ｂ）に示す。しかし、自然界における
通常の一場面では、コントラスト比が100対１から高々1
000対１なのでCRT上では極一部のコントラスト範囲に圧
縮されてしまい、良好な変換方式とはいえない（特殊用
途となる）。
（２）デジタル固体撮像装置の２進数出力における１ビ
ットを映像信号の２進数における１ビットにそれぞれ対
応させる（第12図参照）。また、対応外の上位ビットと
下位ビットは切り捨てる、その具体的一例を第14図に示
す。こうすることにより、自然界とほぼ同じコントラス
トでCRT上に表示できるため、良好な画像信号となる。
ットを映像信号の２進数における１ビットにそれぞれ対
応させる（第12図参照）。また、対応外の上位ビットと
下位ビットは切り捨てる、その具体的一例を第14図に示
す。こうすることにより、自然界とほぼ同じコントラス
トでCRT上に表示できるため、良好な画像信号となる。
この場合、デジタル固体撮像装置の223にもおよぶ出力
のうち、どのビットを映像信号のどのビットに対応させ
るかについては、被写体の明るさに応じて適宜変えるこ
とができるようにする（第12図および第13図参照）。
のうち、どのビットを映像信号のどのビットに対応させ
るかについては、被写体の明るさに応じて適宜変えるこ
とができるようにする（第12図および第13図参照）。
（３）映像信号のうち、ある特定ビットは上述と同じく
デジタル固体撮像装置出力と１対１に対応させ、被写体
の輝度の高い部分だけ、コントラストを圧縮した形で映
像信号に変換する（第15図参照）。つまり、ニーポイン
トを設定する。この場合も上述の場合と同様、圧縮の比
率を変えずに入射光量に応じて対応するビットを変える
ことができるようにする（第15図および第16図参照）。
このようにすることにより、より広い光量域を表現する
ことができる。
デジタル固体撮像装置出力と１対１に対応させ、被写体
の輝度の高い部分だけ、コントラストを圧縮した形で映
像信号に変換する（第15図参照）。つまり、ニーポイン
トを設定する。この場合も上述の場合と同様、圧縮の比
率を変えずに入射光量に応じて対応するビットを変える
ことができるようにする（第15図および第16図参照）。
このようにすることにより、より広い光量域を表現する
ことができる。
また、変換の方法は、デジタル固体撮像装置出力10〜11
ビットを映像信号の８ビットに直接変換する場合（第17
図（Ａ）参照）と、デジタル固体撮像装置出力の10〜11
ビットを一度上記（２）項と同様の方法で10〜11ビット
の映像信号として取り出し、その後８ビットに圧縮する
方法（第17図（Ｂ）参照）が考えられる。
ビットを映像信号の８ビットに直接変換する場合（第17
図（Ａ）参照）と、デジタル固体撮像装置出力の10〜11
ビットを一度上記（２）項と同様の方法で10〜11ビット
の映像信号として取り出し、その後８ビットに圧縮する
方法（第17図（Ｂ）参照）が考えられる。
上記（２）項を例に具体的数値を入れると、一般に白色
光１ルーメン（lm）には毎秒約1016個のホトンが含まれ
る。そして、このホトンが１平方メートルの面積にふり
そそいだ状態が１ルックス（lx）である。
光１ルーメン（lm）には毎秒約1016個のホトンが含まれ
る。そして、このホトンが１平方メートルの面積にふり
そそいだ状態が１ルックス（lx）である。
いま、センサーの１画素の面積を10×10μm2とすると、
1lxの明るさにおいて100μm2の面積には毎秒約106個の
ホトンが到来することになる。これを1/30秒間だけカウ
ントすると、約3.3×104個となり、これを２進カウンタ
でカウントするためには16ビットを必要とする。その第
16ビットを映像信号における100％のレベルに対応させ
ることによって、面照度1lxのとき100％の映像信号とす
ることができる（第12図参照）。ここで、入射光量が減
少してきた場合、映像信号における100％のレベルをデ
ジタル固体撮像装置の第15ビットに対応させることによ
り、感度を２倍上げることができる。逆に、光量が多い
場合には第17ビットに対応させることにより、感度は1/
2となる。このように、デジタル固体撮像装置における
出力のどのビットを映像信号の100％のレベルに対応さ
せるかによって、感度を変えることができる。
1lxの明るさにおいて100μm2の面積には毎秒約106個の
ホトンが到来することになる。これを1/30秒間だけカウ
ントすると、約3.3×104個となり、これを２進カウンタ
でカウントするためには16ビットを必要とする。その第
16ビットを映像信号における100％のレベルに対応させ
ることによって、面照度1lxのとき100％の映像信号とす
ることができる（第12図参照）。ここで、入射光量が減
少してきた場合、映像信号における100％のレベルをデ
ジタル固体撮像装置の第15ビットに対応させることによ
り、感度を２倍上げることができる。逆に、光量が多い
場合には第17ビットに対応させることにより、感度は1/
2となる。このように、デジタル固体撮像装置における
出力のどのビットを映像信号の100％のレベルに対応さ
せるかによって、感度を変えることができる。
以上詳述した本発明によって、次の効果が得られる。
（１）スイッチングノイズや浮遊容量などに起因するSN
比の劣化を無くすことができる。
比の劣化を無くすことができる。
すなわち、本発明によれば、到達したフォトンの数を画
素毎に即座にカウントすることができるので、得られた
ディジタル信号には光量子雑音以外の雑音成分は全く含
まれず、その後の伝送，各種の処理過程においてもデイ
ジタル信号であるため雑音の混入する可能性が極めて少
