JPH0773516A - 光磁気記録媒体及び光磁気記録方法 - Google Patents
光磁気記録媒体及び光磁気記録方法Info
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- JPH0773516A JPH0773516A JP5218899A JP21889993A JPH0773516A JP H0773516 A JPH0773516 A JP H0773516A JP 5218899 A JP5218899 A JP 5218899A JP 21889993 A JP21889993 A JP 21889993A JP H0773516 A JPH0773516 A JP H0773516A
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10502—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing characterised by the transducing operation to be executed
- G11B11/10504—Recording
- G11B11/10506—Recording by modulating only the light beam of the transducer
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- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10586—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
- G11B11/10589—Details
- G11B11/10591—Details for improving write-in properties, e.g. Curie-point temperature
Abstract
(57)【要約】
【目的】 安定した記録感度を有する光磁気記録媒体を
得る。 【構成】 膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する非晶
質磁化膜において、前記非晶質磁化膜が希土類金属が多
い場合に相対的にキュリー点が高くなる性質を持つ希土
類金属と遷移金属との組み合わせからなる合金薄膜であ
ることを特徴とする光磁気記録媒体。
得る。 【構成】 膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する非晶
質磁化膜において、前記非晶質磁化膜が希土類金属が多
い場合に相対的にキュリー点が高くなる性質を持つ希土
類金属と遷移金属との組み合わせからなる合金薄膜であ
ることを特徴とする光磁気記録媒体。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光等で加熱した
状態で磁気的に情報の記録・消去・再生を行う光磁気記
録媒体及び光磁気記録方法に関する。
状態で磁気的に情報の記録・消去・再生を行う光磁気記
録媒体及び光磁気記録方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】最近、高密度、大容量、高いアクセス速
度、並びに高い記録及び再生速度を含めた種々の要求を
満足する光学的記録再生方法、それに使用される記録装
置、再生装置及び記録媒体を開発しようとする努力が成
されている。広範囲な光学的記録再生方法の中で、光磁
気記録再生方法は、情報を記録した後、消去することが
でき、消去した後、再び新たな情報を記録することが繰
り返し可能であるというユニークな利点のために、最も
大きな魅力に満ちている。
度、並びに高い記録及び再生速度を含めた種々の要求を
満足する光学的記録再生方法、それに使用される記録装
置、再生装置及び記録媒体を開発しようとする努力が成
されている。広範囲な光学的記録再生方法の中で、光磁
気記録再生方法は、情報を記録した後、消去することが
でき、消去した後、再び新たな情報を記録することが繰
