JPH0750488A - 積層電子部品、その製造方法およびその特性測定方法 - Google Patents

積層電子部品、その製造方法およびその特性測定方法

Info

Publication number
JPH0750488A
JPH0750488A JP5194863A JP19486393A JPH0750488A JP H0750488 A JPH0750488 A JP H0750488A JP 5194863 A JP5194863 A JP 5194863A JP 19486393 A JP19486393 A JP 19486393A JP H0750488 A JPH0750488 A JP H0750488A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laminated
laminated electronic
mother
electronic component
internal circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP5194863A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2870371B2 (ja
Inventor
Norio Sakai
範夫 酒井
Kenji Kubota
憲二 窪田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP5194863A priority Critical patent/JP2870371B2/ja
Priority to EP94112042A priority patent/EP0637828B1/en
Priority to DE69416550T priority patent/DE69416550T2/de
Priority to US08/284,150 priority patent/US5493769A/en
Publication of JPH0750488A publication Critical patent/JPH0750488A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2870371B2 publication Critical patent/JP2870371B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/228Terminals
    • H01G4/232Terminals electrically connecting two or more layers of a stacked or rolled capacitor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C1/00Details
    • H01C1/14Terminals or tapping points or electrodes specially adapted for resistors; Arrangements of terminals or tapping points or electrodes on resistors
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/40Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K3/403Edge contacts; Windows or holes in the substrate having plural connections on the walls thereof
    • H10W70/657
    • H10W70/685
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • H05K1/0306Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/09Shape and layout
    • H05K2201/09009Substrate related
    • H05K2201/09036Recesses or grooves in insulating substrate
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/09Shape and layout
    • H05K2201/09009Substrate related
    • H05K2201/0909Preformed cutting or breaking line
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/09Shape and layout
    • H05K2201/09145Edge details
    • H05K2201/0919Exposing inner circuit layers or metal planes at the side edge of the printed circuit board [PCB] or at the walls of large holes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0011Working of insulating substrates or insulating layers
    • H05K3/0044Mechanical working of the substrate, e.g. drilling or punching
    • H05K3/0052Depaneling, i.e. dividing a panel into circuit boards; Working of the edges of circuit boards
