JPH0776077A - 熱記録ヘッド用基体、該基体を用いたインクジェット記録ヘッド、該記録ヘッドを搭載する記録装置、及び記録ヘッドの駆動方法 - Google Patents

熱記録ヘッド用基体、該基体を用いたインクジェット記録ヘッド、該記録ヘッドを搭載する記録装置、及び記録ヘッドの駆動方法

Info

Publication number
JPH0776077A
JPH0776077A JP5223495A JP22349593A JPH0776077A JP H0776077 A JPH0776077 A JP H0776077A JP 5223495 A JP5223495 A JP 5223495A JP 22349593 A JP22349593 A JP 22349593A JP H0776077 A JPH0776077 A JP H0776077A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resistance element
recording head
ink
resistance
heating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP5223495A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3143549B2 (ja
Inventor
Yuji Kamiyama
雄次 上山
Masaaki Izumida
昌明 泉田
Tatsuo Furukawa
達生 古川
Hiroyuki Maru
博之 丸
Shuichi Katao
周一 片尾
Fumio Murooka
文夫 室岡
Yoshiyuki Imanaka
良行 今仲
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP05223495A priority Critical patent/JP3143549B2/ja
Priority to TW083107860A priority patent/TW278296B/zh
Priority to US08/300,122 priority patent/US5943070A/en
Priority to CA002131423A priority patent/CA2131423C/en
Priority to EP94306581A priority patent/EP0641656B1/en
Priority to DE69426717T priority patent/DE69426717T2/de
Priority to KR94022432A priority patent/KR0138202B1/ko
Priority to AU72904/94A priority patent/AU677086B2/en
Priority to AT94306581T priority patent/ATE199231T1/de
Priority to ES94306581T priority patent/ES2154668T3/es
Priority to CN94115141A priority patent/CN1061000C/zh
Publication of JPH0776077A publication Critical patent/JPH0776077A/ja
Priority to US09/350,296 priority patent/US6257695B1/en
Priority to US09/656,016 priority patent/US6471339B1/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3143549B2 publication Critical patent/JP3143549B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
    • B41J2/17503—Ink cartridges
    • B41J2/1752—Mounting within the printer
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B41J2/04541—Specific driving circuit
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B41J2/0455—Details of switching sections of circuit, e.g. transistors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B41J2/04563—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits detecting head temperature; Ink temperature
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B41J2/0458—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits controlling heads based on heating elements forming bubbles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
    • B41J2/14088—Structure of heating means
    • B41J2/14112—Resistive element
    • B41J2/14129—Layer structure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
    • B41J2/1604—Production of bubble jet print heads of the edge shooter type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1626—Manufacturing processes etching
    • B41J2/1628—Manufacturing processes etching dry etching
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1626—Manufacturing processes etching
    • B41J2/1629—Manufacturing processes etching wet etching
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
    • B41J2/1642—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by CVD [chemical vapor deposition]
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
    • B41J2/1646—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by sputtering
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14379—Edge shooter
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/13—Heads having an integrated circuit

