JP4023765B2 - 研磨装置及び研磨方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は研磨装置に関し、特に、上定盤と下定盤との間にスラリーを供給しつつ、両定盤間でキャリヤを公転、自転させることにより、キャリヤに保持した被研磨物の表面を研磨加工（ラップ加工、ポリシング加工等）するのに有効な研磨装置及び研磨方法に関するものである。
【０００２】
【従来技術およびその問題点】
この種の研磨装置の一例が実公昭６０−４０３０４号公報に記載されている。すなわち、この研磨装置は、回転可能に設けられる下定盤と、下定盤の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられるとともに、上面側から下面側に貫通する供給孔が複数箇所に設けられる上定盤と、下定盤の中心部に設けられる太陽ギアと、下定盤の外周部に設けられるインターナルギアと、太陽ギアとインターナルギアとの間に噛合されるとともに、円板状の被研磨物を保持可能なキャリヤと、上定盤の上方に設けられるとともに、内部にスラリーが充填されるスラリーリングと、スラリーリングと上定盤の各供給孔との間を連結するチューブとを具えている。
【０００３】
そして、キャリヤに被研磨物を保持し、上定盤を下降させて上定盤の下面側の研磨パッドを被研磨物に当接させ、被研磨物を上定盤と下定盤との間で押圧し、スラリーリング内から各チューブ、上定盤の各供給孔を介して上定盤と下定盤との間にスラリーを供給し、上定盤、下定盤及び太陽ギアを回転させて、太陽ギアとインターナルギアとの協働によってキャリヤを公転、自転させることにより、被研磨物の表面を所定の表面粗さに研磨することができるものである。
【０００４】
しかしながら、上記のような構成の研磨装置にあっては、スラリーリングが研磨パッドの表面の上方４００ｍｍ前後の高さに位置しているため、この高さからスラリーを自然落下によって上定盤と下定盤との間に供給した場合に、上定盤と下定盤との間に３．９２×１０-5Ｐａ程度のスラリー圧が作用し、このスラリー圧が上定盤を持ち上げる方向に働いてしまう。そして、このスラリー圧による荷重は上下定盤の面積に比例して大きくなるため、低圧加工を必要とする高精度の被研磨物に対しては研磨荷重が不安定となってしまい、特に、２２Ｂの如く大径キャリヤ或いはそれ以上の大径キャリヤを使用する大型の両面研磨装置で２．５インチ程度の小径で薄い被研磨物を加工する場合にはその現象が顕著になり、被研磨物の加工面に微小うねりが生じる等の不具合が生じ、被研磨物の研磨面を所定の表面粗さに仕上げるのが困難となってしまう。
【０００５】
この発明は前記のような従来のもののもつ問題点を解決したものであって、上定盤と下定盤との間に供給するスラリーの圧力を調整可能とすることによって、低圧加工を必要とする高精度の被研磨物に対して安定した研磨荷重で研磨加工ができるようにし、これにより、２２Ｂキャリヤを使用する大型の両面研磨装置で２．５インチ程度の小径で薄い被研磨物を加工する場合であっても、被研磨物の研磨面を所定の表面粗さに仕上げることができ、高精度の被研磨物の研磨加工の生産性を大幅に向上させることができる研磨装置を提供することを目的とするものである。
【０００６】
【問題点を解決するための手段】
上記の問題点を解決するためにこの発明は、回転可能に設けられる下定盤と、下定盤の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられるとともに、上面側から下面側に貫通する供給孔が複数箇所に設けられる上定盤と、下定盤の中心部に設けられる太陽ギアと、下定盤の外周部に設けられるインターナルギアと、太陽ギアとインターナルギアとの間に噛合されるとともに、被研磨物を保持可能な少なくとも１枚のキャリヤと、前記上定盤の上方に設けられるとともに、内部にスラリーが充填され、かつ、上下方向の位置の調整が可能な可動スラリーリングと、該可動スラリーリングと前記上定盤の各供給孔との間を連結し、可動スラリーリング内のスラリーを各供給孔を介して上定盤と下定盤との間に導く管部材とを具えた手段を採用したものである。また、回転可能に設けられる下定盤と、下定盤の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられるとともに、上面側から下面側に貫通する供給孔が複数箇所に設けられる上定盤と、下定盤の中心部に設けられる太陽ギアと、下定盤の外周部に設けられるインターナルギアと、太陽ギアとインターナルギアとの間に噛合されるとともに、被研磨物を保持可能な少なくとも１枚のキャリヤと、前記上定盤の上方に設けられるとともに、内部にスラリーが充填される固定スラリーリングと、該固定スラリーリングと前記上定盤との間に設けられるとともに、内部にスラリーが充填され、かつ、上下方向の位置の調整が可能な可動スラリーリングと、前記固定スラリーリングと前記可動スラリーリングとの間を連結し、固定スラリーリング内のスラリーを可動スラリーリング内に導く管部材と、前記可動スラリーリングと前記上定盤の各供給孔との間を連結し、可動スラリーリング内のスラリーを各供給孔を介して上定盤と下定盤との間に導く管部材とを具えた手段を採用したものである。さらに、回転可能に設けられる下定盤と、下定盤の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられるとともに、上面側から下面側に貫通する供給孔が複数箇所に設けられる上定盤と、下定盤の中心部に設けられる太陽ギアと、下定盤の外周部に設けられるインターナルギアと、太陽ギアとインターナルギアとの間に噛合されるとともに、被研磨物を保持可能な少なくとも１枚のキャリヤ等とから構成される研磨装置の前記キャリヤに被研磨物を保持し、前記上定盤、下定盤、太陽ギア、及び／又はインターナルギアを回転させて、太陽ギア、インターナルギアとの協働によって前記キャリヤを公転、自転させて被研磨物を研磨する際、前記上定盤の上方に設けた上下方向の位置の調整が可能な可動スラリーリングを介してスラリーを前記上定盤の各供給孔へそれぞれ供給する手段を採用したものである。そして、回転可能に設けられる下定盤と、下定盤の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられるとともに、上面側から下面側に貫通する供給孔が複数箇所に設けられる上定盤と、下定盤の中心部に設けられる太陽ギアと、下定盤の外周部に設けられるインターナルギアと、太陽ギアとインターナルギアとの間に噛合されるとともに、被研磨物を保持可能な少なくとも１枚のキャリヤ等とから構成される研磨装置の前記キャリヤに被研磨物を保持し、前記上定盤、下定盤、太陽ギア、及び／又はインターナルギアを回転させて、太陽ギア、インターナルギアとの協働によって前記キャリヤを公転、自転させて被研磨物を研磨する際、前記上定盤の上方に設けた固定スラリーリングから固定スラリーリングと上定盤との間に設けた上下方向の位置の調整が可能な可動スラリーリングを介してスラリーを前記上定盤の各供給孔へそれぞれ供給する手段を採用したものである。