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/43Electric condenser making
    • Y10T29/435Solid dielectric type
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49004Electrical device making including measuring or testing of device or component part
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/4902Electromagnet, transformer or inductor
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49169Assembling electrical component directly to terminal or elongated conductor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • Coils Or Transformers For Communication (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 一方の主面を複合化のための他の電子部品の
実装面として広く利用できる積層電子部品を提供する。 【構成】 所定の切断線に沿って切断することにより複
数の積層電子部品10を得るためのマザー積層体17を
準備し、切断線に沿ってマザー積層体17に溝18を形
成する。溝18の側面上に外部電極15を付与した後、
マザー積層体17を溝18の位置において分割し、個々
の独立した複数の積層電子部品10を得る。 【効果】 多数の積層電子部品を能率的に製造すること
ができるとともに、マザー積層体の状態で個々の積層電
子部品の特性測定を能率的に行なうことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、内部回路要素を内部
に配置した積層電子部品、その製造方法およびその特性
測定方法に関するもので、特に、積層電子部品における
外部電極の形成態様の改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】たとえば、積層コンデンサ、積層インダ
クタ、多層回路基板、多層複合電子部品で代表される積
層電子部品は、導電膜および/または抵抗膜のような内
部回路要素を介在させた状態で複数の絶縁性シートが積
層されてなる積層体を備える。絶縁性シートとしては、
典型的には、セラミックシートが用いられる。
【0003】図6は、この発明にとって興味ある従来の
積層電子部品1の外観を示す斜視図である。積層電子部
品1は、内部回路要素(図示せず)を介在させた状態で
複数の絶縁性シートが積層されてなる積層体2を備え
る。積層体2のたとえば4つの側面には、それぞれ、外
部電極3が形成される。これら外部電極3は、積層体2
の内部に位置する内部回路要素と電気的に接続される。
外部電極3は、適当な金属膜を、積層体2の各側面の特
定の箇所に付与することにより形成されるが、このと
き、積層体2の上下の主面にも、必然的に、外部電極3
の一部が比較的広い面積で延びるようになる。
【0004】このような積層電子部品1は、チップ状の
形態で、外部電極3を介して適宜の回路基板上に表面実
装される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た積層電子部品1において、外部電極3は、積層体2の
上下の主面にまで比較的広い面積で延びるように形成さ
れているため、このような積層電子部品1のいずれかの
主面に、別の電子部品を実装して複合化を図ろうとする
場合、このような別の電子部品の配置可能な面積が制約
される。
【0006】また、積層電子部品1を製造しようとする
とき、個々の積層電子部品1のための独立した積層体2
を用意してから、上述した外部電極3を形成するだけで
なく、必要に応じて、表面に抵抗膜を形成したり、この
抵抗膜をトリミングしたり、電気的特性を測定したり、
オーバーコートを形成したり、前述したように別の電子
部品を実装したりすることなどが行なわれる。しかしな
がら、これらの積層電子部品1の製造に伴う各工程を、
個々の独立した積層体2について高精度をもって実施す
るのは比較的煩雑かつ困難であり、特に多数の積層電子
部品1を得ようとする場合、より能率的な方法の実現が
望まれる。
【0007】それゆえに、この発明の目的は、複合化の
ために別の電子部品を実装するための面積をより広く与
えることができる積層電子部品を提供しようとすること
である。
【0008】この発明の他の目的は、複数の積層電子部
品を能率的に製造できる方法を提供しようとすることで
ある。
【0009】この発明のさらに他の目的は、複数の積層
電子部品の特性測定を能率的に行なえる方法を提供しよ
うとすることである。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明による積層電子
部品は、内部回路要素を介在させた状態で複数の絶縁性
シートが積層されてなるものであって、相対向する第1
および第2の主面とこれら主面間を連結する側面とを備
える積層体、ならびに、前記内部回路要素に電気的に接
続されかつ積層体の外表面上に形成される外部電極を備
えるものであって、上述した技術的課題を解決するた
め、外部電極が、積層体の側面上における厚み方向の途
中から前記第1の主面側にのみ延びるように形成されて
いることを特徴としている。
【0011】この発明による積層電子部品の製造方法
は、所定の切断線に沿って切断することによって複数の
積層電子部品が得られるものであって、切断線によって
区画される各領域に個々の積層電子部品のための内部回
路要素を分布させるように、これら内部回路要素を介在
させた状態で複数のマザー絶縁性シートが積層されてな
る、マザー積層体を準備する工程と、切断線に沿ってマ