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、より小型で信頼性の高い安定した
記録を行うことが可能なインクジェット記録ヘッド用基
体、該基体を用いた記録ヘッド、該記録ヘッドを搭載す
る記録装置及び記録ヘッドの駆動方法を提供することを
目的としている。 【構成】 複数の発熱抵抗素子と、該発熱抵抗素子の夫
々に駆動信号を加えるための複数の配線電極と、前記発
熱抵抗素子の夫々と電気的に接続され前記複数の発熱抵
抗素子を選択的に駆動するための機能素子と、前記発熱
抵抗素子及び前記機能素子から電気的に独立であって、
前記発熱抵抗素子より抵抗値の大きな測定用抵抗素子と
を有する熱記録ヘッド用基体であり、この基体を利用し
たインクジェットヘッド、ヘッドカ−トリッジ及び記録
装置、また測定用抵抗を用いた記録ヘッドの駆動方法で
ある。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録ヘ
ッド用基体、該基体を用いた記録ヘッド、該記録ヘッド
を搭載する記録装置及び記録ヘッドの駆動方法に関す
る。
【０００２】
【関連技術の説明】今日、種々の記録方式が開発されて
おり、中でも記録信号に応じて吐出口からインクを吐出
して記録を行うインクジェット記録方式は装置の小型化
を図ることが容易であり、また低騒音であるために近年
広く使用されている。中でも、インクを吐出するための
吐出エネルギ−発生素子として、インクに熱を与えて発
泡現象を生じさせる電気熱変換体を用いたものが好まし
く用いられている。
【０００３】この様な形態のインクジェット記録ヘッド
においては、前述のインクを吐出するための電気熱変換
体であり、複数の電気熱変換体を選択駆動するための機
能素子と電気的に接続された第１の抵抗素子（インク吐
出用抵抗素子）と、インクの粘性を温度によって調整す
るために設けられ、機能素子と電気的に接続されていな
い第２の抵抗素子（温調用抵抗素子）が配された素子基
板を有している。
【０００４】この様な素子基板上に配された第１の抵抗
素子の抵抗値に製造上のバラツキが生じた場合、各ヘッ
ドに共通の駆動電圧を与えたのでは、この抵抗値のバラ
ツキによって発熱量が異なってしまうため、インクの発
泡現象に違いが生じヘッドごとに、インクの吐出量にム
ラを生じてしまう場合や、安定にインクの吐出が行われ
ない場合がある。従って、各ヘッドの吐出用抵抗素子の
抵抗値を何らかの方法で計測し、その抵抗値に見合った
電圧を印加することで吐出量のむらを押さえる必要があ
る。しかしながら各ヘッドの吐出用抵抗素子を直接測定
しようとすると、この吐出用抵抗素子と、これに電気的
に接続された機能素子を含んだ抵抗値を測定してしまう
ため、吐出用抵抗素子だけの正確な抵抗値を測定するこ
とができないという問題があった。
【０００５】そこで、機能素子と電気的に独立してお
り、吐出用抵抗素子と同様に形成された温調用抵抗素子
の抵抗値を測定し、この温調用抵抗素子の抵抗値からシ
−ト抵抗値を求めて、吐出用抵抗素子の抵抗値を推定し
ている。
【０００６】この推定された抵抗値に基づいてインクを
安定的に吐出するのに適切な駆動信号を設定するデ−タ
を、記録ヘッド上の例えばプリント基板上に４ビットデ
−タとして記憶する記憶回路に保持させておく。その駆
動電力のデ−タを記憶した記録ヘッドを記録装置に搭載
したときに、インクジェット記録装置の制御回路部が記
録ヘッドに記憶されたデ−タを読み取り、その読み取っ
たデ−タに応じて吐出用抵抗素子を駆動するのに適した
駆動信号を記録ヘッドに供給することで、ヘッドごとの
インクの吐出の調整を行わせている。
【０００７】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、上
述の温調用抵抗素子は、この温調用抵抗素子の駆動でイ
ンクに気泡を発生させることがないように、吐出用抵抗
素子の幅をＷ１ 、長さをＬ１ とし、第２抵抗素子の
幅をＷ２ 、長さをＬ２ としたとき抵抗の形状を例え
ばＬ１ ／Ｗ１ ＞Ｌ２ ／Ｗ２ ，Ｗ１ ＜Ｗ２ ，
Ｌ１ ＜Ｌ２ とし、吐出用抵抗素子に比べて、温調用
抵抗素子の抵抗値を下げている。
【０００８】この様に、吐出用抵抗素子の抵抗値より温
調用抵抗素子の抵抗値の方が低く設定されているため、
この温調用抵抗素子を用いて抵抗値の測定を行った場
合、吐出用抵抗素子の抵抗値の推定を十分正確に測定す
ることが困難であり、従って、より適切な駆動信号を吐
出用抵抗素子に印加して駆動を行うことは困難であっ
た。
【０００９】一方、前述の様に温調用抵抗体から推定さ
れた抵抗値に基づいて、インクを安定的に吐出するのに
適切な駆動信号の条件を設定するためのデ−タを記録ヘ
ッド上の例えばプリント基板上に記憶回路として記憶さ
せておいた場合、記憶回路の配置空間の関係上、記憶で
きるデ−タの数が数ビット（例えば４ｂｉｔ）に限られ
てしまう。このため、吐出用抵抗素子に与える駆動電力
の設定範囲が広くなってしまい、この様な場合にも吐出
用抵抗素子に、より適切な駆動信号を供給することが困
難であった。この点を解決して記憶デ−タ数を多くする
ためにはプリント基板上に記憶素子（例えばＲＯＭ等）
を搭載させたり、記憶回路を配置するための領域を広く
することが上げられるが、記録ヘッド自体のコストアッ
プや大型化を招いてしまう。
【００１０】上述の様な理由でインク吐出用抵抗素子に
適正な駆動信号が設定できない場合で例えば駆動信号が
低く設定されてしまった場合には、インクの吐出が不安
定となることでインクのドット径が小さくなり、印字劣
化を招いてしまう。一方、駆動電力が高く設定されてし
まった場合には、必要以上に吐出用抵抗素子に電力が供
給されてしまうために吐出用抵抗素子の使用寿命が短く
なり、記録ヘッドの信頼性が低下してしまうと言う解決
すべき課題があった。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は上述の課題を解
決するために成されたもので、課題を解決するための本
発明に係る代表的な手段は、熱を発生することによって
記録を行うための複数の発熱抵抗素子と、該発熱抵抗素
子の夫々に駆動信号を加えるための複数の配線電極と、
前記発熱抵抗素子の夫々と電気的に接続され前記複数の
発熱抵抗素子を選択的に駆動するための機能素子と、前
記発熱抵抗素子及び前記機能素子から電気的に独立であ
って、前記発熱抵抗素子より抵抗値の大きな測定用抵抗
素子とを有することを特徴とする熱記録ヘッド用基体。
【００１２】インクを吐出する吐出口と、インクを該吐
出口近傍に導くための液路と、インクに熱を加えること
によってインクを前記吐出口から吐出するための発熱抵
抗素子と、該発熱抵抗素子の夫々に駆動信号を加えるた
めの複数の配線電極と、前記発熱抵抗素子の夫々と電気
的に接続され前記複数の発熱抵抗素子を選択的に駆動す
るための機能素子と、前記発熱抵抗素子及び前記機能素
子から電気的に独立であって、前記発熱抵抗素子より抵
抗値の大きな測定用抵抗素子とが配された基体と、を有
するインクジェット記録ヘッド。
【００１３】インクに熱を加えることによってインクを
前記吐出口から吐出するための発熱抵抗素子と、該発熱
抵抗素子の夫々に駆動信号を加えるための複数の配線電
極と、前記発熱抵抗素子の夫々と電気的に接続され前記
複数の発熱抵抗素子を選択的に駆動するための機能素子
と、前記発熱抵抗素子及び前記機能素子から電気的に独
立であって、前記発熱抵抗素子より抵抗値の大きな測定
用抵抗素子とが配された基体と、インクを吐出する吐出
口と、インクを該吐出口近傍に導くための液路と、を有
するインクジェット記録ヘッドを着脱可能に搭載でき、
搭載された記録ヘッドの前記測定用抵抗素子の抵抗値に
基づく値を電気的に測定し、測定された該抵抗値に基づ
いて、前記発熱抵抗素子を駆動するための駆動信号の条
件を設定する制御回路を有するインクジェット記録装
置。
【００１４】若しくは、発熱抵抗素子が発熱する熱によ
り記録を行う記録ヘッドに配された測定用抵抗素子の抵
抗値に基づく値を電気的に測定するステップ、測定した
前記値に基づいて前記発熱抵抗素子に印加する駆動信号
を設定するステップ、前記設定された駆動信号を前記記
録ヘッドの前記発熱抵抗素子に印加するステップを有す
る記録ヘッドの駆動方法である。
【００１５】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図１は本発明の実施例にかかわるインクジ
ェット記録ヘッド用の基体１００である。図１に示すよ
うに記録ヘッドの基体には複数のインク吐出口に対応し
てインクに沸騰現象を生じさせインクを吐出口から吐出
させるための熱エネルギーを発生する第一抵抗素子１０
２（以下発熱抵抗素子ともいう）が形成されている。こ
れらの複数の発熱抵抗素子１０２の各々に電気的に接続
された駆動ドライバー１０４と記録ヘッドにシリアルに
入力される画像データーを各々の駆動ドライバー（１０
４）に並列に出力するシフトレジスタ（１０６）と、こ
のシフトレジスタ（１０６）から出力されるデーターを
一時記憶するラッチ回路（１０６）等の機能素子が形成
されている。また、基板（１００）上には発熱抵抗素子
（１０１）と同一過程によって形成される温調用抵抗素
子（１１０）及び第３抵抗素子である測定用抵抗素子
（１１２）が形成されている。この第２抵抗素子は、前
述したように記録ヘッドの環境温度が変化しても安定的
な吐出をするために基板（１００）を温めインク温度
（粘度）を一定に保つために働く抵抗素子である。次に
第３抵抗素子（１１２）（以下測定用抵抗素子ともい
う）は例えばその形状Ｗ3×ｌ3（幅×長さ）を発熱抵抗
素子の形状Ｗ1×ｌ1（幅×長さ）に対してｌ1／Ｗ1＜ｌ
3／Ｗ3の関係を満たすように形成し、抵抗値を抵抗値の
推定を行う発熱抵抗素子（第１抵抗素子）（１０２）よ