く、最終的に非常にSN比の高い出力信号を得ることがで
きる。
素毎に即座にカウントすることができるので、得られた
ディジタル信号には光量子雑音以外の雑音成分は全く含
まれず、その後の伝送，各種の処理過程においてもデイ
ジタル信号であるため雑音の混入する可能性が極めて少
く、最終的に非常にSN比の高い出力信号を得ることがで
きる。
なお、最終的に問題となる光量子雑音については、 １画素としての必要な蓄積時間（例えば、1/30秒）よ
りも長い時間にわたって蓄積を行うことにより平均化を
行う； 前フレームにおけるカウント数との単純加算平均をと
る； 各フレームごとに重み付けを行い、以前のＮフレーム
にわたって移動平均をとる： 過去のフレームにおける値を参考に、次のフレームの
信号を予測する； 等により、更に軽減させることも可能である。
りも長い時間にわたって蓄積を行うことにより平均化を
行う； 前フレームにおけるカウント数との単純加算平均をと
る； 各フレームごとに重み付けを行い、以前のＮフレーム
にわたって移動平均をとる： 過去のフレームにおける値を参考に、次のフレームの
信号を予測する； 等により、更に軽減させることも可能である。
（２）画素毎にデイジタル信号として取扱うので前フレ
ームの画像情報を完全リセットすることができ、残像を
全く生じさせないことができる。
ームの画像情報を完全リセットすることができ、残像を
全く生じさせないことができる。
（３）デイジタル信号として蓄積・伝送が行われるので
ブルーミングやスミアなどを全く生じさせることなく非
常に良好な映像を得ることができる。
ブルーミングやスミアなどを全く生じさせることなく非
常に良好な映像を得ることができる。
すなわち、各画素における蓄積・積分の過程で生じるブ
ルーミングについては、 各々の走査線情報を得るためのライン状光センサ相互
間には絶縁層を設けてあること； 水平方向の隣接画素間にも障壁を設けて電荷が漏れな
いようにすることが可能であること： 入射したフォトンに起因する電荷が直ちに電源側に吸
収されてしまうこと； から、完全に除去することが可能である。
ルーミングについては、 各々の走査線情報を得るためのライン状光センサ相互
間には絶縁層を設けてあること； 水平方向の隣接画素間にも障壁を設けて電荷が漏れな
いようにすることが可能であること： 入射したフォトンに起因する電荷が直ちに電源側に吸
収されてしまうこと； から、完全に除去することが可能である。
更に、映像信号の走査・読み出しの過程で生じるスミア
についても、 走査回路を別個に独立して設けることが可能であるこ
と； デジタル信号化されているので、信号の漏れあるいは
他の信号との干渉を十分に補償することができること； から完全に除去することが可能である。
についても、 走査回路を別個に独立して設けることが可能であるこ
と； デジタル信号化されているので、信号の漏れあるいは
他の信号との干渉を十分に補償することができること； から完全に除去することが可能である。
（４）入射光が少くなった場合（すなわち、暗い被写体
を撮像する場合）にも、入射するフォトン数が単に減少
するだけであるので、光量子雑音以外の雑音が混入する
ことはなく、理論限界のSN比が得られる。
を撮像する場合）にも、入射するフォトン数が単に減少
するだけであるので、光量子雑音以外の雑音が混入する
ことはなく、理論限界のSN比が得られる。
（５）同時期に、あるいは時間的に非常に近接してフォ
トンが入射した場合にも、信号処理回路を工夫すること
により、正確なフォトン数の計測が可能となる。
トンが入射した場合にも、信号処理回路を工夫すること
により、正確なフォトン数の計測が可能となる。
また、デジタル固体撮像装置の出力の接続を変えること
により、光電面照度において感度を約212倍変えること
ができ、しかもその間において、撮像装置に起因する画
質の劣化は何一つ存在しない（この場合、ホトンが少な
くなることによるSN比の劣化は生ずるが、これは装置に
起因するものではない）。
により、光電面照度において感度を約212倍変えること
ができ、しかもその間において、撮像装置に起因する画
質の劣化は何一つ存在しない（この場合、ホトンが少な
くなることによるSN比の劣化は生ずるが、これは装置に
起因するものではない）。
次に、光量，ホトン数，カウンタのビット数などを具体
的に示す。
的に示す。
先ず、白色光1lmの中には約1016個のホトンが含まれて
いると言われるので、この数値を元に計算する。なお、
１画素の受光面は10×10μm2を考える。
いると言われるので、この数値を元に計算する。なお、
１画素の受光面は10×10μm2を考える。
このように、単に使用するビットの順位を変えることに
より、撮像装置に起因する画像の劣化なしに、太陽光下
から月明りまで撮像することが可能である。
より、撮像装置に起因する画像の劣化なしに、太陽光下
から月明りまで撮像することが可能である。
第１図（Ａ）および（Ｂ）は本発明の各実施例の前提と
なるフォトン数計測のための模式図、第２図は第１図
（Ａ）に対応した詳細回路図、 第３図は第１図の構成を２次元的に配列した状態を示す
模式図、 第４図は本発明の第１実施例を示すブロック図、 第５図は第４図の動作を説明する波形図、 第６図は本発明の第２実施例を示す概略ブロック図、 第７図は第６図に対応した詳細回路図、 第８図は第７図の動作を説明する波形図、 第９図（Ａ）および（Ｂ）は従来技術を説明するブロッ
ク図、 第10図は観測されるフォトン数とその生起確率との関係
の一例を示す線図、 第11図（Ａ）はデジタル固体撮像装置の出力の全域（2
