JPH0768561B2 - 希土類−Fe−B系合金磁石粉末の製造法 - Google Patents

希土類−Fe−B系合金磁石粉末の製造法

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JPH0768561B2
JPH0768561B2 JP63159758A JP15975888A JPH0768561B2 JP H0768561 B2 JPH0768561 B2 JP H0768561B2 JP 63159758 A JP63159758 A JP 63159758A JP 15975888 A JP15975888 A JP 15975888A JP H0768561 B2 JPH0768561 B2 JP H0768561B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、すぐれた磁気特性を有する希土類‐Fe-B系
合金磁石粉末の製造法に関するものである。
〔従来の技術〕
一般に、Yを含む希土類元素(以下、Rで示す)とFeと
Bを主成分とするR-Fe-B系合金磁石粉末は、R-Fe-B系合
金がすぐれた磁気特性を示す永久磁石材料として注目さ
れてから、主にボンド磁石用磁石粉末として開発されて
いる。ボンド磁石は、含有される磁石粉末と同種の焼結
磁石等に比べて磁気特性では劣るにもかかわらず、物理
的強度にすぐれ、かつ形状の自由度が高い等の理由か
ら、近年その利用範囲を急速に広げつつある。このボン
ド磁石は、磁石粉末と有機バインダー、金属バインダー
等とを結合してなるもので、その磁石粉末の磁気特性に
よってボンド磁石の磁気特性が左右される。
上記合金磁石粉末では、その磁気特性が上記合金磁石粉
末の組織に大きく依存しており、上記合金のすぐれた磁
気特性を生かせるような組織を有する磁石粉末の研究が
行なわれていた。
従来のR-Fe-B系合金磁石粉末の製造法は、 (a)上記R-Fe-B系合金のインゴット、永久磁石または
粉末を種々の機械的粉砕法や、H2化‐脱H2化による崩壊
粉砕法を用いて平均粒度:数μm〜数100μmの粉末を
得る方法(例えば特開昭60-257107号公報、特開昭62-23
903号公報参照)、 (b)上記(a)の方法で得られた磁石粉末を、さらに
磁気特性の保磁力を向上させるために、歪とりの熱処理
を行ったり、800℃〜1100℃に加熱して集合粉末とする
方法(例えば特開昭61-266502号公報、特開昭61-179801
号公報、特開昭61-214505号公報参照)、 (c)溶融状態の上記合金を液体急冷法やアトマイズ法
等により上記合金の粉末を製造し、磁気特性の保磁力を
向上させるために必要に応じて熱処理を行って、平均粒
度:数μm〜数100μmの粉末を得る方法(例えば、特
開昭60-17905号公報、特開昭60-207302号公報参照)、 が知られている。
上記従来の技術(a),(b)の製造法によって得られ
た磁石粉末の組織は、主相であるR2Fe14B金属間化合物
相(以下、R2Fe14B相という)、R-rich相、およびB-ric
h相から形成されている。上記従来の技術(a)の製造
法によって、組織変化はなく、その磁石粉末は、上記R-
Fe-B系合金のインゴット、永久磁石または粉末が、粉砕
された組織である。また、上記従来の技術(b)の製造
法によって得られた磁石粉末の組織には、主相:R2Fe14
B相の周囲にR-rich相が形成される。
上記従来の技術(c)の製造法は、液体急冷法の場合、
溶融状態からの急冷凝固によりアモルファス相とし、熱
処理により主相を結晶化させた微結晶組織を得る方法で
あり、主相:R2Fe14B相の周囲にアモルファス相が存在
する形になる。アトマイズ法は、溶融状態から直接主
相:R2Fe14B相とその周囲にR-rich相が形成された組織
を得る方法である。
すぐれた磁気特性を有するR-Fe-B系合金磁石粉末は、そ
の粉末の組織が以下の(1)〜(4)であればよいと考
えられている。
(1)主相:R2Fe14B相の平均結晶粒径が50μm以下、
好ましくは0.3μm以下であること、 (2)主相:R2Fe14B相の結晶粒内、結晶粒界部に逆磁
区発生時の核となる不純物や歪がないこと、 (3)主相:R2Fe14B相の結晶粒界部にR-rich相または
アモルファス相が存在し、上記主相の結晶粒がR-rich相
またはアモルファス相で囲まれていること、 (4)磁石粉末の個々のR2Fe14B相において、結晶磁気
異方性の磁化容易軸が揃っており、磁石粉末が磁気的異
方性が有すること、である。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところが、上記従来の技術(a)の製造法により得られ
た磁石粉末は、主相:R2Fe14B相が粒内破壊により粉砕
され、かつ粉砕時の歪や粉砕時に生成する酸化物、水素
化物等の不純物のために、磁石粉末の組織が上記に示し
た磁気特性を充分に生かすのに望ましい組織にはなら
ず、0.5〜3.0KOe程度の固有保磁力(以下、保磁力で示
す)しか得られなかった。さらに、上記従来の技術
(b)の製造法により得られた磁石粉末は、粒内破壊し
た主相:R2Fe14B相の周囲にR-rich相が形成され、磁石
粉末の歪も緩和されるために5〜13KOe程度の高保磁力
を示すが、これらをボンド磁石用の磁石粉末として、使
用した場合、成形圧力の増加と共にボンド磁石の保磁力
が低下し、耐酸化性も悪く、例えば配向磁場中で、5Ton
/cm2の圧力成形したボンド磁石は、保磁力が5KOe以下と
なり、磁石粉末の磁気特性が得られないという欠点があ
った。また、上記従来の技術(c)の製造法により得ら
れた磁石粉末は、主相:R2Fe14B相の各結晶粒の結晶方
向が任意であり、粉末の磁気特性は等方性である。この
ため、8〜15KOe程度の高保磁力を示し、またボンド磁
石用磁石粉末として使用した場合、そのボンド磁石も8
〜15KOe程度の高保磁力を示すが、着磁磁場を35KOe以上
も必要とするため、実用的には用途が制限される。さら
に、液体急冷法やアトマイズ法は、原料合金から安定し
た特性の磁石粉末を得るには歩留りが悪く、生産性が低
いという欠点があった。
〔課題を解決するための手段〕
そこで、本発明者等は、R-Fe-B系合金磁石粉末としてす
ぐれた磁気特性を有し、かつ原料合金から歩留りよく製
造され、さらにボンド磁石用磁石粉末として使用した場
合にも、そのボンド磁石がすぐれた磁気特性を示す、R-
Fe-B系合金磁石粉末の製造法を開発すべく研究を行った
結果、 (i)R-Fe-B系合金のインゴット、 (ii)R-Fe-B系合金のインゴットを粉砕して得られた粉
末、または従来のCa還元拡散法等により得られたR-Fe-B
