JPH05139553A - 板状体の供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 吸着装置が当接可能な表面部が狭く限定され
た板状体に対しても、該板状体を確実に次工程のライン
に供給することができる板状体の供給装置を提供するこ
と。 【構成】 積層されて載置された板状体１の上方に位置
し、板状体１の表面の一部に当接して該板状体１を吸着
する吸着装置１０と、前記吸着装置１０によって吸着し
た板状体１の一端側を持ち上げ可能に、前記吸着装置１
０を上下動させる上下動装置２４と、板状体１が持ち上
げられた側から板状体１の下方に入り込み、板状体１の
下面に当接して板状体１をほぼ水平になるように支持す
る支持部材１４と、前記支持部材１４を板状体１の下側
で自在に移動させる第１移動装置２０と、前記板状体１
を保持する吸着装置１０、上下動装置２４および支持部
材１４を、次工程のライン方向へ移動させる第２移動装
置３０とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は板状体の供給装置に関
し、更に詳細には、板状体を次工程のラインへ自動的に
供給する板状体の供給装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、基板等の板状体を次工程のラ
インに供給するための装置としては、板状体の全面に対
して平均に配設された吸着装置の吸着ヘッドによって吸
着し、その板状体を持ち上げて一枚ずつ次工程のライン
に供給する板状体の供給装置がある。この吸着装置を利
用した装置によれば、板状体の両側部から挟んだり、つ
かむことによって板状体を供給する装置に比べ、板状体
の表面に接して吸着することから積層された板状体を確
実に一枚ずつ持ち上げて供給することが可能である。ま
た、湾曲し易いような薄い板状体を供給する際にも、板
状体の全面に対して平均に配設された吸着ヘッドによっ
て吸着して板状体を持ち上げることができるため、板状
体が折り曲がるような問題がない。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、最近の技術
の進歩に伴い、たとえば、基板の配線パターンがより複
雑化しているため、基板の全面をより有効に利用する必
要性が増している。また、基板の加工工程においては、
レジストの塗布、エッチング工程等があり、それらの工
程によって処理された基板の表面に接触することは許さ
れない。このため、吸着装置を利用した板状体の供給装
置の吸着装置の吸着ヘッドが吸引のために当接できる部
分は、基板の表面上の非常に狭い部分に限られる。そし
て、基板の全面を最大限に利用した場合には、検査等の
ための最小限のつかみ代として設けられる基板の一辺の
端縁付近の表面（巾１０mm程度）のみが、吸着装置の吸
着ヘッドが当接可能な部分とされる。上記のような基板
等の板状体を次工程のラインに供給する場合には、従来
のような板状体の全面に対して平均に配設された複数の
吸着ヘッドからなる吸着装置を有する板状体の供給装置
を使用することができない。もちろん、板状体を挟んだ
り、つかんだりして板状体を保持する板状体の供給装置
にあっては、前述の如くつかみ代が非常に狭い部分に限
られている板状体を一枚ずつ確実に、しかも、薄い板状
体についてはバランスよく保持して移送することは困難
である。

【０００４】そこで、本発明の目的は、吸着装置が当接
可能な表面部が狭く限定された板状体に対しても、該板
状体を確実に次工程のラインに供給することができる板
状体の供給装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は次の構成を備える。すなわち、板状体を次
工程のラインへ自動的に供給する板状体の供給装置にお
いて、積層されて載置された板状体の上方に位置し、板
状体の表面の一部に当接して該板状体を吸着する吸着装
置と、前記吸着装置によって吸着した板状体の一端側を
持ち上げ可能に、前記吸着装置を上下動させる上下動装
置と、前記吸着装置が板状体を吸着して前記上下動装置
によって板状体を持ち上げた際に、該板状体が持ち上げ
られた側から板状体の下方に入り込み、板状体の下面に
当接して板状体をほぼ水平になるように支持する支持部
材と、前記支持部材を板状体の下側で自在に移動させる
第１移動装置と、前記板状体を保持する吸着装置、上下
動装置および支持部材を、次工程のライン方向へ移動さ
せる第２移動装置とを具備することを特徴とする。

