JPH0626784B2 - ダイヤモンドペレットを用いた両面研削機 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は両面研削機の上定盤の自重を減じて、研削荷重
を負荷させる方式の上定盤の吊位置を、該上定盤を円周
方向に関し等分割した扇形部分の重心に一致させてな
る、ダイヤモンドペレットを用いた両面研削機に係わる
ものである。

一般に、ダイヤモンドペレットを固定砥粒として貼付け
る定盤は汎用のラッピング装置の定盤をそのまま流用さ
れていたために、定盤を等分割した支持点を、等分割し
た部分の重心から外れた位置で吊り上げる構造となって
いる。このような構造でも前記ラッピング装置での加工
では十分な加工精度が実現可能であったが、前記ペレッ
トを用いる両面研削加工では適用しがたい。すなわち汎
用のラッピング装置の定盤に前記ペレットを貼って研削
用定盤として用いた場合、吊り上げた時に外周部が自重
によって大きなたわみを生じるという欠陥を有してい
る。この現象は定盤をエアーシリンダーで加圧して研削
荷重を調節する方式の両面研削機では、前記定盤の変形
は問題とならないが、特に定盤の自重を最大負荷とし
て、エアーシリンダーで前記定盤の自重を減じて研削荷
重を調節する両面研削機では、定盤を通常エアーシリン
ダーで吊り上げた状態で研削加工するため、加工中は定
盤中心部に向かって微少量弾性変形し浮き上がったよう
になる。このため、上下盤の間に自転ないし公転するキ
ャリヤ内にワークを固定挾持して加工する両面研削機で
はワークがキャリヤーの自転により定盤の内周部に位置
したときには荷重が弱く、研削量が不足し、逆に外周部
にワークが位置したときは荷重が大きく研削量が過大と
なるため著しくワークの平行度を害する。さらに定盤に
貼った前記ペレットにも同様に、内周部と外周部でワー
クに作用する研削荷重が異なるため、前記ペレット加工
面の精度を損うこととなる。

本発明は以上の点に鑑み、上定盤の加工中の弾性変形が
極小となるよう、定盤の吊位置をその吊りケ所と同数に
均等分割した扇形部分の重心に一致せしめるような吊り
方を有する上定盤より構成された両面研削機を提供する
ものである。

この発明は第１図に示すように、上定盤１を円周方向に
関し等分割した扇形部OAB の重心Ｇに支持棒２を一致固
定し、該支持棒２で上定盤１とサブプレート３を一体化
せしめエアーシリンダー４で上定盤の自重を最大負荷と
した研削荷重を調節する機構を有する両面研削機であ
る。

さらに加工中の上盤の変形の状態を模式的に示すと、第
２図は従来のラッピング定盤での加工中の状態で内側中
心部が弾性変形により浮き上がったところを示し、第３
図は本発明による定盤での加工中の状態で定盤の弾性変
形を極小化したものである。

本発明により、前記ペレットを用いた両面研削加工が安
定し、加工精度および前記ペレット加工面の精度維持に
多大の効果があった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の研削機を示す斜視図である。第２図は
従来例を示す断面図、第３図は本発明を示す断面図であ
る。 １……上定盤、２……支持棒、３……サブプレート、４
……エアーシリンダー、５……ロータリジョイント、Ｇ
……扇形OABの重心、６……下定盤、７……ワーク。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ダイヤモンドペレットを貼付した上定盤及
   び下定盤の間にワークを配置し、上記上定盤に吊上げ力
   を付与した状態で該上定盤と上記下定盤とを互いに反対
   方向に回転せしめて上記ワークの両面を上記ダイヤモン
   ドペレットにより研削する両面研削機において、 上記上定盤を円周方向に関し等分割した仮想扇形部分の
   それぞれの重心を上定盤吊上げのための支持位置として
   なることを特徴とする両面研削機。