系合金粉末(以下、粉末という)、 (iii)温度:600〜1200℃に保持して均質化処理を行な
った上記R-Fe-B系合金のインゴット(以下、均質化処理
インゴットという)、 (iv)上記均質化処理インゴットを粉砕して得られた粉
末または温度:600〜1200℃に保持して均質化処理を行な
った上記(ii)のR-Fe-B系合金の粉末(以下、均質化処
理粉末という)、 を、 H2ガス雰囲気中またはH2ガスと不活性ガスの混合雰囲気
中で、温度:500〜1000℃に保持して上記合金のインゴッ
ト、粉末、均質化処理インゴットまたは均質化処理粉末
にH2を吸蔵させ、 その温度範囲で脱H2処理し、 ついで冷却または一定温度保持の熱処理することによっ
て得られたR-Fe-B系合金磁石粉末は、少なくとも5KOe以
上の高保磁力を有すると共に磁気異方性を有し、このR-
Fe-B系合金磁石粉末をボンド磁石用磁石粉末として製造
したボンド磁石も、少なくとも5KOe以上の高保磁力と磁
気異方性を示すという知見を得たものである。
この発明は、かかる知見にもとづいてなされたものであ
って、 H2ガス雰囲気中またはH2ガスと不活性ガスの混合雰
囲気中において、温度:500〜1000℃に保持して上記合金
のインゴット、粉末、均質化処理インゴットまたは均質
化処理粉末にH2を吸蔵させ、 H2ガス圧力:1×10-1Torr以下の真空雰囲気またはH2
ガス分圧:1×10-1Torr以下の不活性ガス雰囲気になるま
で温度:500〜1000℃で脱H2処理し、 ついで冷却するか、温度:300〜1000℃で熱処理後冷
却するR-Fe-B系合金磁石粉末の製造法に特徴を有するも
のである。
上記R-Fe-B系合金磁石粉末の製造法について、限定理由
も含めて、さらに詳細に説明する。
原料である上記R-Fe-B系合金は、インゴット、粉末であ
るが、インゴットとして用いるよりも均質化処理インゴ
ットとして用いる方が、さらに粉末として用いるよりも
均質化処理粉末として用いる方が、この発明の製造法で
得られたR-Fe-B系合金磁石粉末の磁気特性は、一層向上
する。
その理由は、鋳造して得られたR-Fe-B系合金インゴッ
ト、上記鋳造インゴットを粉砕した粉末または、従来の
Ca還元法等により得られたR-Fe-B系合金粉末の金属組織
は、主として主相:R2Fe14B相およびNd-rich相から構成
されているが、上記R2Fe14B相中には、α‐Fe相、Nd2Fe
17相などの非平衡組織が析出していることが多く、上記
非平衡組織の存在するインゴットまたは粉末を原料とす
るよりも、均質化処理を施して上記非平衡組織を可及的
に消失せしめ、実質的に主相:R2Fe14B相およびNd-rich
相からなる均質化処理インゴットまたは均質化処理粉末
を原料として原料として用いる方が、得られたR-Fe-B系
合金磁石粉末の磁気特性は大幅に向上するのである。
上記合金のインゴットまたは均質化処理インゴットを原
料として用いると、粉末または均質化処理粉末を原料と
して用いるよりも酸化による磁気特性低下を抑えること
ができる。さらに、原料として上記合金のインゴットま
たは均質化処理インゴットを原料としても、H2化による
崩壊(以下、H2化崩壊物という)が起こるので、後の粉
砕工程を付加する必要もなく、上記粉砕工程による磁石
粉末の酸化を心配する必要はない。
特に、R-Fe-B系合金の組成が主相:R2Fe14B相の組成付
近、つまり、原子百分率でRX(Fe,B)100-Xにおいて、12
≦X≦15で表される組成の合金については、均質化処理
インゴットを原料として用いる方が好ましい。
しかしながら、原子百分率でRX(Fe,B)100〜Xにおい
て、X<12またはX>15で表される組成の合金について
は、合金の組成によっては、インゴットまたは均質化処
理インゴットを原料とするよりも、粉末または均質化処
理粉末を原料として用いた方が磁気特性が向上すること
もある。相対的には、R成分およびB成分が少ない組成
では原料の合金形状はインゴットがよく、R成分および
B成分が多い組成では原料の合金形状は粉末がよい傾向
にある。
上記均質化処理温度は、600〜1200℃(好ましくは、900
〜1100℃)の範囲内である。均質化処理温度が600℃よ
り低いと均質化処理に長時間を要するために、工業的生
産性が悪く、一方、1200℃を越えると上記インゴットま
たは粉末が溶融するので好ましくない。
次に、原料のR−Fe−B系合金を室温から上記の工程
の温度:500〜1000℃に昇温する途中の雰囲気は、必ずし
もH2ガスでなくてもよく、他のAr等の不活性ガス、ある
いは真空でもよいが、好ましくは、H2ガスまたはH2ガス
と不活性ガスの混合雰囲気中がよい。
上記の工程の雰囲気は、H2ガス雰囲気中またはH2ガス
と不活性ガスの混合雰囲気中において、H2ガス圧力また
はH2ガス分圧が、少なくとも10Torr以上となるような条
件で行うことが好ましい。上記雰囲気としてH2ガスまた
はH2ガスを含む不活性ガスを選定した理由は、単なる歪
とりや酸化防止またはH2化崩壊物の製造のためだけでは
なく、原料となる上記R-Fe-B系合金のインゴット、粉
末、均質化処理インゴットまたは均質化処理粉末に組織
変化をもたらし、この発明の製造法で得られた磁石粉末
がR-Fe-B系合金のすぐれた磁気特性を有する再結晶集合
組織とすることができるためである(この再結晶集合組
織については後で説明する)。他は不活性ガスのみ、あ
るいは真空中で上記の保持を行っても、この再結晶集
合組織を得ることができない。上記H2ガス圧力またはH2
ガス分圧が10Torr未満では、原料である上記R-Fe-B系合
金インゴット、粉末、均質化処理インゴットまたは均質
化処理粉末が充分に組織変化するまでH2が吸蔵されない
ので好ましくない。
また、上記H2ガス圧力またはH2ガス分圧が760Torrより
高い、すなわち大気圧よりも加圧状態では脱H2処理に長
時間を要するために工業的ではない。
上記「温度:500〜1000℃に保持し」とは、上記温度500
〜1000℃の範囲内の一定温度に保持するだけでなく、上
記温度範囲内で昇温変化または降温変化させてもよい。
上記昇温変化または降温変化は、直線的に昇温または降
温変化させてもよいが、曲線的な昇温または降温変化さ
せてもよい。さらに、上記温度:500〜1000℃の範囲内
で、昇温、一定温度保持、降温の任意の組合せからなる
温度変化をさせてもよい。
室温から上記温度:500〜1000℃に加熱する途中の雰囲気
は、必ずしもH2ガスでなくてもよく、他のAr等の不活性
ガス、あるいは真空でもよいが、好ましくは水素ガスが
よい。上記温度:500〜1000℃に保持するときは、H2ガス
