JPH10142507A - レーザ走査顕微鏡 - Google Patents

レーザ走査顕微鏡

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JPH10142507A
JPH10142507A JP29893396A JP29893396A JPH10142507A JP H10142507 A JPH10142507 A JP H10142507A JP 29893396 A JP29893396 A JP 29893396A JP 29893396 A JP29893396 A JP 29893396A JP H10142507 A JPH10142507 A JP H10142507A
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JP
Japan
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optical system
light beam
laser
scanning
light
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JP29893396A
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Shingo Kashima
伸悟 鹿島
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Olympus Corp
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Olympus Optical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 レーザ光の波長が変わった場合でも色収差に
よる合焦エラー補正すことができ、高速で画像を得るこ
とができ、且つ3次元的にランダムな位置で多光子吸収
を起こさせる得るレーザ走査顕微鏡を提供する。 【解決手段】 近赤外域の波長のサブピコ秒の単色コヒ
ーレント光パルスを発するレーザ光源1と、レーザ光源
からの光束を所望の大きさに変える光束変換光学系2
と、光束変換光学系で変換された光束を対物レンズの像
面に集光し走査させる走査光学系3と、集光された上記
変換光束を標本面5上に投影する対物レンズ系4とを備
えている。光束変換光学系2は2群構成であり、群間隔
が可変であるように構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、近赤外パルスレー
ザを標本面上に集光し走査させて、そこでの多光子吸収
により励起されて発生する蛍光を検出することにより像
を得るか、或いは標本面で多光子吸収による化学反応を
起こさせる、所謂多光子励起レーザ走査顕微鏡に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】この種従来のレーザ走査顕微鏡として
は、近赤外域の波長のサブピコ秒の単色コヒーレント
光パルスを発するレーザ光源と、そのレーザ光源からの
光束を対物レンズに入射させるべく指向させるミラー手
段とを備え、対物レンズにより標本面上に集光されたス
ポットが、そこで多光子吸収を起こさせるようにしたも
の(特表平5−503149号:米国特許第50346
13号)や、可視レーザと紫外レーザを同時に用いた
レーザ顕微鏡において、紫外レーザの光路に光束を平行
光でないようにする固定の光学系を配置して、可視レー
ザ光と紫外レーザ光との色収差による合焦エラーを補正
するようにしたもの(特表平6−506238号:米国
特許第5260578号)や、走査光学系の光偏向手
段として同一方向に走査する二つの異なる共振周波数を
持つ共振スキャナと、一つのガルバノメータミラーとを
備え、二つの共振スキャナにより走査の線形性を向上さ
せるようにしたもの(米国特許第5225923号)等
が知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、これら従来
例のうち、のものは、レーザ走査顕微鏡の実際の構成
上極めて重要であるレーザ光のコリメート光学系に関し
て何も記述しておらず、具体性を欠いている。また、
のものは、実質上コリメート光学系は固定されていて可
変でないため、レーザ光の波長が変わった場合等には色
収差による合焦エラーを十分に補正することができな
い。更に、のものは、二つの共振スキャナは高速で走
査できるという長所を持つ反面、走査方向と走査速度に
線形性がなく、また、任意の位置で止めることができな
いという欠点を有している。
【0004】本発明は、従来の技術の有するこのような
