JPH10242794A - 表面実装型容量内蔵圧電共振子 - Google Patents
表面実装型容量内蔵圧電共振子Info
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- JPH10242794A JPH10242794A JP4428997A JP4428997A JPH10242794A JP H10242794 A JPH10242794 A JP H10242794A JP 4428997 A JP4428997 A JP 4428997A JP 4428997 A JP4428997 A JP 4428997A JP H10242794 A JPH10242794 A JP H10242794A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 大型絶縁基板の状態で1つの容量基板の2つ
の容量成分を確実に測定できる容量基板を具備した表面
実装型容量内蔵圧電共振子を提供する。また、その容量
成分を、簡単に所定容量値に調整することができる表面
実装型容量内蔵圧電共振子を提供する。 【解決手段】本発明は、圧電素子1と、該圧電素子に接
続される入出力容量成分C1 、C2を導出する矩形状の
容量基板2とから成る表面実装型容量内蔵圧電共振子に
おいて、前記容量基板2の相対向する一方辺の端部に、
入力電極33、接地電極43、出力電極5を夫々配置す
るとともに、他方辺の端部に、入力電極33、接地電極
43、出力電極53に夫々対向するように第1〜第3の
ダミー電極81〜83を形成した。また、前記入出力容
量成分を調整可能とするように、接地電極43に複数の
切断可能な電極指41a〜41fを形成した表面実装型
容量内蔵圧電共振子である。
の容量成分を確実に測定できる容量基板を具備した表面
実装型容量内蔵圧電共振子を提供する。また、その容量
成分を、簡単に所定容量値に調整することができる表面
実装型容量内蔵圧電共振子を提供する。 【解決手段】本発明は、圧電素子1と、該圧電素子に接
続される入出力容量成分C1 、C2を導出する矩形状の
容量基板2とから成る表面実装型容量内蔵圧電共振子に
おいて、前記容量基板2の相対向する一方辺の端部に、
入力電極33、接地電極43、出力電極5を夫々配置す
るとともに、他方辺の端部に、入力電極33、接地電極
43、出力電極53に夫々対向するように第1〜第3の
ダミー電極81〜83を形成した。また、前記入出力容
量成分を調整可能とするように、接地電極43に複数の
切断可能な電極指41a〜41fを形成した表面実装型
容量内蔵圧電共振子である。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電素子と2つの
容量成分を具備する容量基板とから成り、表面実装可能
な容量内蔵圧電共振子に関するものである。
容量成分を具備する容量基板とから成り、表面実装可能
な容量内蔵圧電共振子に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、容量内蔵圧電共振子は、図1
0に示すように、圧電素子Rと、該圧電素子Rの入出力
部分と接地との間の入力容量成分C1 、出力容量成分C
2 とからなる等価回路を備えた圧電部品である。具体的
には、矩形状の圧電基板の両主面に互いに対向する振動
電極を形成した圧電素子と、該圧電素子の振動電極に接
続される入出力容量成分を入力電極と接地電極、出力電
極と接地電極とから導出する矩形状の容量基板とから構
成される。
0に示すように、圧電素子Rと、該圧電素子Rの入出力
部分と接地との間の入力容量成分C1 、出力容量成分C
2 とからなる等価回路を備えた圧電部品である。具体的
には、矩形状の圧電基板の両主面に互いに対向する振動
電極を形成した圧電素子と、該圧電素子の振動電極に接
続される入出力容量成分を入力電極と接地電極、出力電
極と接地電極とから導出する矩形状の容量基板とから構
成される。
【0003】一般に、2つの容量成分(入力容量成分C
1 、出力側容量成分C2 )を具備する容量基板は、図1
1に記載するように、直方体状の誘電体基板110の表
面、裏面、両端面を周回する3つの帯状の導体膜が形成
されて構成されていた。即ち、3つの帯状の導体膜のう
ち、中央に位置する導体膜112は、接地用容量電極及
び接地電極となり、両端に位置する導体膜111、11
3は、入力用容量電極及び入力電極、出力用容量電極及
び出力電極となっていた。これにより、誘電体基板11
0の平面方向で入力用容量電極111と接地用容量電極
112との間で入力容量成分が形成され、出力用容量電
極113と接地用容量電極112との間で出力容量成分
が形成される。また、誘電体基板110の裏面の3つの
導体膜が夫々が表面実装を可能とする電極となる。
1 、出力側容量成分C2 )を具備する容量基板は、図1
1に記載するように、直方体状の誘電体基板110の表
面、裏面、両端面を周回する3つの帯状の導体膜が形成
されて構成されていた。即ち、3つの帯状の導体膜のう
ち、中央に位置する導体膜112は、接地用容量電極及
び接地電極となり、両端に位置する導体膜111、11
3は、入力用容量電極及び入力電極、出力用容量電極及
び出力電極となっていた。これにより、誘電体基板11
0の平面方向で入力用容量電極111と接地用容量電極
112との間で入力容量成分が形成され、出力用容量電
極113と接地用容量電極112との間で出力容量成分
が形成される。また、誘電体基板110の裏面の3つの
導体膜が夫々が表面実装を可能とする電極となる。
【0004】尚、圧電素子120は、図中の点線で示す
ように、誘電体基板110の表面に所定間隙を設けて配
置され、圧電素子120の一方の振動電極121と導体
膜111とが電気的に接続し、圧電素子120の他方の
振動電極122と導体113とが電気的に接続してい
る。
ように、誘電体基板110の表面に所定間隙を設けて配
置され、圧電素子120の一方の振動電極121と導体
膜111とが電気的に接続し、圧電素子120の他方の
振動電極122と導体113とが電気的に接続してい
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述の容量基板を形成
するにあたり、重要なことは、大型誘電体基板から一括
的に形成でき、生産効率が極めて高いこと、及び各容量
成分が所定の容量値であることである。また、プリント
ボードに表面実装した時には安定性を確保するために
は、容量基板の相対向する辺に夫々端子電極を配置する
ことが重要である。
するにあたり、重要なことは、大型誘電体基板から一括
的に形成でき、生産効率が極めて高いこと、及び各容量
成分が所定の容量値であることである。また、プリント
ボードに表面実装した時には安定性を確保するために
