JPH0472700A - 部品吸装着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、電子部品（以下部品という）を吸着して基板
等の被装着部材に自動的に装着するための部品吸装着装
置に関する。

（従来の技術） 部品吸装着装置は、装着すべき部品を部品搭載ヘッドに
備えたノズルがパーツフィーダから吸着保持し、部品搭
載ヘッドが被装着部材の位置まで移動して部品を被装着
部材に自動的に装着するものである。そして、部品搭載
ヘッドが部品を吸着保持する際に、部品の向きが装置す
るときの正規の向きとなるように位置を修正する必要が
ある。この位置修正をする機構としては、第９図に示す
ように直交方向に配置され拡開可能に軸着されている二
対のチャックＡ。

ＢによりノズルＣに吸着された部品Ｗを四方から挟むよ
うにして部品Ｗの向きを修正するものがある。

次に、このような修正機構について第１０図および第１
１図を用いて説明する。

ヘッド本体５０に一対のストッパロッド５１が上方に延
設され、ストッパロッド５１に連結板５２が上下方向に
移動可能に取付けられている。連結板５２にはヘッド本
体５０を貫通するシャフト５３がベアリング５４を介し
て回転可能に取付けられている。シャフト５３の下端に
は部品を吸着して保持するためのノズルＣが取付けられ
ており、シャフト５３のノズルＣ取付部に対して僅かに
上方には大径のストッパ部５５が設けられている。

シャフト５３の外周に摺接しヘッド本体５０を貫通する
筒状のスライドシャフト５６が設けられ、スライドシャ
フト５６の下端はストッパ部５５の近傍まで伸びている
。スライドシャフト５６の上端は、ベアリング５７を介
してスライドシャフト５６を摺動させる駆動装置（図示
せず）に連結されており、スライドシャフト５６の下端
にはテーパー状の当接部５８が形成されている。スライ
ドシャフト５６は、ヘッド本体５０にベアリング５９を
介して回転可能に取付けられた筒状の支持部材６０．６
１に摺動可能に嵌合されて支持されている。

支持部材６１の下端には、互いに直行方向に配置された
二対のチャックＡ、　Ｂ　（第９図香！Ｐりが回動自在
に軸着されている。チャックＡ。

Ｂの内側には傾斜面ａ、ｂ　（ａのみ図示する）が形成
されており、この傾斜面ａ、ｂにスライドシャフト５６
の当接部５８が当接することによってチャックＡ、Ｈの
下端側が拡開するようになっている。

図中、６２．６３はばね６４．６５の弾性力によってチ
ャックＡ、Ｂを閉じる方向に押圧する押圧部材、６６は
ノズルＣが装着されたシャフト５３、スライドシャフト
５６、およびチャックＡ、Ｂが装置された支持部材６１
を支持部材６ｏとともに回転させるためのプーリ、６７
はノズルＣの上下方向の移動範囲を規制するストッパ、
６８はシャフト５３を上方に付勢するばね、６９はスラ
イドシャフト５６を上方に付勢するばねである。

この構成により、駆動装置（図示せず）によってスライ
ドシャフト５６を下降させると、スライドシャフト５６
の下端の当接部５８がチャックＡ、Ｂの傾斜面ａ、ｂに
当接してチャックＡ。

Ｂ拡開させる。さらに、スライドシャフト５６が下降し
てシャフト５３のストッパ部５５に当接すると、そのま
まシャフト５３を押し下げて、シャフト５３の下端に装
着されたノズルＣを下方にある部品に接触させる。そし
て、ノズルＣで部品を吸着保持する。次に、スライドシ
ャフト５５を上昇させると、ばれ６８によってシャフト
５３が上方へ持ち上げられ、イφ斜面ａ、ｂが当接部５
８に沿って移動し、チャックＡ、Ｂばばね６４．６５に
より付勢された抑圧部材６２．６３に押圧されて閉じる
方向に回動して部品を挾んでその向きを修正する。

このようにしで、部品の向きを修正した後、部品搭載ヘ
ッドを被装着部材の位置まで移動させて再びスライドシ
ャフト５６を下降させ、シャフト５３を押し下げて部品
を装着する。