り大きい値とする。その測定用抵抗素子（１１２）の抵
抗値を後述の方法で測定して、測定用抵抗素子のシート
抵抗値を求める。そのシート抵抗値から発熱用抵抗素子
（１０１）の抵抗値が推定できる。しかも、測定用抵抗
素子（１１２）の抵抗値が大きいほど精度良く測定用抵
抗素子の抵抗値を測定することが可能であり、延いては
より精度良く発熱抵抗素子の抵抗を推定することができ
る。
【００１６】このようなランク用抵抗素子を有する交換
可能なヘッドがプリンターのキャリッジに装着された
時、記録ヘッド４１０の測定用（第３）抵抗素子の抵抗
値を読み取る。この読み取り方法は測定用抵抗素子に一
定電流を印加し、その時の測定電圧値から測定用抵抗素
子の値を換算する。例えば、測定用抵抗素子に一定電流
１０ｍＡを印加しその時の電圧値１．２Ｖの値を測定し
測定用抵抗素子の抵抗値を１２０Ωと判断する。
【００１７】そこで、第１、第２、第３抵抗素子は成膜
工程の同一プロセス上で形成されるため発熱抵抗層の厚
みは基板内でほぼ同じ厚みで成膜される。この時、例え
ばＷ1＝２０μｍ、ｌ1＝１２０μｍ、Ｗ3＝１００μ
ｍ、ｌ3＝１３００μｍのパターンで形成し、抵抗層の
シート抵抗を２２．８Ω／□とすると 発熱（第１）抵抗素子の抵抗値 Ｒ1＝ｌ1／Ｗ1×２
２．８＝１３６．８Ω 測定用（第３）抵抗素子の抵抗値 Ｒ3＝ｌ3／Ｗ3×２
２．８＝２９６．４Ω となり、上記の抵抗測定方法で抵抗値を読み取る場合、
第１抵抗素子が１．３７Ｖ、第３抵抗素子が２．９６Ｖ
となり、約２．２倍の読み取り精度の向上が可能とな
る。
【００１８】図２は図１に示した基体（１００）に駆動
する信号を供給するための構成ブロック図である。駆動
に必要な電力（信号）を供給するための電源（２０１）
から定電流を測定用抵抗素子（１１２）に流し、その電
圧アンプ（２０３）で増幅し、その信号をＡ／Ｄ変換器
（２０４）でＡ／Ｄ変換して、測定用抵抗素子の抵抗値
信号に対して設定しておいた駆動パルスを発熱抵抗素子
（１０１）に供給するロジック回路（２０５）である。
【００１９】図３は、記録ヘッドがインクジェット記録
装置本体に装置されたときの電気接続状態を模式的に示
すブロック図である。
【００２０】図３に示されるように記録ヘッドはフレキ
シブルケーブル（３０４）を介して装置本体の電気実装
基板（２００）と接続する。このときフレキシブルケー
ブル（３０４）と電気実装基板（２００）とはコネクタ
（３０５）によって接続し、記録ヘッドとフレキシブル
ケーブルは圧接（３０３）とからなり、基板（１００）
とプリント配線基板（３０２）とはワイヤボンディング
（３０１）によって接続する。
【００２１】図４は、発熱抵抗素子が共通基板に成膜製
造工程で形成された基体の断面図である。
【００２２】この基体の製造工程を図４及び図５を用い
て説明する。図４に示されるようにＳＯＩ基体にＰ型ド
ープ領域、Ｎ型ドープ領域で機能素子（シフトレジス、
パワートランジスター等）を形成する。次にそれ以外の
領域の単結晶層をＬＯＣＯＳ法にて熱酸化し、ヒーター
下の蓄積層と素子分離層を同時に形成する（４０２）。
そして、ＣＶＤ法、ＰＳＧ膜層（４０３）をフォトリソ
技術を用いてスルホールを開け、その上に第一のＡｌ電
極（４０７）としてスパッタ法で成膜し、そしてフォト
リソ技術を用いてパターン形成する。次にその上に層間
絶縁層（４０６）として酸化ＳｉをプラズマＣＶＤ法で
ＳｉＯ2を１．４μｍ成膜し、フォトリソ技術を用い
て、スルーホールを開け、その上に抵抗層（４０８）と
してＴａＮをスパッタ法で成膜し、次に第２電極（４０
９）をスパッタ法で成膜する（図４（ａ））。そしてフ
ォトリソ技術を用いて熱作用部の第一抵抗素子（５０
１），第二抵抗素子（５０２），第三抵抗素子（５０
３）を図６に示すようなパターンで形成するために、第
２電極Ａｌ（４０９），抵抗層としてチッ化タンタル層
（ＴａＮ（４０８））やホウ化ハタニュウム（ＨｆＢ）
層を同時にＤＲＹエッチングし図４（ａ）、次に第２電
極Ａｌ層（４０９）をウェットエッチング（図５
（ｃ））することで発熱抵抗素子（５０１，５０２，５
０３）を形成する。
【００２３】次に保護膜層としてプラズマＣＶＤ法でＳ
ｉＮ層を成膜しその上に第二の保護膜層としてＴｃ層を
スパッタ法で成膜する。（図５−（ｄ））そして、フォ
トリソ技術を用いてＴｃをパターン形成し次にＳｉＮに
スルーホールを開け電極取り出し部を開口する（図５−
（ｅ））。
【００２４】次に測定用抵抗素子を用いて適切な駆動信
号をヘッドに与える方法について説明する。
【００２５】交換可能な記録ヘッドがプリンター本体の
キャリッジに装着されるとプリンター本体のロッジック
回路（２０５）が記録ヘッドの測定用抵抗素子（１１
２）の抵抗値を電圧、電流値等を測定することで電気的
に読み取る。そこで、測定用抵抗素子（１１２）の抵抗
値から測定用抵抗素子（１０２）の抵抗値を推定し、そ
の測定用抵抗素子の抵抗値に対してインクを安定的に吐
出するのに必要な駆動信号を定める方法を利用して測定
用抵抗素子（１１２）の抵抗値が校差内でも吐出用抵抗
素子（１０２）に印加する駆動信号（電力）が一定にな
るのに必要なパルス幅をロッジック回路内に設定し、上
記方法で読み取った測定用抵抗素子の（１１２）抵抗値
に対して安定的な吐出に必要な駆動信号を画像データに
応じてヒーター（１０２）に印加する。
【００２６】以上の説明においては、測定用の抵抗を発
熱抵抗素子及び温調用抵抗素子と別に設け、この抵抗値
を装置側で読み取る。実施例を示したが、温調用抵抗素
子がインクに発泡を生じさせてもよい構成のヘッドや温
調用抵抗素子にインクが発泡しない程度の駆動信号を与
えて用いる構成においては温調用抵抗素子の抵抗値を発
熱抵抗素子の抵抗値より大きくして、測定用抵抗素子を
兼ねてもよい。
【００２７】ただしこの場合には装置側に温調駆動用回
路と測定用回路とを切換える切り換えスイッチが必要と
なり多少のコストアップを生じるため、より望ましく
は、先の実施例のように別構成とした方がよい。
【００２８】図７は、本発明の基体７０１を用い該基体
上に液路壁部材７０１を設けて、液路７０５、及び吐出
口７００を形成したインクジェット記録ヘッド７１０で
ある。基体には発熱抵抗素子の発熱部７０２と発熱抵抗
素子に接続された配線７０３、この他に図１で説明した
ような本発明の各素子が設けられている。
【００２９】この記録ヘッドのインク供給口から導入さ
れたインクは複数の液路にインクを供給するための共通
液室７０４に導かれ、この共通液室から各液路へ供給さ
れる。各液路に対応して設けられている発熱抵抗素子に
配線７０３を介して駆動信号が供給されることで発熱抵
抗素子が発熱してインクに熱を与える。この熱によりイ
ンクが気泡を発生し、気泡発生時の圧力によって吐出口
７００からインクが吐出される。
【００３０】図８は本発明の記録ヘッドカートリッジを
説明する図である。
【００３１】図７で説明したような記録ヘッドがイエ
ロ、マゼンダ、シアン、ブロックの４色に対応した４つ
一体的に設けられた記録ヘッドユニット８１０にヘッド
の各インク供給部８０２を介してインクタンク８０１が
接続されている。
【００３２】以上述べた構成の記録ヘッドやヘッドカー
トリッジを記録装置本体に着脱可能に装着して装置本体
から記録ヘッド７１０に信号を付与することにより、高
速記録、高画質記録を行うことができるインクジェット
記録装置を得ることができる。
【００３３】次に、本発明の記録ヘッドを用いたインク
ジェット記録装置について図９を参照して説明する。図
９は本発明が適用されるインクジェット記録装置９００
の一例を示す概観斜視図である。
【００３４】記録ヘッドカートリッジ９１０は、駆動モ
ータ９０１の正逆回転に連動して駆動力伝達ギア９０
２，９０３を介して回転するリードスクリュー９０４の
螺旋溝９２１に対して係合するキャリッジ９２０上に搭
載されており、前記駆動モータ９０１の動力によってキ
ャリッジ９２０とともにガイド９１９に沿って矢印ａ，
ｂ方向に往復移動される。図示しない記録媒体給送装置
によってプラテン９０６上に搬送される記録用紙Ｐ用の
紙押え板９０５は、キャリッジ移動方向にわたって記録
用紙Ｐをプラテン９０６に対して押圧する。
【００３５】９０７，９０８はフォトカプラであり、キ
ャリッジ９２０のレバー９０９のこの域での存在を確認
して駆動モータ９０１の回転方向切換等を行うためのホ
ームポジション検知手段である。９１０は前述の記録ヘ
ッド９１０の全面をキャップするキャップ部材９１１を
支持する支持部材で、９１２は前記キャップ部材５１１
内を吸引する吸引手段で、キャップ内開口９１３を介し
て記録ヘッド４１０の吸引回復を行う。９１４はクリー
ニングブレードで、９１５はこのブレードを前後方向に
移動可能にする移動部材であり、本体支持板９１６にこ
れらは支持されている。クリーニングブレード９１４
は、この形態でなく周知のクリーニングブレードが本例
に適用できることはいうまでもない。また、９１７は、
吸引回復の吸引を開始するためのレバーで、キャリッジ
９２０と係合するカム５１８の移動に伴って移動し、駆
動モータ９０１からの駆動力がクラッチ切換等の公知の
伝達手段で移動制御される。前記記録ヘッド９１０に設
けられた発熱抵抗素子に信号を付与したり、前述した各
機構の駆動制御を司ったりする印字制御部は、装置本体
側に設けられている（不図示）。
【００３６】上述のような構成のインクジェット記録装
置９００は、前記記録媒体給送装置によってプラテン９
０６上に搬送される記録用紙Ｐに対し、記録ヘッド９１
０が前記記録用紙Ｐの全幅にわたって往復移動しながら
記録を行うものであり、記録ヘッド９１０は、前述した
ような方法で製造したものを用いているため、高精度で
高速な記録が可能である。
【００３７】以上の説明においては、基体をインクジェ
ット方式の記録ヘッドに採用した例ついて説明したが、
本発明により基体は、たとえば、サーマルヘッド用基体