り返し可能であるというユニークな利点のために、最も
大きな魅力に満ちている。
【０００３】一般に、この方法は垂直磁化膜の記録層と
レーザビームを用いて行われる。記録層の磁化の向き
は、記録前に上向き又は下向きの一方向に初期化され
る。記録は、直径１ミクロン程度に小さく絞ったレーザ
ービームにより記録層の一部をキュリー点近傍に昇温し
記録磁界Ｈbを用いて反対の向きの磁化を有するマーク
を形成する。情報は、このマークの有無及び／又はマー
クの長さによって表現される。記録情報の再生は、記録
層のカー回転角θkによるレーザービームの偏光を用い
て行う。
レーザビームを用いて行われる。記録層の磁化の向き
は、記録前に上向き又は下向きの一方向に初期化され
る。記録は、直径１ミクロン程度に小さく絞ったレーザ
ービームにより記録層の一部をキュリー点近傍に昇温し
記録磁界Ｈbを用いて反対の向きの磁化を有するマーク
を形成する。情報は、このマークの有無及び／又はマー
クの長さによって表現される。記録情報の再生は、記録
層のカー回転角θkによるレーザービームの偏光を用い
て行う。
【０００４】この光磁気記録再生方法で使用される記録
媒体は、記録層として垂直磁気異方性を有する非晶質の
希土類−遷移金属合金が知られている。とりわけ、大き
な保磁力を有し安定な記録状態を保持できる物質とし
て、最も一般的にはＴｂＦｅＣｏが使用されている。
記録媒体を製造する方法として、真空蒸着法、イオンプ
レーティング法、スパッタリング法、イオンビームスパ
ッタリング法等の成膜方法がある。しかし、一般には、
取扱い易さからアルゴンガスを用いたスパッタリング法
を用いている。それには、アルゴンガスのイオン化の効
率を上げるために、ターゲットの下に磁石が内蔵されて
いるスパッタ源を用いたマグネトロンスパッタリング法
が一般的である。更にターゲットとして、希土類金属タ
ーゲット及び遷移金属ターゲットの複数のターゲットを
用い、それぞれのターゲットに独立にパワーを投入する
同時多元スパッタリング法やターゲットとして、希土類
−遷移金属合金ターゲットを用いたスパッタリング法が
知られている。
媒体は、記録層として垂直磁気異方性を有する非晶質の
希土類−遷移金属合金が知られている。とりわけ、大き
な保磁力を有し安定な記録状態を保持できる物質とし
て、最も一般的にはＴｂＦｅＣｏが使用されている。
記録媒体を製造する方法として、真空蒸着法、イオンプ
レーティング法、スパッタリング法、イオンビームスパ
ッタリング法等の成膜方法がある。しかし、一般には、
取扱い易さからアルゴンガスを用いたスパッタリング法
を用いている。それには、アルゴンガスのイオン化の効
率を上げるために、ターゲットの下に磁石が内蔵されて
いるスパッタ源を用いたマグネトロンスパッタリング法
が一般的である。更にターゲットとして、希土類金属タ
ーゲット及び遷移金属ターゲットの複数のターゲットを
用い、それぞれのターゲットに独立にパワーを投入する
同時多元スパッタリング法やターゲットとして、希土類
−遷移金属合金ターゲットを用いたスパッタリング法が
知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記のような
マグネトロンスパッタリング法の同時多元スパッタリン
グ法で光磁気記録媒体を作製すると、次のような問題が
ある。多元スパッタリングではそれぞれ希土類金属ター
ゲット、遷移金属ターゲットを用いるため厚さ方向の組
成ムラはそれぞれ少ないが、マグネトロンスパッタリン
グ法を用いているため、特に遷移金属ターゲットの使用
初期と後期ではターゲットの下にある磁石からの漏れ磁
界が変化し、スパッタリング効率が変わってしまい結果
的に希土類金属と遷移金属の比が変わってしまう。一
方、合金ターゲットを用いた場合、ターゲットの製法
上、厚さ方向に組成ムラができてしまう。従って、ター
ゲット使用初期での成膜組成と、使用中にターゲットが
消耗し薄くなった場合での成膜組成では差がでてしまう
ことがある。
マグネトロンスパッタリング法の同時多元スパッタリン
グ法で光磁気記録媒体を作製すると、次のような問題が
ある。多元スパッタリングではそれぞれ希土類金属ター
