JPH0794710B2 - 基板を搬送するための装置 - Google Patents

基板を搬送するための装置

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JPH0794710B2
JPH0794710B2 JP3234330A JP23433091A JPH0794710B2 JP H0794710 B2 JPH0794710 B2 JP H0794710B2 JP 3234330 A JP3234330 A JP 3234330A JP 23433091 A JP23433091 A JP 23433091A JP H0794710 B2 JPH0794710 B2 JP H0794710B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数のステーションを
備えた真空被覆装置で基板を搬送するための装置であっ
て、ほぼプレート状の、扁平な、平行６面体形状を持つ
基板ホルダが設けられており、基板ホルダが垂直位置で
所定の搬送路に沿ってステーションを横断して移動可能
であり、かつ一対の転動体、滑子またはローラが設けら
れており、これらがレールと協働しながら基板ホルダを
保持し、かつ案内しており、かつそれぞれ基板ホルダへ
固定可能な基板の下方の、脚部の範囲内に設けられてい
る形式のものに関する。
【０００２】
【従来技術】使用される基板ホルダは基板に相応する形
状の切欠を有するプレート、またはステーを備えたフレ
ームであり、これに基板が固定される。一般に基板ホル
ダは複数の基板の受容に用いられる。
【０００３】冒頭に記載の形式の搬送装置はＵＳ−ＰＳ
４０４２１２８により公知であり、この装置ではプレー
ト状の基板ホルダはその主要平面を鉛直の状態にして上
方と下方の長手縁においてローラ間を案内される。ロー
ラは垂直軸を中心にして回転可能である。基板ホルダは
下縁において付加的に水平の回転軸線を持つ支持ローラ
に支持されている。しかし下方の案内ローラは、基板ホ
ルダを正確に鉛直位置で保持し、かつ搬送することがで
きず、安定した位置決めは上方の案内ローラの補助下で
のみ可能であるにすぎない。
【０００４】また複数のステーションを備えた真空被覆
装置のための搬送装置が公知であり（ＥＰ０２５４１４
５Ｂ１）、ほぼ二次元の基板ホルダを鉛直位置で、ステ
ーションを通る所定の搬送路に沿って案内し、かつ送る
ためのローラ機構が設けられている。対の案内ローラが
基板ホルダの下縁の範囲に配置されており、案内ローラ
は基板ホルダを相互間に受容し、かつ鉛直の軸線を中心
にして回転可能であり、基板ホルダは下縁の領域におい
てローラ機構によって案内され、かつ案内ローラは転動
面を有している。転動面はローラ対の少なくとも１つの
案内ローラにはそれぞれ下方と上方の端部に配置されて
おり、同じローラ対のその都度もう１つの案内ローラは
少なくとも１つの転動面を有し、ローラ対の少なくとも
３つの転動面が基板ホルダに関して傾倒を防止する締付
けを形成している。
【０００５】この公知の搬送装置の課題は落下する皮膜
材料による被覆過程の支障をできる限り取除くことであ
る。
【０００６】更に被覆すべき基板を特別なロック室内で
加熱装置を用いて熱によって前処理することが公知であ
る（ＤＥ３１０７９１４）。最後に真空被覆装置のため
の搬送装置の基板ホルダに脚部を設け、脚部が定置のレ
ール上を滑動することが既に提案された（ＥＰ０３４６
８１５）。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、複数
の基板のための基板保持装置を見出し、しかもこの基板
保持装置を、基板を一緒に唯一の加熱源によって同時
に、かつ同じ強さで熱処理可能であるように構成するこ
とである。その上に基板ホルダは搬送路に沿って全く支
障なく、かつ最小量の側方向運動（振動）でもって保持
され、かつ案内されなければならない。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めの本発明の手段は、基板ホルダの脚部が１垂直平面内
に配置されていて、しかも相互間隔を置いて互いに平行
に延びたレールを備えており、レールの互いに向合った
狭幅側が長手みぞを有しており、長手みぞがローラまた
は滑子と協働しており、ローラまたは滑子が装置の底部
部分に不動に支承され、かつそれぞれ長手みぞの長手方
向に列をなして互いに上下に間隔を置いて位置した平面
内に設けられており、基板ホルダがレールに平行に上部
から脚部の範囲内にまで延びた縦孔形の切欠を有してお
り、ステーションを通過する間基板ホルダの上方の上部
壁部分に配置されて垂直方向に下方へ延びた加熱部材が
上記の切欠内へ突入していることである。
【０００９】
【発明の効果】本発明により上記の課題が解決される。
【００１０】基板ホルダがフレーム状に構成されていて
互いに平行な平面内に配置された２つの側方部分を有し
ており、これらの側方部分が相互間に孔状の切欠を形成
しており、かつこれの窓様の開口内に基板が挿入可能で
あり、側方部分が脚部と一体に形成されているかまたは
これとリベット止め、ねじ結合または継手を介して結合
されていると有利である。
【００１１】
【実施例】図面に示されているように、装置は被覆室３
内でケーシング４の一方の側壁４ａから水平に延びたア
ーム５，６に回転可能に支承されたローラ７，８と、側
壁４ａ，４ｂに固定的に配置された両カソード９，１
０，と、上方の壁部分４ｃないしは絶縁体１２に保持さ
れたプレート状の加熱部材１１と、横断面がＵ字形に形
成された基板ホルダ１６の、レール１３，１４を備えた
脚部１５と、基板２２，２３を保持する２つのフレーム
状の、基板ホルダ１６の側方部分１６ａ，１６ｂと、側
壁４ａ，４ｂに固定的に配置された、カソードシャッタ
１７，１８を備えたカソード１９，２０図示されていな
いターボ形分子ポンプの吸引管接続部２１とを備えてい
る。
【００１２】図面に概略された被覆ステーションの運転
中基板２２，２３は図平面に対して垂直の方向に、図面
から判るようにこれらがカソード１９，２０に対面する
まで移動せしめられる。
【００１３】基板２２，２３は外面２２ａ，２３ａの被
覆後同じ方向に（すなわち図平面に垂直に）次の加工ス
テーションまで更に移動せしめられる。ディスク状の基
板２２，２３はこれらをフレーム状に包囲した、基板ホ
ルダ１６の側方部分１６ａ，１６ｂによって保持されて
いる。基板ホルダの方は脚部１５と固定的に結合される
かまたはこれと一体に構成されている。脚部１５には１
対のレール１３，１４がねじ結合されるかまたは溶接さ
れており、レールは長手みぞ１３ａ，１４ａを有してい
る。これらの長手みぞ内をローラ７ないし８が転動す
る。ローラは２列に前後方向に間隔を置いて回転可能に
アーム５ないしは６に支承されている。ローラ５ないし
は６の列相互間の距離は、脚部１５が傾倒しないように
ローラ上に保持され、かつ案内されるように選択されて
いる。
【００１４】基板２２，２３が被覆工程に必要な温度を
持つことを保証するためには、ケーシング４の上方の壁
部分４ｃの絶縁体１２にプレート状の加熱部材１１が固
定されており、加熱部材は縦孔状のみぞ２４内へ突入し
ており、かつ基板２２，２３が裏面から一様に加熱され
るように設計されている。放射損失をできる限り小く、
かつ両基板２２,２３の熱処理を同一レベルに保持する
ためには加熱部材１１と基板２２，２３間の各距離は等
しく、かつできる限り小さく設計されている。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による装置の略示横断面図である。
【符号の説明】
３ 被覆室 ４ ケーシング ４ａ，４ｂ 側壁 ４ｃ 壁部分 ５，６ アーム ７，８ ローラ ９，１０，１９，２０ カソード １１ 加熱部材 １２ 絶縁体 １３，１４ レール １３ａ，１４ａ 長手みぞ １５ 脚部 １６ 基板ホルダ １６ａ，１６ｂ 側方部分 １７，１８ カソードシャッタ ２１ 吸引管接続部 ２２，２３ 基板 ２２ａ，２３ａ 外面 ２４ みぞ ２５，２６ 切欠
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ライナー ゲーゲンヴァルト ドイツ連邦共和国 レーダーマルク ブル フヴィーゼンシュトラーセ 69 アー (72)発明者 ミヒャエル シェラー ドイツ連邦共和国 ローデンバッハ イム ヘーグホルツ １ アー