ザー積層体に溝を形成する工程と、前記内部回路要素に
電気的に接続されるように溝の側面上に外部電極を付与
する工程と、マザー積層体を溝の位置において分割する
工程とを備えている。
【0012】この発明による積層電子部品の特性測定方
法は、所定の切断線に沿って切断することによって複数
の積層電子部品が得られるものであって、切断線によっ
て区画される各領域に個々の積層電子部品のための内部
回路要素を分布させるように、これら内部回路要素を介
在させた状態で複数のマザー絶縁性シートが積層されて
なる、マザー積層体を準備する工程と、切断線に沿って
マザー積層体に溝を形成する工程と、内部回路要素に電
気的に接続されるように溝の側面上に外部電極を付与す
る工程と、その状態で、外部電極を介して個々の積層電
子部品の電気的特性を測定する工程とを備えている。
【0013】上述した積層電子部品の製造方法の途中ま
たは特性測定方法においてとる積層電子部品の形態、す
なわち、溝が形成されたマザー積層体からなる積層電子
部品の集合体は、そのまま、出荷時の形態とすることも
できる。
【0014】
【発明の作用および効果】この発明に係る積層電子部品
によれば、外部電極が積層体の側面上における厚み方向
の途中から第1の主面側にのみ延びるように形成されて
いるので、積層体の少なくとも第2の主面の全域を、複
合化のための他の電子部品の実装面として広く利用する
ことができる。そのため、部品実装の高密度化を図るこ
とができる。
【0015】次に、この発明に係る積層電子部品の製造
方法によれば、複数の積層電子部品を与えるマザー積層
体の状態で、外部電極の付与を行なうことができ、ま
た、必要に応じて、抵抗膜の形成、そのトリミング、オ
ーバーコート形成、複合化のための別の電子部品の実装
等を行なうことができるので、これらの工程を高い精度
をもって能率的に行なうことができる。したがって、多
数の積層電子部品を製造しようとするとき、この発明に
係る製造方法が特に有利に適用される。
【0016】次に、この発明に係る積層電子部品の特性
測定方法によれば、複数の積層電子部品を与えるマザー
積層体に溝を形成することにより、複数の積層電子部品
が電気的に互いに独立した状態となり、外部電極につい
ても各積層電子部品ごとに電気的に互いに独立した状態
であるので、個々の積層電子部品の電気的特性を、マザ
ー積層体として機械的に一体化された状態のまま測定す
ることができる。したがって、機械的に独立した複数の
積層電子部品を取扱う必要がなく、たとえばスクリーニ
ングすることにより、能率的に多数の積層電子部品の電
気的特性を測定することができる。
【0017】また、上述した製造方法の途中の形態、す
なわち上述した特性測定を実施するための形態である、
溝が形成されたマザー積層体を備える積層電子部品の集
合体は、そのまま、出荷時の形態とすれば、需要者側に
おいて、マザー積層体を溝に沿って分割するだけで、そ
こから個々の積層電子部品を取出すことができる。この
場合、個々の積層電子部品は、その特性測定をすでに終
えておくことができるので、問題なく実装に供すること
ができるとともに、積層電子部品の集合体は、個々の積
層電子部品がばらばらの状態にある場合に比べて、その
梱包および取扱いが容易である点に注目すべきである。
【0018】
【実施例】図1は、この発明の一実施例による積層電子
部品10の外観を示す斜視図である。積層電子部品10
は、図示したチップ状の形態で適宜の回路基板上に実装
されるが、図1では、このような回路基板側に向けられ
る主面11を上方に向けた状態で、積層電子部品10が
図示されている。
【0019】積層電子部品10は、内部回路要素(図示
せず)を介在させた状態で複数の絶縁性シートが積層さ
れてなる積層体12を備える。積層体12は、前述した
第1の主面11に加えて、この主面11に対向する第2
の主面13、ならびにこれら主面11および13間を連
結する側面14を備える。積層体12のたとえば4つの
側面14の各々には、外部電極15が付与される。これ
ら外部電極15は、図示しないが、内部回路要素に電気
的に接続されている。なお、積層体12の側面14に
は、段差16が形成されているが、このような段差16
が形成される理由は、以下の製造方法の説明から明らか
になる。
【0020】上述したような積層電子部品10を得るた
め、図2および図3にそれぞれ一部のみを図示するよう
なマザー積層体17が用意される。マザー積層体17に
は、溝18が形成されている。マザー積層体17は、こ
の溝18の位置に対応する切断線(図示せず)に沿って
切断することにより複数の積層電子部品10を与えるも
のであって、切断線によって区画される各領域に個々の
積層電子部品10のための内部回路要素19および20
を分布させるように、これら内部回路要素19および2
0を介在させた状態で複数のマザー絶縁性シートが積層
されてなるものである。なお、図示した内部回路要素1
9および20は、一例にすぎず、内部回路要素として
は、これらのほか、導電膜および/または抵抗膜からな
るもの、ビアホールによって与えられるものなどがあ
る。
【0021】上述したようなマザー積層体17を得るた
め、たとえば、以下のような工程が実施される。なお、
この実施例では、セラミックシートからなるマザー絶縁
性シートを積層することにより、マザー積層体17が与
えられる。
【0022】まず、ドクターブレード法などにより、シ
ート成形を行ない、マザー絶縁性シートとなるべきセラ
ミックグリーンシートを得る。これらセラミックグリー
ンシートの特定のものには、必要に応じて、内部回路要
素19おび20等となるべき導電膜および/または抵抗
膜、さらにはビアホールが形成される。次に、マザー絶
縁性シートが積み重ねられ、プレスされる。これによっ
て、マザー積層体17が得られる。
【0023】次に、マザー積層体17には、溝18がた
とえばダイシングソーによって形成される。この溝18
の形成によって、溝18で囲まれた個々の積層電子部品
10となるべき部分は、互いに他のものに対して電気的
に独立した状態となる。
【0024】次に、溝18の側面上に外部電極15が付