ところで、Ｈ！する部品としての角チップやＩＣなどで
は、形状、大きさ、リードの位置等が異なる種々の種類
のものがあり、例えば、ＩＣはパッケージ形状によりＳ
　ＯＰ　（ＳｍａｌｌＯｕｔ　Ｌｉｎｅ　Ｐａｃｋａｇ
ｅ）　、　Ｓ　ＯＪ　（Ｓｍａｌｌ　Ｏｕｔ　Ｌｉｎｅ
Ｊ　　Ｌｅａｄ　Ｐａｃｋａｇｅ）　、　　Ｑ　Ｆ　Ｐ
　（Ｑｕａｄ　ＦｌａｔＰａｃｋａｇｅｌ等がある。そ
して、角チップやＩＣのＳＯＰやＳＯＪは一辺が数ミリ
メートルの扁平な直方体と小型な形状であるのに対し、
ＱＦＰには一辺が４０ミリメートル程度の大きな形状の
ものがある。

そして、角チップなどの小さい部品は前述した修正機構
によってノズルに吸着されて被装着部材に搬送される途
中で向きが修正されるが、ＱＦＰは側面にリードが設け
られており、そのリードの間隔が狭いため、チャックで
ＱＦＰの向きを修正しようとするとリードを曲げてしま
うことになる。そこで、ＱＦＰの場合は専用のノズルで
吸着した後、画像処理などで向きを修正するようにして
いる。

そのため、角チップなどを装着するための修正機構を備
えた部品搭載ヘッドと、ＱＦＰを装着するための修正機
能を備えていない専用の部品搭載ヘッドとが必要となっ
ている。そこで、従来は、部品吸装着装置に修正機構を
備えた部品搭載ヘッドとＱＦＰ専用の部品搭載ヘッドと
の両方を設けたり、装着する部品に応じて修正機構を備
えた部品装着ヘッドとＱＦＰ専用の部品装着ヘッドとを
交換して使用している。

（発明が解決しようとする課題） ところで、上記従来の部品吸装＠装置では改のような問
題用、を有していた。

修正機構を備えた部品搭載ヘッドとＱＦＰ専用の部品搭
載ヘッドとの両方を設けたものでは、部品搭載ヘッドが
大型化してしまい、さらに構造や制御する機構も複雑と
なってしまうという問題、φがあった。

さらに、修正機構を備えた部品搭載ヘッドとＱＦＰ専用
部品搭載ヘッドとを適宜交換するものでは、交換時間が
搭載効率（単位時間当りに装着する部品数）を低下させ
るという間届声、があった。

そこで、修正機構を備えた部品搭載ヘッドでチャックの
拡開角度を太き（設定することによって、形状の大きな
ＱＦＰを装着する場合にチャックが干渉しないようにし
て１つの部品搭載ヘッドで共用化を図ることが考えられ
るが、部品を吸着する度に太き（チャックが開かれるた
め、その拡開するための時間が長くかかり搭載効率を低
下させたり、大きく開いた状態から角チップ等の小さい
部品の側面にチャックを当接させると、大きな衝撃力が
部品に加わることとなり部品に悪影響を与える等の問題
が生じるため、実際には適用することができない。

また、第１０〆および第１１図に示すものでは、チャッ
クＡ、Ｂが部品を挾む際、チャックＡ。

Ｂは、スライドシャフト５６の上昇にともなって傾斜面
ａ、ｂがテーパー状の当接部５８に沿って移動すること
によって閉じる方向へ回動するので部品に勢いよく衝突
することになる。そのため、部品がその衝撃で破損する
虞があるという問題がある。

本発明は、以上の間卸、φに迄みてなされたものであり
、チャックの拡開角度を変えることによって角チップ等
の小型部品とＱＦＰ等の大型部品を１つの部品搭載ヘッ
ドで装着可能とすることを目的とする。

また、チャックが部品を挟む際、チャックの回動速度を
遅くしてチャックと部品と衝突時の衝撃を緩和すること
を目的とする。

（課題を解決するための手段） 本発明は、上記の課題を解決するために、部品を吸着保
持するためのノズルを有する部品搭載ヘッドに、拡開可
能な複数対のチャックと、移動によって前記チャックに
係合して該チャックを拡開するスライドシャフトとを設
け、前記チャックで前記ノズルが吸着した部品を挟んで
該部品の向きを修正する部品吸装着装置において、前記
スライドシャフトを径の異なる複数の筒状のスライドシ
ャフトからなる多重筒構造とし、それぞれの前記筒状の
スライドシャフトを移動可能としたことを特徴とする特 また、前記スライドシャフトに前記チャックに対する係
合部として外径の異なる複数の段差部を設けたことを特
徴とする。

