JP2006321123A - 発熱抵抗素子、サーマルヘッド及びインクジェットヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板上に蓄熱層を形成し、この蓄熱層上に発熱抵抗体層を形成し、この発熱抵抗体層の上に個別電極及び共通電極を形成し、この発熱抵抗体層と前記個別電極及び共通電極とを保護膜層で被覆してなる発熱抵抗素子において、前記蓄熱層は、有機溶剤に溶解された二酸化珪素化合物材料またはポリイミド樹脂に、中空または細孔を有する球体状の二酸化珪素を加えて混合した後、これを基板上塗布し、その後加熱処理によって、溶媒成分を除去して、膜状に形成することにより作成した。
【選択図】 図1
Description
2 蓄熱層
3 平坦化層
4 発熱抵抗体層
5 個別電極
6 共通電極
7 保護膜層
8 インク流路
9 ノズルパターン層
10 インク流路壁
Claims (14)
- 絶縁性基板と、
前記絶縁性基板上に設けられた蓄熱層と、
前記蓄熱層上に設けられた発熱抵抗体層と、
前記発熱抵抗体層上に形成された個別電極及び共通電極と、
前記発熱抵抗体層と前記個別電極及び共通電極とを被覆する保護膜層からなる発熱抵抗素子において、
前記蓄熱層は、中空または細孔を有する球体状の二酸化珪素を含むことを特徴とする発熱抵抗素子。 - 前記球体状の二酸化珪素は、その径が1〜20μメートルであることを特徴とする請求項1記載の発熱抵抗素子。
- 前記中空を有する球体状の二酸化珪素は、その殻の厚みが球径の1/200〜1/10であることを特徴とする請求項1記載の発熱抵抗素子。
- 前記細孔を有する球体状の二酸化珪素は、その細孔の径が5〜100nmであることを特徴とする請求項1記載の発熱抵抗素子。
- 前記蓄熱層は、二酸化珪素化合物に前記中空または細孔を有する球体状の二酸化珪素を混合したものから成る請求項1記載の発熱抵抗素子。
- 前記蓄熱層は、ポリイミド樹脂材料に前記中空または細孔を有する球体状の二酸化珪素を混合したものから成る請求項1記載の発熱抵抗素子。
- 前記蓄熱層の厚みは、前記球体状の二酸化珪素の径の3〜50倍の厚さであることを特徴とする請求項5または6記載の発熱抵抗素子。
- 前記蓄熱層の上層に、前記二酸化珪素から成る球体を含まない、二酸化珪素化合物材料のみが塗布された平坦化層が設けられていることを特徴とする請求項7記載の発熱抵抗素子。
- 前記蓄熱層の上層に、前記二酸化珪素から成る球体を含まない、ポリイミド樹脂材料のみが塗布された平坦化層が設けられていることを特徴とする請求項7記載の発熱抵抗素子。
- 前記平坦化層は、その表面粗さRaが、1μメートル以下であることを特徴とする請求項8または9記載の発熱抵抗素子。
- 請求項8〜10のうちいずれか一項記載の発熱抵抗素子を備えたサーマルヘッド。
- 請求項8〜10のうちいずれか一項記載の発熱抵抗素子から成るサーマル式またはバブル式のインクジェットヘッド。
- 有機溶剤に溶解された二酸化珪素化合物に、中空または細孔を有する球体状の二酸化珪素を混合する工程と、
前記混合物を絶縁基板上に塗布する工程と、
加熱処理により前記有機溶剤を除去し蓄熱層を形成する工程と、
前記蓄熱層上に発熱抵抗体層を形成する工程と、
前記発熱抵抗体層上に個別電極及び共通電極を形成する工程と、
前記発熱抵抗体層と前記個別電極及び共通電極とを被覆する保護膜層を形成する工程と
からなる発熱抵抗素子の製造方法。 - 有機溶剤に溶解されたポリイミド樹脂材料に、中空または細孔を有する球体状の二酸化珪素を混合する工程と、
前記混合物を絶縁基板上に塗布する工程と、
加熱処理により前記有機溶剤を除去し蓄熱層を形成する工程と、
前記蓄熱層上に発熱抵抗体層を形成する工程と、
前記発熱抵抗体層上に個別電極及び共通電極を形成する工程と、
前記発熱抵抗体層と前記個別電極及び共通電極とを被覆する保護膜層を形成する工程と
からなる発熱抵抗素子の製造方法。
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