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 複数のステーションを備えた真空被覆装
    置で基板を搬送するための装置であって、ほぼプレート
    状の、扁平な、平行６面体形状を持つ基板ホルダ（１
    ６）が設けられており、基板ホルダが垂直位置で所定の
    搬送路に沿ってステーションを横断して移動可能であ
    り、かつレール（１３，１４）と協働するようになって
    おり、レールがそれぞれ基板ホルダ（１６）へ固定可能
    である基板（２２，２３）の下方の脚部（１５）の範囲
    内に設けられている形式のものにおいて、基板ホルダ
    （１６）の脚部（１５）が１垂直平面内に配置されてい
    てしかも相互間隔を置いて互いに平行に延びた１対のレ
    ール（１３，１４）を備えており、レールの互いに向合
    った狭幅側が長手みぞ（１３ａ，１４ａ）を有してお
    り、長手みぞがローラ（７，８）または滑子と協働して
    おり、ローラまたは滑子が装置の底部部分に固定的に支
    承され、かつそれぞれ長手みぞ（１３ａ，１４ａ）の長
    手方向に列をなして互いに上下に間隔を置いて位置した
    平面内に設けられており、基板ホルダ（１６）がレール
    に平行に上部から脚部（１５）の範囲内にまで延びた縦
    孔形の切欠（２４）を有しており、ステーション通過中
    基板ホルダ（１６）の上方の上部壁部分（４ｃ）に配置
    されて垂直方向に下方へ延びた加熱部材（１１）が上記
    の切欠内へ突入していることを特徴とする、基板を搬送
    するための装置。
  2. 【請求項２】 基板ホルダ（１６）がフレーム状に構成
    されていて互いに平行な平面内に配置された２つの側方
    部分（１６ａ，１６ｂ）を有しており、これらの側方部
    分が相互間に孔状の切欠（１１）を形成しており、かつ
    これらの窓様の開口（２５，２６）内に基板（２２，２
    ３）が挿入可能であり、側方部分（１６ａ，１６ｂ）が
    脚部（１５）と一体に形成されているかまたはこれとリ
    ベット止め、ねじ結合または継手を介して結合されてい
    る、請求項１記載の装置。
JP3234330A 1990-09-21 1991-09-13 基板を搬送するための装置 Expired - Lifetime JPH0794710B2 (ja)

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