は必須である。また、温度:500〜1000℃の保持温度、保
持時間およびH2ガス圧力を調節することにより、得られ
る磁石粉末の保磁力と磁気異方性をい抑制することがで
きる。H2ガス雰囲気中またはH2ガスと不活性ガスの混合
雰囲気中の保持温度が500℃より低いと、上記合金磁石
粉末の組織変化が充分に得られず、1000℃より高いとH2
化崩壊物または粉末が互いに溶着してしまう上に、組織
変化が進行して再結晶粒が粒成長をおこし、保磁力が低
下してしまう。
上記の工程の終了後、H2ガス圧力:1×10-1Torr以下の
真空雰囲気またはH2ガス分圧:1×10-1Torr以下の不活性
ガス雰囲気になるまで温度:500〜1000℃で上記の脱H2
処理する。このの工程で、磁石粉末にH2が残留すると
高保磁力が得られない。この脱H2処理のパターンは、上
記のの工程と同様に上記温度:500〜1000℃の範囲内の
一定温度に保持するだけでなく、上記温度範囲内で直線
的または曲線的に昇温変化または降温変化させてもよ
く、さらに、上記温度:500〜1000℃の範囲内で、昇温、
一定温度保持、降温の任意の組合せからなる温度変化を
させてもよい。上記の脱H2処理温度は、500℃未満で
は、H2ガス圧力または分圧を1×10-5Torr以下にしても
磁石粉末にH2が残留し、高保磁力が得られないので好ま
しくなく、1000℃を越えるとH2化崩壊物または粉末が互
いに溶着してしまう上に、再結晶粒が粒成長をおこし、
保磁力が低下してしまう。さらに、このの工程の脱H2
処理は、上記合金磁石粉末のほぼ完全な脱H2化を目的と
するもので、H2ガス圧力または分圧が1×10-1Torrより
も高いと脱H2化が不充分となり、高保磁力が得られな
い。
上記の工程との工程の温度範囲は同一であるが、必
ずしもH2ガス雰囲気中またはH2ガスと不活性ガスの混合
雰囲気中で保持した温度をそのまま保持して脱H2化しな
くてもよく、例えば、H2ガス雰囲気中またはH2ガスと不
活性ガスの混合雰囲気中で保持した温度からさらに昇温
および降温して脱H2化してもよいが、得られる磁石粉末
に再結晶粒の粒成長が抑制され、高い保磁力を有する再
結晶集合組織になるためには、H2ガス雰囲気中またはH2
ガスと不活性ガスの混合雰囲気中で保持した温度で脱H2
化を行うことが好ましい。
なお、上記の,の工程終了後、繰り返し上記,
の工程を行ってもよい。
このように磁石粉末のほぼ完全な脱H2化した後、上記
の工程で、Ar等の不活性ガスにより冷却するか、または
冷却途中で真空中または不活性ガス中で一定温度に保持
して熱処理する。この熱処理は、上記,の工程を経
て得られる磁石粉末の保磁力の向上を目的とするもの
で、必要に応じて行う。上記熱処理温度は、300〜1000
℃、好ましくは550〜700℃の温度範囲である。かかる熱
処理は、上記不活性ガスにより室温まで冷却した後、再
度加熱して真空中または不活性ガス中で行ってもよく、
1回だけでなく、2回以上行ってもよい。上記脱H2化し
た後および熱処理後の冷却はできるだけ速い方が望まし
い。
なお、この発明のR-Fe-B系合金磁石粉末のFeの一部をM
(Mは、Co,Ni,V,Nb,Ta,Cu,Cr,Mn,Mo,W,Ti,Al,Ga,In,Z
r,Hf)の1種または2種以上の少量で置換してもよい。
また、Bの一部をA(Aは、N,P,S,F,Si,C,Ge,Sn,Zn,S
b,Bi)の1種または2種以上の少量で置換してもよい。
第1-A図から第1-D図は、この発明のR-Fe-B系合金磁石粉
末の代表的な製造処理パターンを示す。
第1-A図は、室温からの昇温中の雰囲気を真空、不活性
ガスまたはH2ガスとし、温度:500〜1000℃の範囲内の一
定温度に保持し、上記一定温度に保持しつつ、雰囲気を
H2ガス雰囲気またはH2ガスと不活性ガスの混合雰囲気か
ら、H2ガス圧力:1×10-1Torr以下の真空雰囲気またはH2
ガス分圧:1×1O-1Torr以下の不活性ガス雰囲気になるま
で脱H2処理し、ついで冷却する製造処理パターンを示し
ている。
第1-B図は、室温からの昇温中の雰囲気を真空、不活性
ガスまたはH2ガスとし、H2ガス雰囲気またはH2ガスと不
活性ガスの混合雰囲気において、温度:500〜1000℃の範
囲内を昇温させ、ついでH2ガス圧力:1×10-1Torr以下の
真空雰囲気またはH2ガス分圧:1×10-1Torr以下の不活性
ガス雰囲気になるまで温度:500〜1000℃の範囲内で降温
変化させて脱H2処理し、ついで冷却する製造処理パター
ンを示している。
第1-C図は、室温からの昇温中の雰囲気を真空、不活性
ガスまたはH2ガスとし、H2ガス雰囲気またはH2ガスと不
活性ガスの混合雰囲気において、温度:500〜1000℃の範
囲内にて、昇温および一定温度保持し、ついでH2ガス圧
力:1×10-1Torr以下の真空雰囲気またはH2ガス分圧:1×
10-1Torr以下の不活性ガス雰囲気になるまで温度:500〜
1000℃の範囲内にてさらに昇温、一定温度保持および降
温の温度変化を施して脱H2処理し、さらに一定温度保持
の熱処理を施して、冷却する製造処理パターンを示して
いる。
第1-D図は、室温からの昇温中の雰囲気を真空、不活性
ガスまたはH2ガスとし、H2ガス雰囲気またはH2ガスと不
活性ガスの混合雰囲気において温度:500〜1000℃の範囲
内にて、昇温、一定温度保持および降温の温度変化を施
し、ついでH2ガス圧力:1×10-1Torr以下の真空雰囲気ま
たはH2ガス分圧:1×10-1Torr以下の不活性ガス雰囲気に
なるまで温度:500〜1000℃の範囲内にてさらに昇温、一
定温度保持および降温の温度変化を施して脱H2処理した
後、一度室温に急冷して、さらに昇温、一定温度保持の
熱処理を施して、冷却する製造処理パターンを示してい
る。
上記第1-A図から第1-D図の製造処理パターンは、この発
明のR-Fe-B系合金磁石粉末の製造処理パターンの代表的
な例示に過ぎず、この発明は、上記第1-A図から第1-D図
に示される製造処理パターンに限定されるものではな
い。
上記製造処理パターンにより処理すると、R-Fe-B系合金
のインゴット、粉末、均質化処理インゴット、または均
質化処理粉末は、第2図(a)〜(c)に示される組織
変化を経てこの発明のR2Fe14B相の再結晶集合組織を有
するR-Fe-B系合金磁石粉末となる。例として、上記合金
の粉末をこの発明の製造法で処理する場合について説明
する。
第2図(a)は、上記合金のインゴットを機械的に粉砕
して得られた粉末の1個の粉末粒子の組織図である。上
記粉末粒子の組織は、上記合金のインゴットの組織を維
持したもので、上記第2図(a)に示されているように
R2Fe14B相1およびR-rich相2から構成されている。