ゲット、遷移金属ターゲットを用いるため厚さ方向の組
成ムラはそれぞれ少ないが、マグネトロンスパッタリン
グ法を用いているため、特に遷移金属ターゲットの使用
初期と後期ではターゲットの下にある磁石からの漏れ磁
界が変化し、スパッタリング効率が変わってしまい結果
的に希土類金属と遷移金属の比が変わってしまう。一
方、合金ターゲットを用いた場合、ターゲットの製法
上、厚さ方向に組成ムラができてしまう。従って、ター
ゲット使用初期での成膜組成と、使用中にターゲットが
消耗し薄くなった場合での成膜組成では差がでてしまう
ことがある。
【０００６】結果的に初期に作製した媒体と後期に作製
した媒体で組成が異なることになる。特に、ＴｂＦｅＣ
ｏの場合組成が異なった場合記録感度が変わってしま
う、記録感度がばらつくという問題があった。
した媒体で組成が異なることになる。特に、ＴｂＦｅＣ
ｏの場合組成が異なった場合記録感度が変わってしま
う、記録感度がばらつくという問題があった。
【０００７】
【課題を解決する為の手段】上記問題点を解決するため
に本発明は、第１に「膜面に垂直な方向に磁化容易軸を
有する非晶質磁化膜において、前記非晶質磁化膜が希土
類金属が多い場合に相対的にキュリー点が高くなる性質
を持つ希土類金属と遷移金属との組み合わせからなる合
金薄膜であることを特徴とする光磁気記録媒体（請求項
１）」を提供する。
に本発明は、第１に「膜面に垂直な方向に磁化容易軸を
有する非晶質磁化膜において、前記非晶質磁化膜が希土
類金属が多い場合に相対的にキュリー点が高くなる性質
を持つ希土類金属と遷移金属との組み合わせからなる合
金薄膜であることを特徴とする光磁気記録媒体（請求項
１）」を提供する。
【０００８】第２に「該非晶質磁化膜の補償温度が室温
より高くキュリー点より低いことを特徴とする請求項１
記載の光磁気記録媒体（請求項２）」を提供する。第３
に「該非晶質磁化膜が下記式 Ｄｙx（Ｆｅ1-yＣｏy）1-x 0.26≦ｘ≦0.29 0.15≦ｙ≦0.25 を満足する請求項１記載の光磁気記録媒体（請求項
３）」を提供する。
より高くキュリー点より低いことを特徴とする請求項１
記載の光磁気記録媒体（請求項２）」を提供する。第３
に「該非晶質磁化膜が下記式 Ｄｙx（Ｆｅ1-yＣｏy）1-x 0.26≦ｘ≦0.29 0.15≦ｙ≦0.25 を満足する請求項１記載の光磁気記録媒体（請求項
３）」を提供する。
【０００９】第４に「該非晶質磁化膜が下記式 （Ｔｂ1-zＤｙz）x（Ｆｅ1-yＣｏy）1-x 0.26≦ｘ≦0.29 0.15≦ｙ≦0.25 0.50≦ｚ≦0.95 を満足する請求項１記載の光磁気記録媒体（請求項
４）」を提供する。
４）」を提供する。
【００１０】第５に「希土類金属が多い場合に相対的に
キュリー点が高くなる性質を持つ希土類金属と遷移金属
との組み合わせからなる光磁気記録媒体を用い、組成の
ばらつきがあっても記録感度にあまり影響を与えない記
録磁界を設定したことを特徴とする光磁気記録方法（請
求項５）」を提供する。第６に「記録磁界を300Ｏｅか
ら600Ｏｅにしたことを特徴とする請求項５記載の光磁
気記録方法（請求項６）」を提供する。
キュリー点が高くなる性質を持つ希土類金属と遷移金属
との組み合わせからなる光磁気記録媒体を用い、組成の
ばらつきがあっても記録感度にあまり影響を与えない記
録磁界を設定したことを特徴とする光磁気記録方法（請
求項５）」を提供する。第６に「記録磁界を300Ｏｅか
ら600Ｏｅにしたことを特徴とする請求項５記載の光磁
気記録方法（請求項６）」を提供する。
【００１１】
【作用】以下、本発明について詳細に説明する。図２は
従来のＴｂＦｅＣｏの保磁力の温度特性である。図中、
２１は組成が目標組成よりＲＥリッチの場合であり、２
２は組成が目標組成よりＴＭリッチの場合の温度特性で
ある。記録時は記録磁界（２３）を印加しながら加熱す
るため、記録感度は概ね保磁力の温度特性と記録磁界の
交差する温度で決まる。ＴｂＦｅＣｏの場合、Ｔｂ組成
が変わってもキュリー点（Ｔｃ）が変化しないが保磁力
の温度特性が図２のように変わってしまうため、記録磁
界と保磁力の温度特性の交差する温度がＴ1からＴ2に変
化し、そのまま記録感度のばらつきになってしまう。特