22）を映像信号の第８ビットに対応させた実施例を示す
線図、 第11図（Ｂ）は第11図（Ａ）の特性を得るための具体的
実施例を示す図、 第12図はデジタル固体撮像装置出力の第16ビットを映像
信号の100％に対応させた例を示す線図、 第13図はデジタル固体撮像装置出力の第７ビットを映像
信号の100％に対応させた例を示す線図、 第14図は第12図および第13図の特性を得るための具体例
を示す図、 第15図および第16図は被写体の高輝度部分にニーポイン
トを設けた例を示す線図、 第17図（Ａ）および（Ｂ）は第15図の特性を得るための
具体例を示すブロック図である。 8A〜8N……光センサ部、 10A〜10N……パルスカウンタ、 12A〜12N……アバランシェフォトダイオード、 14……水平走査回路、 16……垂直走査回路、 18……フォトダイオード、 20……広帯域増幅器、 22……微分回路、 24……レベル検出器、 26……A/D変換器、 28……パルスカウンタ、 30……受光部、 32……フォトダイオード、 34……時間・パルス変換回路、 36……パルスカウンタ。
なるフォトン数計測のための模式図、第２図は第１図
（Ａ）に対応した詳細回路図、 第３図は第１図の構成を２次元的に配列した状態を示す
模式図、 第４図は本発明の第１実施例を示すブロック図、 第５図は第４図の動作を説明する波形図、 第６図は本発明の第２実施例を示す概略ブロック図、 第７図は第６図に対応した詳細回路図、 第８図は第７図の動作を説明する波形図、 第９図（Ａ）および（Ｂ）は従来技術を説明するブロッ
ク図、 第10図は観測されるフォトン数とその生起確率との関係
の一例を示す線図、 第11図（Ａ）はデジタル固体撮像装置の出力の全域（2
22）を映像信号の第８ビットに対応させた実施例を示す
線図、 第11図（Ｂ）は第11図（Ａ）の特性を得るための具体的
実施例を示す図、 第12図はデジタル固体撮像装置出力の第16ビットを映像
信号の100％に対応させた例を示す線図、 第13図はデジタル固体撮像装置出力の第７ビットを映像
信号の100％に対応させた例を示す線図、 第14図は第12図および第13図の特性を得るための具体例
を示す図、 第15図および第16図は被写体の高輝度部分にニーポイン
トを設けた例を示す線図、 第17図（Ａ）および（Ｂ）は第15図の特性を得るための
具体例を示すブロック図である。 8A〜8N……光センサ部、 10A〜10N……パルスカウンタ、 12A〜12N……アバランシェフォトダイオード、 14……水平走査回路、 16……垂直走査回路、 18……フォトダイオード、 20……広帯域増幅器、 22……微分回路、 24……レベル検出器、 26……A/D変換器、 28……パルスカウンタ、 30……受光部、 32……フォトダイオード、 34……時間・パルス変換回路、 36……パルスカウンタ。
Claims (4)
- 【請求項１】少なくとも１次元的に配列され、入射フォ
トン数に応じたパルス状信号を送出する複数の受光手段
と、 前記受光手段の各々に接続され、前記パルス状信号を計
数し、保持する計数保持手段と、 任意の周期で前記計数保持手段の計数値を初期状態に戻
す手段と、 前記計数保持手段からデジタル信号を逐次読み出す走査
手段とを具備し、 同時もしくは近接した時間的間隔をもってフォトンが前
記受光手段に入射したときには、前記パルス状信号のピ
ーク値もしくは持続時間に基づいて前記デジタル信号の
値を修正する手段を前記計数保持手段に備えたことを特
徴とする固体撮像装置。 - 【請求項２】前記受光手段は２次元的に配列され、２次
元画像情報を取り出すことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の固体撮像装置。 - 【請求項３】前記受光手段にアバランシェホトダイオー
ドを用いたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の固体撮像装置。 - 【請求項４】前記受光手段にマイクロチャネルプレート
（MCP）を用いたことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の固体撮像装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59273144A JPH0799868B2 (ja) | 1984-12-26 | 1984-12-26 | 固体撮像装置 |
| PCT/JP1985/000710 WO1986003918A1 (en) | 1984-12-26 | 1985-12-25 | Solid image pickup device |
| US06/900,139 US4710817A (en) | 1984-12-26 | 1985-12-25 | Solid state image sensor |
| DE8686900269T DE3585688D1 (de) | 1984-12-26 | 1985-12-25 | Bildaufnahme mit halbleiter. |
| EP86900269A EP0205624B1 (en) | 1984-12-26 | 1985-12-25 | Solid image pickup device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59273144A JPH0799868B2 (ja) | 1984-12-26 | 1984-12-26 | 固体撮像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61152176A JPS61152176A (ja) | 1986-07-10 |
