JPH0760217B2 - 透過型顕微鏡 - Google Patents
透過型顕微鏡Info
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- JPH0760217B2 JPH0760217B2 JP2133152A JP13315290A JPH0760217B2 JP H0760217 B2 JPH0760217 B2 JP H0760217B2 JP 2133152 A JP2133152 A JP 2133152A JP 13315290 A JP13315290 A JP 13315290A JP H0760217 B2 JPH0760217 B2 JP H0760217B2
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- objective lens
- lens
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、試料を透過した光により当該試料を観察す
る透過型顕微鏡に関する。
る透過型顕微鏡に関する。
試料を透過した光により当該試料を観察する透過型顕微
鏡として、共焦点型レーザ走査顕微鏡が知られている。
共焦点型レーザ走査顕微鏡は、例えば、微小スポット状
に収束した光ビームを２個のスキャナで２次元的に偏向
して試料面を高速で走査し、試料からの透過光をフォト
マル等の受光素子で検出し、試料からの光学情報を電気
信号として得るように構成されている（特開昭61−1210
22）。
鏡として、共焦点型レーザ走査顕微鏡が知られている。
共焦点型レーザ走査顕微鏡は、例えば、微小スポット状
に収束した光ビームを２個のスキャナで２次元的に偏向
して試料面を高速で走査し、試料からの透過光をフォト
マル等の受光素子で検出し、試料からの光学情報を電気
信号として得るように構成されている（特開昭61−1210
22）。
落射照明型顕微鏡は、従来から透過型顕微鏡としては使
用されていなかったが、試料像を拡大する為に対物レン
ズと接眼レンズを備え、これらのレンズの間に落射照明
系が配置された構造を有する。この落射照明系により光
が試料に照射され、その反射像により試料が観察され
る。
用されていなかったが、試料像を拡大する為に対物レン
ズと接眼レンズを備え、これらのレンズの間に落射照明
系が配置された構造を有する。この落射照明系により光
が試料に照射され、その反射像により試料が観察され
る。
しかしながら、前述した反射型顕微鏡によると、生物試
料等の透過型生態試料を観察する場合、透過像の明暗差
が小さく、像のコントラストが低いという問題があっ
た。
料等の透過型生態試料を観察する場合、透過像の明暗差
が小さく、像のコントラストが低いという問題があっ
た。
また、励起光を試料に照射して得られる蛍光等は一般に
その光量レベルが低く、このような微弱光を効率良く検
出することができないという問題があった。
その光量レベルが低く、このような微弱光を効率良く検
出することができないという問題があった。
そこで本発明は、上記問題を解決することを目的とす
る。
る。
上記課題を達成する為、本発明は試料を透過した光によ
り当該試料を観察する透過型顕微鏡であって、上記試料
に光を照射する落射照明光学系と、上記試料を透過した
光を平行光にする無限遠補正対物レンズと、上記無限遠
補正対物レンズの射出瞳位置に配設されたコーナキュー
ブリフレクタとを含んで構成されていることを特徴とす
る。
り当該試料を観察する透過型顕微鏡であって、上記試料
に光を照射する落射照明光学系と、上記試料を透過した
光を平行光にする無限遠補正対物レンズと、上記無限遠
補正対物レンズの射出瞳位置に配設されたコーナキュー
ブリフレクタとを含んで構成されていることを特徴とす
る。
本発明の透過型顕微鏡によると、試料を透過することに
より光学情報を得た一点からの光は、無限遠補正対物レ
ンズを透過して平行光になる。この平行光はコーナキュ
ーブリフレクタで３回反射され、再び、無限遠補正対物
レンズに入射する。無限遠補正対物レンズから出射され
た光は、最初に光が透過した試料の同一位置にスポット
を結ぶので、試料に対する光学情報はほぼ２乗に増強さ
れる。
より光学情報を得た一点からの光は、無限遠補正対物レ