にも応用できるものである。
【００３８】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でもキヤノン（株）の提唱する、熱エネルギーを利用
してインクを吐出する方式の記録ヘッド、記録装置にお
いて、優れた効果をもたらすものである。
【００３９】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４，７２３，１２９号明細書、同第４，
７４０，７９６号明細書に開示されている基本的な原理
を用いて行なうものが好ましい。この方式はいわゆるオ
ンデマンド型、コンティニュアス型のいずれにも適用可
能であるが、特に、オンデマンド型の場合には、液体
（インク）が保持されているシートや液路に対応して配
置されている電気熱変換体に、記録情報に対応していて
核沸騰を越える急速な温度上昇を与える少なくとも一つ
の駆動信号を印加することによって、電気熱変換体に熱
エネルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸
騰させて、結果的にこの駆動信号に一対一対応し液体
（インク）内の気泡を形成出来るので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行なわれるので、特に応答性に優れた液体（イ
ンク）の吐出が達成でき、より好ましい。このパルス形
状の駆動信号としては、米国特許第４，４６３，３５９
号明細書、同第４，３４５，２６２号明細書に記載され
ているようなものが適している。なお、上記熱作用面の
温度上昇率に関する発明の米国特許第４，３１３，１２
４号明細書に記載されている条件を採用すると、さらに
優れた記録を行なうことができる。
【００４０】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開
示する米国特許第４，５５８，３３３号明細書、米国特
許第４，４５９，６００号明細書を用いた構成も本発明
に含まれるものである。加えて、複数の電気熱変換体に
対して、共通するスリットを電気熱変換体の吐出部とす
る構成を開示する特開昭５９年第１２３６７０号公報や
熱エネルギーの圧力波を吸収する開口を吐出部に対応さ
せる構成を開示する特開昭５９年第１３８４６１号公報
に基づいた構成としても本発明は有効である。
【００４１】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによって、その長さを満
たす構成や一体的に形成された一個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよいが、本発明は、上述した効果を
一層有効に発揮することができる。
【００４２】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。
【００４３】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段などを付加することは本発明の効果を一層安定化で
きるので好ましいものである。これらを具体的に挙げれ
ば、記録ヘッドに対しての、キャッピング手段、クリー
ニング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体ある
いはこれとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせ
による予備加熱手段、記録とは別の吐出を行なう予備吐
出モードを行なうことも安定した記録を行なうために有
効である。
【００４４】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘッ
ドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによってで
もよいが、異なる色の複色カラーまたは、混色によるフ
ルカラーの少なくとも一つを備えた装置にも本発明は極
めて有効である。
【００４５】以上説明した本発明実施例においては、イ
ンクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固
化するインクであって、室温で軟化もしくは液体あるい
は、上述のインクジェットではインク自体を３０℃以上
７０℃以下の範囲内で温度調整を行なってインクの粘性
を安定吐出範囲にあるように温度制御するものが一般的
であるから、使用記録信号付与時にインクが液状をなす
ものであればよい。加えて、積極的に熱エネルギーによ
る昇温をインクの固形状態から液体状態への態変化のエ
ネルギーとして使用せしめることで防止するかまたは、
インクの蒸発防止を目的として放置状態で固化するイン
クを用いるかして、いずれにしても熱エネルギーの記録
信号に応じた付与によってインクが液化してインク液状
として吐出するものや記録媒体に到達する時点ではすで
に固化し始めるものなどのような、熱エネルギーによっ
て初めて液化する性質のインク使用も本発明には適用可
能である。このような場合インクは、特開昭５４−５６
８４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に
記載されるような、多孔質シート凹部または貫通孔に液
状または固形物として保持された状態で、電気熱変換体
に対して対向するような形態としてもよい。本発明にお
いては、上述した各インクに対して最も有効なものは、
上述した膜沸騰方式を実行するものである。
【００４６】又、本発明の記録ヘッド装置、および駆動
方法は、布や糸等への記録（プリントを含む）を行う場
合にも望ましく用いることができ、特に布や糸等への前
処理、後処理をほどこすための装置を付加した捺染シス
テムとして適用するのにも適している。
【００４７】
【発明の効果】この様に本発明の基体は、発熱抵抗素子
や機能素子と電気的に独立であり、発熱抵抗素子より抵
抗値の大きい測定用抵抗素子を有しているため、機能素
子の影響を受けることなく抵抗値の測定ができ、更に精
度良く抵抗値の測定ができる。
【００４８】これにより発熱抵抗素子に対してより適切
な駆動電圧を印加することができるため、発熱抵抗素子
自体の使用寿命を格段に向上させることができる。
【００４９】また、本発明の記録ヘッド及びインクジェ
ットヘッドカ−トリッジでは、上述の基体を用いている
ため精度良く測定された抵抗値を基にした電気信号を、
受けることができるため、ヘッドごとでの気泡の発生を
安定化させることができるため、インク吐出のバラツキ
や吐出不良を防止することができる。また、多少発熱抵
抗体の抵抗値に製造工程に起因するバラツキが生じて
も、その抵抗値に見合った駆動信号を受け取ることがで
きるため、製造歩留まりを向上させることができる記録
ヘッドを提供することができる。さらに、記録ヘッドの
例えば基板上に記憶回路を設ける必要がないため、コス
トの低下、小型化が図れた記録ヘッドを提供することが
できる。
【００５０】また、本発明の記録装置においては、ヘッ
ドの交換によってヘッド毎に、発熱抵抗体の抵抗値が異
なっていても、搭載する記録ヘッドの測定用抵抗素子か
ら抵抗値を精度良く読み取り、これを基に適切な駆動信
号を記録ヘッドの発熱抵抗素子に印加することができる
ため記録ヘッドの交換、若しくは複数搭載する場合であ
っても良好な記録を行うことができる。また、本発明の
記録ヘッドの駆動方法においては、測定した抵抗値に基
づくデ−タを記録ヘッドの例えばプリント基板上に記憶
させる必要がなく、ヘッドの測定用抵抗の抵抗値を電気
的に直接読み取るため、ヘッドの小型化装置の小型化を
達成でき、従来の駆動信号の設定に比べ更に発熱抵抗体
の抵抗値のバラツキにきめ細かく対応した駆動信号を設
定することが容易にできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を実施した記録ヘッドの基板体を示す図
【図２】ヒーターを駆動するための構成ブロック図
【図３】記録ヘッドと記録装置の電気的接続図
【図４】記録ヘッド基体の断面図
【図５】本発明の基体の製造工程を説明する図
【図６】本発明の基体の一部を示す模式図
【図７】本発明の記録ヘッドを示す模式的破断図
【図８】本発明の記録ヘッドカートリッジを説明する模
式図
【図９】本発明の記録装置を示す模式図
【符号の説明】
１００ シリコン基板 １０２ 第一抵抗素子 １１０ 第二抵抗素子 １１２ 第三抵抗素子 １０４ 本ヒーター駆動ドライバー １０６ Ｓ／Ｒ ｏｒ ラッチ回路 ２００ 電気実装基板 ２０１ 電源 ２０２ 駆動ドライバー ２０３ オペアンプ ２０４ Ａ／Ｄ変換器 ２０５ ロジック回路 ３０１ ワイヤボンド ３０２ プリント基板 ３０３ 圧接 ３０４ フレキシブルケーブル ３０５ コネクタ ４０１ シリコン基板 ４０２ 酸化シリコン層 ４０３ ＬＯＣＯＳ法シリコン層 ４０６ プラズマＣＶＤ ＳｉＯ層 ４０７ ＡＬ１層 ４０８ ＴａＮ層（ヒーター材） ４０９ ＡＬ２層 ４１０ 第一保護層（ＳｉＮ） ４１１ 第二保護層（Ｔａ）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ４１Ｊ 2/16 Ｂ４１Ｊ 3/04 １０３ Ｂ １０３ Ｈ (72)発明者 丸 博之 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 片尾 周一 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 室岡 文夫 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 今仲 良行 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノ ン株式会社内