にマークエッジ記録時にはマークの長さのばらつきにな
り問題になる。
従来のＴｂＦｅＣｏの保磁力の温度特性である。図中、
２１は組成が目標組成よりＲＥリッチの場合であり、２
２は組成が目標組成よりＴＭリッチの場合の温度特性で
ある。記録時は記録磁界（２３）を印加しながら加熱す
るため、記録感度は概ね保磁力の温度特性と記録磁界の
交差する温度で決まる。ＴｂＦｅＣｏの場合、Ｔｂ組成
が変わってもキュリー点（Ｔｃ）が変化しないが保磁力
の温度特性が図２のように変わってしまうため、記録磁
界と保磁力の温度特性の交差する温度がＴ1からＴ2に変
化し、そのまま記録感度のばらつきになってしまう。特
にマークエッジ記録時にはマークの長さのばらつきにな
り問題になる。
【００１２】一方、図１は本発明の媒体の保磁力の温度
特性である。図中、１１は組成が目標組成よりＲＥリッ
チの場合であり、１２は組成が目標組成よりＴＭリッチ
の場合の温度特性である。記録時は記録磁界１３を印加
しながら加熱するため、ＴｂＦｅＣｏの場合と同様に記
録感度は概ね保磁力の温度特性と記録磁界の交差する温
度で決まる。本発明の場合、ＴＭリッチのキュリー点
（Ｔｃ2）がＲＥリッチのキュリー点（Ｔｃ1）より高い
ので、キュリー点の変化と保磁力の温度特性の変化が補
償しあい、記録磁界と交差する温度はＴＭリッチ
（Ｔ2）でも、ＲＥリッチ（Ｔ1）でも大きく変わらな
い。このため、組成がばらついても記録感度のばらつき
が小さくできる。結果的に記録されるマークの長さのば
らつきが少なくなる。
特性である。図中、１１は組成が目標組成よりＲＥリッ
チの場合であり、１２は組成が目標組成よりＴＭリッチ
の場合の温度特性である。記録時は記録磁界１３を印加
しながら加熱するため、ＴｂＦｅＣｏの場合と同様に記
録感度は概ね保磁力の温度特性と記録磁界の交差する温
度で決まる。本発明の場合、ＴＭリッチのキュリー点
（Ｔｃ2）がＲＥリッチのキュリー点（Ｔｃ1）より高い
ので、キュリー点の変化と保磁力の温度特性の変化が補
償しあい、記録磁界と交差する温度はＴＭリッチ
（Ｔ2）でも、ＲＥリッチ（Ｔ1）でも大きく変わらな
い。このため、組成がばらついても記録感度のばらつき
が小さくできる。結果的に記録されるマークの長さのば
らつきが少なくなる。
【００１３】以下、実施例により詳細に説明する。
【００１４】
【実施例１】４元のマグネトロンスパッタリング装置を
用い、厚さ１．２ｍｍ、直径１３０ｍｍのディスク状溝
付きポリカーボネート基板を真空チャンバー内にセット
する。真空チャンバー内を一旦１×１０-5Ｐａまで排気
した後、 スパッタガス（ＡｒガスにＮ2を５％混入、
ガス圧０．２５Ｐａ）を導入し、膜厚１１０ｎｍのＳｉ
Ｎを成膜する。続いてスパッタガス（Ａｒガスのみ、ガ
ス圧０．３Ｐａ）を導入し、ＤｙターゲットとＦｅＣｏ
合金ターゲットを用いて、表１に示す膜厚２００ｎｍの
ＤｙＦｅＣｏを成膜した。その上にスパッタガス（Ａｒ
ガスにＮ2を５％混入、ガス圧０．２５Ｐａ）を導入し
５０ｎｍのＳｉＮを成膜、スパッタガス（Ａｒガスの
み、ガス圧０．３Ｐａ）を導入しＡｌを６０ｎｍ成膜し
た。初期にスパッタしたディスクと同じ条件で１００ロ
ット毎にスパッタしたディスクを取り出し、これらのデ
ィスクに対し、線速度８ｍ／ｓ、記録磁界３５０Ｏｅの
条件で１ＭＨｚの信号の記録を行ったところ最適記録パ
ワーは表１のようになった。これから、Ｄｙターゲット
とＦｅＣｏ合金ターゲットの経時変化による組成変化が
あっても記録感度の変化は殆ど無いことが分かった。
用い、厚さ１．２ｍｍ、直径１３０ｍｍのディスク状溝
付きポリカーボネート基板を真空チャンバー内にセット
する。真空チャンバー内を一旦１×１０-5Ｐａまで排気
した後、 スパッタガス（ＡｒガスにＮ2を５％混入、
ガス圧０．２５Ｐａ）を導入し、膜厚１１０ｎｍのＳｉ
Ｎを成膜する。続いてスパッタガス（Ａｒガスのみ、ガ
ス圧０．３Ｐａ）を導入し、ＤｙターゲットとＦｅＣｏ
合金ターゲットを用いて、表１に示す膜厚２００ｎｍの
ＤｙＦｅＣｏを成膜した。その上にスパッタガス（Ａｒ
ガスにＮ2を５％混入、ガス圧０．２５Ｐａ）を導入し
５０ｎｍのＳｉＮを成膜、スパッタガス（Ａｒガスの