上記第2図(a)に示される組織を有する粉末を、この
発明の製造法によって処理すると、第2図(b)に示さ
れるように、R2Fe14B相の再結晶粒1′が発生し始め、
上記処理完了後は、第2図(c)で示されるR2Fe14B相
の再結晶粒1′の集合組織となるのである。ここで、上
記第2図(c)で示される粉末粒子の組織を再結晶集合
組織と呼ぶ理由は、第2図(a)に示されるR2Fe14B相
1が相変態後、再結晶をおこしても、上記再結晶粒1′
は完全にランダムな結晶方位の結晶粒の配置ではなく、
一定の方位をもった組織であると考えられるためであ
る。第2図(c)において、R-rich相2は、R2Fe14B相
の再結晶粒1′の一部の粒界部に存在しているが、好ま
しい合金組成では、R-rich相2はほとんど存在しない
か、他の相の場合もある。
以上、理想的な鋳造状態で得られた第2図(a)に示さ
れるインゴットまたは粉末を、この発明の製造法により
処理することにより第2図(b)の過程を経て第2図
(c)の再結晶集合組織が得られることを組織図を用い
て説明したが、工場の製造工程においてR-Fe-B系合金を
溶解し、鋳造して得られたインゴットまたは粉末の組織
は、製造して得られたインゴットまたは粉末の組織は、
製造工程における条件制御が不十分なため第2図(a)
のような完全にR2Fe14B相およびR-rich相からなる2相
平衡組織となることは希であり、大部分のインゴットま
たは粉末の組織は、偏析が生じたり、R2Fe14B相中にα
‐Fe相、R2Fe17相等の非平衡相も析出している。これら
非平衡組織を第2-1図(a)に示す。第2-1図(a)にお
いて、3はα‐Fe相、4はR2Fe17相であり、その他は第
2図(a)と同じであるから説明を省略する。
上記第2-1図(a)に示される非平衡相を有するインゴ
ットまたは粉末を、そのままこの発明の製造法によって
処理すると、得られた合金磁石粉末の磁気特性は低下す
る。したがって、第2-1図(a)に示される非平衡相を
有するインゴットまたは粉末は、均質化処理することに
より上記α‐Fe相、R2Fe17相等を拡散して可及的に消失
せしめ、第2-1図(b)に示されるように実質的にR2Fe
14B相とR-rich相の2相のみからなる組織に変態せしめ
たのち、この発明の製造法によって処理すると第2-1図
(c)に示されるようにR2Fe14B相の再結晶粒1′が発
生し始め、上記処理終了後は第2-1図(d)に示される
ようにR2Fe14B相の再結晶粒1′の集合組織となるので
ある。
上記第2-1図(c)→第2-1図(d)の工程は、上記第2
図(b)→第2図(c)の工程と全く同じである。
この発明の製造法により得られた磁石粉末がすぐれた磁
気特性を有するのは、 (1)主相:R2Fe14B相の再結晶粒の結晶粒径が単磁区
粒径となり得る0.3μmに近い0.05〜3μmであり、し
かも再結晶粒のためにその粒内、粒界部に不純物や歪が
なく、また (2)主相:R2Fe14B相の再結晶粒の一部の粒界部にR-r
ich相があっても、個々の主相がR-rich相で囲まれてい
ない、すなわち粒界相が存在しない粒界部があっても、
再結晶粒が単磁区粒子に近い、ために大きな保磁力をも
つからである。
さらに、この発明の製造法において、好ましい製造条件
のもとで得られたR-Fe-B系合金磁石粉末が磁気異方性を
示すのは、上記磁石粉末の再結晶集合組織が、完全にラ
ンダムな結晶方位の結晶粒の配置ではなく、一定の方位
をもった組織であるため、個々のR2Fe14B相において、
結晶磁気異方性の磁化容易軸も一定の方位をもっている
ためと考えられる。
〔実施例〕
つぎに、この発明を実施例にもとづいて具体的に説明す
る。
実施例1 RとしてNdを用い、高周波溶解炉で溶解、鋳造してNd-F
e-B系の原子数組成でNd15.0Fe76.9B8.1を主成分とする
希土類合金インゴットを製造した。上記インゴットは主
相のNd2Fe14B相が粒径約150μmの結晶粒であった。こ
のインゴットをArガス雰囲気中でスタンプミルを用いて
粗粉砕し、さらに振動ボールミルにて微粉砕して、平均
粒度:3.8μmのNd-Fe-B系合金微粉末とし、この微粉末
を適量ボードに注いで熱処理炉に入れ、真空度:1.0×10
-5Torrの真空に排気後、1atmのH2ガスを炉内に流入し
て、そのH2ガス圧力を維持しつつ室温から810℃まで昇
温し、810℃で5時間保持の条件で、1atmのH2ガス雰囲
気中で処理した後に810℃で排気を1時間行ってH2ガス
圧力:1.0×10-5Torrの真空度にして、炉内に1atmまでの
Arガスを流入して微粉末を急冷した。この実施例1の製
造処理パターンを第3図に示す。上記第3図に示される
条件で処理した後、微粉末は凝集しているので、この凝
集した微粉末を乳バチで解きほぐし、平均粒度:6.2μm
のNd-Fe-B系合金磁石粉末を得た。この磁石粉末の磁気
特性を振動試料型磁束計で測定した結果を第1表に示
す。さらに、第4図(A)に上記磁石粉末を走査電子顕
微鏡を用いて組織観察を行った結果得られた金属組織写
真を示し、上記第4図(A)の金属組織写真を模写した
結果得られた組織図を第4図(B)に示す。
組成分析の結果、第4図(B)において、aは主相であ
るNd2Fe14B相であり、その一部粒界部にはbのNd-rich
相が存在することがわかった。上記第4図(A)の走査
電子顕微鏡による金属組織写真から、粉末粒子内にNd2F
e14B相が0.2〜1.0μmの再結晶粒となっており、この発
明の製造法により得られた磁石粉末の組織は、再結晶集
合組織であることがわかる。
上記磁石粉末を、4.5重量%のビスマレイミドトリアジ
ン樹脂と混合し、15KOeの磁場中、5Ton/cm2の圧力で圧
縮成形し、温度:180℃、6時間保持の条件で上記樹脂を
硬化させ、ボンド磁石を作成した。得られたボンド磁石
の磁気特性も第1表に示す。
比較例1 上記実施例1で得られた平均粒度:3.8μmのNd-Fe-B系
合金微粉末を適量ボードに注いで熱処理炉に入れ、1.0
×10-5Torrの真空に排気した後、1atmのArガスを炉内に
流入して、そのArガス圧力を維持しつつ室温から810℃
まで昇温し、810℃で5時間、1atmのArガス雰囲気中で
処理した後、810℃で排気を1時間行って真空度:1.0×1
0-5Torrにして、炉内に1atmまでArガスを流入して微粉
末を急冷した。この製造処理パターンを第3-1図に示
す。上記急冷した微粉末は、凝集しているので乳バチで
解きほぐし、平均粒度:6.5μmのNd-Fe-B系合金磁石粉
を得た。上記磁石粉末の磁気特性を振動試料型磁束計で
測定した結果を第1表に示す。さらに上記磁石粉末を4.
