JPH0748598B2 - 電子部品用センタリングチャック機構 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、電子部品をセンタリングした状態でチャッ
クするための電子部品用センタリングチャック機構に関
するものである。

［従来の技術］ たとえばチップ状電子部品は、リード線を持たず、その
代わりに、表面に外部電極を形成している。このような
チップ状電子部品は、配線基板等に対して、その外部電
極を介して、直接、はんだ付けされ、それによって、配
線基板等に対して電気的にも機械的にも接続される。

上述のように、チップ状電子部品が配線基板等の上には
んだ付けされた状態を得るには、まず、チップ状電子部
品を、配線基板等の所定の位置に所定の方向でマウント
することが必要である。このマウント工程において、電
子部品用センタリングチャック機構が用いられる。

第８図および第９図には、従来の電子部品用センタリン
グチャック機構の第１および第２の例がそれぞれ示され
ている。

第８図に示した第１の従来例としてのセンタリングチャ
ック機構１において、まず、その中心にスライドコア２
が配置される。スライドコア２の中心には、真空通路３
が設けられる。スライドコア２の下端には、真空通路３
に連通するばね受け空間４が形成され、ここに、圧縮ば
ね５が配置される。圧縮ばね５により下方へ押された状
態で、スライドコア２の下端部には、吸引ノズル６が配
置される。吸引ノズル６は、スライドコア２の下端部の
外周に形成されたねじにキャップ７がねじ込まれること
により、スライドコア２に取付けられる。このようにし
て、吸引ノズル６は、圧縮ばね５により下方へ変位する
ように付勢された状態で、スライドコア２に対して上下
方向に変位可能である。

スライドコア２は、スライドスリーブ８内においてスラ
イド可能に保持される。スライドコア２は、圧縮ばね９
により、スライドスリーブ８に対して上方へ変位するよ
うに付勢されている。この上方への変位への終端は、キ
ャップ７がスライドスリーブ８の下端面に当接すること
により規定される。

スライドスリーブ８には、上下方向に延びる溝10が周方
向に４分割する位置にそれぞれ設けられている。なお、
第８図は、その中心線の左側と右側とにおいて、互いに
異なる部分の断面が示されている。各溝10内には、位置
決め爪11が配置される。位置決め爪11は、ピン12のまわ
りに回動可能に保持され、ばね13によって閉じる方向に
付勢されている。

スライドスリーブ８は、固定スリーブ14内においてスラ
イド可能に保持される。固定スリーブ14とスライドスリ
ーブ８との間には、圧縮ばね15が配置される。これによ
って、スライドスリーブ８は、固定スリーブ14に対し
て、上方へ変位するように付勢される。スライドスリー
ブ８には、外方へ突出するピン16が設けられ、固定スリ
ーブ14には、ピン16を受入れる長穴17が設けられてい
る。したがって、上述した圧縮ばね15の付勢によるスラ
イドスリーブ８の上方への変位の終端は、ピン16が長穴
17の上端に当接することによって規定される。

固定スリーブ14は、固定部18によって保持され、上下方
向の変位に対して固定される。なお、固定スリーブ14
は、固定部18に対して、回転可能に保持されてもよい。

次に、センタリングチャック機構１の動作について説明
する。なお、以下に説明するような動作を達成するた
め、圧縮ばね９の力は、圧縮ばね15の力より強くされて
いる。

まず、第８図に示した状態において、吸引ノズル６によ
り吸引された電子部品19は、その周囲から位置決め爪11
によって挾持されている。

この状態から、スライドコア２が図示しない駆動源によ
り、矢印20に示すように下方へ押し下げられると、ま
ず、スライドコア２に伴って、スライドスリーブ８が、
圧縮ばね15の弾性に抗して、固定スリーブ14に対して下
方へ変位される。これによって、位置決め爪11の上端部
が、固定スリーブ14の上端部内周に形成されたテーパ面
21によって案内され、位置決め爪11が、ピン12を中心と
して回動し、電子部品19を解放する状態となる。スライ
ドコア２がさらに押し下げられると、ピン16が長穴17の
下端に当接するため、スライドスリーブ８の固定スリー
ブ14に対する下降が停止し、スライドコア２のみが下降
する。