【０００７】
【作用】
この発明は前記のような手段を採用したことにより、キャリヤに被研磨物を保持し、上定盤を下降させて上定盤を被研磨物の表面に当接させ、被研磨物を上定盤と下定盤との間で押圧する。そして、この状態で可動スラリーリング内のスラリーを管部材及び上定盤の各供給孔を介して上定盤と下定盤との間に導く。または、固定スラリーリング内のスラリーを管部材、可動スラリーリング、管部材及び上定盤の各供給孔を介して上定盤と下定盤との間に導く。そして、上定盤、下定盤及び太陽ギアを回転させて、上定盤と下定盤との間でキャリヤを公転、自転させることにより、被研磨物の表面が研磨されることになる。この場合、可動スラリーリングの上下方向の位置を調整することにより、上定盤と下定盤との間に導くスラリーの圧力を調整できることになる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、図面に示すこの発明の実施の形態について説明する。
図１には、この発明による研磨装置の第１の実施の形態が示されていて、この研磨装置は、回転可能に設けられる下定盤１と、下定盤１の中心部に回転可能に設けられるドライバ３と、下定盤１の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられる上定盤１１と、上定盤１１の下面側に貼着される研磨パッド１５と、ドライバ３の外周側に回転可能に設けられる太陽ギア６と、下定盤１の外周側に設けられるインターナルギア７と、太陽ギア６とインターナルギア７との間に噛合されるとともに、被研磨物１０を保持可能なキャリヤ８と、上定盤１１の上方に設けられるとともに、内部にスラリー３０が所定量充填される可動スラリーリング２４とを具えている。
【０００９】
下定盤１は、円板状に形成されるものであって、中心部には上下方向に貫通する孔２が設けられ、この孔２内をドライバ３が挿通するようになっている。下定盤１は、下定盤１の下方に位置する駆動源（図示せず）に連結され、駆動源の作動時に水平方向に回転するようになっている。下定盤１は駆動源を使用せずに固定としてもよいものである。なお、この実施の形態においては、下定盤１の上面側に研磨パッドを設けていないが、研磨加工の種類（例えばポリシング加工等）によっては下定盤１の上面側に研磨パッドを設けるように構成してもよいものである。
【００１０】
ドライバ３は、円柱状に形成されるものであって、シャフト５を介して下定盤１の下方に位置する駆動源（図示せず）に連結され、駆動源の作動時に水平方向に回転するようになっている。ドライバ３は、下定盤１の中心部の孔２を挿通して上端部が下定盤１よりも上方に突出し、その突出している部分が後述する上定盤１１の中心部の孔１２内に遊嵌するようになっている。ドライバ３の外周面には上下方向に延びる係合溝４が設けられ、この係合溝４内に後述する上定盤１１の孔１２の周縁部に設けた係合片１３が係合するようになっている。
【００１１】
太陽ギア６は、下定盤１の孔２とドライバ３のシャフト５との間に設けられる環状をなすものであって、外周面に所定のギアが設けられるようになっている。太陽ギア６は、下定盤１の下方に位置する駆動源（図示せず）に連結され、駆動源の作動時に水平方向に回転するようになっている。
【００１２】
インターナルギア７は、下定盤１の外周側に設けられる環状をなすものであって、内周面に所定のギアが設けられるようになっている。インターナルギア７は、駆動源に連結して水平方向に回転可能としてもよいし、駆動源を使用せずに固定としてもよいものである。この実施の形態においては、駆動源に連結して回転可能としている。
【００１３】
キャリヤ８は、円板状に形成されるものであって、複数箇所に上下方向に貫通する孔９が設けられ、各孔９内にシリコンウエハ、フォトマスク等の円板状の被研磨物１０が装填されるようになっている。キャリヤ８の外周面には所定のギアが設けられ、このギアと太陽ギア６のギア及びインターナルギア７のギアとが相互に噛合することで、キャリヤ８は太陽ギア６の回転時に公転、自転するようになっている。キャリヤ８は、太陽ギア６とインターナルギア７との間に少なくとも１枚設ければよいものである。
【００１４】
上定盤１１は、円板状に形成されるものであって、中心部には上下方向に貫通する孔１２が設けられ、この孔１２内にドライバ３が遊嵌するようになっている。上定盤１１の孔１２の周縁部には径方向内方に突出する係合片１３が設けられ、この係合片１３をドライバ３の係合溝４内に係合させることで、上定盤１１とドライバ３との回転方向への相対的なずれがなくなり、ドライバ３の回転時に上定盤１１がドライバ３と一体に回転するものである。
【００１５】
ドライバ３の上方には軸線を一致させた状態で上下動用シリンダ（図示せず）が設けられている。上下動用シリンダのロッド（図示せず）には吊り軸１７が軸線を一致させた状態で連結されるとともに、吊り軸１７には円板状の吊り板１８が水平に連結され、さらに吊り板１８には複数本の支持軸１９を介して上定盤１１が連結されるようになっている。
【００１６】
上定盤１１には上面側から下面側に貫通する供給孔１４が複数箇所に設けられている。上定盤１１の下面側には研磨パッド１５が貼着されるとともに、研磨パッド１５の上定盤１１の各供給孔１４に対応する部分には研磨パッド１５を上下方向に貫通して各供給孔１４に連通する通孔１６が設けられている。
【００１７】
吊り板１８と上定盤１１との間の支持軸１９の外側の部位には可動スラリーリング２４が取り付けられている。可動スラリーリング２４は、上面側が開口する環状の溝２５を有する環状をなすものであって、この溝２５内にスラリー供給源（図示せず）からラップ液内に砥粒を懸濁させたスラリー３０が供給されるようになっている。可動スラリーリング２４は連結部材２７を介して支持軸１９に取り付けられ、連結部材２７の支持軸１９に対する取り付け位置を調整することで上下方向の位置を調整できるようになっている。なお、図示はしないが、溝２５を可動スラリーリング２４の内部に設けるようにしてもよいものである。
【００１８】
可動スラリーリング２４の溝２５の底部には溝２５内外を連通する排出孔２６が複数箇所に設けられ、各排出孔２６にはブッシュ２８を介して管部材２９であるビニル製のチューブ２９の一端が接続されるようになっている。チューブ２９の他端は上定盤１１の供給孔１４の上端開口部にブッシュ２８を介して接続されるようになっている。なお、管部材２９は、ビニル製のチューブ２９に限らず、金属製のチューブ２９であってもよいし、他の素材からなるチューブ２９であってもよいものである。また、ブッシュ２８を使用せずに、チューブ２９の一端を直接に各排出孔２６に接続し、他端を直接に各供給孔１４に接続するようにしてもよいものである。
【００１９】
次に、前記に示すものの作用について説明する。
まず、キャリヤ８の孔９内に被研磨物１０を装填し、上下動用シリンダを作動させて上定盤１１を下降させ、研磨パッド１５を被研磨物１０の上面側に当接させ、上定盤１１と下定盤１との間で被研磨物１０を押圧する。
【００２０】