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 熱を発生することによって記録を行うた
    めの複数の発熱抵抗素子と、該発熱抵抗素子の夫々に駆
    動信号を加えるための複数の配線電極と、前記発熱抵抗
    素子の夫々と電気的に接続され前記複数の発熱抵抗素子
    を選択的に駆動するための機能素子と、前記発熱抵抗素
    子及び前記機能素子から電気的に独立であって、前記発
    熱抵抗素子より抵抗値の大きな測定用抵抗素子とを有す
    ることを特徴とする熱記録ヘッド用基体。
  2. 【請求項２】 前記発熱抵抗素子及び測定用抵抗素子か
    ら電気的に独立であって、前記基体に熱を加えるために
    利用される温調用抵抗素子を有する請求項１に記載の熱
    記録ヘッド用基体。
  3. 【請求項３】 前記発熱抵抗素子と前記測定用抵抗素子
    とは、同じ工程で製造された抵抗層で形成されている請
    求項１乃至３に記載の熱記録ヘッド用基体。
  4. 【請求項４】 前記各抵抗素子は、窒化タンタル、若し
    くは、ホウ化ハフニュウムの膜で構成されている請求項
    ３に記載の熱記録ヘッド用基体。
  5. 【請求項５】 インクを吐出する吐出口と、 インクを該吐出口近傍に導くための液路と、 インクに熱を加えることによってインクを前記吐出口か
    ら吐出するための発熱抵抗素子と、該発熱抵抗素子の夫
    々に駆動信号を加えるための複数の配線電極と、前記発
    熱抵抗素子の夫々と電気的に接続され前記複数の発熱抵
    抗素子を選択的に駆動するための機能素子と、前記発熱
    抵抗素子及び前記機能素子から電気的に独立であって、
    前記発熱抵抗素子より抵抗値の大きな測定用抵抗素子と
    が配された基体と、を有するインクジェット記録ヘッ
    ド。
  6. 【請求項６】 前記発熱抵抗素子及び測定用抵抗素子か
    ら電気的に独立であって、前記基体に熱を加えるために
    利用される温調用抵抗素子を有する請求項５に記載のイ
    ンクジェット記録ヘッド。
  7. 【請求項７】 前記発熱抵抗素子と前記測定用抵抗素子
    とは、同じ工程で製造された抵抗層で形成されている請
    求項５乃至６に記載のインクジェット記録ヘッド。
  8. 【請求項８】 前記各抵抗素子は、窒化タンタル、若し
    くは、ホウ化ハフニュウムの膜で構成されている請求項
    ７に記載のインクジェット記録ヘッド。
  9. 【請求項９】 前記測定用抵抗素子が、前記発熱抵抗素
    子と独立であって、前記基体に熱を加えるために利用さ
    れる温調用抵抗素子を兼ねている請求項７に記載のイン
    クジェット記録ヘッド。
  10. 【請求項１０】 請求項５のインクジェット記録ヘッド
    と、該記録ヘッドに供給するためのインクを保持するイ
    ンクタンクと、を有するインクジェットカ−トリッジ。
  11. 【請求項１１】 前記インクジェット記録ヘッドと、前
    記インクタンクとは着脱可能である請求項１０記載のイ
    ンクジェットカ−トリッジ。
  12. 【請求項１２】 インクに熱を加えることによってイン
    クを前記吐出口から吐出するための発熱抵抗素子と、該
    発熱抵抗素子の夫々に駆動信号を加えるための複数の配
    線電極と、前記発熱抵抗素子の夫々と電気的に接続され
    前記複数の発熱抵抗素子を選択的に駆動するための機能
    素子と、前記発熱抵抗素子及び前記機能素子から電気的
    に独立であって、前記発熱抵抗素子より抵抗値の大きな
    測定用抵抗素子とが配された基体と、インクを吐出する
    吐出口と、インクを該吐出口近傍に導くための液路と、
    を有するインクジェット記録ヘッドを着脱可能に搭載で
    き、搭載された記録ヘッドの前記測定用抵抗素子の抵抗
    値に基づく値を電気的に測定し、測定された該抵抗値に
    基づいて、前記発熱抵抗素子を駆動するための駆動信号
    の条件を設定する制御回路を有するインクジェット記録
    装置。
  13. 【請求項１３】 発熱抵抗素子が発熱する熱により記録
    を行う記録ヘッドに配された測定用抵抗素子の抵抗値に
    基づく値を電気的に測定するステップ、測定した前記値
    に基づいて前記発熱抵抗素子に印加する駆動信号を設定
    するステップ、前記設定された駆動信号を前記記録ヘッ
    ドの前記発熱抵抗素子に印加するステップを有する記録
    ヘッドの駆動方法。
JP05223495A 1993-09-08 1993-09-08 熱記録ヘッド用基体、該基体を用いたインクジェット記録ヘッド、インクジェットカートリッジ、インクジェット記録装置、及び記録ヘッドの駆動方法 Expired - Lifetime JP3143549B2 (ja)