ンズを透過して平行光になる。この平行光はコーナキュ
ーブリフレクタで３回反射され、再び、無限遠補正対物
レンズに入射する。無限遠補正対物レンズから出射され
た光は、最初に光が透過した試料の同一位置にスポット
を結ぶので、試料に対する光学情報はほぼ２乗に増強さ
れる。
以下、本発明に係る透過型顕微鏡を添附図面に基づき説
明する。なお、説明において同一要素には同一符号を使
用し、重複する説明は省略する。
明する。なお、説明において同一要素には同一符号を使
用し、重複する説明は省略する。
まず、第１図に基づき、本発明に係る透過型顕微鏡の第
１実施例として、共焦点型レーザ走査顕微鏡を説明す
る。この共焦点型走査顕微鏡には、レーザ光源１の光照
射方向に沿って、集光レンズ２、ピンホールが形成され
たピンホール板３及びハーフミラー４がほぼ一列に配列
されている。その為、レーザ光源１から出射されたレー
ザ光は集光レンズ２により集光され、ピンホール板３の
ピンホールに入射する。ハーフミラー４はレーザ光源１
の光照射方向に対して鏡面がほぼ45度傾斜して配置され
ているので、ピンホール板３から出射された光はハーフ
ミラー４により入射光路に対してほぼ直角方向に反射さ
れる。
１実施例として、共焦点型レーザ走査顕微鏡を説明す
る。この共焦点型走査顕微鏡には、レーザ光源１の光照
射方向に沿って、集光レンズ２、ピンホールが形成され
たピンホール板３及びハーフミラー４がほぼ一列に配列
されている。その為、レーザ光源１から出射されたレー
ザ光は集光レンズ２により集光され、ピンホール板３の
ピンホールに入射する。ハーフミラー４はレーザ光源１
の光照射方向に対して鏡面がほぼ45度傾斜して配置され
ているので、ピンホール板３から出射された光はハーフ
ミラー４により入射光路に対してほぼ直角方向に反射さ
れる。
この反射光の進行方向に沿って、コリメータレンズ５お
よびＸ方向光偏向器６がほぼ一列に配列されている。ハ
ーフミラー４により反射された光はコリメータレンズ５
により平行化され、Ｘ方向光偏向器６に入射する。Ｘ方
向光偏向器６は、その回転軸がＺ軸方向（Ｘ軸およびＹ
軸に直交する方向）に配置されているので、照射光は試
料12に対してＸ方向に振られる。
よびＸ方向光偏向器６がほぼ一列に配列されている。ハ
ーフミラー４により反射された光はコリメータレンズ５
により平行化され、Ｘ方向光偏向器６に入射する。Ｘ方
向光偏向器６は、その回転軸がＺ軸方向（Ｘ軸およびＹ
軸に直交する方向）に配置されているので、照射光は試
料12に対してＸ方向に振られる。
Ｘ方向光偏向器６の出射側には、リレーレンズ７、８及
びＹ方向光偏向器９がほぼ一列に配列されている。その
為、Ｘ方向光偏向器６から出射された光はリレーレンズ
７、８を介してＹ方向光偏向器９に入射される。Ｙ方向
光偏向器９は、その回転軸がＸ軸方向に配置されている
ので、照射光は試料12に対してＹ方向に振られる。結
局、試料12に照射される光はＸ方向に高速でスキャンさ
れると共にＹ方向にスキャンされる。
びＹ方向光偏向器９がほぼ一列に配列されている。その
為、Ｘ方向光偏向器６から出射された光はリレーレンズ
７、８を介してＹ方向光偏向器９に入射される。Ｙ方向
光偏向器９は、その回転軸がＸ軸方向に配置されている
ので、照射光は試料12に対してＹ方向に振られる。結
局、試料12に照射される光はＸ方向に高速でスキャンさ
れると共にＹ方向にスキャンされる。
Ｙ方向光偏向器９の出射側には、結像レンズ10、対物レ
ンズ11及び試料12が配列されている。結像レンズ10は対
物レンズ11の前側像面にスポットを結ぶように配置され
ており、このスポットにより形成された、いわば仮想光
源からの光が対物レンズ11に入射する。対物レンズ11か
ら出射された光は、回折限界まで絞り込まれたスポット
になり、試料12上をＸ方向及びＹ方向へ２次元的にスキ
ャンする。
ンズ11及び試料12が配列されている。結像レンズ10は対
物レンズ11の前側像面にスポットを結ぶように配置され
ており、このスポットにより形成された、いわば仮想光
源からの光が対物レンズ11に入射する。対物レンズ11か
ら出射された光は、回折限界まで絞り込まれたスポット
になり、試料12上をＸ方向及びＹ方向へ２次元的にスキ
ャンする。
試料12の透過側には、無限遠補正対物レンズ13、テレセ
ントリック結像レンズ14及び平面鏡15が配列されてい
