JPH0748028A - 直流リニアモータ利用の移動設備 - Google Patents

直流リニアモータ利用の移動設備

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JPH0748028A
JPH0748028A JP19571393A JP19571393A JPH0748028A JP H0748028 A JPH0748028 A JP H0748028A JP 19571393 A JP19571393 A JP 19571393A JP 19571393 A JP19571393 A JP 19571393A JP H0748028 A JPH0748028 A JP H0748028A
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JP
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moving
moving body
coil
coils
linear motor
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JP19571393A
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Norihisa Shirai
規央 白井
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Daifuku Co Ltd
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Daifuku Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 目的は、安定した性能の良い推力を得ること
ができ、しかも、設備構成が容易な直流リニアモータ利
用の移動設備を提供することにある。 【構成】 地上側に設置されたコイルによって、移動体
Aを、2次元方向に移動させる直流リニアモータ利用の
移動設備において、前記コイルが、直交する2方向の夫
々に軸芯を向けた2種類のコイル41X,41Yの複数
個を、異なる2方向夫々に分散配置して構成され、前記
2種類のコイル41X,41Y夫々の通電を制御する制
御手段が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、地上側に設置されたコ
イルによって、移動体を、2次元方向に移動させる直流
リニアモータ利用の移動設備に関する。
【0002】
【従来の技術】この種の直流リニアモータ利用の移動設
備においては、地上側に、移動体の横幅方向での位置規
制用の案内レール等を移動経路に沿って設け、案内レー
ルの長さ方向に沿ってコイル(電機子コイル)をそのコ
イルの軸芯が上下方向に向くように敷設し、移動体側
に、そのコイルとの共働により前記案内レールの長さ方
向の推力を発生させるための磁力発生手段(例えば、前
記コイル側が移動体の前後方向でS極とN極が交互に入
れ代わる永久磁石)を設けていた。そこで、移動経路の
分岐点等において、移動体を2次元方向に移動させたい
場合には、従来、コイルの軸芯を上下方向に向けた2種
類のコイルの複数個を、図17に示すように、電流方向
が平面視において直交するように重ねて配置して構成し
ていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従って、上記従来の構
成では、図17に示すように、コイルの軸芯を上下方向
に向けた2種類のコイル(X方向のコイルとY方向のコ
イル)の複数個を、重ね合わせて構成しているため、設
備構成が複雑になる不利があった。しかも、X方向とY
方向のコイルを重ね合わせて構成しているため、X方向
のコイルに較べY方向のコイルの方が、磁力発生手段と
の距離(エアーギャップ)が大きくなってしまうことと
なる。このため、磁力発生手段とコイルとの間に発生す
る推力が、X方向とY方向とで大きくバラツキ、よっ
て、安定した性能の良い推力を得ることができないとい
う問題がある。本発明は上記の実情に鑑みてなされたも
のであって、その目的は、安定した性能の良い推力を得
ることができ、しかも、設備構成が容易な直流リニアモ
ータ利用の移動設備を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明の直流リニアモー
タ利用の移動設備は、地上側に設置されたコイルによっ
て、移動体を、2次元方向に移動させるものであって、
その特徴構成は、前記コイルが、直交する2方向の夫々
に軸芯を向けた2種類のコイルの複数個を、異なる2方
向夫々に分散配置して構成され、前記2種類のコイル夫
々の通電を制御する制御手段が設けられている点にあ
る。
【0005】
【作用】本発明の特徴構成によれば、直交する2方向の
夫々に軸芯を向けた2種類のコイルの複数個が、異なる
2方向夫々に分散配置されているので、2種類のコイル
の複数個夫々を制御することにより、移動体を2次元方
向に自由に移動させることができる。つまり、例えば図
4に示すようにX方向とY方向の夫々に軸芯を向けた2