次に、スラリー供給源を作動させて可動スラリーリング２４の溝２５内にスラリー３０を供給し、このスラリー３０を可動スラリーリング２４の溝２５内から排出孔２６、各チューブ２９を介して上定盤１１の各供給孔１４内に導き、上定盤１１の各供給孔１４から研磨パッド１５の各通孔１６を介して上定盤１１と下定盤１との間に供給する。
【００２１】
そして、上定盤１１（ドライバ３）の駆動源、下定盤１の駆動源、太陽ギア６の駆動源及びインターナルギア７の駆動源を作動させて、上定盤１１、下定盤１、太陽ギア６及びインターナルギア７を回転駆動させて、上定盤１１と下定盤１との間でキャリヤ８を公転、自転させることで、被研磨物１０の表面を所定の表面粗さに研磨することができるものである。
【００２２】
上記のように構成したこの実施の形態による研磨装置にあっては、上定盤１１の上方に上下方向の位置の調整が可能な可動スラリーリング２４を設けて、可動スラリーリング２４の溝２５を介してスラリー３０を上定盤１１と下定盤１との間に供給するようにしたので、可動スラリーリング２４の溝２５内でスラリー３０の圧力を低減させた後に上定盤１１と下定盤１との間に供給することができることになる。しかも、上定盤１１と下定盤１との間に供給するスラリー３０の圧力を可動スラリーリング２４の上下方向の位置を調整することによって任意の値に調整できることになる。したがって、低圧加工を必要とする高精度の被研磨物１０に対して研磨荷重が不安定となるようなことはなく、２２Ｂキャリヤを使用する大型の両面研磨装置で２．５インチ程度の小径で薄い被研磨物１０を加工する場合であっても、被研磨物１０の表面を所定の表面粗さに仕上げることができ、高精度の被研磨物１０の研磨加工の生産性を大幅に向上させることができることになる。また、可動スラリーリング２４は支持軸１９の外側の部位に設けられているので、可動スラリーリング２４の溝２５内を清掃等する場合に支持軸１９が邪魔になるようなことはなく、メンテナンス性を高めることができることになる。
【００２３】
図２にはこの発明による研磨装置の第２の実施の形態が示されていて、この実施の形態に示す研磨装置は、可動スラリーリング２４を支持軸１９の内側に設けたものであって、その他の構成は前記第１の実施の形態に示すものと同様である。
【００２４】
そして、この実施の形態による研磨装置にあっても、前記第１の実施の形態に示すものと同様の作用効果を示し、上定盤１１の上方に上下方向の位置の調整が可能な可動スラリーリング２４を設けて、可動スラリーリング２４の溝２５を介してスラリー３０を上定盤１１と下定盤１との間に供給するようにしたので、可動スラリーリング２４の溝２５内でスラリー３０の圧力を低減させた後に上定盤１１と下定盤１との間に供給することができることになる。しかも、上定盤１１と下定盤１との間に供給するスラリー３０の圧力を可動スラリーリング２４の上下方向の位置を調整することによって任意の値に調整できることになる。したがって、低圧加工を必要とする高精度の被研磨物１０に対して研磨荷重が不安定となるようなことはなく、２２Ｂキャリヤを使用する大型の両面研磨装置で２．５インチ程度の小径で薄い被研磨物１０を加工する場合であっても、被研磨物１０の表面を所定の表面粗さに仕上げることができ、高精度の被研磨物１０の研磨加工の生産性を大幅に向上させることができることになる。
【００２５】
図３にはこの発明による研磨装置の第３の実施の形態が示されていて、この研磨装置は、吊り板１８の上部に、上面側が開口する環状の溝２２を有する環状の固定スラリーリング２１を支持軸２０を介して取り付け、この固定スラリーリング２１の溝２２内にスラリー供給源（図示せず）からスラリー３０を供給可能とするとともに、固定スラリーリング２１の溝２２と可動スラリーリング２４の溝２５との間を管部材２９であるチューブ２９を介して相互に連結したものであって、その他の構成は前記第１の実施の形態に示すものと同様の構成を有している。
【００２６】
この場合、固定スラリーリング２１の溝２２の底部には溝２２内外を連通する排出孔２３が複数箇所に設けられ、各排出孔２３にはブッシュ２８を介して管部材２９であるビニル製のチューブ２９の一端が接続されるとともに、チューブ２９の他端は可動スラリーリング２４の溝２５内に接続されるようになっている。なお、管部材２９は、ビニル製のチューブ２９に限らず、金属製のチューブ２９であってもよいし、他の素材からなるチューブ２９であってもよいものである。また、ブッシュ２８を使用せずに、チューブ２９を直接に各排出孔２３に接続するようにしてもよいものである。さらに、溝２２を固定スラリーリング２１の内部に設けるようにしてもよいものである。
【００２７】
そして、この実施の形態に示す研磨装置にあっても前記第１の実施の形態に示すものと同様の作用効果を示し、上定盤１１の上方に固定スラリーリング２１を設けるとともに、固定スラリーリング２１の下方に上下方向の位置の調整が可能な可動スラリーリング２４を設けて、固定スラリーリング２１の溝２２内のスラリー３０を可動スラリーリング２４の溝２５を介して上定盤１１と下定盤１との間に供給するようにしたので、可動スラリーリング２４の溝２５内でスラリー３０の圧力を低減させた後に上定盤１１と下定盤１との間に供給することができることになる。しかも、上定盤１１と下定盤１との間に供給するスラリー３０の圧力を可動スラリーリング２４の上下方向の位置を調整することによって任意の値に調整できることになる。したがって、低圧加工を必要とする高精度の被研磨物１０に対して研磨荷重が不安定となるようなことはなく、２２Ｂキャリヤを使用する大型の両面研磨装置で２．５インチ程度の小径で薄い被研磨物１０を加工する場合であっても、被研磨物１０の表面を所定の表面粗さに仕上げることができ、高精度の被研磨物１０の研磨加工の生産性を大幅に向上させることができることになる。また、可動スラリーリング２４は支持軸１９の外側の部位に設けられているので、可動スラリーリング２４の溝２５内を清掃等する場合に支持軸１９が邪魔になるようなことはなく、メンテナンス性を高めることができることになる。
【００２８】
図４にはこの発明による研磨装置の第４の実施の形態が示されていて、この実施の形態に示す研磨装置は、可動スラリーリング２４を支持軸１９の内側に設けたものであって、その他の構成は前記第３の実施の形態に示すものと同様である。
【００２９】
そして、この実施の形態に示す研磨装置にあっても前記第１の実施の形態に示すものと同様の作用効果を示し、上定盤１１の上方に固定スラリーリング２１を設けるとともに、固定スラリーリング２１の下方に上下方向の位置の調整が可能な可動スラリーリング２４を設けて、固定スラリーリング２１の溝２２内のスラリー３０を可動スラリーリング２４の溝２５を介して上定盤１１と下定盤１との間に供給するようにしたので、可動スラリーリング２４の溝２５内でスラリー３０の圧力を低減させた後に上定盤１１と下定盤１との間に供給することができることになる。しかも、上定盤１１と下定盤１との間に供給するスラリー３０の圧力を可動スラリーリング２４の上下方向の位置を調整することによって任意の値に調整できることになる。したがって、低圧加工を必要とする高精度の被研磨物１０に対して研磨荷重が不安定となるようなことはなく、２２Ｂキャリヤを使用する大型の両面研磨装置で２．５インチ程度の小径で薄い被研磨物１０を加工する場合であっても、被研磨物１０の表面を所定の表面粗さに仕上げることができ、高精度の被研磨物１０の研磨加工の生産性を大幅に向上させることができることになる。