る。無限遠補正対物レンズ13は、その前側焦点に試料12
が位置し、その後側焦点にテレセントリック結像レンズ
14の前側焦点が位置するように配置されている。さら
に、テレセントリック結像レンズ14の後側焦点には、そ
の鏡面が光軸に対して直交する方向に平面鏡15が配置さ
れている。その為、テレセントリック結像レンズ14は無
限遠補正対物レンズ13の光軸に対して平行な主光線を有
する光を平面鏡15に向けて出射し、テレセントリック結
像レンズ14からの出射光により平面鏡15には試料12の実
像が結ばれる。
ントリック結像レンズ14及び平面鏡15が配列されてい
る。無限遠補正対物レンズ13は、その前側焦点に試料12
が位置し、その後側焦点にテレセントリック結像レンズ
14の前側焦点が位置するように配置されている。さら
に、テレセントリック結像レンズ14の後側焦点には、そ
の鏡面が光軸に対して直交する方向に平面鏡15が配置さ
れている。その為、テレセントリック結像レンズ14は無
限遠補正対物レンズ13の光軸に対して平行な主光線を有
する光を平面鏡15に向けて出射し、テレセントリック結
像レンズ14からの出射光により平面鏡15には試料12の実
像が結ばれる。
なお、上記ハーフミラー４としてダイクロイックミラー
を使用することができ、Ｘ方向光偏向器６、Ｙ方向光偏
向器９としてガルバノミラーを利用したスキャナ（Galv
ano Metric Scanner）や回転多面鏡を利用したスキャナ
（Rotary Polygonal Scanner）を使用することができ
る。
を使用することができ、Ｘ方向光偏向器６、Ｙ方向光偏
向器９としてガルバノミラーを利用したスキャナ（Galv
ano Metric Scanner）や回転多面鏡を利用したスキャナ
（Rotary Polygonal Scanner）を使用することができ
る。
次に、上記実施例に係る共焦点型レーザ走査顕微鏡の作
用を説明する。
用を説明する。
レーザ光源１から出射されたレーザ光は集光レンズ２で
集光され、平行光とされた後に、Ｘ方向光偏向器６およ
びＹ方向光偏向器９によってＸ、Ｙ方向に振られる。
Ｘ、Ｙ方向に振られた光は、結像レンズ10により対物レ
ンズ11の前側像面にスポットを結ぶ。これは、Ｘ、Ｙ方
向に振られる仮想光源ともいうべきもので、ここからの
光は対物レンズ11に入射する。出射された光は、回折限
界まで絞り込まれたスポットになって試料12上を二次元
的にスキャンする。試料12を透過した光は無限遠補正対
物レンズ13により平行光となり、その後、テレセントリ
ック結像レンズ14に入射する。テレセントリック結像レ
ンズ14は、光束の主光線が光軸に対して平行になるよう
に、平面鏡15に向けて光を出射する。平面鏡15はテレセ
ントリック結像レンズ14から出射された光を反射し、再
び、その反射光をテレセントリック結像レンズ14に入射
する。テレセントリック結像レンズ14から出射された光
は、無限遠補正対物レンズ13に入射し、無限遠補正対物
レンズ13によって試料12の同一位置に形成されたスポッ
ト光により試料12を反対方向から照明する。このよう
に、光が試料を２回通過する為、透過像の明暗差がより
明確になり、像のコントラストを増強することができ
る。さらに、試料12を２回通過した透過光は対物レンズ
11に入射し、照明光が通過した光の経路を逆方向に辿
り、ハーフミラー４まで到達する。この透過光はハーフ
ミラー４を透過し、ピンホール板３と共役の位置に置か
れたピンホール板16のピンホールに入射し、その後、ホ
トディテクタ17により検出される。
集光され、平行光とされた後に、Ｘ方向光偏向器６およ
びＹ方向光偏向器９によってＸ、Ｙ方向に振られる。
Ｘ、Ｙ方向に振られた光は、結像レンズ10により対物レ
ンズ11の前側像面にスポットを結ぶ。これは、Ｘ、Ｙ方
向に振られる仮想光源ともいうべきもので、ここからの
光は対物レンズ11に入射する。出射された光は、回折限
界まで絞り込まれたスポットになって試料12上を二次元
的にスキャンする。試料12を透過した光は無限遠補正対
物レンズ13により平行光となり、その後、テレセントリ
ック結像レンズ14に入射する。テレセントリック結像レ
ンズ14は、光束の主光線が光軸に対して平行になるよう
に、平面鏡15に向けて光を出射する。平面鏡15はテレセ