Priority Applications (13)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP05223495A JP3143549B2 (ja) 1993-09-08 1993-09-08 熱記録ヘッド用基体、該基体を用いたインクジェット記録ヘッド、インクジェットカートリッジ、インクジェット記録装置、及び記録ヘッドの駆動方法
TW083107860A TW278296B (ja) 1993-09-08 1994-08-26
CA002131423A CA2131423C (en) 1993-09-08 1994-09-02 Substrate for thermal recording head, ink jet recording head using the substrate, recording apparatus with the recording head, and method of driving recording head
US08/300,122 US5943070A (en) 1993-09-08 1994-09-02 Substrate for thermal recording head, ink jet recording head using the substrate, recording apparatus with the recording head, and method of driving recording head
AU72904/94A AU677086B2 (en) 1993-09-08 1994-09-07 Substrate for thermal recording head, ink jet recording headusing the substrate, recording apparatus with the recording head, and method of driving recording head
KR94022432A KR0138202B1 (en) 1993-09-08 1994-09-07 Substrate for thermal recording head ink-jet recording head using the substrate
EP94306581A EP0641656B1 (en) 1993-09-08 1994-09-07 Ink jet printer
AT94306581T ATE199231T1 (de) 1993-09-08 1994-09-07 Farbstrahldrucker
ES94306581T ES2154668T3 (es) 1993-09-08 1994-09-07 Impresora por chorros de tinta.
DE69426717T DE69426717T2 (de) 1993-09-08 1994-09-07 Farbstrahldrucker
CN94115141A CN1061000C (zh) 1993-09-08 1994-09-08 记录头、记录设备和驱动记录头的方法
US09/350,296 US6257695B1 (en) 1993-09-08 1999-07-09 Substrate for thermal recording head, ink jet recording head using the substrate, recording apparatus with the recording head, and method of driving record head
US09/656,016 US6471339B1 (en) 1993-09-08 2000-09-07 Substrate for thermal recording head, ink jet recording head using the substrate, recording apparatus with the recording head, and method of driving recording head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP05223495A JP3143549B2 (ja) 1993-09-08 1993-09-08 熱記録ヘッド用基体、該基体を用いたインクジェット記録ヘッド、インクジェットカートリッジ、インクジェット記録装置、及び記録ヘッドの駆動方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0776077A true JPH0776077A (ja) 1995-03-20
JP3143549B2 JP3143549B2 (ja) 2001-03-07