み、ガス圧０．３Ｐａ）を導入しＡｌを６０ｎｍ成膜し
た。初期にスパッタしたディスクと同じ条件で１００ロ
ット毎にスパッタしたディスクを取り出し、これらのデ
ィスクに対し、線速度８ｍ／ｓ、記録磁界３５０Ｏｅの
条件で１ＭＨｚの信号の記録を行ったところ最適記録パ
ワーは表１のようになった。これから、Ｄｙターゲット
とＦｅＣｏ合金ターゲットの経時変化による組成変化が
あっても記録感度の変化は殆ど無いことが分かった。
【００１５】
【実施例２】実施例１と同じ４元のマグネトロンスパッ
タリング装置を用い、厚さ１．２ｍｍ、直径３０５ｍｍ
のディスク状溝付きガラス基板を真空チャンバー内にセ
ットする。真空チャンバー内を一旦１×１０-5Ｐａまで
排気した後、スパッタガス（ＡｒガスにＮ2を５％混
入、ガス圧０．１Ｐａ）を導入し、 膜厚７０ｎｍのＳ
ｉＮを成膜する。続いてスパッタガス（Ａｒガスのみ、
ガス圧０．２Ｐａ）を導入し、ＴｂＤｙＦｅＣｏ合金タ
ーゲットを用いて、表１に示す厚さ６０ｎｍのＴｂＤｙ
ＦｅＣｏ膜を成膜した。 最後に再びＳｉＮターゲット
を用い膜厚７０ｎｍの保護膜層を成膜した。初期にスパ
ッタしたディスクと同じ条件で２００ロット毎にスパッ
タしたディスクを取り出し、これらのディスクに対し、
線速度１０ｍ／ｓ、記録磁界３００Ｏｅの条件で１ＭＨ
ｚの信号の記録を行ったところ最適記録パワーは表２の
ようになった。これから、ＴｂＤｙＦｅＣｏ合金ターゲ
ットの経時変化による組成変化があっても記録感度の変
化は殆ど無いことが分かった。
タリング装置を用い、厚さ１．２ｍｍ、直径３０５ｍｍ
のディスク状溝付きガラス基板を真空チャンバー内にセ
ットする。真空チャンバー内を一旦１×１０-5Ｐａまで
排気した後、スパッタガス（ＡｒガスにＮ2を５％混
入、ガス圧０．１Ｐａ）を導入し、 膜厚７０ｎｍのＳ
ｉＮを成膜する。続いてスパッタガス（Ａｒガスのみ、
ガス圧０．２Ｐａ）を導入し、ＴｂＤｙＦｅＣｏ合金タ
ーゲットを用いて、表１に示す厚さ６０ｎｍのＴｂＤｙ
ＦｅＣｏ膜を成膜した。 最後に再びＳｉＮターゲット
を用い膜厚７０ｎｍの保護膜層を成膜した。初期にスパ
ッタしたディスクと同じ条件で２００ロット毎にスパッ
タしたディスクを取り出し、これらのディスクに対し、
線速度１０ｍ／ｓ、記録磁界３００Ｏｅの条件で１ＭＨ
ｚの信号の記録を行ったところ最適記録パワーは表２の
ようになった。これから、ＴｂＤｙＦｅＣｏ合金ターゲ
ットの経時変化による組成変化があっても記録感度の変
化は殆ど無いことが分かった。
【００１６】
【比較例１】ターゲットをＴｂとＦｅＣｏ合金にし、記
録膜をＴｂＦｅＣｏとした以外は実施例１と同様の手順
で比較例の媒体は作製された。これらのディスクは実施
例１と同様、線速度８ｍ／ｓ、記録磁界３５０Ｏｅの条
件で１ＭＨｚの信号の記録を行ったところ最適記録パワ
ーは表１のようになった。これから、記録感度の変動が
大きいことがわかる。
録膜をＴｂＦｅＣｏとした以外は実施例１と同様の手順
で比較例の媒体は作製された。これらのディスクは実施
例１と同様、線速度８ｍ／ｓ、記録磁界３５０Ｏｅの条
件で１ＭＨｚの信号の記録を行ったところ最適記録パワ
ーは表１のようになった。これから、記録感度の変動が
大きいことがわかる。
【００１７】
【比較例２】ターゲットをＴｂＦｅＣｏ合金にし、記録
膜をＴｂＦｅＣｏとした以外は実施例２と同様の手順で
比較例の媒体は作製された。これらのディスクは実施例
２と同様、線速度１０ｍ／ｓ、記録磁界３００Ｏｅの条
件で１ＭＨｚの信号の記録を行ったところ最適記録パワ
ーは表２のようになった。これから、記録感度の変動が
大きいことがわかる。
膜をＴｂＦｅＣｏとした以外は実施例２と同様の手順で
比較例の媒体は作製された。これらのディスクは実施例
２と同様、線速度１０ｍ／ｓ、記録磁界３００Ｏｅの条
件で１ＭＨｚの信号の記録を行ったところ最適記録パワ
ーは表２のようになった。これから、記録感度の変動が
大きいことがわかる。
【００１８】
【表１】
【００１９】
【表２】
【００２０】
【発明の効果】以上の通り本発明により、ターゲットの
経時変化によりディスク毎に組成にばらつきがあっても
記録感度の変化が少ない媒体と記録方法を提供すること
