JP4010293B2 - 金属パッケージの製造方法 - Google Patents
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- 電子部品を実装する金属ベースと前記電子部品を気密に封止するべく前記金属ベースに接合される蓋体とからなる金属パッケージの製造において、
金属板の表裏両面にフォトレジスト膜を形成し、前記金属板各面において所望の導電部を囲繞する絶縁部のパターンを前記フォトレジスト膜に転写し、これをマスクとして前記金属板を両面から所定の深さまでウエットエッチングして、前記絶縁部に対応する溝を前記金属板に形成し、前記溝に絶縁材料を充填して、前記導電部を囲繞しかつこれを周囲の前記金属板から電気的に分離させる前記絶縁部を形成することにより、前記金属ベースを製造することを特徴とする金属パッケージの製造方法。 - 前記絶縁部のパターンが、前記導電部と周囲の前記金属板間を結合する連結部を設けるための連結部分を有し、前記ウエットエッチングが、前記連結部分の裏側に僅かな厚さの前記連結部を残すように行われ、前記絶縁部を形成した後に前記連結部を除去して、前記導電部を前記周囲の金属板から完全に分離させることを特徴とする請求項1に記載の金属パッケージの製造方法。
- 前記絶縁材料がガラス材料であることを特徴とする請求項1または2に記載の金属パッケージの製造方法。
- 前記金属板が前記ガラス材料と同じ熱膨張率を有する金属材料からなることを特徴とする請求項3に記載の金属パッケージの製造方法。
- 前記ガラス材料が液状ガラスまたは粉末ガラスであり、これを前記溝内に入れて焼成することにより前記絶縁部を形成することを特徴とする請求項3または4に記載の金属パッケージの製造方法。
- 前記導電部が前記金属板を貫通してその表裏両面に露出するように形成されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の金属パッケージの製造方法。
- 前記導電部が前記金属板の表裏いずれかの面にのみ露出するように形成されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の金属パッケージの製造方法。
- 1枚の金属板に多数個分の金属ベースを形成しかつこれを個片化することを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の金属パッケージの製造方法。
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