JPH075855Y2 - 整流手段を設けたエアーフィルタ - Google Patents
整流手段を設けたエアーフィルタInfo
- Publication number
- JPH075855Y2 JPH075855Y2 JP4683892U JP4683892U JPH075855Y2 JP H075855 Y2 JPH075855 Y2 JP H075855Y2 JP 4683892 U JP4683892 U JP 4683892U JP 4683892 U JP4683892 U JP 4683892U JP H075855 Y2 JPH075855 Y2 JP H075855Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- rectifying means
- woven fabric
- air filter
- present
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Ventilation (AREA)
- Filtering Materials (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、クリーンルーム、クリ
ーンベンチ、クリーンブース、半導体製造装置などに使
用される高性能フィルタの風速分布を均一にする手段に
関するものである。
ーンベンチ、クリーンブース、半導体製造装置などに使
用される高性能フィルタの風速分布を均一にする手段に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、アルミ箔等のシートを波型に成形
してなるセパレータを有するフィルタに於いては、セパ
レータが整流作用を持つため、格別の手段を講じなくて
も、フィルタ下流における風速は最大の部分と最小の部
分を見ても、平均値に対し概ね±１０％程度におさまっ
ており、クリーンルームやクリーンベンチ等に使用した
場合に、流れの乱れの少ない平行流を作ることが可能で
あった。
してなるセパレータを有するフィルタに於いては、セパ
レータが整流作用を持つため、格別の手段を講じなくて
も、フィルタ下流における風速は最大の部分と最小の部
分を見ても、平均値に対し概ね±１０％程度におさまっ
ており、クリーンルームやクリーンベンチ等に使用した
場合に、流れの乱れの少ない平行流を作ることが可能で
あった。
【０００３】これに対し、セパレータを有さないフィル
タ（ミニプリーツ、セパレータレス）は、整流手段とし
てのセパレータがないこと、および折り込まれた濾紙と
濾紙の間の流路が狭いことにより、流路巾のわずかな違
いでも通過する空気速度の差が大きくなってしまい、風
速の最大値と最小値は平均値に対し概ね３０％もの差が
生じるのが通例であった。このため、ミニプリーツフィ
ルタでは、下流側における流れの乱れが大きく、所定の
清浄度の維持が困難になる場合があった。更に四弗化エ
チレン樹脂膜濾材の場合には、その製法上、広い面積に
亘り均一に製造することが難しく圧力損失のばらつきが
大きいため、更に風速分布が悪くなる。
タ（ミニプリーツ、セパレータレス）は、整流手段とし
てのセパレータがないこと、および折り込まれた濾紙と
濾紙の間の流路が狭いことにより、流路巾のわずかな違
いでも通過する空気速度の差が大きくなってしまい、風
速の最大値と最小値は平均値に対し概ね３０％もの差が
生じるのが通例であった。このため、ミニプリーツフィ
ルタでは、下流側における流れの乱れが大きく、所定の
清浄度の維持が困難になる場合があった。更に四弗化エ
チレン樹脂膜濾材の場合には、その製法上、広い面積に
亘り均一に製造することが難しく圧力損失のばらつきが
大きいため、更に風速分布が悪くなる。
【０００４】この対策として、従来は、フィルタの下流
側に金属製の多孔板を設置することが行われてきた。
側に金属製の多孔板を設置することが行われてきた。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ようにフィルタ下流に金属製の多孔板を設置して整流を
行おうとすれば、フィルタの下流面から多孔板までの距
離をある程度（１５〜５０ｍｍ）あけておかなければ充
分な効果は得られず、フィルタと一体にしてこの手段を
行おうとすると、セパレータレスにすることによりフィ
ルタを薄く構成できるという利点を損なうという問題点
があった。
ようにフィルタ下流に金属製の多孔板を設置して整流を
行おうとすれば、フィルタの下流面から多孔板までの距
離をある程度（１５〜５０ｍｍ）あけておかなければ充
分な効果は得られず、フィルタと一体にしてこの手段を
行おうとすると、セパレータレスにすることによりフィ
