JPH0767988B2 - 板状体の搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は板状体の搬送装置に関
し、更に詳細には、板状体を次工程のラインへ自動的に
搬送する板状体の搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、基板等の板状体を次工程のラ
インに搬送するための装置としては、板状体の全面に対
して平均に配設された吸着装置の吸着ヘッドによって吸
着し、その板状体を持ち上げて一枚ずつ次工程のライン
に搬送する板状体の搬送装置がある。この吸着装置を利
用した装置によれば、板状体の両側部から挟んだり、つ
かむことによって板状体を搬送する装置に比べ、板状体
の表面に接して吸着することから積層された板状体を確
実に一枚ずつ持ち上げて供給することが可能である。ま
た、湾曲し易いような薄い板状体を供給する際にも、板
状体の全面に対して平均に配設された吸着ヘッドによっ
て吸着して板状体を持ち上げることができるため、板状
体が折れ曲がるような問題がない。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、最近の技術
の進歩に伴い、たとえば、基板の配線パターンがより複
雑化しているため、基板の全面をより有効に利用する必
要性が増している。また、基板の加工工程においては、
レジストの塗布、エッチング工程等があり、それらの工
程によって処理された基板の表面に接触することは許さ
れない。このため、吸着装置を利用した板状体の搬送装
置の吸着装置の吸着ヘッドが吸引のために当接できる部
分は、基板の表面上の非常に狭い部分に限られる。そし
て、基板の全面を最大限に利用したい場合には、検査等
のための最小限のつかみ代として設けられる基板の一辺
の端縁付近の表面（巾１０mm程度）のみが、吸着装置の
吸着ヘッドが当接可能な部分とされる。上記のような基
板等の板状体を次工程のラインに搬送する場合には、従
来のような板状体の全面に対して平均に配設された複数
の吸着ヘッドからなる吸着装置を有する板状体の搬送装
置を使用することができない。もちろん、板状体を挟ん
だり、つかんだりして板状体を保持する板状体の搬送装
置にあっては、前述の如くつかみ代が非常に狭い部分に
限られている板状体を一枚ずつ確実に、しかも、薄い板
状体についてはバランスよく保持して移送することは困
難である。

【０００４】そこで、本発明の目的は、吸着装置が当接
可能な表面部が狭く限定された板状体に対しても、該板
状体を確実に次工程のラインに搬送することができると
共に、構成が簡単で大型化することなく汎用性に富む板
状体の搬送装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は次の構成を備える。すなわち、積層された
板状体を一枚宛積層位置から側方の移載位置へ搬送する
板状体の搬送装置において、前記板状体の積層位置上方
と移載位置との間に亘って往復動可能に設けられた搬送
台と、該搬送台を往復動させる駆動装置と、該搬送台に
装着され、搬送台が板状体の積層位置の上方に位置した
際に積層された板状体の一端側上方に位置し、該板状体
を吸着する吸着装置と、前記搬送台に装着され、前記吸
着装置によって吸着した板状体の一端側を持ち上げ可能
に、前記吸着装置を上下動させる上下動装置と、前記搬
送台に装着され、前記吸着装置が板状体を吸着して前記
上下動装置によって板状体を持ち上げた際に、該板状体
が持ち上げられた側からスライドして板状体の中央付近
の下方に入り込み、板状体の下面に当接して板状体を受
けてほぼ水平になるように支持する支持部材と、前記搬
送台に装着され、前記支持部材を板状体の下側で自在に
スライドさせるスライド駆動装置とを具備することを特
徴とする。

【０００６】支持部材が板状体の中央付近で停止するよ
うに、該支持部材のスライドを規制するストッパー機構
が設けられることで、各サイズの板状体をバランスよく
持ち上げ、保持することができる。

【０００７】また、前記搬送台を直交する２方向へ移動
可能に設けることで、次工程のラインの板状体の各移載
位置へ対応し、板状体を好適に搬送することができる。

【０００８】さらに、前記板状体の搬送装置において、
積層された複数枚の板状体を板状体の厚み分ずつ順次上
昇させる上昇装置と、複数枚の板状体の一側端部に当接
するよう配設されると共に、上方に向かうに従って前記
板状体の上昇を妨げる方向にせり出した傾斜が形成さ
れ、前記上昇装置によって上昇される最表層の板状体を
前記吸着装置によって吸着される位置へ案内するガイド
部材とを具備することで、板状体を確実に搬送できる。