さらに、スライドシャフトのチャックに対する係合部に
前記チャックの開閉速度を変化させるカム面を形成した
ことを特徴とする。

（作用） このように構成したことにより、小径のスライドシャフ
トの係合によってチャックは小さく拡開し、ノズルが吸
着した角チップ等の小型部品の向きを支障なく修正して
被装着部材に装着することができ、大径のスライドシャ
フトの係合によってチャックは太き（拡開し、ＱＦＰ等
の大型部品をノズルが吸着する際にチャックに干渉しな
いようにして被装着部材に装着することができる。

また、スライドシャフトを移動して小径の段差部をチャ
ックに係合することによってチャックは小さく拡開し、
大径の段差部をチャックに係合することによってチャッ
クは太き（拡開する。

さらに、スライドシャフトの係合部のカム面を緩やかな
曲線形状とすることによってチャックが部品を把持する
際の速度を遅くしてチャックと部品との衝突を緩和する
ことができる。

（実施例） 次に、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。

まず、第８図を用いて部品吸装着装置１の全体構成を概
略説明する。この装置１は、部品を被装着部材である基
板上の所定の位置に自動的に装着するものであり、基台
２上には、装着する部品を吸着保持してＸ−Ｙ方向に移
動自在な部品搭載ヘッド３と、Ｘ方向に基板を搬送する
コンベア４と、前記部品搭載ヘッド３に部品を供給する
ためのテープフィーダ５とが配置されている。そして、
コンベア４上に送られてきた基板に部品搭載ヘッド３が
適宜移動して部品を装着させた後、基板を次の工程に送
り出す。

つづいて、本発明の要部である部品搭載ヘッド３に設け
られている修正機構６の第１実施例の構成について第１
区乃至第５図を用いて詳細に説明する。

ヘッド本体７には上方に向けて２本のストッパロッド８
が延設されており、ストッパロッド８には連結板９が上
下に移動可能に取付けられている。連結板９にはベアリ
ングｌＯを介してシャフト１１が回転可能に取付けられ
ている。

シャフト１１の下端には部品を吸着して保持するための
ノズル１２が取付けられており、ノズル１２の少し上方
には大径のストッパ部１３が設けられている。連結板９
はストッパロッド８に甥合しているストッパ部材１４に
よって上下の移動範囲が規制されていて、これによりノ
ズル１２による部品の搭載高さ及び後述するチャックに
よる位置補正高さを自由に設定することができる。

ヘッド本体７には、第１および第２のエアシリンダ１５
．１６が設けられており、各エアシリンダ１５．１６の
各ピストンロッド１７．１８はヘッド本体７から上方へ
突出している。第１のエアシリンダ１５のピストンロッ
ド１７の上端には第１のケースＩ９が固定されている。

また、第２のエアシリンダ１６のピストンロッド１８の
上端には第２のケース２０が固定されている。また、第
１のケース１９には前記シャフト１１の外周に摺接する
筒状をした第１のスライドシャフト２１の上端がベアリ
ング２２を介して回転可能に接続されており、第１のス
ライドシャフト２１の下端は前記ストッパ部１３の近傍
まで延びている。第２のケース２０には、第１のスライ
ドシャフト２１の外周に摺接する筒状をした第２のスラ
イドシャフト２３の上端がベアリング２４を介して回転
可能に接続されており、第２のスライドシャフト２３の
下端もストッパ部１３の近傍まで延びている。すなわち
、小径の第１のスライドシャフトと大径の第２のスライ
ドシャフトとで二重筒構造を構成している。第１および
第２のスライドシャフト２１．２３の下端面の外周側ば
Ｒ形状で面取りがされている。第２のスライドシャフト
２３は、ヘッド本体７にベア！Ｊング２５を介して回転
可能に取付けられている筒状の支持部材２６．２７に慴
動可能に嵌合して支持されている。

支持部材２６．２７の外周にはプーリ２８が設けられて
いて、プーリ２８はモータ２９によってベルト３０（モ
ータ２９およびベルト３０は第８図に図示）を介して適
宜回転されるようになっている。

プーリ２８にはシャフト１１の軸芯側に向けてポルト３
１が設けられており、ボルト３１は第２のスライドシャ
フト２３に形成されている軸方向に延びる長孔２３ａお
よび第１のスライドシャフト２１に形成されている軸方
向に延びる長孔２１ａを貫通してシャフト１１に形成さ
れている軸方向に延びる満１］、ａに係合している。こ
の構成により、シャフト１１、第１および第２のスライ
ドシャフト２１．２３が上下に移動できる状態でプーリ
２８の回転が伝達される。