5重量%のビスマレイミドトリアジン樹脂と混合し、上
記実施例1と同一条件で圧縮成形し、硬化させ、ボンド
磁石を作成し、得られたボンド磁石の磁気特性を測定し
て第1表に示した。
比較例2 上記実施例1で得られた平均粒度:3.8μmのNd-Fe-B系
合金微粉末を定量ボードに注いで熱処理炉に入れ、1.0
×10-5Torrの真空に排気した後、熱処理炉内の温度を室
温から810℃まで昇温し、真空度:1.0×10-5Torr、温度:
810℃、6時間保持した後、炉内に1atmまでArガスを流
入して冷却した。この製造処理パターンを第3-2図に示
す。凝集した微粉末を乳バチで解きほぐし、平均粒度:
5.9μmのNd-Fe-B系合金磁石粉末を得た。上記磁石粉末
を上記実施例1の磁石粉末と同様にして磁気特性を測定
し、さらに、上記磁石粉末を用いて上記実施例1と同様
にボンド磁石を作成し、そのボンド磁石の磁気特性も測
定し、それらの測定結果を第1表に示した。
比較例3 上記実施例1でインゴットを微粉砕して得られた平均粒
度:3.8μmのNd-Fe-B系合金微粉末を、そのまま比較例
3の磁石粉末として用い、この磁石粉末の磁気特性を測
定し、さらに上記磁石粉末を用いて実施例1と同様にボ
ンド磁石を作成し、このボンド磁石の磁気特性も測定し
た。これらの測定結果も第1表に示す。
上記第1表から、この発明の製造法によりつくられたNd
-Fe-B系磁石粉末は、すぐれた磁気特性を示し、さら
に、この発明の製造法で得られたNd-Fe-B系磁石粉末
は、ボンド磁石用磁石粉末として使用した場合にも、圧
縮成形による保磁力の低下が抑えられて、そのボンド磁
石がすぐれた磁気特性を示すことがわかる。
実施例2 RとしてNdを用い、電子ビーム電解炉で溶解して製造し
たNd-Fe-B系の原子数組成でNd14.9Fe77.0B8.1′Nd14.1F
e80.4B5.5の成分組成を有する2種類の希土類合金イン
ゴットを製造した。上記インゴットは、いずれも主相の
Nd2Fe14Bが粒径:50〜150μmの結晶粒であった。これら
インゴットをそれぞれArガス雰囲気中でジョークラッシ
ャーを用いて、平均粒度:20μmに粉砕した。
また、R酸化物粉末としてNd2O3を用い、Fe-B合金粉末
とNd2O3粉末と金属Ca粉末を混合し、加熱還元拡散法に
より、Nd14.5Fe78.5B7.0の成分組成を有するNd-Fe-B系
合金粉末(主相のNd2Fe14B相は粒径:15μmの結晶粒)
を作成し、平均粒度:20μmに粉砕した。
これら3種の粉末を適量ボードに注いで熱処理炉に入
れ、1.0×10-5Torrの真空に排気後、真空中で温度:500
℃,600℃,700℃,750℃,800℃,850℃および900℃および1
000℃の各温度まで昇温した後に、その各保持温度で1at
mのH2ガスを炉内に流入せしめ、1atmのH2ガス雰囲気と
し、上記各保持温度で10時間保持し処理した。
ついで、それら各保持温度で排気を1時間行って、1.0
×10-5Torrの真空度とし、炉内に1atmまでArガスを流し
て粗粉末を急冷して、上記各種Nd-Fe-B系合金粉末を得
た。この製造処理パターンを第5図に示す。得られた磁
石粉末は、実施例1と同様の再結晶集合組織を有してい
た。
得られた上記各種磁石粉末の磁気特性を振動型磁束計で
測定した結果を第2表に示した。
比較例4 上記実施例2で作成したNd14.9Fe77.0B8.1′Nd14.1Fe
80.4B5.5およびNd14.5Fe78.5B7.0の原子数組成を有する
平均粒度:20μmの各種粉末を、それぞれ適量ボードに
注いで熱処理炉に入れ、1.0×10-5Torrの真空に排気
後、真空中で温度:400℃および450℃および1050℃の各
保持温度まで昇温した後、その温度で1atmのH2ガスを炉
内に流入せしめて1atmのH2ガス雰囲気とし、上記各保持
温度で10時間保持し処理した。
ついで、上記400℃および450℃および1050℃の各保持温
度で排気を1時間行って、1.0×10-5Torrの真空度と
し、炉内に1atmまでArガスを流して上記3種の粗粉末を
急冷し、磁石粉末を得た。この製造処理パターンも第5
図に示す。得られた3種の磁石粉末の磁気特性を振動試
料型磁束計で測定した結果を第2表に示した。
上記第2表に示された結果にもとづいて、上記熱処理さ
れたNd14.9Fe77.0B8.1′Nd14.1Fe80.4B5.5およびNd14.5
Fe78.5B7.0の磁石粉末の保持温度に対する保磁力iHcの
関係をグラフにすると第6図のようになる。上記第6図
から明らかなように、この発明の製造法は、H2ガス雰囲
気で温度:500〜1000℃(好ましくは、750〜900℃)に保
持したときに、R-Fe-B系合金磁石粉末が保磁力iHc:5KOe
以上のすぐれた磁気特性を示すことがわかる。
実施例3 上記実施例1のこの発明の製造法において、温度:810
℃、1atmのH2ガス雰囲気中で5時間保持の条件で処理し
た後、上記810℃で排気を行う際に、それぞれH2ガス圧
力:1.0×10-4Torr、1.0×10-3Torr、2.0×10-3Torr、1.
0×10-2Torr、および1.0×10-1Torrの真空度まで排気
後、炉内に1atmまでArガスを流入して微粉末を急冷し、
あとは実施例1と同様にして、平均粒度:6.2μmの磁石
粉末を得た。得られたNd-Fe-B系合金磁石粉末の磁気特
性を振動試料型磁束計で測定し、その結果を第3表に示
した。
比較例5 比較のために、真空度を2.0×10-1Torr、および1Torrと
する以外は上記実施例3と同一条件でNd-Fe-B系合金磁
石粉末を作成し、得られた磁石粉末の磁気特性を上記実
施例3と同一条件で測定し、その結果も第3表に示し
た。
なお、上記実施例3および比較例5の製造処理パターン
は第7図に示されている。
上記第3表から明らかなように、この発明の製造法は、
1.0×10-1Torr以下の真空状態にしてほぼ完全な脱H2
囲気とした時に、R-Fe-B系合金磁石粉末がすぐれた磁気
特性を示すことがわかる。
実施例4 RとしてNdとPrを用い、高周波溶解炉で溶解、鋳造して
R-Fe-B系の原子数組成でNd12.0Pr1.4Fe80.8B5.8を主成
分とする希土類合金インゴットを製造した。上記インゴ
ットは主相の(NdPr)2Fe14B相が粒径約120μmの結晶粒
であった。このインゴットをArガス雰囲気中でスタンプ
ミルを用いて粗粉砕し、平均粒度:30μmのNd-Pr-Fe-B
系合金粉末とし、この粉末を適量ボードに注いで熱処理
炉に入れ、真空度:1.0×10-5Torrの真空に排気後、1atm
のH2ガスを炉内に流入して、そのH2ガス圧力を維持しつ
つ室温から830℃まで昇温し、830℃で5時間保持する際
に、H2ガス圧力を5Torr,10Torr,80Torr,100Torr,200Tor
r,300Torr,400Torr,500Torr,600Torr,700Torr,760Torr