【０００９】また、前記板状体の搬送装置において、板
状体の幅を検出するセンサを有し、前記吸着装置は、板
状体の幅方向に所定の間隔を置いて配設された複数の吸
着ヘッドを有し、前記センサによって検出された板状体
の幅に応じて、板状体の一端側上方に位置する吸着ヘッ
ドを作動させる制御部を有することで、吸着装置による
吸引が無駄なく行われ、サイズの異なる板状体に好適に
対応できる。

【００１０】

【作用】本発明の板状体の搬送装置によれば、吸着装置
によって板状体の一端側を持ち上げた際に、該板状体が
持ち上げられた側から支持部材がスライドして板状体の
中央付近の下方に入り込んで板状体を支持できる。この
ように支持部材によって 板状体をバランスよく受け、吸
着装置と共に板状体を保持した状態で、駆動装置を作動
させることで搬送台を移動させ、板状体を一枚宛積層位
置から側方の移載位置へ搬送することができる。このた
め、板状体の表面の吸着装置が当接可能な部分が狭く限
定された場合においても、板状体を一枚ずつバランス良
く保持して確実に移載位置へ搬送することができる。ま
た、吸着装置および支持部材等は、往復動する搬送台に
装着されて板状体を保持する機能を有しており、板状体
を保持して搬送するために別体の他装置の動作と特別に
同期をとるなどの調整をする必要がなく汎用性があり、
板状体を保持するための支持部材の駆動装置としてはス
ライド駆動装置のみで良いから、装置の構成を簡略化お
よび小型化することができる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。図１は、本発明にかかる板状体
の搬送装置の一実施例として、板状体の一種である基板
を積層位置から一枚ずつ次工程のラインの移載位置へ搬
送する基板の搬送装置の主要部を示した側面図である。
図１に示すように、積層載置された複数枚の基板１の一
端側が位置する上方に吸着装置１０と、基板１を下側か
ら支持可能な支持部材１４を具備する支持機構１５と
が、それぞれ装着部２２に装着されている。この装着部
２２は上下動装置であるシリンダ２４のロッドの下端に
固定されており、このシリンダ２４によって、吸着装置
１０および支持機構１５が装着部２２を介して上下に移
動される。前記シリンダ２４を中心にして両側の対称の
位置にはそれぞれに、円筒状のリニアブッシュ２８が平
行に配設されており、このリニアブッシュ２８に嵌挿さ
れて前記装着部２２に一端が固定されたリニアシャフト
２６が上下動可能に設けられている。このため、シリン
ダ２４による吸着装置１０および支持機構１５の上下動
が平行かつスムースになされる。

【００１２】前記支持部材１４は、二つの側壁１４ａ
（図２参照）が対向して配設され、この間に二本のロー
ラシャフト１６が平行に亘されており、その各々のロー
ラシャフト１６には所定の間隔をおいて複数のローラ１
８が回転可能に軸着されている。そして、この支持部材
１４は、吸着装置１０の吸着ヘッド１２の列（図２参
照）に直交する方向（基板１の送り方向）に水平に配設
されたスライド駆動装置である第１ロッドレスシリンダ
２０の移動体に装着されており、この第１ロッドレスシ
リンダ２０に沿ってスライド可能に設けられている。こ
のため、吸着装置１０によって基板１の一端側表面に当
接して該基板１を吸着し、シリンダ２４よって基板１の
一端側を持ち上げた後に、支持部材１４のシャフト１６
に配設された複数のローラ１８が、該基板１の持ち上げ
られた側からスライドして基板１の中央付近の下側に入
り込み、基板１の裏面に接触して基板を支持できる。こ
れによって、基板１を一枚ずつ基板１の積層位置から上
方に持ち上げてバランスよく保持することができる。ま
た、二つの側壁１４ａの間に入る基板１であれば、サイ
ズが異なっても好適に対応できる。なお、支持部材１４
が、吸着装置１０に吸着された基板１の下面にスライド
自在となるように、ローラシャフト１６に回転可能に軸
着された複数のローラ１８は、吸着装置１０の吸着ヘッ
ド１２の下端から基板１の厚さよりも若干下方に位置す
るように配設されている。