このように、下降時においては、まず、位置決め爪11と
吸引ノズル６とが同時に下降しつつ、位置決め爪11が開
き、次いで、位置決め爪11が開ききると、吸引ノズル６
のみがさらに下降する。

逆に、上昇時においては、まず、吸引ノズル６のみが上
昇し、その後、吸引ノズル６と位置決め爪11とが同時に
上昇しつつ、位置決め爪11が閉じる。

第９図に示した第２の従来例としてのセンタリングチャ
ック機構22は、スライドコア23を備え、スライドコア23
の中心には、真空通路24が設けられる。スライドコア23
の下端部には、ばね受け空間25が形成され、ここに、圧
縮ばね26が配置される。スライドコア23の下端部には、
吸引ノズル27がキャップ28によって取付けられる。以上
述べたスライドコア23および吸引ノズル27に関連する構
成は、第８図に示した対応のものと実質的に同様であ
る。

スライドコア23は、スライドスリーブ29内においてスラ
イド可能なように保持される。スライドコア23は、圧縮
ばね30によって、スライドスリーブ29に対して上方へ変
位するように付勢される。スライドコア23の上方への変
位の終端は、キャップ28によって規定される。

スライドスリーブ29の下端部には、４個の位置決め爪31
が、周方向に４分割する位置にそれぞれ配置される。各
位置決め爪31は、ピン32によって回動可能に保持され、
ばね33によって常に開く方向に回動するように付勢され
る。

スライドスリーブ29は、固定部34に対して上下方向にス
ライド可能なように保持される。スライドスリーブ29に
は、外方へ突出するピン35が設けられ、固定部34には、
ピン35が受入れる長穴36が設けられる。

次に、第９図に示したセンタリングチャック機構22の動
作について説明する。

まず、第９図に示した状態は、吸引ノズル27によって吸
引された電子部品37が、その周囲から位置決め爪31によ
って挾持された状態である。

この状態から、図示しない駆動源により、スライドコア
23が、矢印38で示すように、下方へ押し下げられると、
固定部34に対して、スライドコア23およびスライドスリ
ーブ29が下降する。これに応じて、固定部34の下面に接
触している位置決め爪31の上端部は、固定部34との接触
位置を変え、それによって、位置決め爪31が開かれる。
スライドコア23がさらに押し下げられると、ピン35が長
穴36の下端に当接し、スライドスリーブ29の下降が停止
し、したがって位置決め爪31の下降も停止する。スライ
ドコア23がさらに押し下げられると、圧縮ばね30の弾性
に抗して、スライドコア23のみが下降する。

このように、下降時においては、まず位置決め爪31およ
び吸引ノズル27が下降しつつ、位置決め爪31が開き、位
置決め爪31が開ききると、吸引ノズル27のみがさらに下
降する。

逆に、上昇時においては、まず、吸引ノズル27のみが上
昇し、その後、吸引ノズル27と位置決め爪31とが同時に
上昇しつつ、位置決め爪31が閉じる。

以上説明した第１および第２の従来例は、次の点におい
て大きく相違している。すなわち、第８図に示したセン
タリングチャック機構１においては、位置決め爪11は、
ばね13により閉じる方向に付勢され、他方、第９図に示
したセンタリングチャック機構22においては、位置決め
爪31は、ばね33により開く方向に付勢されている。