ルタを薄く構成できるという利点を損なうという問題点
があった。
【０００６】また、腐食性雰囲気下で使用されるフィル
タにおいては、金属製の多孔板が腐食してしまうという
問題点があり、他の材質のものにする必要が生じてい
た。
タにおいては、金属製の多孔板が腐食してしまうという
問題点があり、他の材質のものにする必要が生じてい
た。
【０００７】本考案は、前記従来の問題点を解決すべく
なされたもので、フィルタ下流直下に設置しても、充分
な整流効果を得ることができ、また腐食性の雰囲気下で
も充分な耐性を持つ整流手段を設けたエアーフィルタを
提供しようとするものである。
なされたもので、フィルタ下流直下に設置しても、充分
な整流効果を得ることができ、また腐食性の雰囲気下で
も充分な耐性を持つ整流手段を設けたエアーフィルタを
提供しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本考案は、波型に成形さ
れたセパレータを有さない濾紙折込型フィルタに於い
て、フィルタの濾紙が、四弗化エチレン樹脂膜の少なく
とも片側面に不織布を重畳したもので形成されると共
に、フィルタ下流直下の各折畳み面に０．５ｍ/secの風
速において通気抵抗が１mmAq以上である不織布を架け渡
して貼着するという手段を採用することにより、上記問
題点を解決した。
れたセパレータを有さない濾紙折込型フィルタに於い
て、フィルタの濾紙が、四弗化エチレン樹脂膜の少なく
とも片側面に不織布を重畳したもので形成されると共
に、フィルタ下流直下の各折畳み面に０．５ｍ/secの風
速において通気抵抗が１mmAq以上である不織布を架け渡
して貼着するという手段を採用することにより、上記問
題点を解決した。
【０００９】
【作用】上記構成より成る本考案によれば、合成繊維ま
たはガラス繊維より成る不織布をフィルタ下流直下に配
置することにより充分な整流効果が得られ、且つ腐食性
の雰囲気下でも充分な耐性を有する。
たはガラス繊維より成る不織布をフィルタ下流直下に配
置することにより充分な整流効果が得られ、且つ腐食性
の雰囲気下でも充分な耐性を有する。
【００１０】
【実施例】本考案の実施の一例を図面に基づいて詳細に
説明すると、本考案整流手段を設けたエアーフィルタ
は、図２に示すように四弗化エチレン樹脂膜１の片側
面、または図３に示すように両側面に不織布２を重畳し
たものより成る濾紙３を波型に成形し、各濾紙面３ａ間
にホットメルト４を貼付して流路を設けてセパレータを
有さない濾紙折込型フィルタ５を形成すると共に、前記
濾紙折込型フィルタ５の下流直下の各折畳み面５ａのホ
ットメルト４に、０．５ｍ/secの風速において通気抵抗
が１mmAq以上である合成繊維またはガラス繊維より成る
不織布６を架け渡して貼着固定して形成されている。
説明すると、本考案整流手段を設けたエアーフィルタ
は、図２に示すように四弗化エチレン樹脂膜１の片側
面、または図３に示すように両側面に不織布２を重畳し
たものより成る濾紙３を波型に成形し、各濾紙面３ａ間
にホットメルト４を貼付して流路を設けてセパレータを
有さない濾紙折込型フィルタ５を形成すると共に、前記
濾紙折込型フィルタ５の下流直下の各折畳み面５ａのホ
ットメルト４に、０．５ｍ/secの風速において通気抵抗
が１mmAq以上である合成繊維またはガラス繊維より成る
不織布６を架け渡して貼着固定して形成されている。
【００１１】前記四弗化エチレン樹脂膜１の片側面、ま
たは両側面に不織布２を重畳するのは、四弗化エチレン
樹脂膜１自体がやわらかく、プリーツ加工ができないた
め、前記不織布２を重畳することにより、プリーツ加工
を可能とするためである。
たは両側面に不織布２を重畳するのは、四弗化エチレン
樹脂膜１自体がやわらかく、プリーツ加工ができないた
め、前記不織布２を重畳することにより、プリーツ加工
を可能とするためである。
【００１２】そして、前記構成より成る本考案整流手段
を設けたエアーフィルタの整流効果を従来例と対比した
実験結果を以下に示す。
を設けたエアーフィルタの整流効果を従来例と対比した
実験結果を以下に示す。
【００１３】
【表１】
【００１４】表１は多孔板をフィルタの下流直下に設置
したものの整流効果を示す実験データである。この場合
には整流効果はほとんど見られない。
したものの整流効果を示す実験データである。この場合
には整流効果はほとんど見られない。
【００１５】
【表２】
【００１６】表２は多孔板をフィルタから５０ｍｍ下流
に設置したものの整流効果を示す実験データである。こ
の場合には多少の整流効果が見られるが、セパレータ入
りのフィルタと比較するとまだ充分とはいえない。
に設置したものの整流効果を示す実験データである。こ
の場合には多少の整流効果が見られるが、セパレータ入