| JPH0799868B2 true JPH0799868B2 (ja) | 1995-10-25 |
Family
ID=17523727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59273144A Expired - Fee Related JPH0799868B2 (ja) | 1984-12-26 | 1984-12-26 | 固体撮像装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4710817A (ja) |
| EP (1) | EP0205624B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0799868B2 (ja) |
| DE (1) | DE3585688D1 (ja) |
| WO (1) | WO1986003918A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018019276A (ja) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | 日本放送協会 | 信号処理回路 |
| JP2021016069A (ja) * | 2019-07-11 | 2021-02-12 | 日本放送協会 | 固体撮像素子及び撮像装置 |
Families Citing this family (55)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5184232A (en) * | 1985-10-17 | 1993-02-02 | Michael Burney | Holographic display imaging process |
| DE3635687A1 (de) * | 1986-10-21 | 1988-05-05 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Bildaufnahmesensor |
| JPS63232579A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-28 | Mitsubishi Electric Corp | 固体撮像装置 |
| EP0371197B1 (de) * | 1988-11-23 | 1994-12-21 | TEMIC TELEFUNKEN microelectronic GmbH | Bildsensor |
| JP3007099B2 (ja) * | 1989-07-19 | 2000-02-07 | 日本放送協会 | ディジタル固体撮像装置 |
| US5043827A (en) * | 1989-08-03 | 1991-08-27 | Xerox Corporation | Combined asynchronous-synchronous document scanner |
| SE505477C2 (sv) * | 1992-08-20 | 1997-09-01 | Hasselblad Ab Victor | Anordning för avläsning och omvandling av optisk information till digital representation |
| US7387253B1 (en) | 1996-09-03 | 2008-06-17 | Hand Held Products, Inc. | Optical reader system comprising local host processor and optical reader |
| US5665959A (en) * | 1995-01-13 | 1997-09-09 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Adminstration | Solid-state image sensor with focal-plane digital photon-counting pixel array |
| GB2318411B (en) | 1996-10-15 | 1999-03-10 | Simage Oy | Imaging device for imaging radiation |
| US6377303B2 (en) * | 1997-11-26 | 2002-04-23 | Intel Corporation | Strobe compatible digital image sensor with low device count per pixel analog-to-digital conversion |
| US7173656B1 (en) * | 1997-12-03 | 2007-02-06 | Intel Corporation | Method and apparatus for processing digital pixel output signals |
| US6587145B1 (en) * | 1998-08-20 | 2003-07-01 | Syscan Technology (Shenzhen) Co., Ltd. | Image sensors generating digital signals from light integration processes |