は、容量基板の相対向する辺に夫々端子電極を配置する
ことが重要である。
【0006】入力出力容量成分は、2つの容量電極の対
向面積や導体膜の対向距離に大きく影響されることか
ら、容量電極や導体膜を形成した後に、容量値を測定
し、所定の容量値に調整する必要がある。
向面積や導体膜の対向距離に大きく影響されることか
ら、容量電極や導体膜を形成した後に、容量値を測定
し、所定の容量値に調整する必要がある。
【0007】これには、1つの容量基板中の各容量成分
が独立して測定でき、しかも、生産効率を考慮した場合
には、大型誘電体基板上で処理できることが望ましい。
が独立して測定でき、しかも、生産効率を考慮した場合
には、大型誘電体基板上で処理できることが望ましい。
【0008】大型誘電体基板では、1つの圧電部品とな
る容量基板は、他の圧電部品となる容量基板と隣接して
配置されていることから、例えば、図11に示す容量基
板では、大型誘電体基板の状態では、1つの誘電体基板
110の入側電極の導体膜111、接地電極の導体膜1
12、出力電極の導体膜113は、夫々他の誘電体基板
110の入側電極の導体膜111、接地電極の導体膜1
12、出力電極の導体膜113に連続的に接続されるこ
とになるため、1つの容量基板の純粋な2つの容量成分
を測定することが困難であった。
る容量基板は、他の圧電部品となる容量基板と隣接して
配置されていることから、例えば、図11に示す容量基
板では、大型誘電体基板の状態では、1つの誘電体基板
110の入側電極の導体膜111、接地電極の導体膜1
12、出力電極の導体膜113は、夫々他の誘電体基板
110の入側電極の導体膜111、接地電極の導体膜1
12、出力電極の導体膜113に連続的に接続されるこ
とになるため、1つの容量基板の純粋な2つの容量成分
を測定することが困難であった。
【0009】仮に、大型誘電体基板の状態で1つの容量
基板の2つの容量成分を測定できたとしても、その容量
値を所定値に調整するための手段がなく、所定容量値の
容量成分を形成することが困難であった。
基板の2つの容量成分を測定できたとしても、その容量
値を所定値に調整するための手段がなく、所定容量値の
容量成分を形成することが困難であった。
【0010】本発明は上述の問題点に鑑みて案出された
ものであり、その目的は、大型絶縁基板の状態で1つの
容量基板の2つの容量成分を確実に測定できる容量基板
を具備した表面実装型容量内蔵圧電共振子を提供するも
のである。
ものであり、その目的は、大型絶縁基板の状態で1つの
容量基板の2つの容量成分を確実に測定できる容量基板
を具備した表面実装型容量内蔵圧電共振子を提供するも
のである。
【0011】また、別の目的は、さらに、その容量成分
を、簡単に所定容量値に調整することができる表面実装
型容量内蔵圧電共振子を提供するものである。
を、簡単に所定容量値に調整することができる表面実装
型容量内蔵圧電共振子を提供するものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】第1の発明は、矩形状の
圧電基板の両主面に互いに対向する振動電極を形成した
圧電素子と、入力電極、出力電極、接地電極を有し、入
力電極と接地電極、出力電極と接地電極との間に形成さ
れる入出力容量成分を前記圧電素子の振動電極に接続す
るようにした矩形状の容量基板とから成る表面実装型容
量内蔵圧電共振子において、前記容量基板の相対向する
一方辺の端部に、前記入力電極、接地電極、出力電極を
夫々配置するとともに、他方辺の端部に、前記入力電
極、接地電極、出力電極の夫々と対向するように3つの
ダミー電極を形成した表面実装型容量内蔵圧電共振子で
ある。
圧電基板の両主面に互いに対向する振動電極を形成した
圧電素子と、入力電極、出力電極、接地電極を有し、入
力電極と接地電極、出力電極と接地電極との間に形成さ
れる入出力容量成分を前記圧電素子の振動電極に接続す
るようにした矩形状の容量基板とから成る表面実装型容
量内蔵圧電共振子において、前記容量基板の相対向する
一方辺の端部に、前記入力電極、接地電極、出力電極を
夫々配置するとともに、他方辺の端部に、前記入力電
極、接地電極、出力電極の夫々と対向するように3つの
ダミー電極を形成した表面実装型容量内蔵圧電共振子で
ある。
【0013】また、第2の発明は、第1の発明に加え、
前記接地電極は、入力容量成分を形成する複数の電極指
を有する入力側櫛状電極と、出力容量成分を形成する複
数の電極指を有する出力側櫛状電極とから成り、両容量
成分を、前記入出力櫛状電極の所定数の電極指を切断し
て調整するようにした表面実装型容量内蔵圧電共振子で
ある。
前記接地電極は、入力容量成分を形成する複数の電極指
を有する入力側櫛状電極と、出力容量成分を形成する複
数の電極指を有する出力側櫛状電極とから成り、両容量
成分を、前記入出力櫛状電極の所定数の電極指を切断し
て調整するようにした表面実装型容量内蔵圧電共振子で
ある。
【0014】
【作用】第1の発明によれば、前記容量基板の相対向す
る一方辺の端部に、入力電極、接地電極、出力電極を夫
々配置するとともに、他方辺の端部に、入力電極、接地
電極、出力電極に夫々対向するように第1〜第3のダミ
ー電極が配置されている。従って、大型の絶縁基板の状
態においては、、容量基板の入力電極は、隣接する容量
基板の第1のダミー電極に接続し、容量基板の出力電極
は、隣接する容量基板の第3のダミー電極に接続し、容
量基板の接地電極は、隣接する容量基板の第2のダミー
電極に接続するため、大型の絶縁基板の状態で、容量基
板の2つ容量成分を測定しても、隣接する容量基板の2
つの容量成分とは完全に独立することになり、純粋な容
量成分を正確に測定することができる。
る一方辺の端部に、入力電極、接地電極、出力電極を夫
々配置するとともに、他方辺の端部に、入力電極、接地
電極、出力電極に夫々対向するように第1〜第3のダミ
ー電極が配置されている。従って、大型の絶縁基板の状
態においては、、容量基板の入力電極は、隣接する容量
基板の第1のダミー電極に接続し、容量基板の出力電極
は、隣接する容量基板の第3のダミー電極に接続し、容
量基板の接地電極は、隣接する容量基板の第2のダミー
電極に接続するため、大型の絶縁基板の状態で、容量基
板の2つ容量成分を測定しても、隣接する容量基板の2
つの容量成分とは完全に独立することになり、純粋な容
量成分を正確に測定することができる。
【0015】また、相対向する辺の端部に、入力電極、
接地電極、出力電極(正規な端子電極)と第1〜第3の
ダミー電極とが配置されていることになるため、この容
量基板を用いて表面実装した場合には、安定的に実装す
ることが可能となる。
接地電極、出力電極(正規な端子電極)と第1〜第3の
ダミー電極とが配置されていることになるため、この容