これら従来例においては、電子部品19または37の位置決
め精度を得るためには、位置決め爪11および31は、撓ん
だり曲がったりしないだけの剛性を有する構造にしなけ
ればならず、通常、材料として、鉄鋼が用いられる。さ
らに、硬度および耐摩耗性を得るため、位置決め爪11お
よび31には、熱処理が施される。ただし、電子部品19ま
たは37に与える衝撃を少なくするため、位置決め爪11お
よび31の各先端部のみを樹脂等により形成する場合もあ
る。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上述した従来のセンタリングチャック機
構１および22によれば、しばしば、電子部品19または37
の位置決め精度に対する問題に遭遇していた。なぜな
ら、位置決め爪11および31は、剛体であるため、これら
位置決め爪11および31の加工精度が、電子部品19または
37の位置決め精度に大きく影響を及ぼすからである。ま
た、そればかりでなく、電子部品19または37の位置決め
精度を高めるためには、２対の位置決め爪11および31の
開閉動作を、各対ごとに正確に同時動作するようにしな
ければならないが、このことも、比較的困難であり、そ
のため、電子部品19または37の位置決め精度を低下させ
ていた。

それゆえに、この発明の目的は、上述した加工精度およ
び同時動作の問題に遭遇せず、電子部品の位置決め精度
が高められた電子部品用センタリングチャック機構を提
供しようとすることである。

［課題を解決するための手段］ この発明に係る電子部品用センタリングチャック機構
は、まず、固定的に設けられる固定スリーブと、この固
定スリーブ内においてスライド可能かつ固定スリーブの
一方端側へ突出可能に保持されるスライドスリーブと、
このスライドスリーブ内においてスライド可能かつ前記
固定スリーブの一方端側へ突出可能に保持されるスライ
ドコアとを備える。

スライドコアの、前記固定スリーブの一方端側の端部に
は、吸引ノズルが取付けられる。この吸引ノズルは、こ
れによって吸引される電子部品と同じかほぼ同じ断面形
状の先端部を有している。

固定スリーブの前記一方端側から突出するように、可撓
性のある複数の位置決め爪が、固定スリーブに取付けら
れる。これら位置決め爪は、各々の自由端において、吸
引ノズルによって吸引された電子部品をその周囲から弾
性的に挾持し得るものである。

さらに、この発明に係るセンタリングチャック機構は、
スライドスリーブを固定スリーブに対してスライドさせ
る動作を与える駆動源を備える。

また、この機構は、スライドコアをスライドスリーブに
対して固定スリーブの他方端側へスライドさせるように
付勢するばねと、スライドコアの、スライドスリーブに
対する前記ばねの付勢によるスライド動作の終端を規定
するためのスライド終端規定手段と、スライドコアの、
固定スリーブに対する前記ばねの付勢による変位の終端
を規定するための変位終端規定手段とを備える。

この発明において、位置決め爪は、好ましくは、板ばね
により構成される。

また、スライド終端規定手段は、好ましくは、スライド
コアから外方へ突出するピン、およびスライドスリーブ
に軸線方向に延びるように設けられた、ピンを受入れる
長穴との組合せによって構成される。このとき、固定ス
リーブには、その軸線方向に延びる第２の長穴が設けら
れ、前記ピンが、この第２の長穴内にまで延びるように
され、変位終端規定手段は、前記ピンと前記第２の長穴
との組合せによって、構成されてもよい。

［作用］ この発明による電子部品用センタリングチャック機構
は、その動作において、典型的には次の３つのモードを
実現する。

すなわち、初期モードにおいては、スライドコアは変位
終端規定手段によって固定スリーブに対する変位の終端
が規定され、位置決め爪が吸引ノズルによって吸引され
た電子部品をその周囲から弾性的に挾持している状態が
実現される。

中間モードにおいては、スライドコアの前記初期モード
における位置を維持しながら、駆動源がスライドスリー
ブを固定スリーブから突出する状態とし、スライドスリ
ーブが位置決め爪に接触しながら位置決め爪を弾性に抗
して変形させ、電子部品を解放状態とする。

最終モードにおいては、駆動源がスライドスリーブを固
定スリーブからより突出する状態とし、スライドコア
が、スライド終端規定手段によってスライドスリーブに
対するスライド動作の終端を規定されながら、スライド
スリーブとともに動作し、吸引ノズルによって吸引され
た電子部品が位置決め爪の自由端よりさらに突出した位
置にもたらされる。