| US7139025B1 (en) * | 1998-10-29 | 2006-11-21 | Micron Technology, Inc. | Active pixel sensor with mixed analog and digital signal integration |
| FI111759B (fi) * | 2000-03-14 | 2003-09-15 | Planmed Oy | Anturijärjestelmä ja menetelmä digitaalisessa röntgenkuvantamisessa |
| US7270273B2 (en) | 2001-01-22 | 2007-09-18 | Hand Held Products, Inc. | Optical reader having partial frame operating mode |
| US7268924B2 (en) | 2001-01-22 | 2007-09-11 | Hand Held Products, Inc. | Optical reader having reduced parameter determination delay |
| EP2249284B1 (en) | 2001-01-22 | 2014-03-05 | Hand Held Products, Inc. | Optical reader having partial frame operating mode |
| US7331523B2 (en) | 2001-07-13 | 2008-02-19 | Hand Held Products, Inc. | Adaptive optical image reader |
| US6884982B2 (en) * | 2002-02-19 | 2005-04-26 | Massachusetts Institute Of Technology | Methods and apparatus for improving resolution and reducing the effects of signal coupling in an electronic imager |
| WO2005048319A2 (en) * | 2003-11-06 | 2005-05-26 | Yale University | Large-area detector |
| US7683308B2 (en) | 2004-01-12 | 2010-03-23 | Ecole Polytechnique Federale de Lausanne EFPL | Controlling spectral response of photodetector for an image sensor |
| JP4107269B2 (ja) * | 2004-02-23 | 2008-06-25 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置 |
| JP4655500B2 (ja) * | 2004-04-12 | 2011-03-23 | ソニー株式会社 | Ａｄ変換装置並びに物理量分布検知の半導体装置および電子機器 |
| RU2290721C2 (ru) * | 2004-05-05 | 2006-12-27 | Борис Анатольевич Долгошеин | Кремниевый фотоэлектронный умножитель (варианты) и ячейка для кремниевого фотоэлектронного умножителя |
| US7547872B2 (en) * | 2005-02-14 | 2009-06-16 | Ecole Polytechnique Federale De Lausanne | Integrated circuit comprising an array of single photon avalanche diodes |
| US7501628B2 (en) * | 2005-02-14 | 2009-03-10 | Ecole Polytechnique Federale De Lausanne Epfl | Transducer for reading information stored on an optical record carrier, single photon detector based storage system and method for reading data from an optical record carrier |
| US20060239173A1 (en) * | 2005-04-25 | 2006-10-26 | Yi Zhang | Optical storage with direct digital optical detection |
| US7852519B2 (en) | 2007-02-05 | 2010-12-14 | Hand Held Products, Inc. | Dual-tasking decoder for improved symbol reading |
| GB2451678A (en) * | 2007-08-10 | 2009-02-11 | Sensl Technologies Ltd | Silicon photomultiplier circuitry for minimal onset and recovery times |