量基板を用いて表面実装した場合には、安定的に実装す
ることが可能となる。
【0016】第2の発明によれば、例えば入力容量成分
が、接地電極と接続する入力側下部容量電極及び複数の
電極指を有する櫛上電極と入力電極である入力側上部容
量電極との間の誘電体層で発生する容量となり、複数の
電極指のうち、所定数本を切断することにより、容量成
分を所定値に調整することができる。これは出力容量成
分も同様である。
が、接地電極と接続する入力側下部容量電極及び複数の
電極指を有する櫛上電極と入力電極である入力側上部容
量電極との間の誘電体層で発生する容量となり、複数の
電極指のうち、所定数本を切断することにより、容量成
分を所定値に調整することができる。これは出力容量成
分も同様である。
【0017】従って、第1の発明での作用、即ち、大型
絶縁基板で1つの容量基板の2つの容量成分を簡単に且
つ確実に測定できることとあいまって、大型絶縁基板の
状態で、個々の容量基板の2つの容量成分を簡単にに、
且つ正確に調整することができ、生産性に優れた実用性
の高い容量基板となる。
絶縁基板で1つの容量基板の2つの容量成分を簡単に且
つ確実に測定できることとあいまって、大型絶縁基板の
状態で、個々の容量基板の2つの容量成分を簡単にに、
且つ正確に調整することができ、生産性に優れた実用性
の高い容量基板となる。
【0018】これによって、容量内蔵型圧電共振子の特
性の変動、ばらつきを抑えることができ、実用性の高い
容量内蔵型圧電共振子となる。
性の変動、ばらつきを抑えることができ、実用性の高い
容量内蔵型圧電共振子となる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明の容量内蔵型圧電共
振子を図面に基づいて詳説する。
振子を図面に基づいて詳説する。
【0020】図1は本発明の容量内蔵型圧電共振子であ
り、図2は、容量基板の表面側の平面図であり、図3は
容量基板の裏面側の平面図であり、図4は容量基板の製
造方法及び電極の構造を説明する表面側の平面図であ
る。
り、図2は、容量基板の表面側の平面図であり、図3は
容量基板の裏面側の平面図であり、図4は容量基板の製
造方法及び電極の構造を説明する表面側の平面図であ
る。
【0021】本発明の容量内蔵型圧電共振子は、圧電素
子1と容量基板2と蓋体9とから構成されてる。
子1と容量基板2と蓋体9とから構成されてる。
【0022】圧電素子1は、図1に示すようにチタン酸
ジルコン酸鉛などの圧電セラミックから成る圧電基板1
0と、該圧電基板10の両主面に、互いに対向するよう
に形成された振動電極11、12とから構成されてい
る。振動電極11、12は、Ag系(Ag単体、またA
g合金)、Cu系材料(Cu単体、またCu合金)から
なり、圧電基板10の長手方向の一方端部には、振動電
極11と接続する引出電極13が形成されており、他方
端部には、振動電極12と接続する引出電極14が形成
されている。引出電極13、14は、振動電極11、1
2と同一材料で構成され、各々の端部の一方主面、端
面、他方主面に渡って形成されている。
ジルコン酸鉛などの圧電セラミックから成る圧電基板1
0と、該圧電基板10の両主面に、互いに対向するよう
に形成された振動電極11、12とから構成されてい
る。振動電極11、12は、Ag系(Ag単体、またA
g合金)、Cu系材料(Cu単体、またCu合金)から
なり、圧電基板10の長手方向の一方端部には、振動電
極11と接続する引出電極13が形成されており、他方
端部には、振動電極12と接続する引出電極14が形成
されている。引出電極13、14は、振動電極11、1
2と同一材料で構成され、各々の端部の一方主面、端
面、他方主面に渡って形成されている。
【0023】容量基板2は、アルミナなどの矩形状の耐
熱性絶縁基板21と、基板表面側の入力側下部容量電極
44、出力側下部容量電極45、複数の電極指41a〜
41fを含む接地側容量電極41、誘電体層6、入力側
上部容量電極31、出力側上部容量電極51、バンプ部
材71、72、第1〜第3のダミー表面電極81a、8
2a、83cと、基板裏面側の入力側裏面電極32、出
力側裏面電極52、接地側裏面電極42と、第1〜第3
のダミー裏面電極81b、82b、83bとから構成さ
れている。容量基板2の相対向する一対の端面には、厚
み方向に延びる円形状の凹部の内部に導体が形成された
6つの端面電極が配置されている。
熱性絶縁基板21と、基板表面側の入力側下部容量電極
44、出力側下部容量電極45、複数の電極指41a〜
41fを含む接地側容量電極41、誘電体層6、入力側
上部容量電極31、出力側上部容量電極51、バンプ部
材71、72、第1〜第3のダミー表面電極81a、8
2a、83cと、基板裏面側の入力側裏面電極32、出
力側裏面電極52、接地側裏面電極42と、第1〜第3
のダミー裏面電極81b、82b、83bとから構成さ
れている。容量基板2の相対向する一対の端面には、厚
み方向に延びる円形状の凹部の内部に導体が形成された
6つの端面電極が配置されている。
【0024】例えば図2、図3の下側の長辺側には、3
つの端面電極33、43、53が配置され、図2の下側
長辺の左側の端面電極33は、表面側の入力側上部容量
電極31と裏面側の入力側裏面電極32とを電気的に接
続するものであり、これにより、入力電極3を構成す
る。また、下側長辺の中央の端面電極43は、表面側の
接地側容量電極41と裏面側の接地側裏面電極42とを
電気的に接続するものであり、これにより、接地電極4
を構成する。また、下側長辺の右側の端面電極53は、
表面側の出力側上部容量電極51と裏面側の出力側裏面
電極52とを電気的に接続するものであり、これによ
り、出力電極5を構成する。
つの端面電極33、43、53が配置され、図2の下側
長辺の左側の端面電極33は、表面側の入力側上部容量
電極31と裏面側の入力側裏面電極32とを電気的に接
続するものであり、これにより、入力電極3を構成す
る。また、下側長辺の中央の端面電極43は、表面側の
接地側容量電極41と裏面側の接地側裏面電極42とを
電気的に接続するものであり、これにより、接地電極4
を構成する。また、下側長辺の右側の端面電極53は、
表面側の出力側上部容量電極51と裏面側の出力側裏面
電極52とを電気的に接続するものであり、これによ
り、出力電極5を構成する。
【0025】また、図2、図3の上側の長辺には、上述
の3つの端面電極33、43、53に対向するように、
3つの端面電極81c、82c、83cが配置されてい
る。
の3つの端面電極33、43、53に対向するように、
3つの端面電極81c、82c、83cが配置されてい
る。
【0026】図2の上側長辺の左側の端面電極81c
は、第1のダミー表面電極81aと第1のダミー裏面電