問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、レーザ光の波長が変わった場合でも色収差によ
る合焦エラーを十分に補正することができると共に、高
速で画像を得ることができ、且つ3次元的にランダムな
位置で多光子吸収を起こさせ得るようなレーザ走査顕微
鏡を提供しようとするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明によるレーザ走査顕微鏡は、近赤外域の波長
のサブピコ秒の単色コヒーレント光パルスを発するレー
ザ光源と、該レーザ光源からの光束を所望の大きさに変
える光束変換光学系と、該光束変換光学系で変換された
光束を対物レンズの像面に集光し走査させる走査光学系
と、集光された上記変換光束を標本面上に投影する対物
レンズ系を具備しており、上記光束変換光学系は2群構
成で、群間隔が可変であるように構成されている。これ
により、近赤外レーザの波長が変わった場合でも、色収
差による合焦エラーを十分に補正することができ、可視
光による像と同焦の位置で多光子吸収による化学反応を
起こさせることができる。
【0006】また、本発明によれば、上記レーザ走査顕
微鏡は、標本面上に投影された光束により励起されて発
する蛍光を検出する検出光学系を更に備えている。これ
により、近赤外域の波長が変わった場合でも色収差によ
る合焦エラーを十分に補正することができ、可視光によ
る像と同焦な位置に像を得ることができる。
【0007】また、本発明によれば、上記光束変換光学
系の少なくとも1群は変換可能で、変換されるべきレン
ズ群の焦点距離及び焦点位置の少なくとも一方は互いに
異なっている。これにより、近赤外域の波長が変わった
場合でも色収差による合焦エラーを十分に補正すること
ができ、可視光による像と同焦な位置に像を得ること
も、可視光による像と同焦な位置で多光子吸収による化
学反応を起こさせることもできる。
【0008】
【発明の実施の形態】図1は、本発明によるレーザ走査
顕微鏡の基本構成を示す図である。図中、1は近赤外域
の波長のサブピコ秒の単色コヒーレント光パルスを発す
るレーザ光源、2はレーザ光源1からの光束を所望の大
きさに変える光束変換光学系、3は光束変換光学系2で
変換された光束を対物レンズの像面に集光し走査させる
走査光学系、4は集光された変換光束を標本面5上に投
影する対物レンズ系である。
【0009】通常、走査光学系3から対物レンズ系4を
経て標本面6に至るビーム照射光学系は可視光の領域で
しか色収差が補正されていないため、近赤外のレーザ光
を可視のレーザ光を用いる場合と同様に完全にコリメー
トして走査光学系3へ導入すると、色収差により可視の
レーザ光で観察している位置と同焦な位置に近赤外のレ
ーザ光のスポットは形成されない。そのため、レーザ光
源1からの近赤外光の波長と上記ビーム照射光学系の近
赤外域での色収差の発生方向に応じて光束変換光学系2
の構成を変え、光束変換光学系2を出た後の光束を若干
発散または収斂させて色収差を相殺させるようにする。
【0010】図1において、実線で示す光束は完全にコ
リメートされた可視光の光路を、破線で示す光束は若干
収斂光束にされた近赤外光の光路を夫々表わしている
が、以下に記述する実施例においては、図示を簡単にす
るため、光束変換光学系より射出した光束は完全なコリ
メート光として示されている。
【0011】実施例1 図2は本実施例を示す。この実施例においては、近赤外
域の波長のサブピコ秒の単色コヒーレント光パルスを発
するレーザ光源1からの光束は、焦点距離20mmの第1
レンズ群6と焦点距離40mmの第2レンズ7より成る光
束変換光学系2によりビーム径を2倍に拡大される。2
倍に拡大されたコリメート光は、近赤外光を透過し可視
光を反射するダイクロイックミラー8を透過し、近接し
て配置された2枚のガルバノメーターミラー9,10に
より互いに直交する方向に偏向される。これらのガルバ
ノメーターミラー9,10により偏向された光束は、瞳
投影レンズ11によって結像レンズ12と対物レンズ1
3より成る対物レンズ系4の像位置14に集光される。
この場合、瞳投影レンズ11により、近接配置された2
枚のガルバノメーターミラー9,10の中間点が、対物
レンズ系4の瞳位置近傍に投影されていることは言うま
でもない。
【0012】対物レンズ系4の像位置14に集光されラ
スター走査されたスポットは、対物レンズ系4により標
本面5に投影され、標本面5上に微小スポットとなって
ラスター走査する。標本面4で2光子(或いはそれ以上
の多光子)吸収により励起され発生した蛍光は、光路を
逆進し、ダイクロイックミラー8で反射され、検出光学