前記連結板９と第１のスライドシャフト２１の上端面と
の間、第１のスライドシャフト２１と第２のスライドシ
ャフト２３の上端面との間及び第２のスライドシャフト
２３とヘッド本体７との間にはそれぞれスプリング３２
．３３．３４が介装されている。

前記支持部材２７の下（ｉｌｌの外周には筒状の第１の
ガイド３５が上下に移動自在に摺接しており、第１のガ
イド３５の外周には筒状の第２のガイド３６が上下に移
動自在に摺接している。そして、各ガイドはプーリ２８
との間に介装されているスプリング３７，３８によって
下方へ付勢されている。

支持部材２７の下端には対になっているチャック３９．
４０が回動自在に軸着されており、このチャック３９．
４０は直交方向に２対配設されている。チャック３９．
４０の上部にはシャフトｌｌ側に向けて傾斜面３９ａ、
　４０ａが形成されており、この傾斜面３９ａ、４０ａ
に前記第１および第２のスライドシャフト２１．２３の
下端が当接、係合することによってチャック３９．４０
の下端側が拡開するようになっている。また、傾斜面３
９ａ、　４０ａの外側には径方向外方に延びる押さえ部
３９ｂ、４０ｂが形成されており、この押さえ部３９ｂ
、４０ｂに前記ガイド３５．３６の下端が当接している
。これを詳述すると、２対のチャック３９．４０のうち
一方の対のチャック３９は内側のガイド３５に形成され
ている突起３５ａが当接していてスプリング３７の付勢
力により閉じる方向に押圧されており、他方の対のチャ
ック４０は外側のガイド３６に形成されている突起３６
ａが当接してスプリング３８の付勢力により閉じる方向
に押圧されている。そして、スプリング３７．３８の弾
性力を変更することによってチャック３９．４０毎に部
品を挟む力を調整することができる。

チャック３９．４０の下端には装着する部品の側面に当
接する当接部４１，４２が設けられている。

この当接部４１，４２は部品の当接側が薄い板状となっ
ている。

以上の構成の部品吸装＠装置に係る作用を説明する。

まず、角チップなどの小型の部品Ｗを装着する場合を説
明する。第１のエアシリンダ１５を駆動させて第１のス
ライドシャフト２１を下降させると、第１のスライドシ
ャフト２１の下端がチャック３９．４０の傾斜面３９ａ
、　４０ａを押圧して回転させチャック３９．４０を拡
開させる。この際、チャック３９．４０は小径の第１の
スライドシャツｈ２１によってのみ拡開されるため拡開
角度は小さい。さらに第１のスライドシャフト２１が下
降してシャフト１１のストッパ部１３に当接すると、そ
のままシャフト１１を押し下げて、下方にある部品Ｗに
ノズル１２を接触させる。そして、ノズル１２が部品を
吸着保持する（第６図整置）。つぎに、第１のスライド
シャフト２１を上昇させると、スプリング３２によって
シャフト１１が上方に持ち上げられ、また、チャック３
９．４０はスプリング３７．３８により付勢されたガイ
ド３５．３６により押さえ部３９ｂ、　４０ｂが押圧さ
れて閉じる方向に回転し、部品Ｗを挟んで向きの修正を
行う。この場合、予めプーリ２８を適宜回転させてチャ
ック３９．４０の向きが部品Ｗを装着する正規の向きと
なるようにしておく。

このようにして部品Ｗの向きを修正した後、部品搭載ヘ
ッド３を被装着部材の位置まで移動させて再び第１のス
ライドシャフト２１を下降させることでシャフト１１を
押し下げ部品Ｗを装置する。

つづいて、ＱＦＰなとの大型の部品Ｗを装着する場合を
説明する。第２のエアシリンダ１６を駆動させて第２の
スライドシャフト２３を下降させると、第２のスライド
シャフト２３がチャック３９．４０の傾斜面３９ａ、　
４０ａを押圧して回転させチャック３９．４０を拡開さ
せる。この際、第１のスライドシャフト２１より外側に
ある大径の第２のスライドシャフト２３によって拡開さ
せるため拡開角度が大きく設定される。ここで、ノズル
１２を大型部品専用のノズル４３と交換する。つづいて
、第１のスライドシャフト２１を下降させてストッパ部
１３に当接させてシャフト１１を押し下げることによっ
て、下方にある大型部品Ｗにノズル４３を接触させて吸
引保持させる。このときに、チャック３９．４０が大き
く拡開しているので、大型部品Ｗとの干渉を避けること
ができる（第７図参照）。そして、第１のスライドシャ
フト２１を上下させて前述の小型部品Ｗの装着と同様に
大型部品の装着を行う。