【０００６】前記板状体の支持部材の板状体を支持する
部位が板状体の中央付近に位置するように、該支持部材
の移動経路上に支持部材に当接して支持部材の移動を規
制するストッパーが設けられることで、板状体をバラン
スよく持ち上げ、保持することができる。

【０００７】また、前記吸着装置、上下動装置および支
持部材を、板状体が次工程のラインへ供給される方向に
直交する方向へ移動自在に移動させる第３移動装置を具
備することで、次工程のラインによって要求される板状
体の供給位置へ板状体を容易に供給することができる。

【０００８】さらに、前記板状体の供給装置において、
積層された複数枚の板状体が載置可能に形成された複数
の棚が無限軌道上に所定の間隔を置いて連結され、該棚
の移動経路が前記吸着装置の下方を通過するよう配設さ
れて板状体の搬入装置を具備することで、板状体を該板
状体の供給装置に連続して搬入することが可能となり、
該板状体の供給装置を連続して運転することができる。

【０００９】また、前記板状体の供給装置において、直
線上に所定の間隔を置いて配設された複数の吸着ヘッド
を有する吸着装置であって、板状体の幅を検出するセン
サによって、供給された板状体の幅に相当する部分のみ
の吸着ヘッドが板状体を吸着する吸着装置を具備するこ
とで、吸着装置による吸引が無駄なく行われる。

【００１０】

【作用】本発明の板状体の供給装置によれば、吸着装置
によって板状体の表面の一部に当接して該板状体を吸着
して板状体を持ち上げた際に、該板状体が持ち上げられ
た側から板状体を支持する支持部材が板状体の下側に入
り込んで板状体を支持できる。これによって、一枚の板
状体が保持された状態となり、吸着装置および支持部材
を板状体の供給方向へ移動する第２移動装置によって板
状体を次工程のラインへ確実に供給することができる。
このため、板状体の表面の吸着装置が当接可能な部分が
狭く限定された場合においても、板状体を確実に一枚ず
つ次工程に供給することができる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。図１は、本発明にかかる板状体
の供給装置の一実施例として、積層された基板を一枚ず
つ次工程のラインへ供給する基板の供給装置の主要部を
示した側面図である。図１に示すように、搬送・載置さ
れた複数枚の基板１が位置する上方に吸着装置１０と、
基板１を下側から支持可能な支持部材１４を具備する支
持機構１５とが、それぞれ装着部２２に装着されてい
る。この装着部２２は上下動装置であるシリンダ２４の
ロッドの下端に固定されており、このシリンダによっ
て、吸着装置１０および支持機構１５が上下に移動され
る。前記シリンダ２４を中心にして両側の対称の位置に
はそれぞれに、円筒状のリニアブッシュ２８が平行に配
設されており、このリニアブッシュ２８に嵌挿され前記
装着部２２に一端が固定されたリニアシャフト２６が上
下動可能に設けられている。このため、シリンダ２４に
よる吸着装置１０および支持機構１５の上下動が平行か
つスムースになされる。

【００１２】前記支持部材１４は、二つの側壁が対向し
て配設され、この間に二本のローラシャフト１６が平行
に亘されており、その各々のローラシャフト１６には所
定の間隔をおいて複数のローラ１８が回転可能に軸着さ
れている。そして、この支持部材１４は、吸着装置１０
の前方から後方に亘って水平に配設された第１移動装置
である第１ロッドレスシリンダ２０に装着されており、
この第１ロッドレスシリンダ２０に沿って移動可能に設
けられている。このため、基板１の端縁部表面に当接し
て該基板１を吸着する吸着装置１０によって基板１を吸
着し、シリンダ２４よって基板１の一方側を持ち上げた
後に、支持部材１４のシャフト１６に配設された複数の
ローラ１８が、該基板１の持ち上げられた側から基板１
の下側に入り込み、基板１の裏面に接触して基板を支持
できる。これによって、基板１を一枚ずつ基板１の搬入
部から上方に持ち上げて保持することができるのであ
る。なお、支持部材１４が、吸着装置１０に吸着された
基板１の下面に移動自在となるように、ローラシャフト
１６に回転可能に軸着された複数のローラ１８は、吸着
装置１０の吸着ヘッド１２の下端から基板１の厚さより
も若干下方に位置するように配設されている。