【００１３】３０は第２ロッドレスシリンダであり、こ
の第２ロッドレスシリンダ３０の移動体３１に一体に装
着された搬送台２１を往復動させる駆動装置として作用
する。そして、搬送台２１には、吸着装置１０、支持部
材１４および第１ロッドレスシリンダ２０が装着された
装着部２２と、シリンダ２４とが、後述する第３ロッド
レスシリンダ３６を介して装着されている。すなわち、
吸着装置１０、支持部材１４、第１ロッドレスシリンダ
２０およびシリンダ２４が、搬送台２１に装着された状
態となっており、その搬送台２１と一体に往復動し、吸
着装置１０および支持部材１４によって保持された基板
１を積層位置から次工程のラインの移載位置へ搬送する
ことができる。なお、第２ロッドレスシリンダ３０の両
側の下方には、二本の水平方向のリニアシャフト３２が
並列されて基板１の搬送方向に平行に装置の架台１００
に固定されている。この水平方向のリニアシャフト３２
に嵌合され、該水平方向のリニアシャフト３２に沿って
水平動自在に設けられた水平方向のリニアブッシュ３４
が、前記搬送台２１に固定されており、装着部２２等を
介して吸着装置１０および支持部材１４に連結されてい
る。このため、第２ロッドレスシリンダ３０の駆動によ
る吸着装置１０および支持機構１５の水平動が平行かつ
スムースになされる。

【００１４】ところで、前記第１ロッドレスシリンダ２
０の駆動力によってスライドする支持部材１４のストロ
ークを規制するストッパー機構としては、例えば支持部
材１４の移動経路上に支持部材１４に当接して該支持部
材１４の移動距離を規制するように設けられたストッパ
ーを利用できる。このストッパーの位置を支持部材１４
の移動経路上の任意の位置に固定可能とすることによっ
て、支持部材１４の移動ストロークを自由に調整するこ
とができる。このため、支持部材１４が基板１の下側に
入り込んで基板１を支持する際に、基板１を支持する部
位であるローラ１８を、基板１の中央付近に好適に位置
させることができる。これによって、支持部材１４は、
基板１をその中央部の下面に接して支持することがで
き、吸着装置１０と共に基板１をバランスよく持ち上
げ、保持することができる。

【００１５】また、基板１の次工程への移載位置を選択
可能に、基板１を保持する吸着装置１０および支持機構
１５を、水平方向で、かつ吸着ヘッド１２の列方向（基
板１を搬送する方向に直交する方向）へ移動自在に移動
させる幅方向の移動装置として、第３ロッドレスシリン
ダ３６が設けられている。なお、この第３ロッドレスシ
リンダ３６の移動体３７にはシリンダ２４および装着部
２２を介して吸着装置１０および支持機構１５が装着さ
れている。この第３ロッドレスシリンダ３６によって、
吸着装置１０および支持機構１５を、基板１が搬送され
る方向に直交する方向へ好適に移動することができるた
め、基板１を所望の移載位置へ搬送すべく、次工程のラ
インと基板１を搬送するた めの搬送台の往復動位置を合
わせることができる。これにより、サイズの異なる種々
の基板１に対応して使用することも可能で、装置の汎用
性を向上できる。

【００１６】図２は、図１に示した基板の搬送装置へ、
複数の基板１がロットごとに搬入・載置される側の主要
部を示す本実施例の背面図である。図２に示すように、
複数の基板１がロットごと搬入・載置できる複数の棚２
が無限軌道４２上に設けられている。この複数の棚２
は、二つの並列して設けられた無限軌道４２上に各々所
定の間隔を置いて連結され該無期限軌道４２に沿って移
動自在に設けられている。この二つの無限軌道４２上に
設けられた複数の棚２の各々は、互いに向かい合った際
に同じ高さに位置するように同期し、対向する２つの棚
が一組になって複数の基板１を支持できるように設けら
れている。この無限軌道４２と該無限軌道４２上に設け
られた複数の棚２から成る板状体の搬入装置は、複数の
棚２の移動経路が前記吸着装置１０および支持機構１５
の下方で上昇するように配設されている。そして、前記
複数の棚２は載置された基板１を順次所定の高さ（最上
位置）まで搬送するために、積層された複数枚の基板１
を基板１の厚み分ずつ順次間欠的に上昇させるよう制御
される。

【００１７】このため、複数の基板１を、該基板の供給
装置に連続して搬入することが可能となり、基板の供給
装置を停止することなく連続して運転することができ
る。なお、この一つの無限軌道４２は並列された二つの
チェーン４３と、各チェーン４３を上下方向に張設する
上下に配設された二つのスプロケット４６とによって構
成されている。また、図３に示すように、上方および下
方において互いに対向する二つのスプロケット４６は、
シャフト４８によって連結されており、これらは同時に
回転する。このシャフト４８は軸受け４４によって、回
転自在に軸着されており、４９はテンションローラであ
り、これによって、チェーン４３を適切に張設できる。
チェーン４３を作動させるには、駆動モータ５０の駆動
力をチェーンおよび回転方向変換ギア５３等を介し、上
方のシャフト４８の同軸上に固定されたスプロケット５
６に伝達された動力によってシャフト４８を回転させれ
ばよい。なお、５１は駆動スプロケット、５２は従動ス
プロケット、５４および５５は動力を伝達するチェーン
である。