ができる。
経時変化によりディスク毎に組成にばらつきがあっても
記録感度の変化が少ない媒体と記録方法を提供すること
ができる。
【図１】は、本発明の記録媒体及び記録方法を説明する
ための記録媒体の保磁力の温度特性と記録磁界の関係を
表す概要図である。
ための記録媒体の保磁力の温度特性と記録磁界の関係を
表す概要図である。
【図２】は、従来の記録媒体及び記録方法を説明するた
めの記録媒体の保磁力の温度特性と記録磁界の関係を表
す概要図である。
めの記録媒体の保磁力の温度特性と記録磁界の関係を表
す概要図である。
１１・・・組成が目標組成よりＲＥリッチな本発明の媒
体の保磁力の温度特性 １２・・・組成が目標組成よりＴＭリッチな本発明の媒
体の保磁力の温度特性 ２１・・・組成が目標組成よりＲＥリッチな従来の媒体
の保磁力の温度特性 ２２・・・組成が目標組成よりＴＭリッチな従来の媒体
の保磁力の温度特性 以上
体の保磁力の温度特性 １２・・・組成が目標組成よりＴＭリッチな本発明の媒
体の保磁力の温度特性 ２１・・・組成が目標組成よりＲＥリッチな従来の媒体
の保磁力の温度特性 ２２・・・組成が目標組成よりＴＭリッチな従来の媒体
の保磁力の温度特性 以上
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年１１月１４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】
【課題を解決する為の手段】上記問題点を解決するため
に本発明は、第１に「薄膜の膜面に対して垂直な方向に
磁化容易軸を持つ希土類金属と遷移金属との合金から成
る非晶質磁化膜を有し、前記磁化膜は、前記磁化膜中に
おける遷移金属の存在比率が多くなると前記磁化膜のキ
ュリー点が高くなる磁化膜であることを特徴とする光磁
気記録媒体（請求項１）」を提供する。
に本発明は、第１に「薄膜の膜面に対して垂直な方向に
磁化容易軸を持つ希土類金属と遷移金属との合金から成
る非晶質磁化膜を有し、前記磁化膜は、前記磁化膜中に
おける遷移金属の存在比率が多くなると前記磁化膜のキ
ュリー点が高くなる磁化膜であることを特徴とする光磁
気記録媒体（請求項１）」を提供する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】第５に「薄膜の膜面に対して垂直な方向に
磁化容易軸を持つ希土類金属と遷移金属との合金から成
る非晶質磁化膜を有し、前記磁化膜は、前記磁化膜中に
おける遷移金属の存在比率が多くなると前記磁化膜のキ
ュリー点が高くなる磁化膜であることを特徴とする光磁
気記録媒体を用い、組成のばらつきがあっても記録感度
にあまり影響を与えない記録磁界を設定したことを特徴
とする光磁気記録方法（請求項５）」を提供する。第６
に「記録磁界を300 Ｏe から600 Ｏe にしたことを特徴
とする請求項５記載の光磁気記録方法（請求項６）」を
提供する。
磁化容易軸を持つ希土類金属と遷移金属との合金から成
る非晶質磁化膜を有し、前記磁化膜は、前記磁化膜中に
おける遷移金属の存在比率が多くなると前記磁化膜のキ
ュリー点が高くなる磁化膜であることを特徴とする光磁
気記録媒体を用い、組成のばらつきがあっても記録感度
にあまり影響を与えない記録磁界を設定したことを特徴
とする光磁気記録方法（請求項５）」を提供する。第６
に「記録磁界を300 Ｏe から600 Ｏe にしたことを特徴
とする請求項５記載の光磁気記録方法（請求項６）」を
提供する。
Claims (6)
- 【請求項１】膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する非
晶質磁化膜において、前記非晶質磁化膜が希土類金属が
多い場合に相対的にキュリー点が高くなる性質を持つ希
土類金属と遷移金属との組み合わせからなる合金薄膜で
あることを特徴とする光磁気記録媒体。 - 【請求項２】該非晶質磁化膜の補償温度が室温より高く
キュリー点より低いことを特徴とする請求項１記載の光
磁気記録媒体。 - 【請求項３】該非晶質磁化膜が下記式 Ｄｙx（Ｆｅ1-yＣｏy）1-x 0.26≦ｘ≦0.29 0.15≦ｙ≦0.25 を満足する請求項１記載の光磁気記録媒体。