［発明の効果］ この発明によれば、位置決め爪に可撓性を与え、それに
よって電子部品をその周囲から弾性的に挾持し得るよう
にするとともに、吸引ノズルの先端部に電子部品と同じ
かほぼ同じ断面形状を与えるようにしているので、これ
ら位置決め爪と吸引ノズルとの協働作用により、電子部
品は高い精度をもって位置決めされることができる。

したがって、位置決め爪の加工精度は、それほど高くす
る必要がなくなるとともに、各位置決め爪を正確に同時
動作させる必要もなくなる。

また、吸引ノズルに関してその先端部の断面形状が異な
る種々のものを用意しておけば、吸引ノズルを交換する
だけで、種々の形状または寸法の電子部品に対応するこ
とができる。

［実施例］ 第１図ないし第７図は、この発明の一実施例を示してい
る。このうち、第１図には、電子部品用センタリングチ
ャック機構40の縦断面図が示されていて、第６図および
第７図には、同じセンタリングチャック機構40の異なる
動作モードにある状態が示されている。なお、これら第
１図、第６図および第７図において、中心線（第１図に
図示）の左側と右側とでは、互いに異なる部分の断面が
示されている。

第２図に示すように、センタリングチャック機構40は、
XYロボット41に取付けられ、図示しない配線基板等の任
意の位置まで電子部品チップ42をマウントできるように
構成されている。

センタリングチャック機構40の詳細について説明する。

固定部43には、固定スリーブ44が固定的に設けられる。
この実施例では、固定スリーブ44は、上下方向に関して
は、固定部43に対して固定されるが、固定部43に対して
その軸線のまわりで回転可能である。そのため、固定ス
リーブ44は、ベアリング45を介して固定部43に取付けら
れる。固定スリーブ44の回転は、当該センタリングチャ
ック機構40によってチャックされた電子部品42をマウン
トするとき、配線基板等の上での回転方向を所望の方向
に向けるためのものである。

上述のように、固定スリーブ44に回転を与えるため、固
定スリーブ44の上端部には、タイミングプーリ46が取付
けられ、第２図に示すように、モータ47の回転がタイミ
ングベルト48を介してタイミングプーリ46に伝達され
る。なお、タイミングプーリ46に代えて、歯車等が用い
られてもよい。

固定スリーブ44内においてスライド可能かつ固定スリー
ブ44の下方端側へ突出可能に、スライドスリーブ49が保
持される。スライドスリーブ49には、駆動源としてのシ
リンダ50によって、固定スリーブ44に対してスライドす
る動作が与えられる。シリンダ50は、ブラケット51によ
って固定部43に取付けられ、シリンダ50から延びるピス
トンロッド52は、カップリング53を介してスライドスリ
ーブ49に連結される。

スライドスリーブ49内においてスライド可能かつ下方へ
突出可能に、スライドコア54が保持される。

スライドスリーブ49の下方端であって、スライドコア54
の周囲には、圧縮ばね55が配置される。スライドスリー
ブ49の下端外周に形成されたねじにキャップ56がねじ込
まれることによって、圧縮ばね55は、スライドスリーブ
49内に保持される。圧縮ばね55は、スライドコア54をス
ライドスリーブ49に対して上方へスライドさせるように
付勢するものである。

スライドコア54の、スライドスリーブ49に対する圧縮ば
ね55の付勢によるスライド動作の終端を規定するための
スライド終端規定手段として、スライドコア54から外方
へ突出するピン57が設けられ、ピン57は、スライドスリ
ーブ49に軸線方向に延びるように設けられた長穴58内に
受入れられる。なお、スライドコア54の、スライドスリ
ーブ49に対する圧縮ばね55の付勢によるスライド動作の
終端が規定された状態は、第６図および第７図に示され
ていて、これらの図面において、ピン57は長穴58の上端
に当接している。

スライドコア54の下端部には、吸引ノズル59が取付けら
れる。スライドコア54の下端部には、圧縮ばね60を収納
するばね受け空間61が形成され、このばね受け空間61内
に吸引ノズル59の上端部の一部が挿入される。吸引ノズ
ル59の取付けおよび取外しを容易にするため、この実施
例では、ノズルホルダ62が用いられる。

