JPH0755449B2 - ラップ機上定盤の吊持装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はラップ機上定盤、詳しくは吊持体の複数の吊杆
により吊持され回動するラップ機上定盤の吊持装置に関
する。

（従来の技術） 従来、半導体ウエハー用ラップ機（Ａ）は第３図に示す
如く、上定盤（１）と下定盤（２）との間にキャリアー
（３）を配置し、このキャリアー（３）でウエハー
（４）を保持し、上下両定盤（１）（２）とキャリアー
（３）を同時に回転させながらウエハー（４）を研削す
るものである。

そして上定盤（１）は内外径を有する環状形であって、
吊持体（５）の複数の吊杆（６）（６）……に吊持され
回動自在であるとともに吊持体（５）が昇降用シリンダ
（７）に連結されて上定盤（１）を昇降させるようにし
ている。

上定盤（１）は円盤状の定盤（1a）の上面に別部材から
なる内フランジ（1b）を接合し締結して一体的に形成し
た構造が一般的であり、この上定盤（１）の吊持装置に
は定盤（1a）に吊杆（６）を直接に連結する定盤直吊り
方式（第４図）と吊杆（６）を内フランジ（1b）に連結
するフランジ吊り方式（第６図）とがある。

（発明が解決しようとする課題） しかるに上記吊持装置において、定盤直吊り方式の場合
は上定盤（１）の外側部分が下がる反り傾向がみられ
（第５図）、フランジ吊り方式の場合は上定盤（１）の
内側部分が下がる反り傾向がみられ（第７図）、しか
も、その反り量が４〜15μｍと極めて大きい。

上定盤（１）の反りはラップ機におけるウエハー研削の
平坦精度に直接影響し、その反りが小さいことが望まれ
る。

而して本発明は前記従来事情に鑑み、反り傾向の極めて
少ない上定盤の吊持装置を提供して研削精度を向上させ
ることを目的とする。

（課題を達成するための技術的手段） 斯る本発明の吊持装置は上定盤の吊り位置及び該位置を
中心にした上定盤の内外重量比を適正に設定すること、
すなわち上定盤の外周部に肉削部を形成し該肉削部の総
重量（W₃）を上定盤の総重量（Ｗ）に対し、W₃＝（Ｏ〜
0.15）×Ｗにし、吊杆の吊り位置径（Ｄ）を上定盤の外
径（D₁）に対し、Ｄ＝（0.60〜0.71）×D₁に設定し、か
つ吊り位置径より内側の重量（Wa）と外側の重量（Wb）
との重量比をWb＝（１〜1.2）×Waに設定したことを特
徴とする。

（実施例） 本発明の実施例をフランジ吊り方式の場合について図面
により説明すれば、第１図は定盤（1a）上に内フランジ
（1b）を締付け一体的に形成した上定盤（１）を示し、
（D₁）が定盤（1a）の外径、（D₂）が定盤（1a）の内
径、（6a）が吊杆（６）による吊り装置、（10）が定盤
（1a）の外周部に形成した肉削部である。

吊り位置（6a）は上定盤（１）の吊り位置径（Ｄ）の円
周上に等間隔をおいて複数個所、例えば６〜８個所に配
置する。

肉削部（10）は定盤（1a）上の外周部に適宜間隔をおい
て多数形成し、その肉削される総重量を（W₃）とする。

上記肉削部（10）は図示の如く外端に向けて削り量を深
くするテーパ状とする他に、削り厚さを均一にする形状
とすることもよい。

上記定盤（1a）の内外径比（D₂/D₁）は0.32〜0.34であ
り、定盤（1a）の重量（W₁）と内フランジ（1b）の重量
（W₂）との重量比（W₂/W₁）は0.30〜0.40である。

而して上記上定盤（１）において、定盤（1a）の肉削部
（10）の肉削り総重量（W₃）を上定盤（１）の総重量
（Ｗ）すなわち（Ｗ＝W₁＋W₂）に対し、W₃＝（０〜0.1
5）×Ｗにしたときに、前記吊り位置径（Ｄ）を、Ｄ＝
（0.60〜0.71）×D₁に設定した場合に最適な吊り状態、
すなわち反り量が最小な状態が得られた。

その場合で、吊り位置径（Ｄ）より内側の上定盤（１）
の重量（Wa）と外側の上定盤（１）の重量（Wb）との重
量関係はWb＝（１〜1.2）×Waである。

尚、Wa＝wa₁＋wa₂,Wb＝wb₁＋wb₂であり、wa₁はＤより内
側の定盤（1a）の重量、wa₂はＤより内側の内フランジ
（1b）の重量、wb₁はＤより外側の定盤（1a）の重量、w
b₂はＤより外側の内フランジの重量である。

上定盤（１）の形状と吊り状態とによる実寸法と反り量
との一例を示せば、D₁＝1300mm,D₂＝440mm,厚さ（ｔ）
＝45mm,W₁＝340kg,W₂＝105kg,W₃＝45kg,D＝865mm,反り
量は0.90μｍであった。

このことにより、従来装置の反り量（４〜15μｍ）に較
べて、反り量が著しく少ないことが理解される。

（効果） 本発明によれば、吊り状態における上定盤の反り量が減
少し、研削作業の平坦精度を高めることができ、ウエハ
ー等の被研削材の仕上り品質を向上させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の吊持装置を示す断面図、第２図はその
反り傾向を示す線図、第３図はラップ機の一部切欠せる
外観正面図、第４図は吊り方式を示す断面図、第５図は
その反り傾向を示す線図、第６図は他の吊り方式を示す
断面図、第７図はその反り傾向を示す線図である。 図中、（１）は上定盤、（1a）は定盤、（1b）は内フラ
ンジ、（D₁）は定盤の外径、（D₂）は定盤の内径、
（Ｄ）は吊り位置径、（５）は吊持体、（６）は吊杆で
ある。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】内外径を有する環状形であって、吊持体の
   複数の吊杆により吊持され回動するラップ機上定盤にお
   いて、上定盤の外周部に肉削部を形成し該肉削部の総重
   量（W₃）を上定盤の総重量（Ｗ）に対し、W₃＝（０〜0.
   15）×Ｗにし、吊杆の吊り位置径（Ｄ）を上定盤の外径
   （D₁）に対し、Ｄ＝（0.60〜0.71）×D₁に設定し、かつ
   吊り位置径より内側の重量（Wa）と外側の重量（Wb）と
   の重量比をWb＝（１〜1.2）×Waに設定したことを特徴
   とする吊持装置。
2. 【請求項２】上定盤が定盤に内フランジを締付け一体的
   に形成され、その内フランジが前記吊杆により吊持され
   る請求項第１項記載の吊持装置。