極81bとを電気的に接続し、第1のダミー電極81を
構成し、上側長辺の中央の端面電極82cは、第2のダ
ミー表面電極82aと第2のダミー裏面電極82bとを
電気的に接続し、第2のダミー電極82を構成し、上側
長辺の右側の端面電極83cは、第3のダミー表面電極
83aと第3のダミー裏面電極83bとを電気的に接続
し、第3のダミー電極83を構成する。この第1〜第3
のダミー電極81〜83は、この容量基板20内におい
て、入力電極3、接地電極4、出力電極5に一切電気的
に接続することはない。
は、第1のダミー表面電極81aと第1のダミー裏面電
極81bとを電気的に接続し、第1のダミー電極81を
構成し、上側長辺の中央の端面電極82cは、第2のダ
ミー表面電極82aと第2のダミー裏面電極82bとを
電気的に接続し、第2のダミー電極82を構成し、上側
長辺の右側の端面電極83cは、第3のダミー表面電極
83aと第3のダミー裏面電極83bとを電気的に接続
し、第3のダミー電極83を構成する。この第1〜第3
のダミー電極81〜83は、この容量基板20内におい
て、入力電極3、接地電極4、出力電極5に一切電気的
に接続することはない。
【0027】次に、容量基板2の各電極構造及び積層構
造を説明する。
造を説明する。
【0028】絶縁基板21の表面側において、第1層目
は、図4に示すように、概略島状の入力側下部容量電極
44、概略島状の出力側下部容量電極51、端面電極4
3を含むように複数、例えば6本の電極指41a〜41
fを有する接地側容量電極41、端面電極82cとなる
凹部を含むように小面積の第2のダミー表面電極82a
が夫々形成されている。これらは、例えば、Ag系(A
g単体、Ag合金)を主成分となる導電性ペーストの印
刷、焼きつけによって形成される。
は、図4に示すように、概略島状の入力側下部容量電極
44、概略島状の出力側下部容量電極51、端面電極4
3を含むように複数、例えば6本の電極指41a〜41
fを有する接地側容量電極41、端面電極82cとなる
凹部を含むように小面積の第2のダミー表面電極82a
が夫々形成されている。これらは、例えば、Ag系(A
g単体、Ag合金)を主成分となる導電性ペーストの印
刷、焼きつけによって形成される。
【0029】ここで、接地側電極41は、入力側下部容
量電極44、出力側下部容量電極51と一体的に形成さ
れ、例えば、6本の電極指41a〜41fのうち、左側
の3本の電極指41a〜41cは入力側容量成分に寄与
する電極指であり、右側の3本の電極指41d〜41f
は出力側容量成分に寄与する電極指である。
量電極44、出力側下部容量電極51と一体的に形成さ
れ、例えば、6本の電極指41a〜41fのうち、左側
の3本の電極指41a〜41cは入力側容量成分に寄与
する電極指であり、右側の3本の電極指41d〜41f
は出力側容量成分に寄与する電極指である。
【0030】絶縁基板21の表面側の第2層目は、図5
に示すように、即ち、入力側下部容量電極44、出力側
下部容量電極45及び接地容量電極41の電極指41a
〜41f上には、誘電体層6が形成されている。図で
は、入力側下部容量電極44、出力側下部容量電極45
及び電極指41a〜41f上に一連に形成されている
が、例えば、入力側下部容量電極44と電極指41a〜
41cを覆う第1の誘電体層と出力側下部容量電極45
と電極指41d〜41fを覆う第2の誘電体層とに分け
ても構わない。この誘電体層6は、例えばチタン酸バリ
ウムなどの誘電体材料を含む厚膜誘電体ペーストの塗布
及びその焼付けによって形成される。その厚みは、20
〜200μm程度であり、入出力容量成分の値によって
適宜選択されて設定される。
に示すように、即ち、入力側下部容量電極44、出力側
下部容量電極45及び接地容量電極41の電極指41a
〜41f上には、誘電体層6が形成されている。図で
は、入力側下部容量電極44、出力側下部容量電極45
及び電極指41a〜41f上に一連に形成されている
が、例えば、入力側下部容量電極44と電極指41a〜
41cを覆う第1の誘電体層と出力側下部容量電極45
と電極指41d〜41fを覆う第2の誘電体層とに分け
ても構わない。この誘電体層6は、例えばチタン酸バリ
ウムなどの誘電体材料を含む厚膜誘電体ペーストの塗布
及びその焼付けによって形成される。その厚みは、20
〜200μm程度であり、入出力容量成分の値によって
適宜選択されて設定される。
【0031】絶縁基板21の表面側の第3層目は、図6
に示すように、誘電体層6には、入力側上部容量電極3
1、出力側上部容量電極51とが形成されている。この
入力側上部容量電極31、出力側上部容量電極51は、
誘電体層6にAg系(Ag単体、Ag合金)を主成分と
なる厚膜導体膜によって形成される。入力側上部容量電
極31は、誘電体層6を介して入力側下部容量電極44
と電極指41a〜41cに対向するように形成され、出
力側上部容量電極51は、誘電体層6を介して出力側下
部容量電極45と電極指41d〜41fに対向するよう
に形成される。
に示すように、誘電体層6には、入力側上部容量電極3
1、出力側上部容量電極51とが形成されている。この
入力側上部容量電極31、出力側上部容量電極51は、
誘電体層6にAg系(Ag単体、Ag合金)を主成分と
なる厚膜導体膜によって形成される。入力側上部容量電
極31は、誘電体層6を介して入力側下部容量電極44
と電極指41a〜41cに対向するように形成され、出
力側上部容量電極51は、誘電体層6を介して出力側下
部容量電極45と電極指41d〜41fに対向するよう
に形成される。
【0032】これにより、入力側上部容量電極31と入
力側下部容量電極44との間には、第1の入力側容量成
分が形成され、入力側共通容量電極31と電極指41a
〜41cとの間には第2の入力容量成分が形成され、こ
の両容量成分の合成が入力側上部容量電極31と電極指
41a〜41cを含む櫛状電極41とから導出されるこ
とになる。尚、出力側上部容量電極51と出力側下部容
量電極45との間には、第1の出力容量成分が形成さ
れ、また、出力側上部容量電極51と電極指41c〜4
1fとの間には第2の出力容量成分が形成され、この両
容量成分の合成が出力側上部容量電極51と電極指41
d〜41fを含む櫛状電極41とから導出されることに
なる。
力側下部容量電極44との間には、第1の入力側容量成
分が形成され、入力側共通容量電極31と電極指41a
〜41cとの間には第2の入力容量成分が形成され、こ
の両容量成分の合成が入力側上部容量電極31と電極指
41a〜41cを含む櫛状電極41とから導出されるこ
とになる。尚、出力側上部容量電極51と出力側下部容
量電極45との間には、第1の出力容量成分が形成さ
れ、また、出力側上部容量電極51と電極指41c〜4
1fとの間には第2の出力容量成分が形成され、この両