吸引ノズル59およびノズルホルダ62は、それぞれ単独
で、第４図および第５図に示されている。吸引ノズル59
の上下方向の中間部には、フランジ63が形成され、この
フランジ63にノズルホルダ62が係合した状態で、ノズル
ホルダ62がスライドコア54の下端部に固定されることに
より、吸引ノズル59がスライドコア54に対して取付けら
れる。ノズルホルダ62は、その径方向に延びる取付けね
じ44をスライドコア54に向かって締付けることにより、
スライドコア54に対して固定される。

吸引ノズル59の先端部65は、たとえば第３図および第４
図によく示されているように、長方形の断面形状を有し
ている。この断面形状は、吸引ノズル59によって吸引さ
れる電子部品42と同じかほぼ同じ断面形状である。

固定スリーブ44の下方端側から突出するように、たとえ
ば４個の位置決め爪66が固定スリーブ44に取付けられ
る。４個の位置決め爪66は、センタリングチャック機構
40を下方から示した第３図によく示されているように、
周方向に４分割する位置にそれぞれ配置される。各位置
決め爪66は、この実施例では、全体として板ばねで構成
され、それによって可撓性が与えられる。位置決め爪66
は、各々の自由端67において、吸引ノズル59によって吸
引された電子部品42をその周囲から弾性的に挾持し得る
ようにされている。

前述したスライドコア54から突出して設けられたピン57
は、スライドスリーブ49より外方にまで延び、固定スリ
ーブ44に軸線方向に延びるように設けられた第２の長穴
68内にまで延びている。これらピン57および第２の長穴
68は、スライドコア54の、固定スリーブ44に対する圧縮
ばね55の付勢による変位の終端を規定するための変位終
端規定手段を構成している。すなわち、たとえば第１図
に示すように、ピン57が第２の長穴68の上端に当接する
ことにより、スライドコア54の、固定スリーブ44に対す
る圧縮ばね55の付勢による上方への変位の終端が規定さ
れる。

吸引ノズル59の中心を通る真空通路69には、外部から真
空が与えられる。すなわち、固定部43の外側に設けられ
た連結口70は、外部の真空源に連結される。連結口70か
ら固定スリーブ44に向かって、真空通路71が設けられ
る。固定スリーブ44には、真空通路71に連通する真空通
路72が設けられる。真空通路71と真空通路72との接続部
分73は、前述したように固定スリーブ44が固定部43に対
して回転されても、真空を供給し続けることができるよ
うに、固定スリーブ44の周方向にリング状に延びてい
る。真空通路72は、スライドスリーブ49に設けられた真
空通路74と連通する状態とされる。真空通路72と真空通
路74との接続部分75は、スライドスリーブ49が固定スリ
ーブ44に対してスライドされても真空を与え続けること
ができるように、スライドスリーブ49の周面上において
上下方向に長く延びている。真空通路74は、スライドス
リーブ49の中心に形成された真空通路76に連通し、その
後、スライドコア54の中心に設けられた真空通路77を介
して、吸引ノズル59の真空通路69に連通される。

なお、前述したように、この実施例では、固定スリーブ
44の、固定部43に対する回転方向を制御できるように構
成されている。したがって、このように回転方向の制御
を正確に行なうためには、他の部分における偶発的な回
転は禁止されなければならない。そのための構成の１つ
に、ピン57がある。ピン57は、長穴58および第２の長穴
68に受入れられ、これら長穴58および68内において、上
下方向には移動可能であるが、回転方向には移動するこ
とができない。したがって、固定スリーブ44とスライド
スリーブ49とスライドコア54とは、互いに回転すること
が禁止される。また、第４図および第５図に示すよう
に、吸引ノズル59がノズルホルダ62に嵌合する先端部65
の断面形状は、円形でない長方形であるので、吸引ノズ
ル59は、ノズルホルダ62に対して、ひいてはスライドコ
ア54に対して回転し得ない。