Family

ID=16799041

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP05223495A Expired - Lifetime JP3143549B2 (ja) 1993-09-08 1993-09-08 熱記録ヘッド用基体、該基体を用いたインクジェット記録ヘッド、インクジェットカートリッジ、インクジェット記録装置、及び記録ヘッドの駆動方法

Country Status (11)

Country Link
US (3) US5943070A (ja)
EP (1) EP0641656B1 (ja)
JP (1) JP3143549B2 (ja)
KR (1) KR0138202B1 (ja)
CN (1) CN1061000C (ja)
AT (1) ATE199231T1 (ja)
AU (1) AU677086B2 (ja)
CA (1) CA2131423C (ja)
DE (1) DE69426717T2 (ja)
ES (1) ES2154668T3 (ja)
TW (1) TW278296B (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002079673A (ja) * 2000-06-30 2002-03-19 Canon Inc インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録ヘッドの製造方法、インクジェット記録装置、およびインクジェット記録ヘッドの駆動方法
US6382756B1 (en) 1996-07-31 2002-05-07 Canon Kabushiki Kaisha Recording head and recording method
US6523922B2 (en) 2000-04-03 2003-02-25 Canon Kabushiki Kaisha Printhead as well as printing apparatus comprising such printhead
KR100528554B1 (ko) * 1997-03-27 2006-02-28 렉스마크 인터내셔널, 인코포레이티드 잉크젯프린터에서분사히터와기판히터용프린트헤드드라이버및그히터들을제어하기위한방법