【００１３】３０は第２ロッドレスシリンダであり、吸
着装置１０および支持部材１４に装着部２２等を介して
連結し、これらを往復動自在に移動させる第２移動装置
である。すなわち、この第２ロッドレスシリンダによっ
て、基板１を保持した状態の吸着装置１０および支持部
材１４を、基板１の供給方向へ移動し、基板を次工程の
ラインへ供給することができる。なお、第２ロッドレス
シリンダ３０の両側のやや下方には、二本の水平方向の
リニアシャフト３２が並列されて基板１の供給方向に平
行に装置の架台１００に固定されている。この水平方向
のリニアシャフト３２に嵌合され、該水平方向のリニア
シャフト３２に沿って水平動自在に設けられた水平方向
のリニアブッシュ３４が、前記装着部２２等を介して吸
着装置１０および支持部材１４に連結されている。この
ため、第２ロッドレスシリンダ３０による吸着装置１０
および支持機構１５の水平動が平行かつスムースになさ
れる。

【００１４】ところで、前記第１ロッドレスシリンダ２
０に装着された支持部材１４の移動ストロークは、支持
部材１４の移動経路上に支持部材１４に当接して該支持
部材１４の移動距離を規制するように設けられたストッ
パーの位置によって決定される。また、このストッパー
の位置を支持部材１４の移動経路上の任意の位置に固定
可能とすることによって、支持部材１４の移動ストロー
クを自由に調整することができる。このため、支持部材
１４が基板１の下側に入り込んで基板を支持する際に、
基板１を支持する部位であるローラ１８を、基板１の中
央付近に容易に位置させることができる。これによっ
て、支持部材１４は、基板１をその中央部の下側で接し
て支持することができるため、基板１をバランスよく持
ち上げ、保持することができる。

【００１５】また、基板１の次工程への供給位置を選択
可能に、基板１を保持する吸着装置１０および支持機構
１５を、水平方向で、かつ基板１が供給される方向に直
交する方向へ移動自在に移動させる第３移動装置とし
て、第３ロッドレスシリンダ３６が設けられている。な
お、この第３ロッドレスシリンダ３６には装着部２２等
を介して吸着装置１０および支持機構１５が連結されて
いる。この第３ロッドレスシリンダ３６によって、吸着
装置１０および支持機構１５を、基板１が供給される方
向に直交する方向へ容易に移動することができるため、
本装置からの基板１の排出位置を基板の次工程のライン
で要求される基板１の供給位置へ容易に合わせることが
できる。

【００１６】図２は、図１に示した基板の供給装置へ、
複数の基板１がロットごとに搬入・載置される側の主要
部を示す本実施例の背面図である。図２に示すように、
複数の基板１がロットごと搬入・載置できる複数の棚２
が無限軌道４２上に設けられている。この複数の棚２
は、二つの並列して設けられた無限軌道４２上に各々所
定の間隔を置いて連結され該無期限軌道４２に沿って移
動自在に設けられている。この二つの無限軌道４２上に
設けられた複数の棚２の各々は、互いに向かい合った際
に同じ高さに位置するように同期し、対向する２つの棚
が一組になって複数の基板１を支持できるように設けら
れている。そして、この無限軌道４２と該無限軌道４２
上に設けられた複数の棚２から成る板状体の搬入装置４
１は、複数の棚２の移動経路が前記吸着装置１０および
支持機構１５の下方を通過するように配設されている。
また、前記複数の棚２は載置された基板１を順次所定の
高さ（最上位置）まで搬送するために、間欠的に移動す
る。