与される。この外部電極15の付与は、たとえば、適当
な金属ペーストをディスペンサによって塗布することに
より形成され、金属ペーストは、その後、乾燥される。
これら外部電極15は、互いに他のものと接触しないよ
うに付与されているので、電気的に互いに独立した状態
となっている。この実施例では、図3によく示されてい
るように、外部電極15は、溝18の底面に接する位置
からマザー積層体17の上方主面11にまで延びるよう
に形成されている。また、図2および図3には、外部電
極15と内部回路要素19とが電気的に接続されている
状態が図示されている。
【0025】次に、好ましくは、溝18の底面とそれに
対向するマザー積層体17の下方主面13とに、それぞ
れ、スリット21および22が形成される。スリット2
1および22は、いずれか一方が省略されてもよい。
【0026】次に、マザー積層体17は、マザー絶縁性
シートを構成するセラミックを焼結させるため、焼成さ
れる。その後、必要に応じて、マザー積層体17の表面
に、導電膜および/または抵抗膜が形成され、また、オ
ーバーコートが施され、また、ソルダーレジストが付与
されたりする。また、必要に応じて、外部電極15また
は他の導電膜上にめっきが施される。
【0027】以上の工程を終えたとき、マザー積層体1
7に含まれる複数の積層電子部品10は、互いに他のも
のに対して電気的に独立しているので、外部電極15を
介して、個々の積層電子部品10の電気的特性を測定す
ることができる。
【0028】このように、電気的特性が測定された後、
良品と判断された積層電子部品10には、必要に応じ
て、複合化のための他の電子部品が実装される。この実
装は、図1に示した積層体12の第2の主面13側で行
なわれる。なお、積層電子部品10の出荷をこの段階で
行なってもよい。
【0029】次に、機械的に独立した複数の積層電子部
品10を得るため、マザー積層体17は、溝18の位置
において完全に分割される。この分割は、チョコレート
を割るように、マザー積層体17を溝18に沿って割る
ことによって容易に達成される。前述したスリット21
および22は、このような分割をより容易にする。
【0030】このようにして、図1に示した積層電子部
品10が得られる。以上述べた説明からわかるように、
段差16は、前述した溝18の形成の結果もたらされた
ものである。
【0031】次に、積層電子部品10は、必要に応じ
て、ケーシングされる。このケーシングは、積層体12
の第2の主面13上に他の電子部品が実装されたとき、
これを覆うものである。
【0032】上述した積層電子部品10の製造方法は、
次のように変更することもできる。たとえば、焼成工程
は、スリット21および22の形成工程より前に実施さ
れてもよく、また、外部電極15の付与工程より前、さ
らには溝18の形成工程より前に実施されてもよい。焼
成工程の後で、外部電極15を付与するとき、このよう
な外部電極15は蒸着またはスパッタリング等により形
成されてもよい。また、焼成工程の後で、スリット21
および22が形成されるときには、これらスリット21
および22は、レーザを用いて形成されることができ
る。
【0033】また、スリット21および22を形成した
後、外部電極15が付与されてもよい。また、スリット
21および22を予め形成しておくことなく、マザー積
層体17を溝18に沿って割ってもよく、また、溝18
を形成したダイシングソーより薄い刃厚のダイシングソ
ーによって、溝18の底面とマザー積層体17の下方主
面13との間の部分を切断してもよい。
【0034】また、外部電極15は、これらを付与した
段階では、隣合う積層電子部品10間においてつながっ
た状態となっていてもよい。これら外部電極15を互い
に他のものに対して電気的に独立させるため、たとえば
溝18の幅より薄い刃厚のダイシングソーまたはレーザ
ビームを適用すればよい。なお、このようなダイシング
ソーまたはレーザビームの適用によって、スリット21
をも同時に形成するようにしてもよい。
【0035】図4および図5は、それぞれ、この発明の
他の実施例に従って用意されたマザー積層体17aおよ
び17bを示す、図3に相当の図である。図4および図
5において、図3に示す要素に相当する要素には同様の
参照符号を付し、重複する説明は省略する。
【0036】図4および図5に示す実施例は、それぞ
れ、外部電極15aおよび15bの形成態様に特徴があ
る。すなわち、図4に示した外部電極15aおよび図5
に示した外部電極15bは、いずれも、溝18の底面に
まで届いていない。これによって、隣合う積層電子部品
10間において外部電極15aおよび15bがそれぞれ
不用意にも導通状態となることを確実に防止することが
できる。
【0037】また、図5に示した外部電極15bは、第
1の主面11にまで届いていない。したがって、この実
施例によれば、外部電極15bに干渉されることなく、
この第1の主面11をも、他の電子部品のための実装面
として広く利用することができる。
【0038】なお、この発明において、絶縁性シート
は、セラミックシートに限らず、他の材料からなるシー
トに置き換えられてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例による積層電子部品10の
外観を示す斜視図である。
【図2】図1に示した積層電子部品10を得るために準
備されるマザー積層体17の一部を示す斜視図である。
【図3】図2に示したマザー積層体17の外部電極15
が形成された部分を拡大して示す断面図である。
【図4】この発明の他の実施例に従って準備されたマザ
ー積層体17aを示す、図3に相当の図である。
【図5】この発明のさらに他の実施例に従って準備され
たマザー積層体17bを示す、図3に相当の図である。
【図6】この発明にとって興味ある従来の積層電子部品
1の外観を示す斜視図である。
【符号の説明】
10 積層電子部品 11 第1の主面 12 積層体 13 第2の主面 14 側面 15,15a,15b 外部電極 17,17a,17b マザー積層体 18 溝 19,20 内部回路要素