- 【請求項４】該非晶質磁化膜が下記式 （Ｔｂ1-zＤｙz）x（Ｆｅ1-yＣｏy）1-x 0.26≦ｘ≦0.29 0.15≦ｙ≦0.25 0.50≦ｚ≦0.95 を満足する請求項１記載の光磁気記録媒体。
- 【請求項５】希土類金属が多い場合に相対的にキュリー
点が高くなる性質を持つ希土類金属と遷移金属との組み
合わせからなる光磁気記録媒体を用い、組成のばらつき
があっても記録感度にあまり影響を与えない記録磁界を
設定したことを特徴とする光磁気記録方法。 - 【請求項６】記録磁界を300Ｏｅから600Ｏｅにしたこと
を特徴とする請求項５項記載の光磁気記録方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5218899A JPH0773516A (ja) | 1993-09-02 | 1993-09-02 | 光磁気記録媒体及び光磁気記録方法 |
| EP94306433A EP0642127A3 (en) | 1993-09-02 | 1994-09-01 | Magneto optical recording method and magneto optical recording medium used therefor |
| US08/300,036 US5473582A (en) | 1993-09-02 | 1994-09-02 | Magneto-optical recording method having constant recording sensitivity and magneto-optical recording medium used therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5218899A JPH0773516A (ja) | 1993-09-02 | 1993-09-02 | 光磁気記録媒体及び光磁気記録方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0773516A true JPH0773516A (ja) | 1995-03-17 |
Family
ID=16727060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5218899A Pending JPH0773516A (ja) | 1993-09-02 | 1993-09-02 | 光磁気記録媒体及び光磁気記録方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5473582A (ja) |
| EP (1) | EP0642127A3 (ja) |
| JP (1) | JPH0773516A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5873746A (ja) * | 1981-10-27 | 1983-05-04 | Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> | 光磁気記録媒体 |
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-
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- 1993-09-02 JP JP5218899A patent/JPH0773516A/ja active Pending
-
1994
- 1994-09-01 EP EP94306433A patent/EP0642127A3/en not_active Withdrawn
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|---|---|
| EP0642127A2 (en) | 1995-03-08 |
| EP0642127A3 (en) | 1995-03-22 |
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