【００１７】このため、複数の基板１を、該基板の供給
装置に連続して搬入することが可能となり、基板の供給
装置を停止することなく連続して運転することができ
る。なお、この一つの無限軌道４２は並列された二つの
チェーン４３と、各チェーン４３を上下方向に張設する
上下に配設された二つのスプロケット４６とによって構
成されている。また、図３に示すように、上方および下
方において互いに対向する二つのスプロケット４６は、
シャフト４８によって連結されており、これらは同時に
回転する。このシャフト４８は軸受け４７によって、回
転自在に軸着されており、４９はテンションローラであ
り、これによって、チェーン４３を適切に張設できる。
チェーン４３を作動させるには、駆動モータ５０の駆動
力をチェーンおよび回転方向変換ギア５３等を介し、上
方のシャフト４８の同軸上に固定されたスプロケット５
６に伝達された動力によってシャフト４８を回転させれ
ばよい。なお、５１は駆動スプロケット、５２は従動ス
プロケット、５４および５５は動力を伝達するチェーン
である。

【００１８】図２に示されているように、吸着装置１０
は、直線上に所定の間隔を置いて配設された複数の吸着
ヘッド１２によって構成されている。装置の架台には、
基板１の幅を検出するセンサが設けられており、このセ
ンサによる信号によって、供給された基板１の幅に相当
する部分のみの吸着ヘッド１２が基板１を吸着するよう
に、使用されない吸着ヘッドと吸引装置（バキュームポ
ンプ）間の通路に設けられたバルブが自動的に閉塞する
ように設けられている。このため、吸引装置を無駄なく
利用でき、真空度を急速に高めることができるため、吸
着を確実に且つ短時間に行うことができる。

【００１９】図１および図３に示すように、３８は搬送
ローラであり、搬送モータ４０によって回転され、載置
された基板１を次工程のラインに搬送することができ
る。なお、この搬送ローラ３８は本装置側に形成されて
いるが、次工程のラインを形成する一部分として設けら
れてもよい。また、６０はガイドシャフトであり、積層
された基板１が無限軌道４２によって上方に搬送される
際に、吸着装置１０の吸着ヘッド１２の先端が基板１の
端縁部付近の狭い表面に確実に当接できるように、所定
の位置に揃えられるように基板１の端縁位置をガイドす
るように設けられている。すなわち、図３に示すよう
に、ガイドシャフト６０の上部において、ガイドシャフ
ト６０が積層された基板１の側に若干覆い被さるように
傾斜されている。このため、基板１は、上昇する際にガ
イドシャフト６０の傾斜に案内されて、その端縁が確実
に揃えられる。

【００２０】次に、本実施例の作用について説明する。
先ず、対向する一対の棚２によって形成される複数の載
置部へ複数の基板１からなる基板１のロットが各々搬入
・載置され、棚２は無限軌道４２を作動させる動力によ
って間欠的に上方へ移動させられる。図３によれば、基
板１のロットが同時に載置できる棚２の段は、４段にな
っており、これらの棚２は無限軌道に固定されているた
め、連続的に基板１を搬入することが可能となってい
る。次に、基板１が吸着装置１０と支持機構１５の下方
の所定の位置まで搬送されると、吸着装置１０がシリン
ダ２４によって下降し、吸着ヘッド１２が基板１の端縁
部付近の表面に当接して基板１を吸着する。そして、吸
着装置１０が、基板１を吸着した状態でシリンダ２４に
よって図１に示す１０ａの位置まで上昇される。次に、
吸着装置１０に対して次工程のライン側に位置していた
支持部材１４が、第１ロッドレスシリンダ２０によって
図１に示す１４ａの位置まで、基板１の下面にローラ１
８が接触・回転しつつ移動する。これによって、一枚の
基板１のみが、吸着装置１０と支持機構１５とによって
上方に保持された状態になる。

【００２１】この吸着装置１０と支持機構１５とは、装
着部２２等を介して第２ロッドレスシリンダ３０に装着
されており、基板１の供給方向へ移動され、基板１を保
持しつつ、吸着装置１０が図１に示すように１０ｂの位
置まで移動される。そして、吸着装置１０は、支持機構
１５と共にシリンダ２４によって下降され、図１に示す
ように吸着装置が１０ｃの位置まで移動され、基板１が
複数の搬送ローラ３８上に基板１を載置される。このと
き、吸着装置１０による基板１の吸着が解除されるよう
に同期されている。次に、基板１は、搬送ローラ３８の
回転によって、次工程のラインに供給されるのである。
その搬送ローラ３８によって基板１が搬送される際に
は、吸着装置１０と支持機構１５とが、シリンダ２４に
よって上昇され、第２ロッドレスシリンダ３０によって
初期の位置まで戻されるのである。以上の工程を繰り返
すことによって、基板１が一枚ずつ次工程のラインへ供
給されるのである。