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内部回路要素を介在させた状態で複数の
    絶縁性シートが積層されてなるものであって、相対向す
    る第1および第2の主面とこれら主面間を連結する側面
    とを備える積層体、ならびに前記内部回路要素に電気的
    に接続されかつ前記積層体の外表面上に形成される外部
    電極を備える、積層電子部品において、 前記外部電極は、前記積層体の側面上における厚み方向
    の途中から前記第1の主面側にのみ延びるように形成さ
    れていることを特徴とする、積層電子部品。
  2. 【請求項2】 所定の切断線に沿って切断することによ
    って複数の積層電子部品が得られるものであって、前記
    切断線によって区画される各領域に個々の前記積層電子
    部品のための内部回路要素を分布させるように、これら
    内部回路要素を介在させた状態で複数のマザー絶縁性シ
    ートが積層されてなる、マザー積層体を準備し、 前記切断線に沿って前記マザー積層体に溝を形成し、 前記内部回路要素に電気的に接続されるように前記溝の
    側面上に外部電極を付与し、 前記マザー積層体を前記溝の位置において分割する、各
    工程を備える、積層電子部品の製造方法。
  3. 【請求項3】 所定の切断線に沿って切断することによ
    って複数の積層電子部品が得られるものであって、前記
    切断線によって区画される各領域に個々の前記積層電子
    部品のための内部回路要素を分布させるように、これら
    内部回路要素を介在させた状態で複数のマザー絶縁性シ
    ートが積層されてなる、マザー積層体を準備し、 前記切断線に沿って前記マザー積層体に溝を形成し、 前記内部回路要素に電気的に接続されるように前記溝の
    側面上に外部電極を付与し、 その状態で、前記外部電極を介して個々の積層電子部品
    の電気的特性を測定する、各工程を備える、積層電子部
    品の特性測定方法。
  4. 【請求項4】 所定の切断線に沿って切断することによ
    って複数の積層電子部品が得られるものであって、前記
    切断線に沿って溝が形成されていて、前記切断線によっ
    て区画される各領域に個々の前記積層電子部品のための
    内部回路要素を分布させるように、これら内部回路要素
    を介在させた状態で複数のマザー絶縁性シートが積層さ
    れてなる、マザー積層体、および前記内部回路要素に電
    気的に接続されるように前記溝の側面上に付与された外
    部電極を備える、積層電子部品の集合体。
JP5194863A 1993-08-05 1993-08-05 積層電子部品、その製造方法およびその特性測定方法 Expired - Lifetime JP2870371B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5194863A JP2870371B2 (ja) 1993-08-05 1993-08-05 積層電子部品、その製造方法およびその特性測定方法
EP94112042A EP0637828B1 (en) 1993-08-05 1994-08-02 Multilayer electronic component, method of manufacturing the same and method of measuring characteristics of the same
DE69416550T DE69416550T2 (de) 1993-08-05 1994-08-02 Elektronisches Vielschichtbauteil, Verfahren zu seiner Herstellung und Verfahren zur Messung seiner Charakteristiken
US08/284,150 US5493769A (en) 1993-08-05 1994-08-02 Method of manufacturing electronic component and measuring characteristics of same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5194863A JP2870371B2 (ja) 1993-08-05 1993-08-05 積層電子部品、その製造方法およびその特性測定方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0750488A true JPH0750488A (ja) 1995-02-21
JP2870371B2 JP2870371B2 (ja) 1999-03-17