【００３０】
【発明の効果】
この発明は請求項１又は請求項３のように構成したことにより、スラリーは可動スラリーリング内に供給されるとともに、可動スラリーリング内から管部材及び上定盤の供給孔を介して上定盤と下定盤との間に供給されることになるので、可動スラリーリングで圧力を低減させた後に上定盤と下定盤との間に供給されることになる。この場合、可動スラリーリングは上下方向の位置の調整が可能となっているので、可動スラリーリングの上下方向の位置を調整することによってスラリーの圧力を任意の値に調整できることになる。したがって、低圧加工を必要とする高精度の被研磨物に対して研磨荷重が不安定となるようなことはなく、２２Ｂキャリヤを使用する大型の両面研磨装置で２．５インチ程度の小径で薄い被研磨物を加工する場合であっても、被研磨物の研磨面を所定の表面粗さに仕上げることができ、高精度の被研磨物の研磨加工の生産性を大幅に向上させることができることになる。
【００３１】
また、請求項２又は４のように構成したことにより、スラリーは固定スラリーリング内に供給されるとともに、固定スラリーリング内から管部材を介して可動スラリーリング内に供給され、可動スラリーリング内から管部材及び上定盤の供給孔を介して上定盤と下定盤との間に供給されることになるので、可動スラリーリングで圧力を低減させた後に上定盤と下定盤との間に供給されることになる。この場合、可動スラリーリングは上下方向の位置の調整が可能となっているので、可動スラリーリングの上下方向の位置を調整することによってスラリーの圧力を任意の値に調整できることになる。したがって、低圧加工を必要とする高精度の被研磨物に対して研磨荷重が不安定となるようなことはなく、２２Ｂキャリヤを使用する大型の両面研磨装置で２．５インチ程度の小径で薄い被研磨物を加工する場合であっても、被研磨物の研磨面を所定の表面粗さに仕上げることができ、高精度の被研磨物の研磨加工の生産性を大幅に向上させることができることになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による研磨装置の第１の実施の形態を示した概略図である。
【図２】この発明による研磨装置の第２の実施の形態を示した概略図である。
【図３】この発明による研磨装置の第３の実施の形態を示した概略図である。
【図４】この発明による研磨装置の第４の実施の形態を示した概略図である。
【符号の説明】
１……下定盤
２、９、１２……孔
３……ドライバ
４……係合溝
５……シャフト
６……太陽ギア
７……インターナルギア
８……キャリヤ
１０……被研磨物
１１……上定盤
１３……係合片
１４……供給孔
１５……研磨パッド
１６……通孔
１７……吊り軸
１８……吊り板
１９、２０……支持軸
２１……固定スラリーリング
２２、２５……溝
２３、２６……排出孔
２４……可動スラリーリング
２７……連結部材
２８……ブッシュ
２９……管部材（チューブ）
３０……スラリー
【発明の属する技術分野】
この発明は研磨装置に関し、特に、上定盤と下定盤との間にスラリーを供給しつつ、両定盤間でキャリヤを公転、自転させることにより、キャリヤに保持した被研磨物の表面を研磨加工（ラップ加工、ポリシング加工等）するのに有効な研磨装置及び研磨方法に関するものである。
【０００２】
【従来技術およびその問題点】
この種の研磨装置の一例が実公昭６０−４０３０４号公報に記載されている。すなわち、この研磨装置は、回転可能に設けられる下定盤と、下定盤の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられるとともに、上面側から下面側に貫通する供給孔が複数箇所に設けられる上定盤と、下定盤の中心部に設けられる太陽ギアと、下定盤の外周部に設けられるインターナルギアと、太陽ギアとインターナルギアとの間に噛合されるとともに、円板状の被研磨物を保持可能なキャリヤと、上定盤の上方に設けられるとともに、内部にスラリーが充填されるスラリーリングと、スラリーリングと上定盤の各供給孔との間を連結するチューブとを具えている。
【０００３】
そして、キャリヤに被研磨物を保持し、上定盤を下降させて上定盤の下面側の研磨パッドを被研磨物に当接させ、被研磨物を上定盤と下定盤との間で押圧し、スラリーリング内から各チューブ、上定盤の各供給孔を介して上定盤と下定盤との間にスラリーを供給し、上定盤、下定盤及び太陽ギアを回転させて、太陽ギアとインターナルギアとの協働によってキャリヤを公転、自転させることにより、被研磨物の表面を所定の表面粗さに研磨することができるものである。
【０００４】
しかしながら、上記のような構成の研磨装置にあっては、スラリーリングが研磨パッドの表面の上方４００ｍｍ前後の高さに位置しているため、この高さからスラリーを自然落下によって上定盤と下定盤との間に供給した場合に、上定盤と下定盤との間に３．９２×１０-5Ｐａ程度のスラリー圧が作用し、このスラリー圧が上定盤を持ち上げる方向に働いてしまう。そして、このスラリー圧による荷重は上下定盤の面積に比例して大きくなるため、低圧加工を必要とする高精度の被研磨物に対しては研磨荷重が不安定となってしまい、特に、２２Ｂの如く大径キャリヤ或いはそれ以上の大径キャリヤを使用する大型の両面研磨装置で２．５インチ程度の小径で薄い被研磨物を加工する場合にはその現象が顕著になり、被研磨物の加工面に微小うねりが生じる等の不具合が生じ、被研磨物の研磨面を所定の表面粗さに仕上げるのが困難となってしまう。
【０００５】
この発明は前記のような従来のもののもつ問題点を解決したものであって、上定盤と下定盤との間に供給するスラリーの圧力を調整可能とすることによって、低圧加工を必要とする高精度の被研磨物に対して安定した研磨荷重で研磨加工ができるようにし、これにより、２２Ｂキャリヤを使用する大型の両面研磨装置で２．５インチ程度の小径で薄い被研磨物を加工する場合であっても、被研磨物の研磨面を所定の表面粗さに仕上げることができ、高精度の被研磨物の研磨加工の生産性を大幅に向上させることができる研磨装置を提供することを目的とするものである。
【０００６】
【問題点を解決するための手段】
上記の問題点を解決するためにこの発明は、回転可能に設けられる下定盤と、下定盤の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられるとともに、上面側から下面側に貫通する供給孔が複数箇所に設けられる上定盤と、下定盤の中心部に設けられる太陽ギアと、下定盤の外周部に設けられるインターナルギアと、太陽ギアとインターナルギアとの間に噛合されるとともに、被研磨物を保持可能な少なくとも１枚のキャリヤと、前記上定盤の上方に設けられるとともに、内部にスラリーが充填され、かつ、上下方向の位置の調整が可能な可動スラリーリングと、該可動スラリーリングと前記上定盤の各供給孔との間を連結し、可動スラリーリング内のスラリーを各供給孔を介して上定盤と下定盤との間に導く管部材とを具えた手段を採用したものである。また、回転可能に設けられる下定盤と、下定盤の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられるとともに、上面側から下面側に貫通する供給孔が複数箇所に設けられる上定盤と、下定盤の中心部に設けられる太陽ギアと、下定盤の外周部に設けられるインターナルギアと、太陽ギアとインターナルギアとの間に噛合されるとともに、被研磨物を保持可能な少なくとも１枚のキャリヤと、前記上定盤の上方に設けられるとともに、内部にスラリーが充填される固定スラリーリングと、該固定スラリーリングと前記上定盤との間に設けられるとともに、内部にスラリーが充填され、かつ、上下方向の位置の調整が可能な可動スラリーリングと、前記固定スラリーリングと前記可動スラリーリングとの間を連結し、固定スラリーリング内のスラリーを可動スラリーリング内に導く管部材と、前記可動スラリーリングと前記上定盤の各供給孔との間を連結し、可動スラリーリング内のスラリーを各供給孔を介して上定盤と下定盤との間に導く管部材とを具えた手段を採用したものである。さらに、回転可能に設けられる下定盤と、下定盤の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられるとともに、上面側から下面側に貫通する供給孔が複数箇所に設けられる上定盤と、下定盤の中心部に設けられる太陽ギアと、下定盤の外周部に設けられるインターナルギアと、太陽ギアとインターナルギアとの間に噛合されるとともに、被研磨物を保持可能な少なくとも１枚のキャリヤ等とから構成される研磨装置の前記キャリヤに被研磨物を保持し、前記上定盤、下定盤、太陽ギア、及び／又はインターナルギアを回転させて、太陽ギア、インターナルギアとの協働によって前記キャリヤを公転、自転させて被研磨物を研磨する際、前記上定盤の上方に設けた上下方向の位置の調整が可能な可動スラリーリングを介してスラリーを前記上定盤の各供給孔へそれぞれ供給する手段を採用したものである。そして、回転可能に設けられる下定盤と、下定盤の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられるとともに、上面側から下面側に貫通する供給孔が複数箇所に設けられる上定盤と、下定盤の中心部に設けられる太陽ギアと、下定盤の外周部に設けられるインターナルギアと、太陽ギアとインターナルギアとの間に噛合されるとともに、被研磨物を保持可能な少なくとも１枚のキャリヤ等とから構成される研磨装置の前記キャリヤに被研磨物を保持し、前記上定盤、下定盤、太陽ギア、及び／又はインターナルギアを回転させて、太陽ギア、インターナルギアとの協働によって前記キャリヤを公転、自転させて被研磨物を研磨する際、前記上定盤の上方に設けた固定スラリーリングから固定スラリーリングと上定盤との間に設けた上下方向の位置の調整が可能な可動スラリーリングを介してスラリーを前記上定盤の各供給孔へそれぞれ供給する手段を採用したものである。
【０００７】
【作用】
この発明は前記のような手段を採用したことにより、キャリヤに被研磨物を保持し、上定盤を下降させて上定盤を被研磨物の表面に当接させ、被研磨物を上定盤と下定盤との間で押圧する。そして、この状態で可動スラリーリング内のスラリーを管部材及び上定盤の各供給孔を介して上定盤と下定盤との間に導く。または、固定スラリーリング内のスラリーを管部材、可動スラリーリング、管部材及び上定盤の各供給孔を介して上定盤と下定盤との間に導く。そして、上定盤、下定盤及び太陽ギアを回転させて、上定盤と下定盤との間でキャリヤを公転、自転させることにより、被研磨物の表面が研磨されることになる。この場合、可動スラリーリングの上下方向の位置を調整することにより、上定盤と下定盤との間に導くスラリーの圧力を調整できることになる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、図面に示すこの発明の実施の形態について説明する。
図１には、この発明による研磨装置の第１の実施の形態が示されていて、この研磨装置は、回転可能に設けられる下定盤１と、下定盤１の中心部に回転可能に設けられるドライバ３と、下定盤１の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられる上定盤１１と、上定盤１１の下面側に貼着される研磨パッド１５と、ドライバ３の外周側に回転可能に設けられる太陽ギア６と、下定盤１の外周側に設けられるインターナルギア７と、太陽ギア６とインターナルギア７との間に噛合されるとともに、被研磨物１０を保持可能なキャリヤ８と、上定盤１１の上方に設けられるとともに、内部にスラリー３０が所定量充填される可動スラリーリング２４とを具えている。
【０００９】
下定盤１は、円板状に形成されるものであって、中心部には上下方向に貫通する孔２が設けられ、この孔２内をドライバ３が挿通するようになっている。下定盤１は、下定盤１の下方に位置する駆動源（図示せず）に連結され、駆動源の作動時に水平方向に回転するようになっている。下定盤１は駆動源を使用せずに固定としてもよいものである。なお、この実施の形態においては、下定盤１の上面側に研磨パッドを設けていないが、研磨加工の種類（例えばポリシング加工等）によっては下定盤１の上面側に研磨パッドを設けるように構成してもよいものである。
【００１０】
ドライバ３は、円柱状に形成されるものであって、シャフト５を介して下定盤１の下方に位置する駆動源（図示せず）に連結され、駆動源の作動時に水平方向に回転するようになっている。ドライバ３は、下定盤１の中心部の孔２を挿通して上端部が下定盤１よりも上方に突出し、その突出している部分が後述する上定盤１１の中心部の孔１２内に遊嵌するようになっている。ドライバ３の外周面には上下方向に延びる係合溝４が設けられ、この係合溝４内に後述する上定盤１１の孔１２の周縁部に設けた係合片１３が係合するようになっている。
【００１１】
太陽ギア６は、下定盤１の孔２とドライバ３のシャフト５との間に設けられる環状をなすものであって、外周面に所定のギアが設けられるようになっている。太陽ギア６は、下定盤１の下方に位置する駆動源（図示せず）に連結され、駆動源の作動時に水平方向に回転するようになっている。
【００１２】
インターナルギア７は、下定盤１の外周側に設けられる環状をなすものであって、内周面に所定のギアが設けられるようになっている。インターナルギア７は、駆動源に連結して水平方向に回転可能としてもよいし、駆動源を使用せずに固定としてもよいものである。この実施の形態においては、駆動源に連結して回転可能としている。
【００１３】
キャリヤ８は、円板状に形成されるものであって、複数箇所に上下方向に貫通する孔９が設けられ、各孔９内にシリコンウエハ、フォトマスク等の円板状の被研磨物１０が装填されるようになっている。キャリヤ８の外周面には所定のギアが設けられ、このギアと太陽ギア６のギア及びインターナルギア７のギアとが相互に噛合することで、キャリヤ８は太陽ギア６の回転時に公転、自転するようになっている。キャリヤ８は、太陽ギア６とインターナルギア７との間に少なくとも１枚設ければよいものである。
【００１４】
上定盤１１は、円板状に形成されるものであって、中心部には上下方向に貫通する孔１２が設けられ、この孔１２内にドライバ３が遊嵌するようになっている。上定盤１１の孔１２の周縁部には径方向内方に突出する係合片１３が設けられ、この係合片１３をドライバ３の係合溝４内に係合させることで、上定盤１１とドライバ３との回転方向への相対的なずれがなくなり、ドライバ３の回転時に上定盤１１がドライバ３と一体に回転するものである。
【００１５】
ドライバ３の上方には軸線を一致させた状態で上下動用シリンダ（図示せず）が設けられている。上下動用シリンダのロッド（図示せず）には吊り軸１７が軸線を一致させた状態で連結されるとともに、吊り軸１７には円板状の吊り板１８が水平に連結され、さらに吊り板１８には複数本の支持軸１９を介して上定盤１１が連結されるようになっている。
【００１６】
上定盤１１には上面側から下面側に貫通する供給孔１４が複数箇所に設けられている。上定盤１１の下面側には研磨パッド１５が貼着されるとともに、研磨パッド１５の上定盤１１の各供給孔１４に対応する部分には研磨パッド１５を上下方向に貫通して各供給孔１４に連通する通孔１６が設けられている。
【００１７】
吊り板１８と上定盤１１との間の支持軸１９の外側の部位には可動スラリーリング２４が取り付けられている。可動スラリーリング２４は、上面側が開口する環状の溝２５を有する環状をなすものであって、この溝２５内にスラリー供給源（図示せず）からラップ液内に砥粒を懸濁させたスラリー３０が供給されるようになっている。可動スラリーリング２４は連結部材２７を介して支持軸１９に取り付けられ、連結部材２７の支持軸１９に対する取り付け位置を調整することで上下方向の位置を調整できるようになっている。なお、図示はしないが、溝２５を可動スラリーリング２４の内部に設けるようにしてもよいものである。
【００１８】
可動スラリーリング２４の溝２５の底部には溝２５内外を連通する排出孔２６が複数箇所に設けられ、各排出孔２６にはブッシュ２８を介して管部材２９であるビニル製のチューブ２９の一端が接続されるようになっている。チューブ２９の他端は上定盤１１の供給孔１４の上端開口部にブッシュ２８を介して接続されるようになっている。なお、管部材２９は、ビニル製のチューブ２９に限らず、金属製のチューブ２９であってもよいし、他の素材からなるチューブ２９であってもよいものである。また、ブッシュ２８を使用せずに、チューブ２９の一端を直接に各排出孔２６に接続し、他端を直接に各供給孔１４に接続するようにしてもよいものである。
【００１９】
次に、前記に示すものの作用について説明する。
まず、キャリヤ８の孔９内に被研磨物１０を装填し、上下動用シリンダを作動させて上定盤１１を下降させ、研磨パッド１５を被研磨物１０の上面側に当接させ、上定盤１１と下定盤１との間で被研磨物１０を押圧する。
【００２０】
次に、スラリー供給源を作動させて可動スラリーリング２４の溝２５内にスラリー３０を供給し、このスラリー３０を可動スラリーリング２４の溝２５内から排出孔２６、各チューブ２９を介して上定盤１１の各供給孔１４内に導き、上定盤１１の各供給孔１４から研磨パッド１５の各通孔１６を介して上定盤１１と下定盤１との間に供給する。
【００２１】
そして、上定盤１１（ドライバ３）の駆動源、下定盤１の駆動源、太陽ギア６の駆動源及びインターナルギア７の駆動源を作動させて、上定盤１１、下定盤１、太陽ギア６及びインターナルギア７を回転駆動させて、上定盤１１と下定盤１との間でキャリヤ８を公転、自転させることで、被研磨物１０の表面を所定の表面粗さに研磨することができるものである。
【００２２】
上記のように構成したこの実施の形態による研磨装置にあっては、上定盤１１の上方に上下方向の位置の調整が可能な可動スラリーリング２４を設けて、可動スラリーリング２４の溝２５を介してスラリー３０を上定盤１１と下定盤１との間に供給するようにしたので、可動スラリーリング２４の溝２５内でスラリー３０の圧力を低減させた後に上定盤１１と下定盤１との間に供給することができることになる。しかも、上定盤１１と下定盤１との間に供給するスラリー３０の圧力を可動スラリーリング２４の上下方向の位置を調整することによって任意の値に調整できることになる。したがって、低圧加工を必要とする高精度の被研磨物１０に対して研磨荷重が不安定となるようなことはなく、２２Ｂキャリヤを使用する大型の両面研磨装置で２．５インチ程度の小径で薄い被研磨物１０を加工する場合であっても、被研磨物１０の表面を所定の表面粗さに仕上げることができ、高精度の被研磨物１０の研磨加工の生産性を大幅に向上させることができることになる。また、可動スラリーリング２４は支持軸１９の外側の部位に設けられているので、可動スラリーリング２４の溝２５内を清掃等する場合に支持軸１９が邪魔になるようなことはなく、メンテナンス性を高めることができることになる。
【００２３】
図２にはこの発明による研磨装置の第２の実施の形態が示されていて、この実施の形態に示す研磨装置は、可動スラリーリング２４を支持軸１９の内側に設けたものであって、その他の構成は前記第１の実施の形態に示すものと同様である。
【００２４】
そして、この実施の形態による研磨装置にあっても、前記第１の実施の形態に示すものと同様の作用効果を示し、上定盤１１の上方に上下方向の位置の調整が可能な可動スラリーリング２４を設けて、可動スラリーリング２４の溝２５を介してスラリー３０を上定盤１１と下定盤１との間に供給するようにしたので、可動スラリーリング２４の溝２５内でスラリー３０の圧力を低減させた後に上定盤１１と下定盤１との間に供給することができることになる。しかも、上定盤１１と下定盤１との間に供給するスラリー３０の圧力を可動スラリーリング２４の上下方向の位置を調整することによって任意の値に調整できることになる。したがって、低圧加工を必要とする高精度の被研磨物１０に対して研磨荷重が不安定となるようなことはなく、２２Ｂキャリヤを使用する大型の両面研磨装置で２．５インチ程度の小径で薄い被研磨物１０を加工する場合であっても、被研磨物１０の表面を所定の表面粗さに仕上げることができ、高精度の被研磨物１０の研磨加工の生産性を大幅に向上させることができることになる。
【００２５】
図３にはこの発明による研磨装置の第３の実施の形態が示されていて、この研磨装置は、吊り板１８の上部に、上面側が開口する環状の溝２２を有する環状の固定スラリーリング２１を支持軸２０を介して取り付け、この固定スラリーリング２１の溝２２内にスラリー供給源（図示せず）からスラリー３０を供給可能とするとともに、固定スラリーリング２１の溝２２と可動スラリーリング２４の溝２５との間を管部材２９であるチューブ２９を介して相互に連結したものであって、その他の構成は前記第１の実施の形態に示すものと同様の構成を有している。