および850Torrにそれぞれ制御して処理した後に、830℃
で排気を40分行ってH2ガス圧力1.0×10-5Torrの真空度
にし、炉内に1atmまでのArガスを流入して粉末を急冷し
た。凝集した粉末を乳バチで解きほぐしてNd-Pr-Fe-B系
合金磁石粉末をそれぞれ第4表に示される平均粒度に調
製した。第8図に、この実施例の製造処理パターンを示
す。得られた磁石粉末は、実施例1と同様の再結晶集合
組織を有し ていた。
上記Nd-Pr-Fe-B系合金磁石粉末を、それぞれ3.0重量%
のフェノールノボラック型エポキシ樹脂と混合し、無磁
場中あるいは15KOeの磁場中、6Ton/cm2の圧力で圧縮成
形し、温度:100℃、10時間保持の条件で上記樹脂を硬化
させ、ボンド磁石を作成した。得られたボンド磁石の磁
気特性を第4表に示す。
また、第9図に、上記真空度:100TorrのH2ガス雰囲気で
作成したNd-Pr-Fe-B系合金磁石粉末のボンド磁石の減磁
曲線を示す。
第4表から、この発明の製造法において、H2ガス雰囲気
中で焼鈍する際に、H2ガス圧力は10〜760Torrの範囲が
特によいことがわかる。760Torrより高い圧力の場合
は、まだ脱H2処理が充分でなく、磁石粉末中にH2が残留
していた。
また、第4表から、この発明の製造法において、H2ガス
雰囲気で焼鈍することにより磁場中成形の結果の方が無
磁場中成形の結果よりもBrの値がすぐれており、顕著な
異方性ボンド磁石が得ら れることがわかり、それは第9図をみても明らかであ
る。このことから、この発明の製造法で得られた磁石粉
末は磁気的異方性を示すことがわかる。
実施例5 実施例1で微粉砕して作成した平均粒度:3.8μmのNd-F
e-B系合金粉末を適量ボードに注いで熱処理炉に入れ、
真空度:1×10-5Torrの真空になるまで排気したのち、第
5表に示される水素分圧を有するようにH2ガスとArガス
の混合ガスを炉内に流入し、かかる水素分圧の混合ガス
雰囲気にて、室温から温度:810℃まで昇温し、上記温
度:810℃、5時間保持の条件で処理したのち、水素分
圧:1×10-5Torrとなるまで排気し、この雰囲気で脱H2
理し、Arガスを導入して急冷した。このようにして得ら
れたNd-Fe-B系合金粉末は凝集しているので乳バチでほ
ぐし、それぞれ第5表に示される平均粒度に調製した。
この磁石粉末の製造処理パターンを第10図に示す。得ら
れた磁石粉末は、実施例1と同様の再結晶集合組織を有
していた。得られた磁石粉末の磁気特性を振動試料型磁
束計を用いて測定し、それらの結果を第5表に示した。
さらに、上記磁石粉末を用いて実施例1と同様にボンド
磁石を作成し、それらの磁気特性も第5表に示した。
この実施例から、水素雰囲気中の処理だけでなく、水素
と不活性ガスの混合ガス雰囲気中で処理しても、同様に
すぐれた磁気特性を有するNd-Fe-B系合金磁石粉末を得
ることができることがわかる。
実施例6 実施例1で脱H2処理した微粉末を、そのままArガスを用
いて温度:600℃まで冷却し、この温度で1時間保持の熱
処理を行ない、この熱処理した凝集粉末を乳バチで解き
ほぐし、平均粒度:7.5μmのNd-Fe-B系合金磁石粉末を
得た。この磁石粉末の製造処理パターンを第11図に示
す。この実施例で得られた磁石粉末の磁気特性を実施例
1と同様の方法により測定し、その結果を第6表に示し
た。
実施例7 実施例1で脱H2処理した微粉末を、Arガスを用いて室温
まで急冷し、この室温まで急冷した磁石粉末を、さらに
Arガス雰囲気中で温度:630℃まで昇温し、この温度で1
時間保持の熱処理を行なったのち急冷し、ついで凝集し
ている微粉末を乳バチで解きほぐして、平均粒度:7.0μ
mのNd-Fe-B系合金磁石粉末を作製した。この磁石粉末
の製造処理パターンを第12図に示す。
この磁石粉末の磁気特性を実施例1と同様に測定し、そ
の結果を第6表に示した。
上記第6表には、比較のために実施例1で得られた磁石
粉末の磁気特性を掲示した。
上記第6表から、上記実施例1で得られた磁石粉末に熱
処理を施すことにより磁気特性は一層向上することがわ
かる。
実施例8 RとしてNdとDyを用い、プラズマアーク炉で溶解、鋳造
してNd-Dy-Fe-B系の原子数組成でNd10.5Dy1.5Fe82.4B
5.6を主成 分とする希土類合金インゴットを製造した。上記インゴ
ットは、鋳造状態では非平衡相のα‐Fe相等が析出して
いたので、温度:1000℃、ARガス雰囲気中、40時間保持
の条件で均質化処理を行ない、α‐Fe相等を消失させ
た。上記均質化処理インゴットは、主相の(NdDy)2Fe14B
相が粒径約60μmの結晶粒であった。上記均質化処理イ
ンゴットをそのまま熱処理炉に入れ真空度:1×10-5Torr
の真空になるまで排気したのち、1atmのH2ガスを炉内に
流入し、そのH2ガス圧力を維持しつつ室温から温度:500
℃まで昇温し、上記温度:500℃にて1時間保持したの
ち、1時間かけて温度:1000℃まで昇温し、温度1000℃
にて2時間保持したのち、1時間かけて温度:810℃まで
降温し、上記温度:810℃に達したところで排気を行な
い、H2ガス圧力:1×10-5Torrの真空雰囲気で温度:810
℃、1時間保持の脱H2処理を行なったのち、炉内に1atm
までArガスを流入して均質化処理インゴットを急冷し
た。この実施例8の製造処理パターンを第13図に示す。
上記第13図に示される条件で処理した均質化処理インゴ
ットは、ある程度崩壊しているため乳バチで解きほぐ
し、平均粒度:17μmのNd-Dy-Fe-B系合金磁石粉末とし
た。
得られた磁石粉末は、実施例1と同様の再結晶集合組織
を有していた。この磁石粉末の磁気特性を実施例1と同
様に振動試料型磁束計で測定したところ、 Ho=15KOeのときの磁化:9.2KG 保磁力:13.5KOe という測定結果が得られた。
ついで、この磁石粉末を用いて実施例1と同様にボンド
磁石を作成し、得られたボンド磁石の磁気特性を測定し
たところ、 残留磁束密度Br:8.0KG 保磁力iHc:13.0KOe 最大エネルギー積BHmax:14.1MGOe という測定結果が得られた。
上記測定結果から、温度:500〜1000℃の範囲内で、昇
温、一定温度保持、降温の温度不変をさせても、すぐれ
た磁気特性を有する磁石粉末を得ることができ、この磁
石粉末を用いて作成したボンド磁石も、圧縮成形による
保磁力の低下をもたらすことなくすぐれた磁気特性を有
することがわかる。
実施例9 RとしてNdを用い、高周波溶解炉で溶解、鋳造してNd-F
e-B系の原子数組成で、それぞれ、 Nd10.5Fe84.2B5.3′ Nd11.5Fe83.3B5.2′ Nd12.2Fe82.0B5.8′ Nd13.0Fe81.0B6.0′ Nd13.5Fe80.5B6.0′ Nd14.2Fe79.3B6.5′ Nd15.1Fe76.8B8.1′ Nd16.3Fe75.2B8.5′ Nd20.2Fe71.6B8.2′ を主成分とする希土類合金インゴットを製造した。これ