Family

ID=16331554

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5194863A Expired - Lifetime JP2870371B2 (ja) 1993-08-05 1993-08-05 積層電子部品、その製造方法およびその特性測定方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5493769A (ja)
EP (1) EP0637828B1 (ja)
JP (1) JP2870371B2 (ja)
DE (1) DE69416550T2 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6686825B2 (en) 2000-05-09 2004-02-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. Chip inductor and manufacturing method therefor
US6751101B2 (en) 2000-11-02 2004-06-15 Murata Manufacturing Co., Ltd. Electronic component and method of producing the same
US6760227B2 (en) 2000-11-02 2004-07-06 Murata Manufacturing Co., Ltd. Multilayer ceramic electronic component and manufacturing method thereof
JP2005276855A (ja) * 2004-03-22 2005-10-06 New Japan Radio Co Ltd 半導体装置の製造方法
KR100905862B1 (ko) * 2007-02-26 2009-07-02 삼성전기주식회사 집적된 적층형 칩 커패시터 모듈 및 이를 구비하는 집적회로 장치
JP2012049371A (ja) * 2010-08-27 2012-03-08 Tdk Corp セラミック電子部品、及びその製造方法

Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5587111A (en) * 1990-03-29 1996-12-24 Vacuum Metallurgical Co., Ltd. Metal paste, process for producing same and method of making a metallic thin film using the metal paste
US5703544A (en) * 1996-03-13 1997-12-30 Ericsson Inc. RF printed circuit module and method of making same
US5880011A (en) * 1996-06-19 1999-03-09 Pacific Trinetics Corporation Method and apparatus for manufacturing pre-terminated chips
DE69833193T2 (de) * 1997-08-05 2006-09-21 Koninklijke Philips Electronics N.V. Verfahren zur herstellung mehrerer elektronischer bauteile
JP3805146B2 (ja) * 1998-12-09 2006-08-02 太陽誘電株式会社 積層セラミックコンデンサの回路基板実装方法及び回路基板
JP4138211B2 (ja) * 2000-07-06 2008-08-27 株式会社村田製作所 電子部品およびその製造方法、集合電子部品、電子部品の実装構造、ならびに電子装置
USD492267S1 (en) 2003-03-26 2004-06-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Composite electronic component
WO2004089049A1 (ja) * 2003-03-28 2004-10-14 Tdk Corporation 多層基板およびその製造方法
US7612443B1 (en) 2003-09-04 2009-11-03 University Of Notre Dame Du Lac Inter-chip communication
US7135415B2 (en) * 2004-07-23 2006-11-14 Inpaq Technology Co., Ltd. Insulated structure of a chip array component and fabrication method of the same
US20090126857A1 (en) * 2007-11-15 2009-05-21 Shin Hyun-Ok Manufacturing method of low temperature co-fired ceramics substrate
KR100992233B1 (ko) * 2008-09-26 2010-11-05 삼성전기주식회사 세라믹/폴리머 복합재를 이용한 칩 캐패시터 제조방법
US8797279B2 (en) 2010-05-25 2014-08-05 MCube Inc. Analog touchscreen methods and apparatus
US8486723B1 (en) 2010-08-19 2013-07-16 MCube Inc. Three axis magnetic sensor device and method
US8928602B1 (en) 2009-03-03 2015-01-06 MCube Inc. Methods and apparatus for object tracking on a hand-held device
US8421082B1 (en) 2010-01-19 2013-04-16 Mcube, Inc. Integrated CMOS and MEMS with air dielectric method and system
