JPH0788773A - 研磨ラッピングテープ及びその表面処理方法 - Google Patents

研磨ラッピングテープ及びその表面処理方法

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Publication number
JPH0788773A
JPH0788773A JP25764693A JP25764693A JPH0788773A JP H0788773 A JPH0788773 A JP H0788773A JP 25764693 A JP25764693 A JP 25764693A JP 25764693 A JP25764693 A JP 25764693A JP H0788773 A JPH0788773 A JP H0788773A
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JP
Japan
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polishing
resin
abrasive grains
abrasive
lapping tape
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Pending
Application number
JP25764693A
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English (en)
Inventor
Kazunori Tani
和憲 谷
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Y A SHII KK
Original Assignee
Y A SHII KK
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】研磨効率の向上を図る。 【構成】フィルム１に砥粒２を保持した樹脂３をコーテ
ィングした研磨ラッピングテープにおいて、研磨ラッピ
ングテープの研磨面４の樹脂３を除去して砥粒２を露出
させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は研磨ラッピングテープ及
びその表面処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、磁気ディスク等は、研磨ラッピ
ングテープによって平滑な表面に加工される。従来の研
磨ラッピングテープは、図３に示すように、ポリエステ
ルフィルム１の表面に約６０μｍ以下の砥粒２を保持し
たエポキシ系の樹脂３を一定の厚さにコーティングして
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のように形成され
た研磨ラッピングテープは、図２に示すように、研磨面
４の砥粒２が樹脂３で被覆されているので、加工物５を
ラッピングする場合、樹脂３が加工物５の加工面６に当
たり、研磨効率が悪いという問題があった。
【０００４】本発明の目的は、研磨効率の向上が図れる
研磨ラッピングテープ及びその表面処理方法を提供する
ことにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の構成は、フィルムに砥粒を保持した樹脂をコ
ーティングした研磨ラッピングテープにおいて、研磨ラ
ッピングテープの研磨面の樹脂を除去して砥粒を露出さ
せてなることを特徴とする。
【０００６】また上記目的を達成するための本発明の構
成は、フィルムに砥粒を保持した樹脂をコーティングし
た研磨ラッピングテープにおいて、研磨ラッピングテー
プの研磨面をＯ2 プラズマエッチャー又はイオンミーリ
ング法等により研磨面の樹脂を除去して砥粒を露出させ
ることを特徴とする。
【０００７】
【作用】研磨ラッピングテープの研磨面の砥粒は露出し
ているので、加工物の加工面に砥粒が直接当たり、研磨
効率が著しく向上する。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図３によ
り説明する。図２及び図３に示す研磨ラッピングテープ
の研磨面４の樹脂３をＯ2 プラズマエッチャー又はイオ
ンミーリング法等によって除去する。これにより、図１
に示すように、砥粒２の一部が露出する。従って、図１
のように形成された研磨ラッピングテープにおいては、
加工物５の加工面６に砥粒２が直接当たることになり、
研磨効率が著しく向上する。
【０００９】
【発明の効果】本発明によれば、研磨ラッピングテープ
の研磨面の砥粒は露出しているので、加工物の加工面に
砥粒が直接当たり、研磨効率が著しく向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明になる研磨ラッピングテープの一実施例
を示す要部拡大説明図である。
【図２】従来の研磨ラッピングテープの要部拡大説明図
である。
【図３】従来の研磨ラッピングテープの説明図である。
【符号の説明】
１ ポリエステルフィルム ２ 砥粒 ３ 樹脂 ４ 研磨面

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 フィルムに砥粒を保持した樹脂をコーテ
    ィングした研磨ラッピングテープにおいて、研磨ラッピ
    ングテープの研磨面の樹脂を除去して砥粒を露出させて
    なることを特徴とする研磨ラッピングテープ。
  2. 【請求項２】 フィルムに砥粒を保持した樹脂をコーテ
    ィングした研磨ラッピングテープにおいて、研磨ラッピ
    ングテープの研磨面をＯ2 プラズマエッチャー又はイオ
    ンミーリング法等により研磨面の樹脂を除去して砥粒を
    露出させることを特徴とする研磨ラッピングテープの表
    面処理方法。
JP25764693A 1993-09-21 1993-09-21 研磨ラッピングテープ及びその表面処理方法 Pending JPH0788773A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8444458B2 (en) 2007-12-31 2013-05-21 3M Innovative Properties Company Plasma treated abrasive article and method of making same

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