容量成分の合成が出力側上部容量電極51と電極指41
d〜41fを含む櫛状電極41とから導出されることに
なる。
【0033】絶縁基板21の表面側の第4層目は、図
1、図2に示すように、入力側上部容量電極31、出力
側上部容量電極51上には、圧電素子1を載置するため
の導電性バンプ部材71、72が形成されている。この
バンプ部材71、72は、圧電素子1を配置したとき
に、例えば圧電素子1の振動電極12と入力側上部容量
電極31、出力側上部容量電極51とが接触しないよう
にするため、さらに、振動電極11の引出電極13と入
力側上部容量電極71とを、振動電極12の引出電極1
4と出力側上部容量電極51とを各々電気的に接続する
ためのものであり、例えば、Ag系導体材料の比較的小
さい面積で、厚み20〜200μmで形成される。
1、図2に示すように、入力側上部容量電極31、出力
側上部容量電極51上には、圧電素子1を載置するため
の導電性バンプ部材71、72が形成されている。この
バンプ部材71、72は、圧電素子1を配置したとき
に、例えば圧電素子1の振動電極12と入力側上部容量
電極31、出力側上部容量電極51とが接触しないよう
にするため、さらに、振動電極11の引出電極13と入
力側上部容量電極71とを、振動電極12の引出電極1
4と出力側上部容量電極51とを各々電気的に接続する
ためのものであり、例えば、Ag系導体材料の比較的小
さい面積で、厚み20〜200μmで形成される。
【0034】以上のような容量基板2の表面側の構成で
あるが、少なくともバンプ部材71、72、電極指41
a〜41fの根元部分が露出するようにシリカなどの絶
縁膜で覆ってもよい。
あるが、少なくともバンプ部材71、72、電極指41
a〜41fの根元部分が露出するようにシリカなどの絶
縁膜で覆ってもよい。
【0035】次に、容量基板2の裏面側の構成は、図3
に示すように、端面電極33となる凹部を含むように比
較的広い面積の概略島状の入力側裏面電極32、端面電
極53となる凹部を含むように比較的広い面積の概略島
状の出力側容量電極52、端面電極43を含むように比
較的広い面積の概略島状の接地裏面電極42、端面電極
81cとなる凹部を含むように小面積の第1のダミー裏
面電極81b、端面電極82cとなる凹部を含むように
小面積の第2のダミー裏面電極82b、端面電極83c
となる凹部を含むように小面積の第3のダミー裏面電極
83bが夫々形成されている。これらは、例えば、耐熱
性絶縁基板21上に、Ag系(Ag単体、Ag合金)を
主成分となる厚膜導体膜によって形成される。
に示すように、端面電極33となる凹部を含むように比
較的広い面積の概略島状の入力側裏面電極32、端面電
極53となる凹部を含むように比較的広い面積の概略島
状の出力側容量電極52、端面電極43を含むように比
較的広い面積の概略島状の接地裏面電極42、端面電極
81cとなる凹部を含むように小面積の第1のダミー裏
面電極81b、端面電極82cとなる凹部を含むように
小面積の第2のダミー裏面電極82b、端面電極83c
となる凹部を含むように小面積の第3のダミー裏面電極
83bが夫々形成されている。これらは、例えば、耐熱
性絶縁基板21上に、Ag系(Ag単体、Ag合金)を
主成分となる厚膜導体膜によって形成される。
【0036】この裏面側の入力側裏面電極32、出力側
容量電極52、接地裏面電極42は、この容量基板2の
表面側の構造によって形成される入力容量成分、出力容
量成分を容量測定装置の測定プローブを接触させるに充
分な面積となっている。
容量電極52、接地裏面電極42は、この容量基板2の
表面側の構造によって形成される入力容量成分、出力容
量成分を容量測定装置の測定プローブを接触させるに充
分な面積となっている。
【0037】このような構造の容量基板2の表面上に
は、バンプ部材71、72を介して、圧電素子1が導電
性接着材15、16を介して強固に接続されている。
は、バンプ部材71、72を介して、圧電素子1が導電
性接着材15、16を介して強固に接続されている。
【0038】さらに、圧電素子1を被覆するように、例
えば絶縁性の蓋体9が被覆される。
えば絶縁性の蓋体9が被覆される。
【0039】例えば蓋体9は、底面が開口した筺体状で
あり、開口周囲と容量基板2の表面の周囲との間にシー
ラー樹脂のなどの封止部材91を介在させて、圧電素子
1を気密的に封止を行う。尚、この蓋体9側に圧電素子
1の長手方向の両端が載置される段差を設けておき、こ
の段差にら導電性接着材を塗布した状態で、圧電素子1
を蓋体側に保持させておき、その後、この導電性接着材
でバンプ部材71、72と接続しても構わない。
あり、開口周囲と容量基板2の表面の周囲との間にシー
ラー樹脂のなどの封止部材91を介在させて、圧電素子
1を気密的に封止を行う。尚、この蓋体9側に圧電素子
1の長手方向の両端が載置される段差を設けておき、こ
の段差にら導電性接着材を塗布した状態で、圧電素子1
を蓋体側に保持させておき、その後、この導電性接着材
でバンプ部材71、72と接続しても構わない。
【0040】このように形成された圧電部品では、圧電
素子1と容量基板2とによって、図7に示す等価回路と
なる。ここで、圧電素子1の両端の入出力容量成分、例
えば、入力側容量成分C1 は、入力側下部容量電極44
部分の第1の入力容量成分C11と電極指41a〜41c
部分の第2の入力容量成分C12とから構成されている。
出力側容量成分C2 は、第1の出力容量成分C21と第2
の出力容量成分C22とから構成されている。特に、第2
の入力側容量成分C12、第2の出力側容量成分C22は、
容量可変可能な状態となっている。
素子1と容量基板2とによって、図7に示す等価回路と
なる。ここで、圧電素子1の両端の入出力容量成分、例
えば、入力側容量成分C1 は、入力側下部容量電極44
部分の第1の入力容量成分C11と電極指41a〜41c
部分の第2の入力容量成分C12とから構成されている。
出力側容量成分C2 は、第1の出力容量成分C21と第2
の出力容量成分C22とから構成されている。特に、第2
の入力側容量成分C12、第2の出力側容量成分C22は、
容量可変可能な状態となっている。
【0041】これは、容量基板2の形成工程で、入力側
上部容量電極31及び出力側上部容量電極51を形成し
た後、容量基板2の裏面側の入力側裏面電極32、出力
側容量電極52、接地裏面電極42を用いて、入力容量
成分C1 、出力容量成分C2を測定しながら、所望容量
値からのずれがある場合に調整できるものである。
上部容量電極31及び出力側上部容量電極51を形成し
た後、容量基板2の裏面側の入力側裏面電極32、出力
側容量電極52、接地裏面電極42を用いて、入力容量
成分C1 、出力容量成分C2を測定しながら、所望容量
値からのずれがある場合に調整できるものである。