系15に導入される。検出された蛍光信号は、検出器1
6により電気信号に変換され、図示しない信号処理系を
経てモニタ上に画像として表示される。なお、15′は
標本面5を透過した光を検出する透過検出光学系、1
6′は検出器で検出光学系15及び検出器16と同様の
機能を有する。
【0013】ここで、光束変換光学系2を構成する第1
レンズ群6と第2レンズ群7は、光軸方向に沿って移動
し、その相対距離(間隔)が変えられ得るようになって
いる。第1レンズ群6の後側焦点位置と第2レンズ群7
の前側焦点位置が一致していれば、射出される光束は完
全にコリメートされた光束となるが、上記間隔を短くす
れば射出される光束は発散光となり、長くすれば収斂光
となる。瞳投影レンズ11と結像レンズ12と対物レン
ズ13より成るビーム照射光学系が近赤外域で正の色収
差を発生する場合は、近赤外レーザ光の波長に応じて第
1レンズ群6と第2レンズ群7の間隔を長くして収斂光
とすることにより色収差を相殺し、可視光での観察位置
と同焦な位置に近赤外光を集光させるようにする。
【0014】実施例2 図3は本実施例の要部を示す。この実施例においては、
光束変換光学系2の構成が実施例1とは異なっている。
即ち、本実施例では、第1レンズ群17の焦点距離が−
20mmに選定されている。この場合も、第1レンズ群1
7と第2レンズ群7の間隔を変えることによりビーム照
射光学系の近赤外域での色収差が相殺される原理は実施
例1の場合と同じであり、光学系全体の構成並びに作用
効果は実施例1と同様であるので、同一部材には同一符
号を付すに留め説明は省略する。
【0015】実施例3 図4は本実施例の要部を示す。この実施例は、走査光学
系3の構成が記述の実施例とは異なる。即ち、本実施例
では、ダイクロイックミラー8を透過した近赤外光束は
共振ガルバノミラー18によりX方向(モニタ上で横方
向)へ高速で偏向され、瞳リレー光学系19によりリレ
ーされて、近接配置された2枚のガノバノメーターミラ
ー9,10によりX,Y両方向に偏向される。X,Y方
向に偏向された光束は、瞳投影レンズ11によって結像
レンズ12と対物レンズ13より成る対物レンズ系4の
像位置14に集光される。
【0016】この場合、共振ガルバノミラー18の位置
は、瞳リレー光学系19により、近接配置された2枚の
ガルバノメーターミラー9,10の中間点に投影され、
更に、この位置が瞳投影レンズ11により対物レンズ系
4の瞳位置近傍に投影されていることは言うまでもな
い。
【0017】ここで、2光子(或いはそれ以上の多光
子)吸収により励起され発生した蛍光を画像として高速
で捉える時は、共振ガルバノミラー18とY方向のガル
バノメーターミラー10を用いて走査し、X方向のガル
バノメーターミラー9は固定しておく。これにより、遅
くともビデオレート以上の速さで画像を得ることができ
る。他方、画像が暗く低速で走査したい場合や、標本面
5上の任意の位置で2光子(或いはそれ以上の多光子)
吸収による化学反応を起こさせたい場合は、共振ガルバ
ノミラー18は固定し、X,Y両方向のガルバノメータ
ーミラー9,10で走査するようにすればよい。
【0018】本実施例では、高速スキャナとして共振ガ
ルバノミラーを用いたが、これに代えて音響光学素子や
ポリゴンミラーを用いても良い。但し、これらの高速ス
キャナのうち、音響光学素子は波長依存性があるため試
料に照射された光の波長と、蛍光のように試料から発す
る光の波長とが異なるような場合には、波長依存性に起
因する問題を考慮しなければならない。また、ポリゴン
ミラーは走査方向において、走査幅や走査中心を制御で
きないためランダム走査用としては使用できない。
【0019】このように、本実施例によれば、使用すべ
きスキャナを切り替えるだけで、高速イメージング,低
速イメージング或いはランダムアクセスを行うことがで
きる。なお、3次元像の構築や3次元内でのランダムア
クセスには、ステージ或いは対物レンズを上下動させて
光軸方向の走査(Z走査)を併用するようにすれば良
い。また、低速イメージングやランダムアクセスには、
ステージ或いは対物レンズの移動による走査手段を用い
ることもできる。
【0020】本発明は、上記実施例に限定されるもので
なく、様々な組み合わせで構成することができ、また、
一般のレーザ走査顕微鏡と同様に複数の検出器で検出さ
れた信号を画像処理し、特殊な効果を得るようにするこ
とができることは言うまでもない。
【0021】以上説明したように、本発明のレーザ走査
顕微鏡は、特許請求の範囲に記載した特徴のほかに、下
記のような特徴を有している。
【0022】(1)2群構成の前記光束変換光学系の両
レンズ群が共に正の焦点距離を有し、下記条件を満足す
るようにした、請求項1乃至3の何れかに記載のレーザ