【００１８】図２に示されているように、吸着装置１０
は、直線上に所定の間隔を置いて配設された複数の吸着
ヘッド１２によって構成されている。装置の架台には、
基板１の幅を検出するセンサが設けられており、このセ
ンサによる信号によって、供給された基板１の幅に相当
する部分のみの吸着ヘッド１２が基板１を吸着するよう
に、使用されない吸着ヘッドと吸引装置（バキュームポ
ンプ）間の通路に設けられたバルブを自動的に閉塞する
制御部（図示せず）が設けられている。このため、サイ
ズの異なる板状体に好適に対応し、吸引装置を無駄なく
利用でき、真空度を急速に高めることができるため、吸
着を確実に且つ短時間に行うことができる。

【００１９】図１および図３に示すように、３８は搬送
ローラであり、搬送モータ４０によって回転され、載置
された基板１を次工程のラインに搬送することができ
る。なお、この搬送ローラ３８は本装置側に形成されて
いるが、次工程のラインを形成する一部分として設けら
れてもよい。また、６０はガイドシャフトであり、積層
された基板１が無限軌道４２によって上方に搬送される
際に、吸着装置１０の吸着ヘッド１２の先端が基板１の
一端側縁部付近の狭い表面に確実に当接できるように、
所定の位置に揃えられるように基板１の端縁位置をガイ
ドするように設けられている。すなわち、図３に示すよ
うに、ガイドシャフト６０は、複数枚の基板１の一側端
部に当接するよう配設されると共に、上方に向かうに従
って基板１の上昇を妨げる方向にせり出した傾斜を形成
しており、前記無限軌道４２からなる上昇装置によって
上昇される最表層の基板１を吸着装置１０によって吸着
される位置へ案内するガイド部材として作用する。

【００２０】次に、本実施例の作用について説明する。
先ず、対向する一対の棚２によって形成される複数の載
置部へ積層された基板１のロットが各々搬入・載置さ
れ、棚２は無限軌道４２を作動させる動力によって間欠
的に上方へ移動させられる。図３によれば、積層された
基板１のロットが同時に載置できる棚２の段は、４段に
なっており、これらの棚２は無限軌道に固定されている
ため、連続的に基板１を搬入することが可能となってい
る。次に、基板１が吸着装置１０と支持機構１５の下方
の所定の位置まで搬送されると、吸着装置１０がシリン
ダ２４によって下降し、吸着ヘッド１２が基板１の一端
側縁部付近の表面に当接して基板１を吸着する。そし
て、吸着装置１０が、基板１を吸着した状態でシリンダ
２４によって図１に示す１０ａの位置まで上昇される。
次に、吸着装置１０に対して次工程のライン側に位置し
ていた支持部材１４が、第１ロッドレスシリンダ２０に
よって図１に示す１４ａの位置まで、基板１の下面にロ
ーラ１８が接触・回転しつつスライドする。これによっ
て、一枚の基板１のみが、吸着装置１０と支持機構１５
とによってバランス良く上方に保持された状態になる。

【００２１】この吸着装置１０と支持機構１５とは、装
着部２２および搬送台２１等を介して第２ロッドレスシ
リンダ３０の移動体３１に装着されており、基板１の搬
送方向へ移動され、基板１を保持しつつ、吸着装置１０
が図１に示すように１０ｂの位置まで移動される。そし
て、吸着装置１０は、支持機構１５と共にシリンダ２４
によって下降され、図１に示すように吸着装置が１０ｃ
の位置まで移動され、基板１が複数の搬送ローラ３８上
に基板１を載置される。このとき、吸着装置１０による
基板１の吸着が解除されるように同期されている。次
に、基板１は、搬送ローラ３８の回転によって、次工程
のラインに供給されるのである。その搬送ローラ３８に
よって基板１が搬出された後には、吸着装置１０と支持
機構１５とが、シリンダ２４によって上昇され、支持部
材１４は第１ロッドレスシリンダ２０によって吸着装置
１０側の原位置は戻る。そして、搬送台２１に装着され
た吸着装置１０と支持機構１４等が、第２ロッドレスシ
リンダ３０によって初期の位置まで戻されるのである。
以上の工程を繰り返すことによって、基板１が一枚ずつ
次工程のラインへ供給されるのである。

【００２２】以上の実施例においは、基板１の次工程ラ
イン側の一端側縁部の表面を吸着したが、これに限られ
ることはなく、基板１が吸着される位置は任意に設定す
ることが可能である。以上、本発明につき好適な実施例
を挙げて種々説明してきたが、本発明はこの実施例に限
定されるものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内
で多くの改変を施し得るのは勿論のことである。