りのフィルタと比較するとまだ充分とはいえない。
【００１７】
【表３】
【００１８】表３は本考案による整流効果を示す実験デ
ータである。これにより、フィルタ５の下流直下に不織
布６を設置しても充分な整流効果が得られることが判っ
た。また、本考案構成より成るエアーフィルタとするこ
とによってセパレータレスタイプフィルタの特性である
薄くフィルタを構成できるという利点を損なうことがな
い。更に、腐食性雰囲気下でも合成繊維、またはガラス
繊維より成る不織布を適宜選定することにより、充分な
耐性を維持できる。
ータである。これにより、フィルタ５の下流直下に不織
布６を設置しても充分な整流効果が得られることが判っ
た。また、本考案構成より成るエアーフィルタとするこ
とによってセパレータレスタイプフィルタの特性である
薄くフィルタを構成できるという利点を損なうことがな
い。更に、腐食性雰囲気下でも合成繊維、またはガラス
繊維より成る不織布を適宜選定することにより、充分な
耐性を維持できる。
【００１９】
【考案の効果】本考案は上述のようであるから、フィル
タの下流直下に不織布を貼着固定するという整流手段を
設けることにより、従来の多孔板使用の場合に比して極
めて優れた整流効果が得られ、その構成も簡単で安価に
製作できる等、その利とする処、大なるものがある。
タの下流直下に不織布を貼着固定するという整流手段を
設けることにより、従来の多孔板使用の場合に比して極
めて優れた整流効果が得られ、その構成も簡単で安価に
製作できる等、その利とする処、大なるものがある。
【図１】本考案整流手段を設けたエアーフィルタの斜視
図である。
図である。
【図２】本考案整流手段を設けたエアーフィルタに使用
する濾紙の縦断面図である。
する濾紙の縦断面図である。
【図３】本考案整流手段を設けたエアーフィルタに使用
する濾紙の他の実施例を示す縦断面図である。
する濾紙の他の実施例を示す縦断面図である。
１ 四弗化エチレン樹脂膜、 ２ 不織布、 ５ 濾紙
折込型フィルタ、 ５ａ 折畳み面、 ６ 不織布。
折込型フィルタ、 ５ａ 折畳み面、 ６ 不織布。
Claims (1)
- 【請求項１】 波型に成形されたセパレータを有さない
濾紙折込型フィルタに於いて、フィルタの濾紙が、四弗
化エチレン樹脂膜の少なくとも片側面に不織布を重畳し
たもので形成されると共に、フィルタ下流直下の各折畳
み面に０．５ｍ/secの風速において通気抵抗が１mmAq以
上である不織布を架け渡して貼着して成る整流手段を設
けたエアーフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4683892U JPH075855Y2 (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | 整流手段を設けたエアーフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4683892U JPH075855Y2 (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | 整流手段を設けたエアーフィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH063427U JPH063427U (ja) | 1994-01-18 |
| JPH075855Y2 true JPH075855Y2 (ja) | 1995-02-15 |
Family
ID=12758486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4683892U Expired - Lifetime JPH075855Y2 (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | 整流手段を設けたエアーフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH075855Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5195597B2 (ja) * | 2009-04-07 | 2013-05-08 | パナソニック株式会社 | フィルタ装置およびそれを搭載したファンフィルタユニット |
-
1992
- 1992-06-12 JP JP4683892U patent/JPH075855Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH063427U (ja) | 1994-01-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |