JP2001150335A - 研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 研磨剤の流れを均一にするとともに、固化し
た研磨剤が供給されるのを防止する。 【解決手段】 上定盤１２の上方に研磨剤用樋２０とリ
ンス液用樋２３とを設けるとともに、上定盤１２の各供
給孔１５にブッシュ２６を装着する。ブッシュ２６には
上下面間を貫通する通孔を有する。ブッシュ２６の通孔
と研磨剤用樋２０との間、及びブッシュ２６の通孔とリ
ンス液用樋２３との間をそれぞれチューブ３５、３６で
連結する。研磨剤はブッシュ２６の通孔及びチューブ３
６を介してリンス液用樋２３内にも流入し、この際にチ
ューブ３５内に入り込んだ空気を大気中に排出する。リ
ンス液はブッシュ２６の通孔及びチューブ３５を介して
研磨剤用樋２０内にも流入し、この際にチューブ３５及
び研磨剤用樋２０内の研磨剤が洗い落とされる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は研磨装置に関し、
特に、上定盤と下定盤との間に研磨剤を供給しつつ、両
定盤間でキャリヤを公転、自転させることにより、キャ
リヤに保持した被研磨物の表面を研磨加工する研磨装置
に関するものである。

【０００２】

【従来技術およびその問題点】この種の研磨装置の一例
が実公昭６０−４０３０４号公報に記載されている。す
なわち、この研磨装置は、回転可能に設けられる下定盤
と、下定盤の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられ
るとともに、上面側から下面側に貫通する供給孔が複数
箇所に設けられる上定盤と、下定盤の中心部に回転可能
に設けられる太陽ギアと、下定盤の外周部に設けられる
インターナルギアと、下定盤と上定盤との間に設けられ
るとともに、太陽ギアとインターナルギアとの間に噛合
されて両定盤間で公転、自転可能であり、かつ、被研磨
物を保持可能なキャリヤと、上定盤の上方に設けられる
とともに、内部にスラリー状の研磨剤又はリンス液を充
填可能な樋と、樋と上定盤の各供給孔との間を相互に連
通するチューブとを具えている。

【０００３】そして、キャリヤに被研磨物を保持し、上
定盤を下降させて上定盤の下面側の研磨パッドを被研磨
物に当接させて被研磨物を上定盤と下定盤との間で押圧
し、研磨剤供給源から樋内に研磨剤を供給し、研磨剤を
樋内から各チューブ、上定盤の各供給孔を介して上定盤
と下定盤との間に供給し、上定盤、下定盤及び太陽ギア
を回転させて太陽ギアとインターナルギアとの協働によ
ってキャリヤを公転、自転させることにより、被研磨物
の表面を所定の表面粗さに研磨することができるもので
ある。

【０００４】そして、研磨加工が終了した後に、樋内へ
の研磨剤の供給を停止し、リンス液供給源から樋内にリ
ンス液を供給し、リンス液を樋内から各チューブ、上定
盤の各供給孔を介して上定盤と下定盤との間に供給し、
上定盤、下定盤及び太陽ギアを回転させて太陽ギアとイ
ンターナルギアとの協働によってキャリヤを公転、自転
させることにより、被研磨物の表面に付着している研磨
剤を洗い落とすことができるものである。

【０００５】上記のような構成の研磨装置にあっては、
研磨加工中に被加工物は上定盤と下定盤との間で押圧さ
れるため、被加工物に対応する位置に位置している供給
孔は密封された状態となり、空気の排気が悪くなる。こ
のため、空気の排気の良い供給孔と排気の悪い供給孔と
が存在し、排気の良い供給孔は研磨剤の流出が良く、悪
い供給孔は研磨剤の流出が悪くなり、供給孔からの研磨
剤の流出にばらつきが生じ、被研磨物の研磨加工に影響
を及ぼすことになる。このため、チューブの途中に空気
抜き用のチューブを設け、このチューブから空気を排気
させることで、供給孔からの研磨剤の流出のばらつきを
なくし、被研磨物の研磨面を一定の研磨精度で仕上げて
いる。

【０００６】しかしながら、空気抜き用のチューブ内に
空気と一緒に研磨剤が流れ込み、その流れ込んだ研磨剤
がその部分で固化してしまうことがあり、この固化した
研磨剤がリンス液を供給する際等に空気抜き用チューブ
内から流出して上定盤と下定盤との間に供給され、被研
磨物の研磨面に傷を付けてしまい、歩留りを大幅に低下
させてしまう。

【０００７】この発明は前記のような従来のもののもつ
問題点を解決したものであって、各供給孔からの研磨剤
の流出を均一にすることができて、被研磨物の研磨面を
一定の研磨精度で仕上げることができるとともに、リン
ス液を供給する際等に固化した研磨剤が上定盤と下定盤
との間に供給され、被研磨物の研磨面に傷を付けてしま
うようなことがなく、歩留りを大幅に向上させることが
できる研磨装置を提供することを目的とするものであ
る。

【０００８】

【問題点を解決するための手段】上記の問題点を解決す
るためにこの発明は、回転可能に設けられる下定盤と、
該下定盤の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられる
とともに、上面側から下面側に貫通する供給孔が少なく
とも１箇所に設けられる上定盤と、前記下定盤の中心部
に回転可能に設けられる太陽ギアと、前記下定盤の外周
部に設けられるインターナルギアと、前記太陽ギアとイ
ンターナルギアとの間に噛合されるとともに、被研磨物
を保持可能なキャリヤとを具えた研磨装置において、前
記上定盤の上方に研磨剤を充填可能な研磨剤用樋とリン
ス液を充填可能なリンス液用樋とを設けるとともに、前
記上定盤の供給孔と前記研磨剤用樋との間、及び前記上
定盤の供給孔と前記リンス液用樋との間をそれぞれチュ
ーブを介して相互に連結し、両チューブを前記上定盤の
供給孔内において相互に連通させた手段を採用したもの
である。また、前記上定盤の供給孔に、上下面間を貫通
する通孔を有するブッシュを装着し、該ブッシュの通孔
の上面側開口部に前記両チューブを連結し、該ブッシュ
の通孔の下面側開口部を前記上定盤の供給孔に連通させ
た手段を採用したものである。さらに、前記ブッシュの
通孔は、一端が上面側に開口する２本の流入孔と、両流
入孔の他端間を連通する連通孔と、一端が該連通孔に連
通し他端が下面側に開口する流出孔とからなり、一方の
流入孔に前記一方のチューブを連結し、他方の流入孔に
前記他方のチューブを連結した手段を採用したものであ
る。

【０００９】

【作用】この発明は前記のような手段を採用したことに
より、キャリヤに被研磨物を保持し、上定盤を下降させ
て上定盤を被研磨物の表面に当接させて被研磨物を上定
盤と下定盤との間で押圧し、研磨剤用樋内に研磨剤を供
給すると、研磨剤は研磨剤用樋からチューブを介して上
定盤の供給孔内に流入する。そして、供給孔内に流入し
た研磨剤は、上定盤の下面側に流出するものとリンス液
用樋側のチューブ内に流入するものとに分流される。リ
ンス液用樋側のチューブ内に流入した研磨剤は、圧力が
平衡状態となる位置（研磨剤用樋内の研磨剤のレベルと
同一レベルとなるリンス液用樋内の位置）まで流入し、
チューブ内に入り込んだ空気が大気中に排出される。そ
して、上定盤、下定盤及び太陽ギアを回転させて太陽ギ
アとインターナルギアとの協働によってキャリヤを公
転、自転させることにより、被研磨物の表面が所定の表
面粗さに研磨される。そして、研磨剤用樋内への研磨剤
の供給を停止し、リンス液用樋内にリンス液を供給する
と、リンス液はリンス液用樋からチューブを介して上定
盤の供給孔内に流入する。そして、供給孔内に流入した
リンス液は、上定盤の下面側に流出するものと研磨剤用
樋側のチューブ内に流入するものとに分流される。研磨
剤用樋側のチューブ内に流入したリンス液は、圧力が平
衡状態となる位置（リンス液用樋内のリンス液のレベル
と同一レベルとなるリンス液用樋内の位置）まで流入
し、研磨剤用樋内及び研磨剤用樋側のチューブ内の研磨
剤が洗い落とされる。そして、上定盤、下定盤及び太陽
ギアを回転させて太陽ギアとインターナルギアとの協働
によってキャリヤを公転、自転させることにより、被研
磨物の表面に付着している研磨剤が洗い落とされること
になる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図面に示すこの発明の実施
の形態について説明する。図１〜図３には、この発明に
よる研磨装置の一実施の形態が示されていて、この研磨
装置１は、回転可能に設けられる下定盤２と、下定盤２
の中心部に回転可能に設けられるドライバ４と、下定盤
２の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられる上定盤
１２と、上定盤１２の下面側に貼着される研磨パッド１
７と、上定盤１２の上方に設けられる研磨剤用樋２０
と、上定盤１２の上方に設けられるリンス液用樋２３
と、ドライバ４の外周側に回転可能に設けられる太陽ギ
ア７と、下定盤２の外周側に設けられるインターナルギ
ア８と、下定盤２と上定盤１２との間に設けられるとと
もに、太陽ギア７とインターナルギア８との間に噛合さ
れて両定盤２、１２間を公転、自転可能であり、かつ、
被研磨物１１を保持可能なキャリヤ９とを具えている。

【００１１】下定盤２は、円板状に形成されるものであ
って、中心部には上下方向に貫通する孔３が設けられ、
この孔３内をドライバ４が挿通するようになっている。
下定盤２は、下定盤２の下方に位置する駆動源（図示せ
ず）に連結され、駆動源の作動時に水平方向に回転する
ようになっている。下定盤２は、駆動源を使用せずに固
定として使用してもよいものである。

【００１２】ドライバ４は、円柱状に形成されるもので
あって、シャフト６を介して下定盤２の下方に位置する
駆動源（図示せず）に連結され、駆動源の作動時に水平
方向に回転するようになっている。ドライバ４は、下定
盤２の中心部の孔３を挿通して上端部が下定盤２よりも
上方に突出し、この突出している部分が後述する上定盤
１２の中心部の孔１３内に遊嵌するようになっている。
ドライバ４の外周面には上下方向に延びる係合溝５が設
けられ、この係合溝５内に後述する上定盤１２の孔１３
の周縁部に設けた係合片１４が係合するようになってい
る。

【００１３】太陽ギア７は、下定盤２の孔３とドライバ
４のシャフト６との間に設けられる環状をなすものであ
って、外周面に所定のギアが設けられるようになってい
る。太陽ギア７は、下定盤２の下方に位置する駆動源
（図示せず）に連結され、駆動源の作動時に水平方向に
回転するようになっている。

【００１４】インターナルギア８は、下定盤２の外周側
に設けられる環状をなすものであって、内周面に所定の
ギアが設けられるようになっている。この場合、インタ
ーナルギア８は、駆動源に連結して水平方向に回転可能
としてもよいし、駆動源を使用せずに固定としてもよい
ものである。

【００１５】キャリヤ９は、円板状に形成されるもので
あって、複数箇所に上下方向に貫通する孔１０が設けら
れ、各孔１０内にシリコンウエハ等の円板状の被研磨物
１１が装填されるようになっている。キャリヤ９の外周
面には所定のギアが設けられ、このギアと太陽ギア７の
ギア及びインターナルギア８のギアとが相互に噛合する
ことで、キャリヤ９は太陽ギア７の回転時に公転、自転
するものである。キャリヤ９は、太陽ギア７とインター
ナルギア８との間に少なくとも１枚設ければよいもので
ある。

【００１６】ドライバ４の上方には軸線を一致させた状
態で上下動用シリンダ（図示せず）が設けられ、上下動
用シリンダのロッド（図示せず）には吊り軸４０が軸線
を一致させた状態で連結されるとともに、吊り軸４０に
は円板状の吊り板４１が水平に連結され、この吊り板４
１に複数本の支持板４２を介して上定盤１２が連結され
るようになっている。

【００１７】上定盤１２は、円板状に形成されるもので
あって、中心部には上下方向に貫通する孔１３が設けら
れ、この孔１３内にドライバ４が遊嵌するようになって
いる。上定盤１２の孔１３の周縁部には径方向内方に突
出する係合片１４が取り付けられ、この係合片１４をド
ライバ４の係合溝５内に係合させることで、上定盤１２
とドライバ４との回転方向への相対的なずれがなくな
り、ドライバ４の回転時に上定盤１２がドライバ４と一
体に回転するものである。

【００１８】上定盤１２には上下面間を貫通する供給孔
１５が複数箇所に設けられ、各供給孔１５の内周面には
所定のねじ１６が螺設されるようになっている。各供給
孔１５には後述するブッシュ２６が螺着されるようにな
っている。

【００１９】ブッシュ２６は、外周面にねじ２９が螺設
される円柱状の脚部２８と、脚部２８の上端に一体に形
成される円板状の頭部２７とからなるものであって、脚
部２８を上定盤１２の各供給孔１５に螺合させること
で、上定盤１２の各供給孔１５に取り付けられるように
なっている。

【００２０】ブッシュ２６には上下面間を貫通する通孔
が設けられている。通孔は、一端が頭部２７の上面側に
開口する軸線方向に延びる所定の長さの２本の流入孔３
０、３１と、両流入孔３０、３１の他端間を相互に連通
するとともに、一端が頭部２７の周面側に開口する軸線
と直交する方向に延びる所定の長さの連通孔３２と、一
端が連通孔３２に連通し他端が脚部２８の下面側に開口
する軸線方向に延びる所定の長さの１本の流出孔３４と
からなり、連通孔３２の一端開口部はメクラ栓３３で閉
塞されるようになっている。なお、図示はしないが、流
入孔３０、３１を３本以上設けてもよいものであり、流
出孔３４を２本以上設けてもよいものである。

【００２１】上定盤１２の上方には１本の環状の研磨剤
用樋２０が設けられている。研磨剤用樋２０には上面側
が開口する所定の深さの環状の溝２１が設けられ、この
溝２１内に研磨剤４３が所定量充填されるようになって
いる。研磨剤用樋２０の底部には溝２１内外を貫通する
流出孔２２が複数箇所に設けられ、この流出孔２２を介
して溝２１内の研磨剤４３が溝２１外に流出するように
なっている。研磨剤用樋２０はスタッドボルト３９によ
って上定盤１２の上部に固定され、スタッドボルト３９
を長さの異なるものと交換することによって上下方向の
位置の調整が可能となっている。なお、図示はしない
が、研磨剤用樋２０を２本以上使用し、各研磨剤用樋２
０をスタッドボルト３９等で上定盤１２の上部にそれぞ
れ固定するように構成してもよいものであり、また、研
磨剤用樋２０の形状は環状に限らず他の形状としてもよ
いものである。

【００２２】上定盤１２の上方には２本の環状のリンス
液用樋２３、２３が設けられている。各リンス液用樋２
３には上面側が開口する所定の深さの環状の溝２４が設
けられ、この溝２４内にリンス液４４が所定量充填され
るようになっている。各リンス液用樋２３の底部には溝
２４内外を貫通する流出孔２５が複数箇所に設けられ、
この流出孔２５を介して溝２４内のリンス液４４が溝２
４外に流出するようになっている。

【００２３】リンス液用樋２３は、研磨剤用樋２０の内
周面及び外周面にそれぞれ一体に取り付けられている。
リンス液用樋２３は、その上面が研磨剤用樋２０の上面
と面一となっているとともに、その底面が研磨剤用樋２
０の底面よりも上方に位置するように構成され、流出孔
２５が研磨剤用樋２０の流出孔２２よりも上方に位置す
るようになっている。この場合、内側のリンス液用樋２
３の外壁は研磨剤用樋２０の内壁と兼用し、外側のリン
ス液用樋２３の内壁は研磨剤用樋２０の外壁と兼用して
いるが、それらを兼用せずに別体に形成するようにして
もよいものである。なお、各リンス液用樋２３を研磨剤
用樋２０と別体に形成して、スタッドボルト等（図示せ
ず）を介して上定盤１２の上部に固定するように構成し
てもよいものである。また、リンス液用樋２３は２本に
限らず、１本又は３本以上としてもよいものである。

【００２４】研磨剤用樋２０の各流出孔２２と上定盤１
２の各供給孔１５の各ブッシュ２６の一方の流入孔３０
との間はチューブ３５を介して相互に連結されるように
なっている。この場合、チューブ３５は、プラグ（図示
せず）を使用して各流出孔２２と各流入孔３０との間に
取り付けてもよいし、プラグ（図示せず）を使用せずに
直接に取り付けるようにしてもよいものである。

【００２５】リンス液用樋２３の各流出孔２５と上定盤
１２の各供給孔１５の各ブッシュ２６の他方の流入孔３
１との間はチューブ３６を介して相互に連通するように
なっている。この場合、チューブ３６は、プラグ（図示
せず）を使用して各流出孔２５と各流入孔３１との間に
取り付けてもよいし、プラグ（図示せず）を使用せずに
直接に取り付けてもよいものである。

【００２６】研磨剤用樋２０は、チューブ等の管部材
（図示せず）を介して研磨剤供給源（図示せず）に接続
され、研磨剤供給源の作動時に管部材を介して研磨剤用
樋２０の溝２１内にスラリー状の研磨剤４３（ラップ液
内に砥粒を懸濁させたもの）が所定量充填されるように
なっている。

【００２７】リンス液用樋２３は、チューブ等の管部材
（図示せず）を介してリンス液供給源（図示せず）に接
続され、リンス液供給源の作動時に管部材を介してリン
ス液用樋２３の溝２４内にリンス液４４が所定量充填さ
れるようになっている。

【００２８】上定盤１２の下面側には研磨パッド１７が
貼着されるとともに、研磨パッド１７の上定盤１２の各
供給孔１５に対応する部分には研磨パッド１７を上下方
向に貫通する通孔１８がそれぞれ設けられ、これらの通
孔１８、及び供給孔１５を介して研磨剤用樋２０の溝２
１内の研磨剤４３及びリンス液用樋２３の溝２４内のリ
ンス液４４が上定盤１２と下定盤２との間に供給される
ようになっている。なお、図示はしないが研磨パッドを
下定盤２の上面側にも貼着するように構成してもよいも
のである。

【００２９】次に、前記に示すものの作用について説明
する。まず、キャリヤ９の孔１０内に被研磨物１１を装
填し、上下動用シリンダを作動させて上定盤１２を下降
させ、研磨パッド１７を被研磨物１１の上面側に当接さ
せて上定盤１２と下定盤２との間で被研磨物１１を押圧
する。

【００３０】そして、研磨剤供給源（図示せず）を作動
させて管部材（図示せず）を介して上定盤１２の研磨剤
用樋２０の溝２１内に研磨剤４３を供給すると、研磨剤
４３は研磨剤用樋２０の溝２１内から流出孔２２を介し
てチューブ３５内に流入し、チューブ３５からブッシュ
２６の一方の流入孔３０内に流入する。

【００３１】そして、ブッシュ２６の一方の流入孔３０
内に流入した研磨剤４３は、ブッシュ２６の連通孔３２
を介してブッシュ２６の流出孔３４内に流入するものと
ブッシュ２６の他方の流入孔３１内に流入するものとに
分流される。

【００３２】ブッシュ２６の流出孔３４内に流入した研
磨剤４３は、そこから上定盤１２の供給孔１５及び研磨
パッド１７の通孔１８を介して上定盤１２の下面側に流
出する。ブッシュ２６の他方の流入孔３１内に流入した
研磨剤４３は、そこからリンス液用樋２３側のチューブ
３６内に流入し、圧力が平衡状態となる位置（研磨剤用
樋２０の溝２１内の研磨剤４３のレベルと同一レベルと
なるリンス液用樋２３の溝２４内の位置）まで流入し、
チューブ３５、３６内に入り込んだ空気を大気中に排出
する。

【００３３】そして、上定盤１２の駆動源（ドライバ３
の駆動源）、下定盤２の駆動源及び太陽ギア７の駆動源
を作動させて、上定盤１２、下定盤２及び太陽ギア７を
回転駆動させ、太陽ギア７とインターナルギア８との協
働によってキャリヤ９を公転、自転させ、キャリヤ９の
孔１０内の各被研磨物１１の研磨面を所定の表面粗さに
研磨する。

【００３４】そして、被研磨物１１の研磨加工が終了し
た後に、研磨剤供給源から研磨剤用樋２０の溝２１内へ
の研磨剤４３の供給を停止し、リンス液供給源（図示せ
ず）を作動させて、管部材（図示せず）を介してリンス
液用樋２３の溝２４内にリンス液４４を供給すると、リ
ンス液４４はリンス液用樋２３の溝２４内から流出孔２
５を介してチューブ３６内に流入し、チューブ３６内か
らブッシュ２６の他方の流入孔３１内に流入する。

【００３５】そして、ブッシュ２６の他方の流入孔３１
内に流入したリンス液４４は、ブッシュ２６の連通孔３
２を介してブッシュ２６の流出孔３４内に流入するもの
とブッシュ２６の一方の流入孔３０内に流入するものと
に分流される。

【００３６】ブッシュ２６の流出孔３４内に流入したリ
ンス液４４は、そこから上定盤１２の供給孔１５及び研
磨パッド１７の通孔１８を介して上定盤１２の下面側に
流出する。ブッシュ２６の一方の流入孔３０内に流入し
たリンス液４４は、そこから研磨剤液用樋２０側のチュ
ーブ３５内に流入し、圧力が平衡状態となる位置（リン
ス液用樋２３の溝２４内のリンス液４４のレベルと同一
レベルとなる研磨剤用樋２０の溝２１内の位置）まで流
入し、研磨剤用樋２０側のチューブ３５内及び研磨剤用
樋２０の溝２１内の研磨剤４３を洗い落とす。

【００３７】そして、上定盤１２の駆動源（ドライバ３
の駆動源）、下定盤２の駆動源及び太陽ギア７の駆動源
を作動させて、上定盤１２、下定盤２及び太陽ギア７を
回転駆動させ、太陽ギア７とインターナルギア８との協
働によってキャリヤ９を公転、自転させ、キャリヤ９の
孔１０内の各被研磨物１１の研磨面に付着している研磨
剤４３等を洗い落とす。このようにして、被研磨物１１
の表面が所定の表面粗さに仕上げられるものである。

【００３８】上記のように構成したこの実施の形態によ
る研磨装置１にあっては、研磨剤用樋２０の溝２１内か
ら研磨剤４３を上定盤１２と下定盤２との間に供給する
場合に、チューブ３５内に入り込んだ空気はブッシュ２
６の一方の流入孔３０、連通孔３２、他方の流入孔３
１、研磨剤用樋２０側のチューブ３５、及び研磨剤用樋
２０を介して大気中に排出されることになるので、チュ
ーブ３５内の空気の排気状態が悪いことに起因して研磨
剤４３の流出が悪くなるようなことはなく、全ての供給
孔１５において研磨剤４３の流出を均一にすることがで
きることになる。したがって、被研磨物１１の表面を所
定の表面粗さに研磨することができることになる。

【００３９】また、リンス液用樋２３の溝２４内からリ
ンス液４４を上定盤１２と下定盤２との間に供給する場
合に、リンス液４４の一部はブッシュの連通孔３２及び
一方の連通孔３０を介して研磨剤用樋２０側のチューブ
３５内に流入し、チューブ３５内から圧力が平衡状態と
なる研磨剤用樋２０側の溝２１内まで流入することにな
るので、その部分に残存している研磨剤４３が綺麗に洗
い流されることになる。したがって、その部分に研磨剤
４３が残留して固化し、次回の研磨加工において研磨剤
４３を供給する際に固化した研磨剤４３がその部分から
上定盤１２と下定盤２との間に流出し、被研磨物１１の
研磨面に傷を付けるようなことはなく、歩留まりを大幅
に向上させることができることになる。

【００４０】なお、前記の説明においては、上定盤１２
の供給孔１５内にブッシュ２６を装着して、ブッシュ２
６の通孔を介して研磨剤用樋２０側のチューブ３５とリ
ンス液用樋２３側のチューブ３６とを相互に連通した
が、ブッシュ２６を使用せずに、上定盤１２の供給孔１
５内に両チューブ３５、３６を接続して、供給孔１５内
において両チューブ３５、３６を相互に連通するように
構成してもよいものである。

【００４１】

【発明の効果】この発明は請求項１のように構成したこ
とにより、研磨剤用樋内に供給した研磨剤はチューブを
介して上定盤の供給孔内に流入し、供給孔を介して上定
盤の下面側に流出するものとリンス液用樋側のチューブ
内に流入するものとに分流され、リンス液用樋側のチュ
ーブ内に流入した研磨剤は圧力が平衡状態となるリンス
液用樋内の位置まで流入し、チューブ内に入り込んだ空
気が大気中に排出されることになる。したがって、チュ
ーブ内の排気状態が悪いことに起因して供給孔からの研
磨剤の流れが悪くなるようなことはなく、全ての供給孔
において研磨剤の流れを均一にすることができるので、
被研磨物の研磨面を所定の表面粗さに研磨することがで
きることになる。また、研磨加工が終了した後にリンス
液用樋内にリンス液を供給すると、リンス液はチューブ
を介して上定盤の供給孔内に流入し、供給孔を介して上
定盤の下面側に流出するものと研磨剤用樋側のチューブ
内に流入するものとに分流され、研磨剤用樋側のチュー
ブ内に流入したリンス液は圧力が平衡状態となる研磨剤
用樋内の位置まで流入し、研磨剤用樋側のチューブ内及
び研磨剤用樋内の研磨剤が洗い落とされる。したがっ
て、次回の研磨加工の際に、研磨剤側のチューブ内で固
化した研磨剤が上定盤と下定盤との間に流出し、被研磨
物の研磨面に傷を付けるようなことはなく、歩留りを大
幅に向上させることができることになる。

【００４２】また、請求項２又は請求項３のように構成
したことにより、研磨剤用樋内に供給した研磨剤はチュ
ーブ及びブッシュの通孔を介して上定盤の供給孔内に流
入し、供給孔及びブッシュの通孔を介して上定盤の下面
側に流出するものとリンス液用樋側のチューブ内に流入
するものとに分流され、リンス液用樋側のチューブ内に
流入した研磨剤は圧力が平衡状態となるリンス液用樋内
の位置まで流入し、チューブ内に入り込んだ空気が大気
中に排出されることになる。したがって、チューブ内の
排気状態が悪いことに起因して供給孔からの研磨剤の流
れが悪くなるようなことはなく、全ての供給孔において
研磨剤の流れを均一にすることができるので、被研磨物
の研磨面を所定の表面粗さに研磨することができること
になる。また、研磨加工が終了した後にリンス液用樋内
にリンス液を供給すると、リンス液はチューブ及びブッ
シュの通孔を介して上定盤の供給孔内に流入し、供給孔
及びブッシュの通孔を介して上定盤の下面側に流出する
ものと研磨剤用樋側のチューブ内に流入するものとに分
流され、研磨剤用樋側のチューブ内に流入したリンス液
は圧力が平衡状態となる研磨剤用樋内の位置まで流入
し、研磨剤用樋側のチューブ内及び研磨剤用樋内の研磨
剤が洗い落とされる。したがって、次回の研磨加工の際
に、研磨剤側のチューブ内で固化した研磨剤が上定盤と
下定盤との間に流出し、被研磨物の研磨面に傷を付ける
ようなことはなく、歩留りを大幅に向上させることがで
きることになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による研磨装置の一実施の形態の全体
を示した概略図である。

【図２】図１に示すものの上定盤と研磨剤用樋及びリン
ス液用樋との関係を示した拡大図である。

【図３】図１に示すもののブッシュの拡大図であって、
（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図であ
る。

【符号の説明】

１……研磨装置 ２……下定盤 ３、１０、１３……孔 ４……ドライバ ５……係合溝 ６……シャフト ７……太陽ギア ８……インターナルギア ９……キャリヤ １１……被研磨物 １２……上定盤 １４……係合片 １５……供給孔 １６、２９……ねじ １７……研磨パッド １８……通孔 ２０……研磨剤用樋 ２１、２４……溝 ２２、２５、３４……流出孔 ２３……リンス液用樋 ２６……ブッシュ ２７……頭部 ２８……脚部 ３０……一方の流入孔 ３１……他方の流入孔 ３２……連通孔 ３３……メクラ栓 ３５、３６……チューブ ３９……スタッドボルト ４０……吊り軸 ４１……吊り板 ４２……支持板 ４３……研磨剤 ４４……リンス液

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転可能に設けられる下定盤と、該下定
   盤の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられるととも
   に、上面側から下面側に貫通する供給孔が少なくとも１
   箇所に設けられる上定盤と、前記下定盤の中心部に回転
   可能に設けられる太陽ギアと、前記下定盤の外周部に設
   けられるインターナルギアと、前記太陽ギアとインター
   ナルギアとの間に噛合されるとともに、被研磨物を保持
   可能なキャリヤとを具えた研磨装置において、前記上定
   盤の上方に研磨剤を充填可能な研磨剤用樋とリンス液を
   充填可能なリンス液用樋とを設けるとともに、前記上定
   盤の供給孔と前記研磨剤用樋との間、及び前記上定盤の
   供給孔と前記リンス液用樋との間をそれぞれチューブを
   介して相互に連結し、両チューブを前記上定盤の供給孔
   内において相互に連通させたことを特徴とする研磨装
   置。
2. 【請求項２】 前記上定盤の供給孔に、上下面間を貫通
   する通孔を有するブッシュを装着し、該ブッシュの通孔
   の上面側開口部に前記両チューブを連結し、該ブッシュ
   の通孔の下面側開口部を前記上定盤の供給孔に連通させ
   た請求項１記載の研磨装置。
3. 【請求項３】 前記ブッシュの通孔は、一端が上面側に
   開口する２本の流入孔と、両流入孔の他端間を連通する
   連通孔と、一端が該連通孔に連通し他端が下面側に開口
   する流出孔とからなり、一方の流入孔に前記一方のチュ
   ーブを連結し、他方の流入孔に前記他方のチューブを連
   結した請求項２記載の研磨装置。