ントリック結像レンズ14から出射された光を反射し、再
び、その反射光をテレセントリック結像レンズ14に入射
する。テレセントリック結像レンズ14から出射された光
は、無限遠補正対物レンズ13に入射し、無限遠補正対物
レンズ13によって試料12の同一位置に形成されたスポッ
ト光により試料12を反対方向から照明する。このよう
に、光が試料を２回通過する為、透過像の明暗差がより
明確になり、像のコントラストを増強することができ
る。さらに、試料12を２回通過した透過光は対物レンズ
11に入射し、照明光が通過した光の経路を逆方向に辿
り、ハーフミラー４まで到達する。この透過光はハーフ
ミラー４を透過し、ピンホール板３と共役の位置に置か
れたピンホール板16のピンホールに入射し、その後、ホ
トディテクタ17により検出される。
上記実施例によると、Ｘ方向光偏向器、Ｙ方向光偏向器
によってスキャンされた情報とホトディテクタからの出
力により２次元の共焦点透過光像を作り出すことができ
る。
によってスキャンされた情報とホトディテクタからの出
力により２次元の共焦点透過光像を作り出すことができ
る。
また、通常の反射型の共焦点型レーザ走査顕微鏡に無限
遠補正対物レンズ、テレセントリック結像レンズ及び平
面鏡を付加することにより、簡単に透過型の共焦点型レ
ーザ走査顕微鏡に転換することができる。
遠補正対物レンズ、テレセントリック結像レンズ及び平
面鏡を付加することにより、簡単に透過型の共焦点型レ
ーザ走査顕微鏡に転換することができる。
次に、第２図に基づき、本発明の第２実施例に係る落射
照明系を利用した透過型顕微鏡を説明する。
照明系を利用した透過型顕微鏡を説明する。
第１実施例に係る共焦点型レーザ走査顕微鏡と比べて、
試料12に照明光を導く光学系の構成が異なっているが、
試料12、無限遠補正対物レンズ13、テレセントリック結
像レンズ14及び平面鏡15の配置は同一なので説明は省略
する。この透過型顕微鏡によると、試料12と観察者18の
間には接眼レンズ19及び対物レンズ20が配列されてお
り、接眼レンズ19と対物レンズ20の間には落射照明系Ａ
が配列されている。落射照明系Ａは例えばビームスプリ
ッタ21、レンズ22及び落射照明用光源23を備えて構成さ
れており、落射照明用光源23からの光はレンズ22を透過
し、ビームスプリッタ21で対物レンズ20に向けて反射さ
れる。この場合、均一な照明を得る為に落射照明系Ａと
してケーラ照明系を使用してもよい。
試料12に照明光を導く光学系の構成が異なっているが、
試料12、無限遠補正対物レンズ13、テレセントリック結
像レンズ14及び平面鏡15の配置は同一なので説明は省略
する。この透過型顕微鏡によると、試料12と観察者18の
間には接眼レンズ19及び対物レンズ20が配列されてお
り、接眼レンズ19と対物レンズ20の間には落射照明系Ａ
が配列されている。落射照明系Ａは例えばビームスプリ
ッタ21、レンズ22及び落射照明用光源23を備えて構成さ
れており、落射照明用光源23からの光はレンズ22を透過
し、ビームスプリッタ21で対物レンズ20に向けて反射さ
れる。この場合、均一な照明を得る為に落射照明系Ａと
してケーラ照明系を使用してもよい。
次に、上記実施例に係る透過型顕微鏡の作用を説明す
る。落射照明系Ａからの光は対物レンズ20により集光さ
れ試料12上に照射される。また、試料12を透過した光は
試料12に関する光情報を得て、無限遠補正対物レンズ13
に入射し、無限遠補正対物レンズ13によって平行光に変
えられる。その後、この平行光はテレセントリック結像
レンズ14に入射し、その光束の主光線がテレセントリッ
ク結像レンズ14の光軸に対して平行になるように平面鏡
15に入射する。この入射光は平面鏡15により反射された
後、テレセントリック結像レンズ14によりほぼ平行光に
変えられる。この平行光は無限遠補正対物レンズ13に入
射し、無限遠補正対物レンズ13により試料12の同一位置
にスポットを形成し、最初に照明光が入射した同一位置
を反対側から照射する。試料12を反対側から透過した光
は、再び、試料12に関する光学情報を得て、対物レンズ
20に入射する。このように光が試料の同一位置を２回通
過することから、透過像の明暗差が大きくなりコントラ
ストが増強される。対物レンズ20からの光は、ビームス