次に、第１図、第６図および第７図を順次参照しなが
ら、このセンタリングチャック機構40の動作について説
明する。

第１図は、動作の初期モードを示している。この状態に
おいて、スライドコア54は、ピン57が第２の長穴68の上
端に当接することによって、固定スリーブ44に対する上
方への変位の終端が規定されている。また、位置決め爪
66は、吸引ノズル59によって吸引されている電子部品42
をその周囲から弾性的に挾持しており、それによって、
電子部品42がセンタリングされている。

第６図は、動作の中間モードを示している。第１図に示
した状態から、シリンダ50が駆動され、ピストンロッド
52が矢印78で示すように下方へ押し出されたとき、第６
図に示すような状態が実現される。ピストンロッド52の
矢印78方向への動作によって、スライドスリーブ49が、
固定スリーブ44から下方へ突出する状態とされる。この
とき、スライドスリーブ49の下端部すなわちキャップ56
が、位置決め爪66に接触しながら、位置決め爪66を弾性
に抗して変形させる。そのため、電子部品42は、解放状
態とされる。

また、上述のようなスライドスリーブ49の下降にもかか
わらず、スライドコア54は、下降せず、初期モードにお
ける位置を維持している。なぜなら、スライドコア54
は、圧縮ばね55の作用により、スライドスリーブ49に対
して上方へスライドするように付勢されているととも
に、スライドスリーブ49単独の下降を許容するように、
ピン57を受入れる長穴58の上下方向の寸法が選ばれてい
るからである。したがって、第１図から第６図までの
間、スライドコア54は、ピン57を第２の長穴68の上端に
当接させた状態を維持しながら、スライドスリーブ49の
みが下降する。

第７図は、動作の最終モードを示している。第７図に示
した状態は、第６図に示した状態から、さらにピストン
ロッド52が矢印79で示すように下方へ押し出されたとき
に実現される。

第６図の状態において、ピン57は長穴58の上端に既に当
接しているので、この状態から、シリンダ50の駆動によ
り、スライドスリーブ49がさらに下降されたとき、この
下降には、スライドコア54が伴われる。したがって、吸
引ノズル59も、また、下降され、吸引ノズル59によって
吸引された電子部品42が、位置決め爪66の自由端67より
さらに突出した位置にもたらされる。

第７図に示した状態において、電子部品42の配線基板等
へのマウント、また電子部品42のピックアップが行なわ
れる。これらの動作の過程において、電子部品42に対し
て強い衝撃を与えないようにするため、吸引ノズル59
は、圧縮ばね60の弾性に抗して、上方へ変位することが
できる。すなわち、吸引ノズル59は、クッション作用を
有している。

上述した初期モード、中間モードおよび最終モードの順
に達成される動作は、可逆的である。

以上、この発明を、図示の実施例に関連して説明した
が、この発明の範囲内において、さらに他の実施例も可
能である。

たとえば、位置決め爪66に関して、図示の実施例では、
その全体が板ばねにより構成されたが、部分的に板ばね
により構成されてもよい。要するに、位置決め爪は、全
体として見たとき、可撓性を有していればよい。