【００２６】
この場合、固定スラリーリング２１の溝２２の底部には溝２２内外を連通する排出孔２３が複数箇所に設けられ、各排出孔２３にはブッシュ２８を介して管部材２９であるビニル製のチューブ２９の一端が接続されるとともに、チューブ２９の他端は可動スラリーリング２４の溝２５内に接続されるようになっている。なお、管部材２９は、ビニル製のチューブ２９に限らず、金属製のチューブ２９であってもよいし、他の素材からなるチューブ２９であってもよいものである。また、ブッシュ２８を使用せずに、チューブ２９を直接に各排出孔２３に接続するようにしてもよいものである。さらに、溝２２を固定スラリーリング２１の内部に設けるようにしてもよいものである。
【００２７】
そして、この実施の形態に示す研磨装置にあっても前記第１の実施の形態に示すものと同様の作用効果を示し、上定盤１１の上方に固定スラリーリング２１を設けるとともに、固定スラリーリング２１の下方に上下方向の位置の調整が可能な可動スラリーリング２４を設けて、固定スラリーリング２１の溝２２内のスラリー３０を可動スラリーリング２４の溝２５を介して上定盤１１と下定盤１との間に供給するようにしたので、可動スラリーリング２４の溝２５内でスラリー３０の圧力を低減させた後に上定盤１１と下定盤１との間に供給することができることになる。しかも、上定盤１１と下定盤１との間に供給するスラリー３０の圧力を可動スラリーリング２４の上下方向の位置を調整することによって任意の値に調整できることになる。したがって、低圧加工を必要とする高精度の被研磨物１０に対して研磨荷重が不安定となるようなことはなく、２２Ｂキャリヤを使用する大型の両面研磨装置で２．５インチ程度の小径で薄い被研磨物１０を加工する場合であっても、被研磨物１０の表面を所定の表面粗さに仕上げることができ、高精度の被研磨物１０の研磨加工の生産性を大幅に向上させることができることになる。また、可動スラリーリング２４は支持軸１９の外側の部位に設けられているので、可動スラリーリング２４の溝２５内を清掃等する場合に支持軸１９が邪魔になるようなことはなく、メンテナンス性を高めることができることになる。
【００２８】
図４にはこの発明による研磨装置の第４の実施の形態が示されていて、この実施の形態に示す研磨装置は、可動スラリーリング２４を支持軸１９の内側に設けたものであって、その他の構成は前記第３の実施の形態に示すものと同様である。
【００２９】
そして、この実施の形態に示す研磨装置にあっても前記第１の実施の形態に示すものと同様の作用効果を示し、上定盤１１の上方に固定スラリーリング２１を設けるとともに、固定スラリーリング２１の下方に上下方向の位置の調整が可能な可動スラリーリング２４を設けて、固定スラリーリング２１の溝２２内のスラリー３０を可動スラリーリング２４の溝２５を介して上定盤１１と下定盤１との間に供給するようにしたので、可動スラリーリング２４の溝２５内でスラリー３０の圧力を低減させた後に上定盤１１と下定盤１との間に供給することができることになる。しかも、上定盤１１と下定盤１との間に供給するスラリー３０の圧力を可動スラリーリング２４の上下方向の位置を調整することによって任意の値に調整できることになる。したがって、低圧加工を必要とする高精度の被研磨物１０に対して研磨荷重が不安定となるようなことはなく、２２Ｂキャリヤを使用する大型の両面研磨装置で２．５インチ程度の小径で薄い被研磨物１０を加工する場合であっても、被研磨物１０の表面を所定の表面粗さに仕上げることができ、高精度の被研磨物１０の研磨加工の生産性を大幅に向上させることができることになる。
【００３０】
【発明の効果】
この発明は請求項１又は請求項３のように構成したことにより、スラリーは可動スラリーリング内に供給されるとともに、可動スラリーリング内から管部材及び上定盤の供給孔を介して上定盤と下定盤との間に供給されることになるので、可動スラリーリングで圧力を低減させた後に上定盤と下定盤との間に供給されることになる。この場合、可動スラリーリングは上下方向の位置の調整が可能となっているので、可動スラリーリングの上下方向の位置を調整することによってスラリーの圧力を任意の値に調整できることになる。したがって、低圧加工を必要とする高精度の被研磨物に対して研磨荷重が不安定となるようなことはなく、２２Ｂキャリヤを使用する大型の両面研磨装置で２．５インチ程度の小径で薄い被研磨物を加工する場合であっても、被研磨物の研磨面を所定の表面粗さに仕上げることができ、高精度の被研磨物の研磨加工の生産性を大幅に向上させることができることになる。
【００３１】
また、請求項２又は４のように構成したことにより、スラリーは固定スラリーリング内に供給されるとともに、固定スラリーリング内から管部材を介して可動スラリーリング内に供給され、可動スラリーリング内から管部材及び上定盤の供給孔を介して上定盤と下定盤との間に供給されることになるので、可動スラリーリングで圧力を低減させた後に上定盤と下定盤との間に供給されることになる。この場合、可動スラリーリングは上下方向の位置の調整が可能となっているので、可動スラリーリングの上下方向の位置を調整することによってスラリーの圧力を任意の値に調整できることになる。したがって、低圧加工を必要とする高精度の被研磨物に対して研磨荷重が不安定となるようなことはなく、２２Ｂキャリヤを使用する大型の両面研磨装置で２．５インチ程度の小径で薄い被研磨物を加工する場合であっても、被研磨物の研磨面を所定の表面粗さに仕上げることができ、高精度の被研磨物の研磨加工の生産性を大幅に向上させることができることになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による研磨装置の第１の実施の形態を示した概略図である。
【図２】この発明による研磨装置の第２の実施の形態を示した概略図である。
【図３】この発明による研磨装置の第３の実施の形態を示した概略図である。
【図４】この発明による研磨装置の第４の実施の形態を示した概略図である。
【符号の説明】
１……下定盤
２、９、１２……孔
３……ドライバ
４……係合溝
５……シャフト
６……太陽ギア
７……インターナルギア
８……キャリヤ
１０……被研磨物
１１……上定盤
１３……係合片
１４……供給孔
１５……研磨パッド
１６……通孔
１７……吊り軸
１８……吊り板
１９、２０……支持軸
２１……固定スラリーリング
２２、２５……溝
２３、２６……排出孔
２４……可動スラリーリング
２７……連結部材
２８……ブッシュ
２９……管部材（チューブ）
３０……スラリー
Claims (4)
- 回転可能に設けられる下定盤と、下定盤の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられるとともに、上面側から下面側に貫通する供給孔が複数箇所に設けられる上定盤と、下定盤の中心部に設けられる太陽ギアと、下定盤の外周部に設けられるインターナルギアと、太陽ギアとインターナルギアとの間に噛合されるとともに、被研磨物を保持可能な少なくとも１枚のキャリヤと、前記上定盤の上方に設けられるとともに、内部にスラリーが充填され、かつ、上下方向の位置の調整が可能な可動スラリーリングと、該可動スラリーリングと前記上定盤の各供給孔との間を連結し、可動スラリーリング内のスラリーを各供給孔を介して上定盤と下定盤との間に導く管部材とを具えたことを特徴とする研磨装置。