| US8628015B2 (en) | 2008-10-31 | 2014-01-14 | Hand Held Products, Inc. | Indicia reading terminal including frame quality evaluation processing |
| EP2380038B1 (en) * | 2008-12-22 | 2019-01-09 | Koninklijke Philips N.V. | Cmos imager |
| TWI559763B (zh) * | 2009-10-01 | 2016-11-21 | 索尼半導體解決方案公司 | 影像取得裝置及照相機系統 |
| US8587595B2 (en) | 2009-10-01 | 2013-11-19 | Hand Held Products, Inc. | Low power multi-core decoder system and method |
| US8716643B2 (en) * | 2010-09-06 | 2014-05-06 | King Abdulaziz City Science And Technology | Single photon counting image sensor and method |
| EP2437484B1 (en) | 2010-10-01 | 2017-02-15 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Imaging device and camera system |
| US9052497B2 (en) | 2011-03-10 | 2015-06-09 | King Abdulaziz City For Science And Technology | Computing imaging data using intensity correlation interferometry |
| US9099214B2 (en) | 2011-04-19 | 2015-08-04 | King Abdulaziz City For Science And Technology | Controlling microparticles through a light field having controllable intensity and periodicity of maxima thereof |
| JP2013012685A (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-17 | Canon Inc | 半導体装置 |
| JP2013090127A (ja) * | 2011-10-18 | 2013-05-13 | Olympus Corp | 固体撮像装置および撮像装置 |
| JP2013090139A (ja) * | 2011-10-18 | 2013-05-13 | Sony Corp | 撮像素子およびカメラシステム |
| CN106716994B (zh) | 2014-09-19 | 2020-01-17 | 松下知识产权经营株式会社 | 固体摄像装置 |
| JP6909050B2 (ja) * | 2017-05-18 | 2021-07-28 | キヤノン株式会社 | 固体撮像素子及び撮像装置 |
| JP6961392B2 (ja) * | 2017-05-24 | 2021-11-05 | キヤノン株式会社 | 固体撮像素子、撮像装置及び撮像方法 |
| JP6796777B2 (ja) | 2017-05-25 | 2020-12-09 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 固体撮像素子、及び撮像装置 |
| JP6957202B2 (ja) * | 2017-05-29 | 2021-11-02 | キヤノン株式会社 | 固体撮像素子、撮像装置及び撮像方法 |
| JP7096658B2 (ja) * | 2017-10-12 | 2022-07-06 | キヤノン株式会社 | 固体撮像素子及び撮像装置 |
| US10785423B2 (en) | 2017-12-07 | 2020-09-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Image sensor, image capturing apparatus, and image capturing method |
| JP7013225B2 (ja) * | 2017-12-15 | 2022-01-31 | キヤノン株式会社 | 固体撮像素子、撮像装置及び撮像方法 |
| JP7022598B2 (ja) | 2018-01-22 | 2022-02-18 | キヤノン株式会社 | 固体撮像素子、撮像装置及び撮像方法 |
| JP7146424B2 (ja) * | 2018-03-19 | 2022-10-04 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置及び撮像システム |
| JP7175625B2 (ja) * | 2018-04-12 | 2022-11-21 | キヤノン株式会社 | 固体撮像素子、撮像装置及び撮像方法 |
| JP7114396B2 (ja) * | 2018-08-03 | 2022-08-08 | キヤノン株式会社 | 撮像装置、撮像システム、移動体 |