このように、１つの部品搭載ヘッド３によって、角チッ
プ等の小型部品Ｗのときにはチャック３９．４０を適宜
拡縮させて部品Ｗの向きの修正を行った上で被装着部材
に装着することができ、ＱＦＰ等の大型部品Ｗのときに
は、チャック３９．４０を太き（拡開させて予め向きが
修正されている部品Ｗがチャック３９．４０と干渉しな
いようにして被装着部材に装着することができる。

なお、本実施例では、チャック３９．４０の拡開角度を
２つに設定する手段として２つのスライドシャフト２１
．２３を使用したが、１つのスライドシャフトの外周に
チャック３９．４０に係合する小径と大径の段差部を一
体に形成し、このように形成したスライドシャフトをス
テッピングモータ等で２段階に駆動するようにしてもよ
い。

また、本実施例では、チャック３９．４０の拡開角度を
２つに設定したが、本発明はこれに限定されるものでは
なく、装着する部品の形状等に応じて２つ以上適宜設定
すればよい。

さらに、本実施例では、第１および第２のスライドシャ
フト２１．２３を上下に移動させるためにシリンダ１５
．１６を用いたが、ステッピングモータやＤＣサーボモ
ータ等の他の駆動手段を用いてもよく、このようなもの
を使用すると、高速でより高精度の部品装着が行なうこ
とも可能となる。

次に、部品搭載ヘッド３に設けられている修正機構の第
２実施例の構成について第１Ｏ区および第１２図を用い
て説明する。

本実施例の修正機構は、前述の第１Ｏ図および第１１図
に示すものに対してスライドシャフトのみが異なるので
、第１Ｏ図に示すものと同一の部材には同一の番号を付
し、異なる部分についてのみ詳細に説明する。

第１Ｏ図および第１１図に示す従来例と同様に、シャフ
ト５３の外周に摺接し、ヘッド本体５０を貫通する筒状
のスライドシャフト７０が設けられており、スライドシ
ャフト７０の下端はストッパ部５５の近傍まで伸びてい
る。スライドシャフト７０の上端は、ベアリング５７を
介してスライドシャフト７０を摺動させる駆動装置（図
示せず）に連結され、スライドシャフト７０の下端部の
外周には、図に示すように、稜線の形状が先端側にいく
にしたがってずφ斜が緩やかになる曲線形状のカム面７
１が形成されている。スライドシャフト７０は、ヘッド
本体５０にベアリング５９を介して回転可能に取付けら
れた筒状の支持部材６０．６１に摺動可能に嵌合されて
支持されている。

以上のように構成した第２実施例の作用について次に説
明する。

第１０図および第１１図に示す従来例と同様に、駆動装
置（図示せず）によってスライドシャフト７０を下降さ
せると、スライドシャフト７０の下端のカム面７１が傾
斜面ａ、ｂに当接してチャックＡ、Ｂを拡開させる。さ
らに、スライドシャフト７０が下降してシャフト５３の
ストッパ部５５に当接すると、そのままシャフト５３を
押し下げて、シャフト５３の下端に装着されたノズルＣ
を下方にある部品に接触させる。そして、ノズルＣで部
品を吸着保持する。次に、スライドシャフト５６を上昇
させると、ばね６８によってシャフト５３が上方へ持ち
上げられ、チャックＡ。

Ｂは、ばね６４．６５により付勢された押圧部材６２、
６３に押圧されて傾斜面ａ、ｂがカム面７１に沿って移
動することにより閉じる方向に回動し、部品を挾んでそ
の向きを修正する。このとき、カム面７１がスライドシ
ャフト７０の先端側へいくほど緩やかな傾斜面となって
いるので、チャックＡ、Ｂは、閉じるにしたがってその
回動速度が遅（なる。したがって、チャックＡ。

Ｂの回動速度は、部品を挾む際に充分遅いのでチャック
Ａ、Ｂが部品に当接するときの衝撃が緩和される。

このようにして、部品の向きを修正した後、部品搭載ヘ
ッドを被装着部材の位置まで移動させて再びスライドシ
ャフト７０を下降させ、ンヤフト５３を押し下げて部品
をＷ　！する。