プリッタ21を透過して接眼レンズ19に入射し、観察光が
観察者18により観察される。
る。落射照明系Ａからの光は対物レンズ20により集光さ
れ試料12上に照射される。また、試料12を透過した光は
試料12に関する光情報を得て、無限遠補正対物レンズ13
に入射し、無限遠補正対物レンズ13によって平行光に変
えられる。その後、この平行光はテレセントリック結像
レンズ14に入射し、その光束の主光線がテレセントリッ
ク結像レンズ14の光軸に対して平行になるように平面鏡
15に入射する。この入射光は平面鏡15により反射された
後、テレセントリック結像レンズ14によりほぼ平行光に
変えられる。この平行光は無限遠補正対物レンズ13に入
射し、無限遠補正対物レンズ13により試料12の同一位置
にスポットを形成し、最初に照明光が入射した同一位置
を反対側から照射する。試料12を反対側から透過した光
は、再び、試料12に関する光学情報を得て、対物レンズ
20に入射する。このように光が試料の同一位置を２回通
過することから、透過像の明暗差が大きくなりコントラ
ストが増強される。対物レンズ20からの光は、ビームス
プリッタ21を透過して接眼レンズ19に入射し、観察光が
観察者18により観察される。
なお、この実施例では接眼レンズ19を使用しているが、
接眼レンズ19の代わりにTVカメラを使用してもよい。
接眼レンズ19の代わりにTVカメラを使用してもよい。
このように、通常の落射照明型顕微鏡に、無限遠補正対
物レンズ13、テレセントリック結像レンズ14及び平面鏡
15を追加すれば、簡単に透過型顕微鏡に転換することが
できる。
物レンズ13、テレセントリック結像レンズ14及び平面鏡
15を追加すれば、簡単に透過型顕微鏡に転換することが
できる。
次に、第３図に基づき、本発明の第３実施例に係る落射
照明系を利用した透過型顕微鏡を説明する。第２実施例
に係る透過型顕微鏡と比べて、この透過型顕微鏡は試料
12の透過光が再び試料12に戻るまでの光学系の構成は異
なるが、落射照明系、接眼レンズの構成は基本的に同一
なので説明は省略する。この透過型顕微鏡は、無限遠補
正対物レンズ24の焦点が試料12に合致するように配置さ
れており、無限遠補正対物レンズ24の射出瞳面にはコー
ナキューブリフレクタ（レトロリフレクタ）25が配置さ
れている点に特徴がある。その為、試料12を透過した光
は無限遠補正対物レンズ24によって平行光に変えられ、
コーナーキューブリフレクタ25により反射され、再び、
試料12を裏側より照射する。
照明系を利用した透過型顕微鏡を説明する。第２実施例
に係る透過型顕微鏡と比べて、この透過型顕微鏡は試料
12の透過光が再び試料12に戻るまでの光学系の構成は異
なるが、落射照明系、接眼レンズの構成は基本的に同一
なので説明は省略する。この透過型顕微鏡は、無限遠補
正対物レンズ24の焦点が試料12に合致するように配置さ
れており、無限遠補正対物レンズ24の射出瞳面にはコー
ナキューブリフレクタ（レトロリフレクタ）25が配置さ
れている点に特徴がある。その為、試料12を透過した光
は無限遠補正対物レンズ24によって平行光に変えられ、
コーナーキューブリフレクタ25により反射され、再び、
試料12を裏側より照射する。
以下、上記実施例に係る透過型顕微鏡の作用を説明す
る。落射照明系Ａからの光は対物レンズ20により集光さ
れ試料12上に照射される。また、試料12を透過した光は
試料12に関する光情報を得て無限遠補正対物レンズ24に
入射し、無限遠補正対物レンズ24によって平行光に変え
られる。その後、この平行光はコーナーキューブリフレ
クタ25に入射し、鏡面で３回反射されて無限遠補正対物
レンズ24に再び入射する。無限遠補正対物レンズ24から
出射された光は試料12の同一位置にスポットを形成し、
最初に照明光が入射した同一位置を反対側から照射す
る。試料12を反対側から透過した光は再び試料12に関す
る同一の透過情報を得て、対物レンズ20に入射する。こ
のように、観察者により観察される戻り光は２度にわた
り試料12の同一位置を透過するので透過像の明暗差が大
きくなり、コントラストが増強される。対物レンズ20か
らの光はビームスプリッタ21を透過して接眼レンズ19に
入射し、観察光が観察者18により観察される。
る。落射照明系Ａからの光は対物レンズ20により集光さ