【0042】具体的には、容量基板2の裏面側の入力側
裏面電極32と接地裏面電極42を用いて、入力容量成
分C1 を測定し、必要に応じて、電極指41a〜41c
を切断すればよい。切断前の入力容量成分C1 =C11+
C12で示されるが、切断により、第2の入力容量成分が
C’12(C12>C’12)となった時には、切断後の入力
容量成分C’1 =C11+C’12となる。ここで、切断に
より全体との容量小さくなる方向の調整となるため、切
断前の容量成分C1 を所望の容量成分に比較して大きめ
に設定しておくことが重要である。尚、出力容量成分C
2 についても同様である。尚、切断の方法とは、切断し
た電極指41a〜41fの根本部分にレザー照射を行
う。
裏面電極32と接地裏面電極42を用いて、入力容量成
分C1 を測定し、必要に応じて、電極指41a〜41c
を切断すればよい。切断前の入力容量成分C1 =C11+
C12で示されるが、切断により、第2の入力容量成分が
C’12(C12>C’12)となった時には、切断後の入力
容量成分C’1 =C11+C’12となる。ここで、切断に
より全体との容量小さくなる方向の調整となるため、切
断前の容量成分C1 を所望の容量成分に比較して大きめ
に設定しておくことが重要である。尚、出力容量成分C
2 についても同様である。尚、切断の方法とは、切断し
た電極指41a〜41fの根本部分にレザー照射を行
う。
【0043】このような容量内蔵型圧電共振子において
は、生産性の向上が非常に重要である。上述のように入
出力容量成分を容易に調整することができても、それが
個々の容量基板2の状態で測定し、調整するのであれ
ば、生産性の向上にはならない。
は、生産性の向上が非常に重要である。上述のように入
出力容量成分を容易に調整することができても、それが
個々の容量基板2の状態で測定し、調整するのであれ
ば、生産性の向上にはならない。
【0044】そこで、本発明では、容量成分を測定する
ための容量基板2の裏面側の入力側裏面電極32、出力
側裏面電極52、接地裏面電極42と裏面側の第1〜第
3のダミー裏面電極81b〜83bとを完全に電気的分
離しているとともに、入出力容量成分を発生させるため
の容量基板2の表面側の入力側上部容量電極31、入力
側下部容量電極44、出力側上部容量電極51、出力側
下部容量電極45、接地側電極41と、第1〜第3のダ
ミー表面電極81a、82a、83cとを完全に電気的
分離している。
ための容量基板2の裏面側の入力側裏面電極32、出力
側裏面電極52、接地裏面電極42と裏面側の第1〜第
3のダミー裏面電極81b〜83bとを完全に電気的分
離しているとともに、入出力容量成分を発生させるため
の容量基板2の表面側の入力側上部容量電極31、入力
側下部容量電極44、出力側上部容量電極51、出力側
下部容量電極45、接地側電極41と、第1〜第3のダ
ミー表面電極81a、82a、83cとを完全に電気的
分離している。
【0045】これにより、図8、図9に示すように、容
量基板2を、1枚の大型絶縁基板上で電極や誘電体層を
形成し、最終工程で分割する製造方法を採用した時に非
常に実用的となる。
量基板2を、1枚の大型絶縁基板上で電極や誘電体層を
形成し、最終工程で分割する製造方法を採用した時に非
常に実用的となる。
【0046】1つの容量基板2において、入力電極3と
なる入力側上部容量電極31は第1のダミー表面電極8
1aと対向する辺に夫々延出され、出力電極5となる出
力側上部容量電極51は第3のダミー表面電極83aと
対向する辺に夫々延出され、複数の電極指41a〜41
fを有する接地側電極41は、第2のダミー表面電極8
2aと対向する辺に夫々形成されているため、図8のよ
うに大型絶縁基板200の表面側においては、1つの容
量基板2の入力電極3となる入力側上部容量電極31は
端面電極33(81c)を介して、隣接する他の容量基
板2’の第1のダミー表面電極81aと接続するだけで
あり、出力電極5となる出力側上部容量電極51は端面
電極53(83c)を介して、隣接する他の容量基板
2’の第3のダミー表面電極81aと接続するだけであ
り、接地側電極41は端面電極43(82c)を介し
て、隣接する他の容量基板2’の第2のダミー表面電極
82aと接続するだけであるものの、1つの容量基板2
及び他の容量基板2の各第1〜第3のダミー表面電極8
1a〜83aは夫々電気的には浮いた状態である。従っ
て、1つの容量基板2の2つの容量成分は、他の容量基
板2’の容量成分には何ら影響はされない。
なる入力側上部容量電極31は第1のダミー表面電極8
1aと対向する辺に夫々延出され、出力電極5となる出
力側上部容量電極51は第3のダミー表面電極83aと
対向する辺に夫々延出され、複数の電極指41a〜41
fを有する接地側電極41は、第2のダミー表面電極8
2aと対向する辺に夫々形成されているため、図8のよ
うに大型絶縁基板200の表面側においては、1つの容
量基板2の入力電極3となる入力側上部容量電極31は
端面電極33(81c)を介して、隣接する他の容量基
板2’の第1のダミー表面電極81aと接続するだけで
あり、出力電極5となる出力側上部容量電極51は端面
電極53(83c)を介して、隣接する他の容量基板
2’の第3のダミー表面電極81aと接続するだけであ
り、接地側電極41は端面電極43(82c)を介し
て、隣接する他の容量基板2’の第2のダミー表面電極
82aと接続するだけであるものの、1つの容量基板2
及び他の容量基板2の各第1〜第3のダミー表面電極8
1a〜83aは夫々電気的には浮いた状態である。従っ
て、1つの容量基板2の2つの容量成分は、他の容量基
板2’の容量成分には何ら影響はされない。
【0047】これは、図9における大型絶縁基板200
の裏面側においても同様である。即ち、1つの容量基板
2の裏面側の入力側裏面電極32、出力側容量電極5
2、接地裏面電極42が、隣接する容量基板2’の裏面
側の第1〜第3のダミー裏面電極81b〜83bに見掛
け上接続されていたとしても、他の容量基板2’の第1
〜第3のダミー裏面電極81b〜83bが、その表面側
の電極などには一切接続されていない。従って、大型絶
縁基板200の状態で、入力側裏面電極32、出力側裏
面電極52、接地裏面電極42を用いて、その容量基板
2の入出力容量成分C1 、C2 を測定しても、他の容量
基板2’の容量成分を合わせて測定することが一切な
い。
の裏面側においても同様である。即ち、1つの容量基板
2の裏面側の入力側裏面電極32、出力側容量電極5
2、接地裏面電極42が、隣接する容量基板2’の裏面
側の第1〜第3のダミー裏面電極81b〜83bに見掛
け上接続されていたとしても、他の容量基板2’の第1
〜第3のダミー裏面電極81b〜83bが、その表面側
の電極などには一切接続されていない。従って、大型絶