らインゴットは主相のNd2Fe14B相が粒径約50〜70μmの
結晶粒であった。上記各インゴットをそのまま熱処理炉
に入れ真空度:1.0×10-5Torrの真空に排気後、1atmのH2
ガスを炉内に流入して、そのH2ガス圧力を維持しつつ室
温から830℃まで昇温し、830℃で30分保持の条件で、1a
tmのH2ガス雰囲気中、さらに830℃で3時間保持の条件
で200TorrのH2ガス雰囲気中で処理した後に、830℃で排
気を1時間行ってH2ガス圧力:1.0×10-5Torrの真空度に
して、炉内に1atmまでのArガスを流入してインゴットを
急冷した。この実施例9の製造処理パターンを第14図に
示す。上記第14図に示される条件で処理したインゴット
は、ある程度崩壊しているため乳バチで解きほぐし、各
々平均粒度:20μmのNd-Fe-B系合金磁石粉末を得た。こ
の磁石粉末も実施例1と同様の再結晶集合組織を有して
いた。
この各々の磁石粉末の磁気特性を振動試料型磁束計で測
定した結果を第7表に示す。さらにこの磁石粉末を3.0
重量%のフェノールノボラック型エポキシ樹脂と混合
し、15KOeの磁場中、6Ton/cm2の圧力で圧縮成形し、温
度:100℃、6時間保持の条件で上記樹脂を硬化させ、ボ
ンド磁石を作成した。得られたボンド磁石の磁気特性も
第7表に示した。
実施例10 上記実施例9において、この発明の製造処理を行う前の
各インゴットをArガス雰囲気中でスタンプミルを用いて
粉砕し、各々平均粒度:30μmの粉末とし、その粉末を
熱処理炉に入れ、実施例9と同様の第14図に示される条
件で製造処 理した。得られた粉末は凝集しているので乳バチで解き
ほぐし、各々平均粒度:38μmのNd-Fe-B系合金磁石粉末
を得た。この磁石粉末も実施例1と同様の再結晶集合組
織を有していた。実施例9と同様に各々の磁石粉末なら
びにボンド磁石の磁気特性を測定し、その結果を第7表
に示す。
実施例11 上記実施例9および10において製造したこの発明の製造
処理を行う前の各インゴットおよび粉末を、温度:1050
℃、1.3気圧の加圧Arガス雰囲気中、30時間保持の条件
で均質化処理を行った。
上記条件で均質化処理を行って各インゴットおよび粉末
を実施例9と同様の第14図に示される条件で製造処理し
て乳バチで解きほぐし、各々平均粒度:25μmのNd-Fe-B
系合金磁石粉末を得た。
この磁石粉末も実施例1と同様の再結晶集合組織を有し
ていた。実施例9と同様に、各々の磁石粉末ならびにボ
ンド磁石の磁気特性を測定し、そ の結果を第8表に示した。
第7表、第8表を比較すると、原料であるNd-Fe-B系合
金は、インゴットとして用いたよりも均質化処理インゴ
ットとして用いた方が、さらに粉末として用いたよりも
均質化処理粉末として用いた方が、この発明の製造法で
得られたNd-Fe-B系合金磁石粉末の磁気特性は、一層向
上することがわかる。特に、原子百分率でRX(Fe,B)
100-Xにおいて、12≦X≦15で表される組成の合金につ
いては、均質化処理インゴットを原料として用いた方が
よいことがわかる。
実施例12 RとしてNdを用い、高周波溶解炉で溶解、鋳造してNd-F
e-B系の原子数組成でNd12.5Fe81.5B6.0を主成分とする
直径:20mm×高さ:20mmの合金インゴットを製造した。こ
れらインゴットは主相のNd2Fe14B相が平均粒径:約40μ
mの結晶粒であり、α‐Fe相が偏析していた。上記各イ
ンゴットを均熱炉に入れ、1atmのArガス雰囲気中で、第
9表に示される均質化処理条件にて均質化処理し、均質
化処理インゴットを製造した。上記均質化処理インゴッ
トの主相の平均粒径は、約120μmであり、α‐Fe相は
消失していた。
上記均質化処理インゴットを熱処理炉に入れ、真空度:5
×10-5Torrの真空に排気したのち、H2ガス分圧:200Torr
のH2ガスとArガスの混合ガスを熱処理炉内に流入し、そ
のH2ガス分圧を維持しつつ室温から850℃まで昇温し、
上記温度:850℃、6時間保持の条件で処理したのち、そ
の温度:850℃を保持しつつ1時間排気を行なってH2ガス
分圧:1×10-4TorrのArガス雰囲気とし、ついで熱処理炉
内にArガスを流入して均質化処理インゴットを急冷し
た。
この実施例12の製造処理パターンを第15図に示す。
上記第15図に示される条件で処理された均質化処理イン
ゴットは、ある程度崩壊しているため乳バチで解きほぐ
し、第9表に示される平均粒度のNd-Fe-B系合金磁石粉
末を得た。この磁石 粉末も再結晶集合組織を有していた。これらの各磁石粉
末の磁気特性を振動試料型磁束計で測定した結果を第9
表に示す。さらにこの磁石粉末を3.0重量%のフェノー
ルノボラック型エポキシ樹脂と混合し、15KOeの磁場
中、6Ton/cm2の圧力で圧縮成形し、温度:120℃、6時間
保持の条件で硬化させ、ボンド磁石を作成した。得られ
たボンド磁石の磁気特性も第9表に示した。
上記第9表の結果から、インゴットの均質化処理を行っ
た方が、より特性が向上し、インゴットの均質化処理温
度は600℃〜1200℃の範囲内であることが好ましく、さ
らに好ましくは、900℃〜1100℃であることがわかる。
実施例13 RとしてNdを用い、高周波溶解炉で溶解、鋳造してNd-F
e-Co-B系の原子数組成でNd14.0Fe75.1Co5.4B5.5を主成
分とする直径:20mm×高さ:20mmの合金インゴットを製造
した。これらインゴットは主相のNd2(FeCo)14B相が平均
粒径:約14μmの結晶粒であり、α‐Fe相等が析出して
いた。上記各インゴットをArガス雰囲気中でスタンプミ
ルを用いて粉砕し、平均粒度:42μmの粗粉末とし、こ
の粗粉末を熱処理炉に入れ、1×10-4Torrの真空雰囲気
中で第10表に示される異なった温度で20時間、均質化処
理し、続けて、均質化処理粉末を上記真空雰囲気の熱処
理炉内に装入したまま80TorrのH2ガスを流入せしめ、そ
のH2ガス圧力を維持しつつ温度:840℃まで昇温または降
温し、この温度で5時間保持して処理したのち、840℃
で排気を1時間行ない、H2ガス圧力:1×10-4Torrの真空
度にし脱H2処理を行なった。上記脱H2処理した粗粉末を
そのままにしてArガスを導入し、温度:600℃まで冷却
し、この温度で0.5時間保持の熱処理を行なった後冷却
した。この実施例13の製造処理パターンを第16図に示
す。第16図に示される条件で処理された粗粉末は凝集し
ているので乳バチで解きほぐし、第10表に示される平均
粒度のNd-Fe-Co-B系合金磁石粉末を得た。
この磁石粉末も再結晶集合組織を有しており、これら磁
石粉末の磁気特性を振動試料型磁束計で測定し、その結
果を第10表に示す。さらにこの磁石粉末を3.0重量%の
フェノルノボラック型エポキシ樹脂を用いて、上記実施
例12と全く同一条件でボンド磁石を作成し、得られたボ
ンド磁石の磁気特性も第10表に示した。
上記第10表の結果から、Nd-Fe-Co-B系の原子数でNd14.0