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3323597B2 (ja) 1993-09-03 2002-09-09 キヤノン株式会社 インクジェットヘッド用基体、該基体を用いたインクジェットヘッドおよびインクジェットプリント装置
JP3143549B2 (ja) * 1993-09-08 2001-03-07 キヤノン株式会社 熱記録ヘッド用基体、該基体を用いたインクジェット記録ヘッド、インクジェットカートリッジ、インクジェット記録装置、及び記録ヘッドの駆動方法
IT1276469B1 (it) * 1995-07-04 1997-10-31 Olivetti Canon Ind Spa Metodo per stabilizzare le condizioni termiche di lavoro di una testina di stampa a getto di inchiostro e relativa testina di stampa
JPH1024584A (ja) * 1996-07-12 1998-01-27 Canon Inc 液体吐出ヘッドカートリッジおよび液体吐出装置
EP0890439A3 (en) * 1997-07-11 1999-08-25 Lexmark International, Inc. Ink jet printhead with an integral substrate heater driver
AU1057799A (en) * 1997-10-30 1999-05-24 Xaarjet Ab Ink jet printer
JP2001071499A (ja) * 1998-09-30 2001-03-21 Canon Inc インクジェット記録ヘッドとこれを備えるインクジェット装置およびインクジェット記録方法
US6357862B1 (en) 1998-10-08 2002-03-19 Canon Kabushiki Kaisha Substrate for ink jet recording head, ink jet recording head and method of manufacture therefor
US6869157B2 (en) 2001-03-26 2005-03-22 Canon Kabushiki Kaisha Method of driving and controlling ink jet print head, ink jet print head, and ink jet printer
JP2002370363A (ja) 2001-06-15 2002-12-24 Canon Inc インクジェット記録ヘッド用基板、インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録装置
JP4183226B2 (ja) * 2001-11-15 2008-11-19 キヤノン株式会社 記録ヘッド用基板、記録ヘッド、記録装置、および記録ヘッド用基板の検査方法
JP2004050637A (ja) * 2002-07-19 2004-02-19 Canon Inc インクジェットヘッド用基板、インクジェットヘッド及び該インクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置
JP4125069B2 (ja) * 2002-08-13 2008-07-23 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド用基板、インクジェット記録ヘッドおよび該インクジェット記録ヘッドを用いたインクジェット記録装置
US6794753B2 (en) * 2002-12-27 2004-09-21 Lexmark International, Inc. Diffusion barrier and method therefor
US6890067B2 (en) * 2003-07-03 2005-05-10 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejection assembly
US20050206679A1 (en) * 2003-07-03 2005-09-22 Rio Rivas Fluid ejection assembly
JP4497869B2 (ja) * 2003-09-04 2010-07-07 キヤノン株式会社 回路基板の製造方法
US7344218B2 (en) * 2003-11-06 2008-03-18 Canon Kabushiki Kaisha Printhead driving method, printhead substrate, printhead, head cartridge and printing apparatus
TWI267446B (en) * 2003-11-06 2006-12-01 Canon Kk Printhead substrate, printhead using the substrate, head cartridge including the printhead, method of driving the printhead, and printing apparatus using the printhead
KR100694053B1 (ko) * 2004-07-30 2007-03-12 삼성전자주식회사 잉크젯 프린터의 프린트 헤드 구동 장치 및 이에 적합한반도체 회로 기판
JP4886187B2 (ja) * 2004-12-15 2012-02-29 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド用基板および該基板を用いるインクジェット記録ヘッド
JP4845415B2 (ja) * 2005-04-18 2011-12-28 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド
US7540593B2 (en) * 2005-04-26 2009-06-02 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejection assembly
US7380914B2 (en) * 2005-04-26 2008-06-03 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejection assembly
JP2006321123A (ja) * 2005-05-19 2006-11-30 Seiko Instruments Inc 発熱抵抗素子、サーマルヘッド及びインクジェットヘッド
JP4804251B2 (ja) * 2006-07-20 2011-11-02 キヤノン株式会社 撮像装置及び撮像ユニット
KR101313946B1 (ko) 2008-08-29 2013-10-01 캐논 가부시끼가이샤 액체 토출 헤드용 기판, 그 제조 방법 및 액체 토출 헤드
JP5393596B2 (ja) 2010-05-31 2014-01-22 キヤノン株式会社 インクジェット記録装置
US8439477B2 (en) 2011-07-26 2013-05-14 Eastman Kodak Company Method of characterizing array of resistive heaters
WO2013016003A1 (en) * 2011-07-26 2013-01-31 Eastman Kodak Company Inkjet printhead with test resistors
JP6948167B2 (ja) * 2017-06-15 2021-10-13 キヤノン株式会社 半導体装置、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1127227A (en) * 1977-10-03 1982-07-06 Ichiro Endo Liquid jet recording process and apparatus therefor
JPS5936879B2 (ja) * 1977-10-14 1984-09-06 キヤノン株式会社 熱転写記録用媒体
US4330787A (en) * 1978-10-31 1982-05-18 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording device
US4345262A (en) * 1979-02-19 1982-08-17 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording method
US4463359A (en) * 1979-04-02 1984-07-31 Canon Kabushiki Kaisha Droplet generating method and apparatus thereof
US4313124A (en) * 1979-05-18 1982-01-26 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording process and liquid jet recording head
US4429321A (en) * 1980-10-23 1984-01-31 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording device
US4558333A (en) * 1981-07-09 1985-12-10 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording head
JPS5889386A (ja) * 1981-11-24 1983-05-27 Canon Inc サ−マルヘツド
JPS59123670A (ja) * 1982-12-28 1984-07-17 Canon Inc インクジエツトヘツド
JPS59138461A (ja) * 1983-01-28 1984-08-08 Canon Inc 液体噴射記録装置
JPS6071260A (ja) * 1983-09-28 1985-04-23 Erumu:Kk 記録装置
JPH0624863B2 (ja) * 1985-10-02 1994-04-06 キヤノン株式会社 インクジエツト記録装置
DE3770827D1 (de) * 1986-10-01 1991-07-18 Siemens Ag Anordnung zum elektrischen abgleich von in tintenkoepfen angeordneten wandlerelementen.
JPS63312861A (ja) * 1987-06-16 1988-12-21 Mitsubishi Electric Corp サ−マルプリンタ
JP2627283B2 (ja) * 1987-11-06 1997-07-02 セイコー電子工業株式会社 サーマルヘッド及びその製造方法
US5212503A (en) * 1988-07-26 1993-05-18 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording head having a substrate with minimized electrode overlap
US5175565A (en) * 1988-07-26 1992-12-29 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet substrate including plural temperature sensors and heaters
US4910528A (en) * 1989-01-10 1990-03-20 Hewlett-Packard Company Ink jet printer thermal control system
JPH03208654A (ja) 1990-01-12 1991-09-11 Canon Inc インクジェット記録装置
EP0444579B1 (en) * 1990-02-26 1999-06-23 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording apparatus
US5168284A (en) * 1991-05-01 1992-12-01 Hewlett-Packard Company Printhead temperature controller that uses nonprinting pulses
CA2085551C (en) 1991-12-19 1997-11-25 Atsushi Arai Ink jet recording apparatus and method
JPH05169661A (ja) 1991-12-19 1993-07-09 Canon Inc インクジェット記録装置
DE69328603T2 (de) * 1992-10-15 2001-01-11 Canon Kk Tintenstrahlaufzeichnungsvorrichtung
JP2932888B2 (ja) * 1993-03-30 1999-08-09 三菱電機株式会社 ワイヤカット放電加工装置
JP3235753B2 (ja) * 1993-05-27 2001-12-04 キヤノン株式会社 インクジェット記録装置及び同装置における温度センサからの出力に応じた信号を補正する補正方法
JP3143549B2 (ja) * 1993-09-08 2001-03-07 キヤノン株式会社 熱記録ヘッド用基体、該基体を用いたインクジェット記録ヘッド、インクジェットカートリッジ、インクジェット記録装置、及び記録ヘッドの駆動方法
JP3208654B2 (ja) 1996-05-31 2001-09-17 株式会社フクハラ エアーコンプレッサとドレン排出の制御方法および制御装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6382756B1 (en) 1996-07-31 2002-05-07 Canon Kabushiki Kaisha Recording head and recording method
KR100528554B1 (ko) * 1997-03-27 2006-02-28 렉스마크 인터내셔널, 인코포레이티드 잉크젯프린터에서분사히터와기판히터용프린트헤드드라이버및그히터들을제어하기위한방법
US6523922B2 (en) 2000-04-03 2003-02-25 Canon Kabushiki Kaisha Printhead as well as printing apparatus comprising such printhead
JP2002079673A (ja) * 2000-06-30 2002-03-19 Canon Inc インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録ヘッドの製造方法、インクジェット記録装置、およびインクジェット記録ヘッドの駆動方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN1104151A (zh) 1995-06-28
ES2154668T3 (es) 2001-04-16
CA2131423C (en) 2000-11-14
EP0641656B1 (en) 2001-02-21
DE69426717T2 (de) 2001-08-02
ATE199231T1 (de) 2001-03-15
EP0641656A2 (en) 1995-03-08
DE69426717D1 (de) 2001-03-29
AU677086B2 (en) 1997-04-10
US6471339B1 (en) 2002-10-29
US6257695B1 (en) 2001-07-10
CN1061000C (zh) 2001-01-24
US5943070A (en) 1999-08-24
JP3143549B2 (ja) 2001-03-07
TW278296B (ja) 1996-06-11
EP0641656A3 (en) 1996-01-24
CA2131423A1 (en) 1995-03-09
KR0138202B1 (en) 1998-05-15
AU7290494A (en) 1995-03-23
KR950008129A (ko) 1995-04-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3143549B2 (ja) 熱記録ヘッド用基体、該基体を用いたインクジェット記録ヘッド、インクジェットカートリッジ、インクジェット記録装置、及び記録ヘッドの駆動方法
US5172134A (en) Ink jet recording head, driving method for same and ink jet recording apparatus
US7575294B2 (en) Printhead substrate, printhead using the substrate, head cartridge including the printhead, method of driving the printhead, and printing apparatus using the printhead
US7832843B2 (en) Liquid jet head
US8002374B2 (en) Printhead driving method, printhead substrate, printhead, head cartridge, and printing apparatus
EP0934829A2 (en) Ink jet head, ink jet head cartidge and ink jet apparatus
US5281980A (en) Ink jet recording head
JP3697089B2 (ja) インクジェットヘッド用基体、インクジェットヘッド、インクジェットカートリッジおよびインクジェット記録装置
US20060221105A1 (en) Printing apparatus, printhead, and driving method therefor
JP3387749B2 (ja) 記録ヘッド及びその記録ヘッドを用いた記録装置
JPH1086405A (ja) 記録ヘッド及びその記録ヘッドを用いた記録装置
JP2001180015A (ja) インクジェット記録装置、インクジェット記録方法、及びインクジェット記録ヘッド
US6231165B1 (en) Inkjet recording head and inkjet apparatus provided with the same
JP4455013B2 (ja) 記録ヘッドの駆動方法、記録ヘッド、及び記録装置
JPH05338173A (ja) インクジェット記録装置
JPH07290710A (ja) インクジェットヘッドおよびインクジェット装置
JP2002219806A (ja) インクジェット記録ヘッド用基体、該基体を用いたインクジェット記録ヘッド、該記録ヘッドを搭載する記録装置、及び記録ヘッドの駆動方法
JPH08108538A (ja) 記録ヘッド及び該記録ヘッドを用いた記録装置
JPH07314688A (ja) インクジェットヘッドおよびインクジェット記録装置
JPH0839811A (ja) インクジェットヘッド、インクジェット装置および情報処理システム
JP2004090246A (ja) 記録ヘッド用基板、インクジェット記録ヘッド、記録装置およびランクヒーター測定方法
JPH09286106A (ja) インクジェットプリントヘッドおよびインクジェットプリント装置
JPH06316078A (ja) インクジェットプリントヘッド，該プリントヘッドを用いたインクジェットヘッドカートリッジ及びプリント装置
JPH06198887A (ja) 記録装置及びその方法
JPH0412861A (ja) インクジェット記録ヘッド及び該記録ヘッドを備えたインクジェット記録装置

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20001205

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081222

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081222

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091222

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091222

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101222

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111222

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121222

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131222

Year of fee payment: 13