縁基板200の状態で、入力側裏面電極32、出力側裏
面電極52、接地裏面電極42を用いて、その容量基板
2の入出力容量成分C1 、C2 を測定しても、他の容量
基板2’の容量成分を合わせて測定することが一切な
い。
【0048】これにより、容量基板2の入出力容量成分
C1 、C2 の測定を、大型絶縁基板200の状態で、単
独の容量基板2毎に測定でき、しかも、その測定結果に
従って、電極指41a〜41fを所定本数切断するとい
う調整工程も同時に行うことができる。
C1 、C2 の測定を、大型絶縁基板200の状態で、単
独の容量基板2毎に測定でき、しかも、その測定結果に
従って、電極指41a〜41fを所定本数切断するとい
う調整工程も同時に行うことができる。
【0049】従って、大型絶縁基板200を構成する複
数の容量基板2(個々に切断や分割する前の状態で)で
容量成分の調整が可能となり、その応用として、大型絶
縁基板200の状態の容量基板2に圧電素子1を配置
し、さらに蓋体9を被覆してしまい、大型絶縁基板20
0を切断、分割すれば、個々の圧電部品が抽出できる製
造方法にも適用できることになる。
数の容量基板2(個々に切断や分割する前の状態で)で
容量成分の調整が可能となり、その応用として、大型絶
縁基板200の状態の容量基板2に圧電素子1を配置
し、さらに蓋体9を被覆してしまい、大型絶縁基板20
0を切断、分割すれば、個々の圧電部品が抽出できる製
造方法にも適用できることになる。
【0050】尚、容量調整手段を具備しない容量基板で
あっても、容量基板2の入出力容量成分C1 、C2 の測
定により、所定容量測定でない容量基板については、不
良のマーキングを付与しておけば、その後の組立工程
で、この不良の容量基板を除いて製造することができる
ため、最終の良品選別に大きく貢献でき、これのような
場合でも生産性に大きく寄与できる。
あっても、容量基板2の入出力容量成分C1 、C2 の測
定により、所定容量測定でない容量基板については、不
良のマーキングを付与しておけば、その後の組立工程
で、この不良の容量基板を除いて製造することができる
ため、最終の良品選別に大きく貢献でき、これのような
場合でも生産性に大きく寄与できる。
【0051】尚、大型絶縁基板200は、所定容量基板
2となる境界部分には、切断や分割されて、容量基板2
の端面の凹部となるようなスルーホールが予め形成さ
れ、そのスルーホールの内壁にすくなくとも端面電極3
3、81c、43、82c、53、83cが形成されて
いるため、表面側の電極と裏面側の電極との導通が達成
されている。
2となる境界部分には、切断や分割されて、容量基板2
の端面の凹部となるようなスルーホールが予め形成さ
れ、そのスルーホールの内壁にすくなくとも端面電極3
3、81c、43、82c、53、83cが形成されて
いるため、表面側の電極と裏面側の電極との導通が達成
されている。
【0052】さらに、大型絶縁基板200を各容量基板
2の形状に応じて切断または分割した結果、容量基板2
の相対向する辺に、互いに対向するように、入力電極3
の端面電極33とダミー電極81の端面電極81cと
が、出力電極5の端面電極53とダミー電極83の端面
電極83cとが、接地電極4の端面電極53とダミー電
極82の端面電極82cとが夫々配置されることになる
ため、この容量内容型圧電共振子をプリントボートに半
田接合を介して表面実装を行っても、非常に安定性に優
れたものとなる。
2の形状に応じて切断または分割した結果、容量基板2
の相対向する辺に、互いに対向するように、入力電極3
の端面電極33とダミー電極81の端面電極81cと
が、出力電極5の端面電極53とダミー電極83の端面
電極83cとが、接地電極4の端面電極53とダミー電
極82の端面電極82cとが夫々配置されることになる
ため、この容量内容型圧電共振子をプリントボートに半
田接合を介して表面実装を行っても、非常に安定性に優
れたものとなる。
【0053】尚、上述の実施例では、容量基板2の相対
向する一方の長辺側に正規電極である端面電極33、4
3、53を、他方の長辺側にダミー電極である端面電極
81c、82c、83cを配置しているが、例えば、一
方の長辺側には、第1のダミー電極81の端面電極81
c、接地電極4の端面電極43、第3のダミー電極83
の端面電極83cを配置し、他方の長辺側には、入力電
極3の端面電極33、第2のダミー電極82の端面電極
82c、出力電極5の端面電極53を配置しても構わな
い。
向する一方の長辺側に正規電極である端面電極33、4
3、53を、他方の長辺側にダミー電極である端面電極
81c、82c、83cを配置しているが、例えば、一
方の長辺側には、第1のダミー電極81の端面電極81
c、接地電極4の端面電極43、第3のダミー電極83
の端面電極83cを配置し、他方の長辺側には、入力電
極3の端面電極33、第2のダミー電極82の端面電極
82c、出力電極5の端面電極53を配置しても構わな
い。
【0054】以上のように、上述の実施例では、正規電
極とダミー電極との配置関係による大型絶縁基板の状態
における容量基板の独立して容量成分の測定を可能にす
るとともに、プリントボートへの安定した表面実装性を
達成した第1の発明と、容量成分の調整に適した構造の
第2の発明を同時に説明したが、当然、大型絶縁基板の
状態で、容量成分の調整を行わない容量基板であって
も、第1の発明を適用しても構わない。
極とダミー電極との配置関係による大型絶縁基板の状態
における容量基板の独立して容量成分の測定を可能にす
るとともに、プリントボートへの安定した表面実装性を
達成した第1の発明と、容量成分の調整に適した構造の
第2の発明を同時に説明したが、当然、大型絶縁基板の
状態で、容量成分の調整を行わない容量基板であって
も、第1の発明を適用しても構わない。
【0055】第2の発明のように単独に実施して、逆に
大型絶縁基板を個々の容量基板に分割した後に、容量成
分の調整を施すような電極構造としても構わない。
大型絶縁基板を個々の容量基板に分割した後に、容量成
分の調整を施すような電極構造としても構わない。
【0056】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、容量基
板の相対向する一対の辺に、電極と電気的に浮いた状態
のダミー電極を対向するように配置したため、大型絶縁
基板の状態で1つの容量基板の2つの容量成分を確実に
測定できる容量基板となり、表面実装型容量内蔵圧電共
振子の生産性、特性のバラツキを抑えた表面実装型容量
内蔵圧電共振子となる。
板の相対向する一対の辺に、電極と電気的に浮いた状態
のダミー電極を対向するように配置したため、大型絶縁
基板の状態で1つの容量基板の2つの容量成分を確実に
測定できる容量基板となり、表面実装型容量内蔵圧電共