Fe75.1Co5.4B5.5を主成分とするインゴットを粉砕して
得られた粗粉末の均質化処理温度は、600℃〜1200℃の
範囲内が好ましく、さらに好ましくは、900℃〜1100℃
であることがわかる。
以上、この発明を実施例にもとづいて具体的に説明して
きたが、この発明のR-Fe-B系合金磁石粉末の製造法は、
上記実施例に限定されるものではなく、またこの発明の
R-Fe-B系合金磁石粉末の製造法に用いる原料も、インゴ
ット、粉末、均質化処理インゴット、または均質化処理
粉末を限定されることなく、例えばR-Fe-B系永久磁石の
スクラップも原料として使用可能である。
〔発明の効果〕
この発明の製造法によって得られたR-Fe-B系合金磁石粉
末は、すぐれた磁気特性を有し、R-Fe-B系ボンド磁石に
使用する磁石粉末として非常に適しており、磁気的異方
性を有する磁石粉末が得られるために、R-Fe-B系の異方
性ボンド磁石を製造することができ、また、この発明の
製造法を適切な条件のもとで行なうことにより原料であ
るR-Fe-B系合金インゴット、粉末、均質化処理インゴッ
トまたは均質化処理粉末いずれからも100%に近い歩留
りで磁石粉末を得ることができ、産業上すぐれた効果を
もたらすものである。
【図面の簡単な説明】
第1-A図乃至第1-D図は、この発明のR-Fe-B系合金磁石粉
末の一般的な製造処理パターン、 第2図は、R-Fe-B系合金磁石粉末の製造過程における組
織図、 第2-1図は、R-Fe-B系合金磁石粉末の製造過程における
均質化処理した場合の組織図、 第3図は、実施例1の製造処理パターン、 第3-1図は、比較例1の製造処理パターン、 第3-2図は、比較例2の製造処理パターン、 第4図は、走査電子顕微鏡による金属組織写真(A)と
上記金属組織写真を説明のために模写した組織図
(B)、 第5図は、実施例2および比較例4の製造処理パター
ン、 第6図は、R-Fe-B系磁石粉末の磁気特性と保持温度の関
係を示すグラフ、 第7図は、実施例3および比較例5の製造処理パター
ン、 第8図は、実施例4の製造処理パターン、 第9図は、ボンド磁石の減磁曲線、 第10図は、実施例5の製造処理パターン、 第11図は、実施例6の製造処理パターン、 第12図は、実施例7の製造処理パターン、 第13図は、実施例8の製造処理パターン、 第14図は、実施例9,10および11の製造処理パターン、 第15図は、実施例12の製造処理パターン、 第16図は、実施例13の製造処理パターン、 を示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−252603(JP,A) 特開 昭60−52556(JP,A) 特開 昭61−272330(JP,A)

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】Yを含む希土類元素(以下Rで示す)とFe
    とBを主成分とする合金のインゴットまたは粉末を、 H2ガス圧力が10Torr以上のH2ガス雰囲気中またはH2ガス
    分圧が10Torr以上のH2ガスと不活性ガスの混合雰囲気中
    で、温度:500〜1000℃に保持して上記合金のインゴット
    または粉末にH2を吸蔵させた後、 H2ガス圧力:1×10-1Torr以下の真空雰囲気またはH2ガス
    分圧:1×10-1Torr以下の不活性ガス雰囲気になるまで温
    度:500〜1000℃で脱H2処理し、 ついで冷却することを特徴とする希土類−Fe−B系合金
    磁石粉末の製造法。
  2. 【請求項2】Yを含む希土類元素(以下Rで示す)とFe
    とBを主成分とする合金のインゴットまたは粉末を、 H2ガス雰囲気中またはH2ガスと不活性ガスの混合雰囲気
    中で室温から上記温度:500〜1000℃に昇温し、引続いて
    H2ガス圧力が10Torr以上のH2ガス雰囲気中またはH2ガス
    分圧が10Torr以上のH2ガスと不活性ガスの混合雰囲気中
    で上記温度:500〜1000℃に保持して上記合金インゴット
    または粉末にH2を吸蔵させることを特徴とする請求項1
    記載の希土類−Fe−B系合金磁石粉末の製造法。
  3. 【請求項3】上記脱H2処理したのち、温度:300〜1000℃
    で熱処理し、 ついで冷却することを特徴とする請求項1または2記載
    の希土類−Fe−B系合金磁石粉末の製造法。
  4. 【請求項4】RとFeとBを主成分とする合金のインゴッ
    トまたは粉末を、温度:600〜1200℃に保持して均質化処
    理を行ない、上記合金の均質化処理インゴットまたは均
    質化処理粉末を作成し、 上記合金の均質化処理インゴットまたは均質化処理粉末
    をH2ガス圧力が10Torr以上のH2ガス雰囲気中またはH2
    ス分圧が10Torr以上のH2ガスと不活性ガスの混合雰囲気
    中で、温度:500〜1000℃に保持してH2を吸蔵させた後、 H2ガス圧力:1×10-1Torr以下の真空雰囲気またはH2ガス
    分圧:1×10-1Torr以下の不活性ガス雰囲気になるまで温
    度:500〜1000℃で脱H2処理し、 ついで冷却することを特徴とする希土類−Fe−B系合金
    磁石粉末の製造法。
  5. 【請求項5】上記合金の均質化処理インゴットまたは均
    質化処理粉末を、 H2ガス雰囲気中またはH2ガスと不活性ガスの混合雰囲気
    中で室温から上記温度:500〜1000℃に昇温し、引続いて
    H2ガス圧力が10Torr以上のH2ガス雰囲気中またはH2ガス
    分圧が10Torr以上のH2ガスと不活性ガスの混合雰囲気中
    で上記温度:500〜1000℃に保持して上記均質化処理イン
    ゴットまたは均質化処理粉末にH2を吸蔵させることを特
    徴とする請求項4記載の希土類−Fe−B系合金磁石粉末
    の製造法。
  6. 【請求項6】上記脱H2処理したのち、温度:300〜1000℃
    で熱処理し、 ついで冷却することを特徴とする請求項4または5記載
    の希土類−Fe−B系合金磁石粉末の製造法。
  7. 【請求項7】上記H2ガス雰囲気中またはH2ガスと不活性
    ガスの混合雰囲気中のH2ガス圧力またはH2ガス分圧は、
    10〜760Torrであることを特徴とする請求項1,2,3,4,5ま
    たは6記載の希土類−Fe−B系合金磁石粉末の製造法。
  8. 【請求項8】上記RとFeとBを主成分とする合金の組成
    が原子百分率でRX(Fe,B)100-Xにおいて、 12≦X≦15の場合は、上記RとFeとBを主成分とする合
    金の均質化処理インゴットを用いること、 を特徴とする請求項4,5,6または7記載の希土類−Fe−
    B系合金磁石粉末の製造法。
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