| JP7444589B2 (ja) | 2019-12-03 | 2024-03-06 | キヤノン株式会社 | 撮像装置およびその制御方法 |
| JP2021120980A (ja) | 2020-01-30 | 2021-08-19 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、光電変換システム及び移動体 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4086486A (en) | 1976-06-08 | 1978-04-25 | Richard Lee Bybee | One dimensional photon-counting detector array |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS592849B2 (ja) * | 1977-11-18 | 1984-01-20 | 日鉄鉱業株式会社 | 雪崩光ダイオ−ドを用いた微弱光の測定方法 |
| JPS56128078A (en) * | 1980-03-12 | 1981-10-07 | Hitachi Ltd | Video signal reproduction system |
| JPS5899072A (ja) * | 1981-12-09 | 1983-06-13 | Ricoh Co Ltd | Ｍｏｓ形撮像素子を用いた撮像装置 |
| US4468562A (en) * | 1982-06-17 | 1984-08-28 | Baxter Travenol Laboratories, Inc. | Dosimeter for photometric applications |
| DE3224026A1 (de) * | 1982-06-28 | 1983-12-29 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Vorrichtung zur auslese eines zweidimensionalen ladungsbildes mittels eines arrays |
| JPS592849A (ja) * | 1982-06-30 | 1984-01-09 | Fujikura Rubber Ltd | 伸縮性を有するシ−ト状物への印刷方法 |
| FR2560472B1 (fr) * | 1984-02-23 | 1987-08-21 | Proge | Dispositif de releve de profil rapide |
| US4639781A (en) * | 1985-02-19 | 1987-01-27 | At&T Information Systems | Dynamic gain adjuster for an image scanner |
| JP2592849B2 (ja) * | 1987-07-27 | 1997-03-19 | 株式会社東芝 | クリーニングカートリツジ |
-
1984
- 1984-12-26 JP JP59273144A patent/JPH0799868B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1985
- 1985-12-25 US US06/900,139 patent/US4710817A/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-12-25 WO PCT/JP1985/000710 patent/WO1986003918A1/ja active IP Right Grant
- 1985-12-25 EP EP86900269A patent/EP0205624B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-12-25 DE DE8686900269T patent/DE3585688D1/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4086486A (en) | 1976-06-08 | 1978-04-25 | Richard Lee Bybee | One dimensional photon-counting detector array |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018019276A (ja) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | 日本放送協会 | 信号処理回路 |
| JP2021016069A (ja) * | 2019-07-11 | 2021-02-12 | 日本放送協会 | 固体撮像素子及び撮像装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61152176A (ja) | 1986-07-10 |
| WO1986003918A1 (en) | 1986-07-03 |
| US4710817A (en) | 1987-12-01 |
| EP0205624A4 (en) | 1988-12-22 |
| EP0205624B1 (en) | 1992-03-18 |
| EP0205624A1 (en) | 1986-12-30 |
| DE3585688D1 (de) | 1992-04-23 |
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