走査顕微鏡。 f2 ≧|f1 | 但し、f1 はレーザ光源側のレンズ群の焦点距離、f2
はレーザ光源とは反対側のレンズ群の焦点距離である。
これにより、拡大倍率1倍以上のケプラー型のビームコ
リメータを構成することができる。
【0023】(2)2群構成の前記光束変換光学系のレ
ーザ光源側のレンズ群が負の焦点距離−f1 を有し、レ
ーザ光源とは反対側のレンズ群が正の焦点距離f2 を有
していて、下記条件を満足するようにした、請求項1乃
至3の何れかに記載のレーザ走査顕微鏡。 f2 ≧|f1 | これにより、拡大倍率1倍以上のガリレオ型のビームコ
リメータを構成することができる。
【0024】(3)前記走査光学系と前記対物レンズ系
とから成るビーム照射光学系が、近赤外域で正の色収差
を発生する場合(可視光と同様にコリメートされた近赤
外光を入射させた時、近赤外光が可視光よりも対物レン
ズから離れた位置に集光する場合)は、前記レーザ光源
の波長が長くなるに従い2群構成の前記光束変換光学系
のレンズ群間隔が長くなり、負の色収差を発生する場合
は、前記レーザ光源の波長が長くなるに従い上記レンズ
群間隔が短くなる、請求項1,2,上記(1),(2)
の何れかに記載のレーザ走査顕微鏡。これにより、近赤
外光の波長が変わった場合でもより十分に色収差による
合焦エラーを補正することができ、可視光による像と同
焦な位置の像を得ることや、同焦な位置で多光子吸収に
よる化学反応を起こさせることができる。
【0025】(4)前記走査光学系の光偏向手段が、一
つの高速スキャナと二つのガルバノメーターミラーであ
って、該高速スキャナと一方のガルバノメーターミラー
の光偏向方向が一致している、請求項1乃至3,上記
(1)乃至(3)の何れかに記載のレーザ走査顕微鏡。
これにより、高速で画像を得ることも、3次元的にラン
ダムな位置で多光子吸収を起こさせることも可能とな
る。
【0026】
【発明の効果】上述の如く本発明によれば、近赤外光に
対してまでも色収差の補正がなされていない通常の顕微
鏡を用いても、可視光での観察面と同焦な位置で多光子
吸収を起こさせることが可能であり、また、高速イメー
ジングと3次元ランダムアクセスも簡単な切り替えで可
能となり、且つ検出器のレイアウトの自由度の大きい多
光子吸収レーザ走査顕微鏡を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るレーザ走査顕微鏡の基本構成を示
す図である。
【図2】本発明の第1実施例の全体構成を示す図であ
る。
【図3】本発明の第2実施例の要部構成を示す図であ
る。
【図4】本発明の第3実施例の要部構成を示す図であ
る。
【符号の説明】
1 レーザ光源 2 光束変換光学系 3 走査光学系 4 対物レンズ系 5 標本面 6,17 第1レンズ群 7 第2レンズ群 8 ダイクロイックミラー 9,10 ガルバノメーターミラー 11 瞳投影レンズ 12 結像レンズ 13 対物レンズ 14 対物レンズ系の像位置 15 検出光学系 16 検出器 18 共振ガルバノミラー 19 瞳リレー光学系

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 近赤外域の波長のサブピコ秒の単色コヒ
    ーレント光パルスを発するレーザ光源と、該レーザ光源
    からの光束を所望の大きさに変える光束変換光学系と、
    該光束変換光学系で変換された光束を対物レンズの像面
    に集光し走査させる走査光学系と、集光された前記変換
    光束を標本面上に投影する対物レンズ系を具備し、前記
    光束変換光学系は2群構成であって、その群間隔が可変
    であるレーザ走査顕微鏡。
  2. 【請求項2】 近赤外域の波長のサブピコ秒の単色コヒ
    ーレント光パルスを発するレーザ光源と、該レーザ光源
    からの光束を所望の大きさに変える光束変換光学系と、
    該光束変換光学系で変換された光束を対物レンズの像面
    に集光し走査させる走査光学系と、集光された前記変換
    光束を標本面上に投影する対物レンズ系と、前記標本面
    上に投影された光束により励起されて発する蛍光を検出
    する検出光学系を具備し、前記光束変換光学系は2群構
    成であって、その群間隔が可変であるレーザ走査顕微
    鏡。
  3. 【請求項3】 前記光束変換光学系の少なくとも1群は
    変換可能であって、変換されるレンズ群の焦点距離及び
    焦点位置の少なくとも一方は互いに異なっている請求項
    1又は2に記載のレーザ走査顕微鏡。
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