【００２３】

【発明の効果】本発明の板状体の供給装置によれば、吸
着装置によって積層位置にある板状体を吸着して板状体
の一端側を持ち上げ、この板状体が持ち上げられた側か
ら支持部材がスライド駆動装置により板状体の中央部の
下方に入り込んで板状体を支持することで、板状体をバ
ランス良く保持できる。そして、搬送台に装着された吸
着装置および支持部材によって保持された板状体を、駆
動装置によって、次工程のライン上である移載位置へ確
実に供給することができる。このため、吸着装置の当接
可能な表面部が狭く限定された板状体に対しても、確実
に板状体を一枚ずつバランス良く保持して、確実に移載
位置へ搬送することができるという著効を奏すると共
に、吸着装置および支持部材等は、往復動する搬送台に
装着されて板状体を保持する機能を有するから、板状体
を保持して搬送するために別体の他装置の動作と特別に
同期をとるなどの調整をする必要がなく汎用性があり、
板状体を保持するための支持部材の駆動装置としてはス
ライド駆動装置のみで良いから、装置の構成を簡略化お
よび小型化することができるとい う著効も奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる板状体の供給装置の一実施例の
主要部を示す側面図。

【図２】本発明にかかる板状体の供給装置の一実施例を
示す背面図。

【図３】図２にかかる板状体の供給装置の側面図。

【符号の説明】

１ 板状体 ２ 棚 １０ 吸着装置 １２ 吸着ヘッド １４ 支持部材 １５ 支持装置 １６ ローラ軸 １８ ローラ ２０ 第１ロッドレスシリンダ２１ 搬送台 ２２ 装着部 ２４ シリンダ ３０ 第２ロッドレスシリンダ３１ 移動体 ３６ 第３ロッドレスシリンダ３７ 移動体 ３８ 搬送ローラ ４０ 搬送モータ ４２ 無限軌道 ４３ チェーン ４６ スプロケット ４８ シャフト

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ６５Ｈ 3/68 8712−3Ｆ 7/02

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 積層された板状体を一枚宛積層位置から
   側方の移載位置へ搬送する板状体の搬送装置において、 前記板状体の積層位置上方と移載位置との間に亘って往
   復動可能に設けられた搬送台と、 該搬送台を往復動させる駆動装置と、 該搬送台に装着され、搬送台が板状体の積層位置の上方
   に位置した際に積層された板状体の一端側上方に位置
   し、該 板状体を吸着する吸着装置と、前記搬送台に装着され、 前記吸着装置によって吸着した
   板状体の一端側を持ち上げ可能に、前記吸着装置を上下
   動させる上下動装置と、前記搬送台に装着され、 前記吸着装置が板状体を吸着し
   て前記上下動装置によって板状体を持ち上げた際に、該
   板状体が持ち上げられた側からスライドして板状体の中
   央付近の下方に入り込み、板状体の下面に当接して板状
   体を受けてほぼ水平になるように支持する支持部材と、前記搬送台に装着され、 前記支持部材を板状体の下側で
   自在にスライドさせるスライド駆動装置とを具備するこ
   とを特徴とする板状体の搬送装置。
2. 【請求項２】 支持部材が板状体の中央付近で停止する
   ように、該支持部材のスライドを規制するストッパー機
   構が設けられたことを特徴とする請求項１記載の板状体
   の搬送装置。
3. 【請求項３】 前記搬送台を直交する２方向へ移動可能
   に設けたことを特徴とする請求項１または２記載の板状
   体の搬送装置。
4. 【請求項４】 積層された複数枚の板状体を板状体の厚
   み分ずつ順次上昇させる上昇装置と、 複数枚の板状体の一側端部に当接するよう配設されると
   共に、上方に向かうに従って前記板状体の上昇を妨げる
   方向にせり出した傾斜が形成され、前記上昇装置によっ
   て上昇される最表層の板状体を前記吸着装置によって吸
   着される位置へ案内するガイド部材とを具備することを
   特徴とする請求項１、２または３記載の 板状体の搬送装
   置。
5. 【請求項５】 板状体の幅を検出するセンサを有し、 前
   記吸着装置は、板状体の幅方向に所定の間隔を置いて配
   設された複数の吸着ヘッドを有し、 前記センサによって検出された板状体の幅に応じて、板
   状体の一端側上方に位置する吸着ヘッドを作動させる制
   御部を有することを特徴とする請求項１、２、３または
   ４記載の板状体の搬送装置。