また、駆動源として、シリンダ50を用いたが、他の往復
動作源を用いてもよい。

また、スライド終端規定手段として、ピン57と長穴58と
の組合せを用いたが、その他の構成に置換えられてもよ
い。同様に、変位終端規定手段として、ピン57と第２の
長穴68との組合せを用いたが、これについても、他の構
成に置換えられてもよい。さらに、ピン57がスライド終
端規定手段および変位終端規定手段の双方に共通的に用
いられたが、これら双方の終端規定手段を構成する要素
を、互いに独立させてもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の一実施例による電子部品用センタ
リングチャック機構40を示す縦断面図であり、その動作
の初期モード状態を示している。第２図は、第１図に示
したセンタリングチャック機構40がXYロボット41に取付
けられた状態の概略を示す斜視図である。第３図は、第
１図に示したセンタリングチャック機構40の下面図であ
る。第４図は、吸引ノズル59を単独で示す斜視図であ
る。第５図は、ノズルホルダ62を単独で示す斜視図であ
る。第６図は、第１図に相当する図であって、動作にお
ける中間モードの状態を示している。第７図は、第１図
に相当する図であって、動作における最終モードの状態
を示している。 第８図および第９図は、従来の電子部品用センタリング
チャック機構１および22をそれぞれ示す縦断面図であ
る。 図において、40はセンタリングチャック機構、42は電子
部品、44は固定スリーブ、49はスライドスリーブ、50は
シリンダ、54はスライドコア、55は圧縮ばね（ばね）、
57はピン、58は長穴、59は吸引ノズル、65は先端部、66
は位置決め爪、67は自由端、68は第２の長穴である。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】固定的に設けられる固定スリーブと、 前記固定スリーブ内においてスライド可能かつ固定スリ
   ーブの一方端側へ突出可能に保持されるスライドスリー
   ブと、 前記スライドスリーブ内においてスライド可能かつ前記
   固定スリーブの一方端側へ突出可能に保持されるスライ
   ドコアと、 前記スライドコアの、前記固定スリーブの一方端側の端
   部に取付けられかつ吸引される電子部品と同じかほぼ同
   じ断面形状の先端部を有する吸引ノズルと、 前記固定スリーブの前記一方端側から突出するように固
   定スリーブに取付けられ、かつ、各々の自由端におい
   て、前記吸引ノズルによって吸引された電子部品をその
   周囲から弾性的に挾持し得る、可撓性のある複数の位置
   決め爪と、 前記スライドスリーブを前記固定スリーブに対してスラ
   イドさせる動作を与える駆動源と、 前記スライドコアを前記スライドスリーブに対して前記
   固定スリーブの他方端側へスライドさせるように付勢す
   るばねと、 前記スライドコアの、前記スライドスリーブに対する前
   記ばねの付勢によるスライド動作の終端を規定するため
   のスライド終端規定手段と、 前記スライドコアの前記固定スリーブに対する前記ばね
   の付勢による変位の終端を規定するための変位終端規定
   手段と、 を備え、 初期モードにおいて、前記スライドコアは前記変位終端
   規定手段によって前記固定スリーブに対する変位の終端
   が規定され、前記位置決め爪が前記吸引ノズルによって
   吸引された電子部品をその周囲から弾性的に挾持してい
   る状態にあり、 中間モードにおいて、前記スライドコアの前記初期モー
   ドにおける位置を維持しながら、前記駆動源が前記スラ
   イドスリーブを前記固定スリーブから突出する状態と
   し、前記スライドスリーブが前記位置決め爪に接触しな
   がら位置決め爪を弾性に抗して変形させ、前記電子部品
   を解放状態とし、 最終モードにおいて、前記駆動源が前記スライドスリー
   ブを前記固定スリーブからより突出する状態とし、前記
   スライドコアが、前記スライド終端規定手段によって前
   記スライドスリーブに対するスライド動作の終端を規定
   されながら、前記スライドスリーブとともに動作し、前
   記吸引ノズルによって吸引された電子部品が前記位置決
   め爪の自由端よりさらに突出した位置にもたらされる、
   電子部品用センタリングチャック機構。
2. 【請求項２】前記位置決め爪は、板ばねにより構成され
   る、請求項１に記載の電子部品用センタリングチャック
   機構。
3. 【請求項３】前記スライド終端規定手段は、前記スライ
   ドコアから外方へ突出するピン、および前記スライドス
   リーブに軸線方向に延びるように設けられた、前記ピン
   を受入れる長穴との組合せからなる、請求項１または２
   に記載の電子部品用センタリングチャック機構。
4. 【請求項４】前記固定スリーブには、その軸線方向に延
   びる第２の長穴が設けられ、前記ピンは、前記第２の長
   穴内にまで延び、前記変位終端規定手段は、前記ピンと
   前記第２の長穴との組合せからなる、請求項３に記載の
   電子部品用センタリングチャック機構。