US8553389B1 (en) 2010-08-19 2013-10-08 MCube Inc. Anchor design and method for MEMS transducer apparatuses
US8710597B1 (en) 2010-04-21 2014-04-29 MCube Inc. Method and structure for adding mass with stress isolation to MEMS structures
US8476129B1 (en) 2010-05-24 2013-07-02 MCube Inc. Method and structure of sensors and MEMS devices using vertical mounting with interconnections
US8395252B1 (en) 2009-11-13 2013-03-12 MCube Inc. Integrated MEMS and CMOS package and method
US8477473B1 (en) 2010-08-19 2013-07-02 MCube Inc. Transducer structure and method for MEMS devices
US8823007B2 (en) 2009-10-28 2014-09-02 MCube Inc. Integrated system on chip using multiple MEMS and CMOS devices
US8885319B2 (en) * 2009-07-01 2014-11-11 Kemet Electronics Corporation High capacitance multilayer with high voltage capability
US9709509B1 (en) 2009-11-13 2017-07-18 MCube Inc. System configured for integrated communication, MEMS, Processor, and applications using a foundry compatible semiconductor process
US8637943B1 (en) 2010-01-04 2014-01-28 MCube Inc. Multi-axis integrated MEMS devices with CMOS circuits and method therefor
US8936959B1 (en) 2010-02-27 2015-01-20 MCube Inc. Integrated rf MEMS, control systems and methods
US8794065B1 (en) 2010-02-27 2014-08-05 MCube Inc. Integrated inertial sensing apparatus using MEMS and quartz configured on crystallographic planes
US8367522B1 (en) * 2010-04-08 2013-02-05 MCube Inc. Method and structure of integrated micro electro-mechanical systems and electronic devices using edge bond pads
US8928696B1 (en) 2010-05-25 2015-01-06 MCube Inc. Methods and apparatus for operating hysteresis on a hand held device
US8869616B1 (en) 2010-06-18 2014-10-28 MCube Inc. Method and structure of an inertial sensor using tilt conversion
US8652961B1 (en) 2010-06-18 2014-02-18 MCube Inc. Methods and structure for adapting MEMS structures to form electrical interconnections for integrated circuits
US8993362B1 (en) 2010-07-23 2015-03-31 MCube Inc. Oxide retainer method for MEMS devices
US8723986B1 (en) 2010-11-04 2014-05-13 MCube Inc. Methods and apparatus for initiating image capture on a hand-held device
US8969101B1 (en) 2011-08-17 2015-03-03 MCube Inc. Three axis magnetic sensor device and method using flex cables
USD668659S1 (en) * 2011-11-15 2012-10-09 Connectblue Ab Module
USD680545S1 (en) * 2011-11-15 2013-04-23 Connectblue Ab Module
USD692896S1 (en) * 2011-11-15 2013-11-05 Connectblue Ab Module
USD680119S1 (en) * 2011-11-15 2013-04-16 Connectblue Ab Module
USD689053S1 (en) * 2011-11-15 2013-09-03 Connectblue Ab Module
USD668658S1 (en) * 2011-11-15 2012-10-09 Connectblue Ab Module
US9620473B1 (en) 2013-01-18 2017-04-11 University Of Notre Dame Du Lac Quilt packaging system with interdigitated interconnecting nodules for inter-chip alignment