れ試料12上に照射される。また、試料12を透過した光は
試料12に関する光情報を得て無限遠補正対物レンズ24に
入射し、無限遠補正対物レンズ24によって平行光に変え
られる。その後、この平行光はコーナーキューブリフレ
クタ25に入射し、鏡面で３回反射されて無限遠補正対物
レンズ24に再び入射する。無限遠補正対物レンズ24から
出射された光は試料12の同一位置にスポットを形成し、
最初に照明光が入射した同一位置を反対側から照射す
る。試料12を反対側から透過した光は再び試料12に関す
る同一の透過情報を得て、対物レンズ20に入射する。こ
のように、観察者により観察される戻り光は２度にわた
り試料12の同一位置を透過するので透過像の明暗差が大
きくなり、コントラストが増強される。対物レンズ20か
らの光はビームスプリッタ21を透過して接眼レンズ19に
入射し、観察光が観察者18により観察される。
上記実施例によると、反射照明用の光源を利用して透過
像を観察することができ、無限遠補正対物レンズ24及び
コーナキューブリフレクタ25を付加することにより、簡
単に通常の落射照明型顕微鏡を透過型顕微鏡に転換する
ことができる。
像を観察することができ、無限遠補正対物レンズ24及び
コーナキューブリフレクタ25を付加することにより、簡
単に通常の落射照明型顕微鏡を透過型顕微鏡に転換する
ことができる。
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではない。
例えば、第２実施例又は第３実施例に係る透過型顕微鏡
の光源としてレーザを使用し、さらにピンホールを追加
することにより、共焦点型顕微鏡に転換することができ
る。
の光源としてレーザを使用し、さらにピンホールを追加
することにより、共焦点型顕微鏡に転換することができ
る。
また、照射光が試料を励起することにより生じる蛍光
は、２回にわたる照射光の透過により試料が２回励起さ
れてそれぞれ生じ、これらは共に、対物レンズにより捕
捉される。その為、フィルタ等を用いてこれら光量が増
大された蛍光をホトディテクタにより検出することがで
きる。
は、２回にわたる照射光の透過により試料が２回励起さ
れてそれぞれ生じ、これらは共に、対物レンズにより捕
捉される。その為、フィルタ等を用いてこれら光量が増
大された蛍光をホトディテクタにより検出することがで
きる。
さらに、試料に光が照射されることにより発生する反射
光、散乱光は対物レンズにより捕捉され、照明光が透過
した光の経路を逆方向に辿ってハーフミラー４まで到達
するのでホトディテクタにより検出することができる。
光、散乱光は対物レンズにより捕捉され、照明光が透過
した光の経路を逆方向に辿ってハーフミラー４まで到達
するのでホトディテクタにより検出することができる。
本発明は以上説明したように構成されているので、光が
試料を２回通過するので、透過像の明暗差が大きくなり
コントラストが向上する。
試料を２回通過するので、透過像の明暗差が大きくなり
コントラストが向上する。
また、照射光が試料の同一位置を２回透過することによ
り試料は照射光により２度励起され、微弱な蛍光などの
光を効率良く検出することがきる。
り試料は照射光により２度励起され、微弱な蛍光などの
光を効率良く検出することがきる。
第１図は本発明の第１実施例に係る共焦点型レーザ走査
顕微鏡を示す概略図、第２図は本発明の第２実施例に係
る落射照明型顕微鏡を示す概略図、第３図は本発明の第
３実施例に係る落射照明型顕微鏡を示す概略図である。 １…レーザ光源、２…集光レンズ、３…ピンホール、４
…ハーフミラー、５…コリメータレンズ、６…Ｘ方向偏
光器、７、８…リレーレンズ、９…Ｙ方向偏光器、10…
結像レンズ、11…対物レンズ、12…試料、13、24…無限
遠補正対物レンズ、14…テレセントリック結像レンズ、
15…平面鏡、16…ピンホール、17…ホトディテクタ、18
…観察者、19…接眼レンズ、20…対物レンズ、21…ビー
ムスプリッタ、22…レンズ、23…落射照明用光源、25…
コーナキューブリフレクタ（レトロリフレクタ）。
顕微鏡を示す概略図、第２図は本発明の第２実施例に係
る落射照明型顕微鏡を示す概略図、第３図は本発明の第
３実施例に係る落射照明型顕微鏡を示す概略図である。 １…レーザ光源、２…集光レンズ、３…ピンホール、４