- 回転可能に設けられる下定盤と、下定盤の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられるとともに、上面側から下面側に貫通する供給孔が複数箇所に設けられる上定盤と、下定盤の中心部に設けられる太陽ギアと、下定盤の外周部に設けられるインターナルギアと、太陽ギアとインターナルギアとの間に噛合されるとともに、被研磨物を保持可能な少なくとも１枚のキャリヤと、前記上定盤の上方に設けられるとともに、内部にスラリーが充填される固定スラリーリングと、該固定スラリーリングと前記上定盤との間に設けられるとともに、内部にスラリーが充填され、かつ、上下方向の位置の調整が可能な可動スラリーリングと、前記固定スラリーリングと前記可動スラリーリングとの間を連結し、固定スラリーリング内のスラリーを可動スラリーリング内に導く管部材と、前記可動スラリーリングと前記上定盤の各供給孔との間を連結し、可動スラリーリング内のスラリーを各供給孔を介して上定盤と下定盤との間に導く管部材とを具えたことを特徴とする研磨装置。
- 回転可能に設けられる下定盤と、下定盤の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられるとともに、上面側から下面側に貫通する供給孔が複数箇所に設けられる上定盤と、下定盤の中心部に設けられる太陽ギアと、下定盤の外周部に設けられるインターナルギアと、太陽ギアとインターナルギアとの間に噛合されるとともに、被研磨物を保持可能な少なくとも１枚のキャリヤ等とから構成される研磨装置の前記キャリヤに被研磨物を保持し、前記上定盤、下定盤、太陽ギア、及び／又はインターナルギアを回転させて、太陽ギア、インターナルギアとの協働によって前記キャリヤを公転、自転させて被研磨物を研磨する際、前記上定盤の上方に設けた上下方向の位置の調整が可能な可動スラリーリングを介してスラリーを前記上定盤の各供給孔へそれぞれ供給することを特徴とする研磨方法。
- 回転可能に設けられる下定盤と、下定盤の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられるとともに、上面側から下面側に貫通する供給孔が複数箇所に設けられる上定盤と、下定盤の中心部に設けられる太陽ギアと、下定盤の外周部に設けられるインターナルギアと、太陽ギアとインターナルギアとの間に噛合されるとともに、被研磨物を保持可能な少なくとも１枚のキャリヤ等とから構成される研磨装置の前記キャリヤに被研磨物を保持し、前記上定盤、下定盤、太陽ギア、及び／又はインターナルギアを回転させて、太陽ギア、インターナルギアとの協働によって前記キャリヤを公転、自転させて被研磨物を研磨する際、前記上定盤の上方に設けた固定スラリーリングから固定スラリーリングと上定盤との間に設けた上下方向の位置の調整が可能な可動スラリーリングを介してスラリーを前記上定盤の各供給孔へそれぞれ供給することを特徴とする研磨方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34633599A JP4023765B2 (ja) | 1999-12-06 | 1999-12-06 | 研磨装置及び研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34633599A JP4023765B2 (ja) | 1999-12-06 | 1999-12-06 | 研磨装置及び研磨方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001162518A JP2001162518A (ja) | 2001-06-19 |
| JP4023765B2 true JP4023765B2 (ja) | 2007-12-19 |
Family
ID=18382724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34633599A Expired - Fee Related JP4023765B2 (ja) | 1999-12-06 | 1999-12-06 | 研磨装置及び研磨方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4023765B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5505713B2 (ja) * | 2010-04-26 | 2014-05-28 | 株式会社Ｓｕｍｃｏ | 研磨液分配装置及びこれを備えた研磨装置 |
| CN115157086B (zh) * | 2022-07-08 | 2023-11-21 | 杭州凯美模具有限公司 | 一种纳米级表面粗糙度的模具制造系统及工艺 |
-
1999
- 1999-12-06 JP JP34633599A patent/JP4023765B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001162518A (ja) | 2001-06-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050726 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070823 |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071001 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4023765 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101012 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131012 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131012 Year of fee payment: 6 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131012 Year of fee payment: 6 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
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|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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