振子の生産性、特性のバラツキを抑えた表面実装型容量
内蔵圧電共振子となる。
【0057】また、その容量成分を、簡単に所定容量値
に調整することができ、特性のバラツキを抑えた表面実
装型容量内蔵圧電共振子となる。
に調整することができ、特性のバラツキを抑えた表面実
装型容量内蔵圧電共振子となる。
【図1】本発明の表面実装型容量内蔵圧電共振子の断面
構造図である。
構造図である。
【図2】本発明の表面実装型容量内蔵圧電共振子の容量
基板の表面側平面図である。
基板の表面側平面図である。
【図3】本発明の表面実装型容量内蔵圧電共振子の容量
基板の裏面側平面図である。
基板の裏面側平面図である。
【図4】本発明の容量基板の構造を説明するための平面
図である。
図である。
【図5】本発明の容量基板の構造を説明するための平面
図である。
図である。
【図6】本発明の容量基板の構造を説明するための平面
図である。
図である。
【図7】本発明の表面実装型容量内蔵圧電共振子の等価
回路図である。
回路図である。
【図8】本発明の容量基板を形成するための大型絶縁基
板の表面側の一部を示す平面図である。
板の表面側の一部を示す平面図である。
【図9】本発明の容量基板を形成するための大型絶縁基
板の裏面側の一部を示す平面図である。
板の裏面側の一部を示す平面図である。
【図10】従来の容量内蔵圧電共振子の等価回路図であ
る。
る。
【図11】従来の表面実装型容量内蔵圧電共振子の容量
基板の斜視図である。
基板の斜視図である。
1・・・・圧電素子 2・・・・容量基板 3・・・・入力電極 4・・・・接地電極 5・・・・出力電極 81〜83・・・・ダミー電極
Claims (2)
- 【請求項1】 矩形状の圧電基板の両主面に互いに対向
する振動電極を形成した圧電素子と、入力電極、出力電
極、接地電極を有し、入力電極と接地電極、出力電極と
接地電極との間に形成される入出力容量成分を前記圧電
素子の振動電極に接続するようにした矩形状の容量基板
とから成る表面実装型容量内蔵圧電共振子において、 前記容量基板の相対向する一方辺の端部に、前記入力電
極、接地電極、出力電極を夫々配置するとともに、他方
辺の端部に、前記入力電極、接地電極、出力電極の夫々
と対向するように3つのダミー電極を形成したことを特
徴とする表面実装型容量内蔵圧電共振子。 - 【請求項2】前記接地電極は、入力容量成分を形成する
複数の電極指を有する入力側櫛状電極と、出力容量成分
を形成する複数の電極指を有する出力側櫛状電極とから
成り、両容量成分を、前記入出力櫛状電極の所定数の電
極指を切断して調整するようにしたことを特徴とする特
許請求の範囲請求項1記載の表面実装型容量内蔵圧電共
振子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4428997A JPH10242794A (ja) | 1997-02-27 | 1997-02-27 | 表面実装型容量内蔵圧電共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4428997A JPH10242794A (ja) | 1997-02-27 | 1997-02-27 | 表面実装型容量内蔵圧電共振子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10242794A true JPH10242794A (ja) | 1998-09-11 |
Family
ID=12687357
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4428997A Pending JPH10242794A (ja) | 1997-02-27 | 1997-02-27 | 表面実装型容量内蔵圧電共振子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10242794A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003046180A (ja) * | 2001-07-26 | 2003-02-14 | Kyocera Corp | 入出力端子および光半導体素子収納用パッケージならびに光半導体装置 |
KR100889218B1 (ko) | 2007-04-27 | 2009-03-17 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 가변 필터 소자, 가변 필터 모듈 및 이들의 제조 방법 |
JP2009100328A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子の製造方法および圧電共振子 |
JP2009284457A (ja) * | 2008-02-15 | 2009-12-03 | Kyocera Corp | 圧電発振子 |
US7928635B2 (en) * | 2008-01-07 | 2011-04-19 | Epson Toyocom Corporation | Package for electronic component and piezoelectric resonator |
-
1997
- 1997-02-27 JP JP4428997A patent/JPH10242794A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003046180A (ja) * | 2001-07-26 | 2003-02-14 | Kyocera Corp | 入出力端子および光半導体素子収納用パッケージならびに光半導体装置 |
KR100889218B1 (ko) | 2007-04-27 | 2009-03-17 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 가변 필터 소자, 가변 필터 모듈 및 이들의 제조 방법 |
JP2009100328A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子の製造方法および圧電共振子 |
US7928635B2 (en) * | 2008-01-07 | 2011-04-19 | Epson Toyocom Corporation | Package for electronic component and piezoelectric resonator |
JP2009284457A (ja) * | 2008-02-15 | 2009-12-03 | Kyocera Corp | 圧電発振子 |
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