…ハーフミラー、５…コリメータレンズ、６…Ｘ方向偏
光器、７、８…リレーレンズ、９…Ｙ方向偏光器、10…
結像レンズ、11…対物レンズ、12…試料、13、24…無限
遠補正対物レンズ、14…テレセントリック結像レンズ、
15…平面鏡、16…ピンホール、17…ホトディテクタ、18
…観察者、19…接眼レンズ、20…対物レンズ、21…ビー
ムスプリッタ、22…レンズ、23…落射照明用光源、25…
コーナキューブリフレクタ（レトロリフレクタ）。
Claims (1)
- 【請求項１】試料を透過した光により当該試料を観察す
る透過型顕微鏡であって、 前記試料に光を照射する落射照明光学系と、 前記試料を透過した光を平行光にする無限遠補正対物レ
ンズと、 前記無限遠補正対物レンズの射出瞳位置に配設されたコ
ーナキューブリフレクタとを含んで構成されていること
を特徴とする透過型顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2133152A JPH0760217B2 (ja) | 1990-05-23 | 1990-05-23 | 透過型顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2133152A JPH0760217B2 (ja) | 1990-05-23 | 1990-05-23 | 透過型顕微鏡 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10248202A Division JP3113232B2 (ja) | 1998-09-02 | 1998-09-02 | 顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0427909A JPH0427909A (ja) | 1992-01-30 |
| JPH0760217B2 true JPH0760217B2 (ja) | 1995-06-28 |
Family
ID=15097926
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2133152A Expired - Lifetime JPH0760217B2 (ja) | 1990-05-23 | 1990-05-23 | 透過型顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0760217B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002040329A (ja) * | 2000-07-25 | 2002-02-06 | Lasertec Corp | コンフォーカル顕微鏡 |
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| JP5829031B2 (ja) * | 2011-03-25 | 2015-12-09 | オリンパス株式会社 | 微弱光観察顕微鏡及び微弱光取得方法 |
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Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3204686A1 (de) * | 1982-02-11 | 1983-08-18 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Optisches system zur durchlichtmikroskopie bei auflichtbeleuchtung |
| JP2571859B2 (ja) * | 1989-12-18 | 1997-01-16 | オリンパス光学工業株式会社 | 走査型光学顕微鏡 |
-
1990
- 1990-05-23 JP JP2133152A patent/JPH0760217B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0427909A (ja) | 1992-01-30 |
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