【００２２】以上の実施例においは、基板１の次工程ラ
イン側の端縁部近傍表面を吸着したが、これに限られる
ことはなく、基板１が吸着される位置は任意に設定する
ことが可能である。以上、本発明につき好適な実施例を
挙げて種々説明してきたが、本発明はこの実施例に限定
されるものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で
多くの改変を施し得るのは勿論のことである。

【００２３】

【発明の効果】本発明の板状体の供給装置によれば、吸
着装置によって板状体を吸着して板状体を持ち上げ、こ
の板状体が持ち上げられた側から支持部材が第１移動装
置により板状体の下側に入り込んで板状体を支持するこ
とで、板状体が保持される。そして、吸着装置および支
持部材によって保持された板状体を、次工程のライン方
向へ移動する第２移動装置によって、次工程のラインへ
確実に供給することができる。このため、吸着装置の当
接可能な表面部が狭く限定された板状体に対しても、確
実に板状体を一枚ずつ保持して、確実に次工程のライン
に供給することができるという著効を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる板状体の供給装置の一実施例の
主要部を示す側面図。

【図２】本発明にかかる板状体の供給装置の一実施例を
示す背面図。

【図３】図２にかかる板状体の供給装置の側面図。

【符号の説明】

１ 板状体 ２ 棚 １０ 吸着装置 １２ 吸着ヘッド １４ 支持部材 １５ 支持装置 １６ ローラ軸 １８ ローラ ２０ 第１ロッドレスシリンダ ２２ 装着部 ２４ シリンダ ３０ 第２ロッドレスシリンダ ３６ 第３ロッドレスシリンダ ３８ 搬送ローラ ４０ 搬送モータ ４２ 無限軌道 ４３ チェーン ４６ スプロケット ４８ シャフト

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板状体を次工程のラインへ自動的に供給
   する板状体の供給装置において、 積層されて載置された板状体の上方に位置し、板状体の
   表面の一部に当接して該板状体を吸着する吸着装置と、 前記吸着装置によって吸着した板状体の一端側を持ち上
   げ可能に、前記吸着装置を上下動させる上下動装置と、 前記吸着装置が板状体を吸着して前記上下動装置によっ
   て板状体を持ち上げた際に、該板状体が持ち上げられた
   側から板状体の下方に入り込み、板状体の下面に当接し
   て板状体をほぼ水平になるように支持する支持部材と、 前記支持部材を板状体の下側で自在に移動させる第１移
   動装置と、 前記板状体を保持する吸着装置、上下動装置および支持
   部材を、次工程のライン方向へ移動させる第２移動装置
   とを具備することを特徴とする板状体の供給装置。
2. 【請求項２】 板状体の支持部材の板状体を支持する部
   位が板状体の中央付近に位置するように、該支持部材の
   移動経路上に支持部材に当接して支持部材の移動を規制
   するストッパーが設けられたことを特徴とする請求項１
   記載の板状体の供給装置。
3. 【請求項３】 吸着装置、上下動装置および支持部材
   を、板状体が次工程のラインへ供給される方向に直交す
   る方向へ移動自在に移動させる第３移動装置を具備する
   ことを特徴とする請求項１記載の板状体の供給装置。
4. 【請求項４】 積層された複数枚の板状体が載置可能に
   形成された複数の棚が無限軌道上に所定の間隔を置いて
   連結され、該棚の移動経路が前記吸着装置の下方を通過
   するよう配設されて板状体の搬入装置を具備することを
   特徴とする請求項１記載の板状体の供給装置。
5. 【請求項５】 直線上に所定の間隔を置いて配設された
   複数の吸着ヘッドを有する吸着装置であって、板状体の
   幅を検出するセンサによって、供給された板状体の幅に
   相当する部分のみの吸着ヘッドが板状体を吸着する吸着
   装置を具備することを特徴とする請求項１記載の板状体
   の供給装置。