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4821007A (en) * 1987-02-06 1989-04-11 Tektronix, Inc. Strip line circuit component and method of manufacture
JPS63265404A (ja) * 1987-04-22 1988-11-01 Murata Mfg Co Ltd 抵抗ブロツクの製造方法
JPH03225904A (ja) * 1990-01-31 1991-10-04 Taiyo Yuden Co Ltd 積層チップへの導電ペースト塗布方法
US5140745A (en) * 1990-07-23 1992-08-25 Mckenzie Jr Joseph A Method for forming traces on side edges of printed circuit boards and devices formed thereby
EP0516866A1 (en) * 1991-05-03 1992-12-09 International Business Machines Corporation Modular multilayer interwiring structure
JP3018645B2 (ja) * 1991-10-03 2000-03-13 株式会社村田製作所 チップ部品の製造方法
EP0582881B1 (en) * 1992-07-27 1997-12-29 Murata Manufacturing Co., Ltd. Multilayer electronic component, method of manufacturing the same and method of measuring characteristics thereof

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6686825B2 (en) 2000-05-09 2004-02-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. Chip inductor and manufacturing method therefor
US6751101B2 (en) 2000-11-02 2004-06-15 Murata Manufacturing Co., Ltd. Electronic component and method of producing the same
US6760227B2 (en) 2000-11-02 2004-07-06 Murata Manufacturing Co., Ltd. Multilayer ceramic electronic component and manufacturing method thereof
JP2005276855A (ja) * 2004-03-22 2005-10-06 New Japan Radio Co Ltd 半導体装置の製造方法
KR100905862B1 (ko) * 2007-02-26 2009-07-02 삼성전기주식회사 집적된 적층형 칩 커패시터 모듈 및 이를 구비하는 집적회로 장치
US7889479B2 (en) 2007-02-26 2011-02-15 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Integrated multilayer chip capacitor module and integrated circuit apparatus having the same
JP2012049371A (ja) * 2010-08-27 2012-03-08 Tdk Corp セラミック電子部品、及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP0637828A3 (en) 1997-05-14
DE69416550D1 (de) 1999-03-25
US5493769A (en) 1996-02-27
DE69416550T2 (de) 1999-07-01
JP2870371B2 (ja) 1999-03-17
EP0637828A2 (en) 1995-02-08
EP0637828B1 (en) 1999-02-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0750488A (ja) 積層電子部品、その製造方法およびその特性測定方法
US5604328A (en) Multilayer electronic component
JP2976049B2 (ja) 積層電子部品
US5635669A (en) Multilayer electronic component
JP3147666B2 (ja) 積層電子部品およびその製造方法
JP4138211B2 (ja) 電子部品およびその製造方法、集合電子部品、電子部品の実装構造、ならびに電子装置
US20050039946A1 (en) Electronic circuit unit and method of manufacturing same
JP3991658B2 (ja) 電子部品および集合電子部品ならびに電子部品の製造方法
JPH1167554A (ja) 積層型コイル部品及びその製造方法
JP3257532B2 (ja) 積層電子部品の製造方法およびその特性測定方法
JP3368645B2 (ja) 積層電子部品、その製造方法およびその特性測定方法
US6457220B1 (en) Electronic component, piezoelectric-resonant component and method for manufacturing electronic components and piezoelectric-resonant components
JP3227648B2 (ja) 多層回路基板及びその製造方法
JP3301188B2 (ja) 積層電子部品、その製造方法およびその特性測定方法
JP3257531B2 (ja) 積層電子部品
JPH08241827A (ja) 積層電子部品及びその製造方法
JPH0737757A (ja) コンデンサアレイ
JP3855798B2 (ja) 積層セラミック電子部品およびその製造方法
JPH10242794A (ja) 表面実装型容量内蔵圧電共振子
JPH01500866A (ja) 多層構造中に埋設された受動部品のトリミング
JPS6336680Y2 (ja)
JP4341576B2 (ja) セラミック電子部品およびその製造方法
JPH0945830A (ja) チップ状電子部品
JPH10200257A (ja) 多層回路基板及びその製造方法
JP2712941B2 (ja) トリミング可能な積層セラミックコンデンサおよびその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19981201

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090108

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090108

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100108

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110108

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110108

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120108

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120108

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130108

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130108

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140108

Year of fee payment: 15

EXPY Cancellation because of completion of term