さらに、第１実施例と第２実施例を組合わせることもで
きる。

すなわち、例えば、第１実施例において、第１のスライ
ドシャフト２１および第２のスライドシャフト２３の下
端部の形状を第２実施例のスライドシャフト７０のカム
面７１と同様に形成することによって、チャック３９．
４０と部品とが当接する際の衝撃を緩和することができ
る。

（発明の効果） 以上詳細に説明したように、本発明は、小径のスライド
シャフトの係合によってチャックは小さく拡開し、ノズ
ルが吸着した角チップ等の小型部品の向きを支障なく修
正して被装着部材に装着することができ、大径のスライ
ドシャフトの係合によってチャックは大きく拡開し、Ｑ
ＦＰ等の大型部品をノズルが吸着する際にチャックに干
渉しないようにして被装着部材に装着することが゛でき
る。また、スライドシャフトを移動して小径の段差部を
チャックに係合することによってチャックは小さく拡開
し、大径の段差部をチャックに係合することによってチ
ャックは大きく拡開する。その結果、１つの部品搭載ヘ
ッドによって他種類の部品の装着が可能となり、従来の
部品吸装＠装置に比べて装置の簡略化が図れて装置コス
トを低減でき、さらに交換する時間が削減できて搭載効
率を向上させることができる。

さらに、スライドシャフトの係合部のカム面を緩やかな
曲線形状とすることによってチャックが部品を把持する
際の速度を遅くしてチャックと部品との衝突を緩和する
ことができる。その結果、部品の向きを修正する際のチ
ャッキングによる部品の変形および破損を防止すること
ができるという優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の部品吸装着装置の第１実施例の部品
搭載ヘッドの縦断面図、 第２図は、第１図に示す部品搭載ヘッドの平面図、 第３図は、第２区のｌｌｌ−１線断面図、第４図は、第
１区に示したチャックの拡大図（第５図のＩＶ　−ＩＶ
線断面図）、 第５図は、第４図に示すチャックの底面図、第６図およ
び第７図は、チャックの拡開状態を示す図、 第８図は、部品吸装着装置の全体図、 第９図は、従来のチャックにより部品の位置修正を行う
装置の一例を示す斜視図、 第１Ｏ図は、従来の部品搭載ヘッドの縦断面図、 第１１図は、第１Ｏ図の装置の要部の拡大図、第１２図
は、本発明の部品吸装＠装置の第２実施例の部品搭載ヘ
ッドの要部の縦断面図である。 ３・・・部品搭載ヘッド ６・・・修正機構 １２、Ｃ・・・ノズル ２１・・・第１のスライドシャフト ２３・・・第２のスライドシャフト ３９４０．Ａ、Ｂ・・・チャック ７０・・・スライドシャフト ７１・・・カム面

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）部品を吸着保持するためのノズルを有する部品搭
   載ヘッドに、拡開可能な複数対のチャックと、移動によ
   って前記チャックに係合して該チャックを拡開するスラ
   イドシャフトとを設け、前記チャックで前記ノズルが吸
   着した部品を挟んで該部品の向きを修正する部品吸装着
   装置において、前記スライドシャフトを径の異なる複数
   の筒状のスライドシャフトからなる多重筒構造とし、そ
   れぞれの前記筒状のスライドシャフトを移動可能とした
   ことを特徴とする部品吸装着装置。
2. （２）部品を吸着保持するためのノズルを有する部品搭
   載ヘッドに、拡開可能な複数対のチャックと、移動によ
   って前記チャックに係合して該チャックを拡開するスラ
   イドシャフトとを設け、前記チャックで前記ノズルが吸
   着した部品を挾んで該部品の向きを修正する部品吸装着
   装置において、前記スライドシャフトに前記チャックに
   対する係合部として外径の異なる複数の段差部を設けた
   ことを特徴とする部品吸装着装置。
3. （３）部品を吸着保持するためのノズルを有する部品搭
   載ヘッドに、拡開可能な複数対のチャックと、移動によ
   って前記チャックに係合して該チャックを拡開するスラ
   イドシャフトとを設け、前記チャックで前記ノズルが吸
   着した部品を挾んで該部品の向きを修正する部品吸装着
   装置において、前記スライドシャフトの前記チャックに
   対する係合部に前記 チャックの開閉速度を変化させるカム面を形成したこと
   を特徴とする部品吸装着装置。
4. （４）スライドシャフトのチャックに対する係合部に前
   記チャックの開閉速度を変化させるカム面を形成した請
   求項１または２のいずれかに記載の部品吸装着装置。