種類のコイル41X,41Y(トロイダルコイル)を複
数個設け、コイル41Xを制御することによりX方向の
推力を発生させることができ、コイル41Yを制御する
ことによりY方向の推力を発生させることができ、更
に、コイル41X,41Yの両方を制御することにより
X方向の推力とY方向に推力の合力の方向に推力を発生
させることができこととなる。しかも、直交する2方向
の夫々に軸芯を向けた2種類のコイルの複数個が、例え
ば図4に示すように、異なる2方向夫々に分散配置され
ているので、各コイルを従来の如く重ねて配置する必要
がなく、よって、磁力発生手段と各コイルとの距離(エ
アーギャップ)を均一にすることができることとなる。
更に、各コイルが2方向夫々に分散配置されているの
で、各コイルを、例えば図6及び図7に示すように、分
離して構成することができることとなる。
【0006】
【発明の効果】従って、かかる直流リニアモータ利用の
移動設備において、磁力発生手段と各コイルとの距離
(エアーギャップ)を均一にすることができるので、安
定した性能の良い推力を得ることができ、しかも、各コ
イルを2方向夫々に分離して構成することができるの
で、設備構成を簡素化することができるに到った。ちな
みに、図17に示す従来の構成では、移動体をその場で
旋回させることはできないが、本発明の構成によれば、
車体前後方向又は左右方向のコイルの通電方向を逆にす
ることにより、車体前後方向で又は左右方向で逆向きの
推力を発生して、移動体をその場で旋回させることがで
きるので、移動体の移動の自由度を向上させることがで
きるに到った。
【0007】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面に基づいて説
明する。図1に示すように、例示する直流リニアモータ
利用の移動設備は、物品搬送用の移動体A、及び、その
移動体Aを物品移載用のステーションSTを経由して案
内する地上側の移動経路Bを備えて構成されており、前
記移動体Aを後述の如く直流リニアモータにて駆動しな
がら各種物品の搬送を行うように構成されている。
【0008】移動経路Bは、移動体Aを直線移動させる
移動経路B1と、移動体Aを2次元方向に移動させて分
岐させる分岐点としての移動経路B2とより構成されて
おり、移動経路B1及び移動経路B2には、移動体Aの
横幅方向での位置規制用の案内レール11が設けられて
いる。移動体Aは、図1〜図3に示すように、車体の前
後に、左右一対のキャスタ式の走行輪1、及び、前記案
内レール11に沿って移動体Aを案内すべく縦軸芯周り
で回転自在な左右一対の転輪2を備えたパレット状の台
車にて構成されており、移動体Aの車体下側面には、移
動経路B1上に所定の間隔で並べて設けられた電機子コ
イル13との共働により推力を発生するための磁力発生
部3が設けられている。尚、図中12は、前記走行輪1
を支持する路面を示している。
【0009】磁力発生部3は、図2及び図3に示すよう
に、永久磁石31,32、及び、ヨーク33,34を、
永久磁石31,32のN極が下側になるように接合して
構成されており、ヨーク34にはトロイダルコイル35
が設けられている。そして、移動経路B2を移動する場
合にはトロイダルコイル35への通電を実行してヨーク
34の下側をN極とし、移動経路B1を移動する場合に
はトロイダルコイル35への通電を停止してヨーク34
の下側をS極とするように、トロイダルコイル35への
通電を制御するように構成されている。
【0010】尚、移動体Aには、移動経路B側に敷設さ
れた検出片14を検出して、移動体Aが移動経路B1よ
り移動経路B2上へと進入してきたこと、及び、移動体
Aが移動経路B2より移動経路B1上へと進入してきた
ことを検出するための移動経路判別センサ36と、移動
体Aの前後方向に向かって、所定間隔で所定巾のスリッ
ト状孔37aを備えたスリット板37とが設けられてい
る。そして、移動経路B側に設けられている二相センサ
15(15A,15B)にて、移動体Aの前記スリット
板37を検出して、移動体Aの位置,移動方向,及び速
度を検出するように構成されている。
【0011】二相センサ15(15A,15B)は、図
10に示すように、移動体Aの前後方向に並ぶ2つのフ
ォトインタラプタ型の光センサ15a,15bを備える
ものであって、2つの光センサ15a,15bのうち何
れが先に遮光されるかに基づいて移動体Aの移動方向を
検出し、2つの光センサ15a,15bのうちの何れか
一方が遮光されてから、一旦遮光が解除されたのち再び
遮光されるまでの時間に基づいて移動体Aの速度を検出
し、更に、2つの光センサ15a,15bのうちの何れ
か一方の遮光された回数に基づいて移動体Aの位置を検
出するようになっている。
【0012】移動経路判別センサ36は、反射光感知式
の光センサ又は磁気感知式の近接センサを用いて構成さ
れるものであって、検出片14による反射光又は検出片
14の磁力を検出して検出片14の存否を検出するよう
になっている。従って、移動経路判別センサ36が、最
初の検出片14を検出したのち、次の検出片14を検出
するまでの間は、移動体Aは移動経路B2上に存在して
いると判断して、その間は、トロイダルコイル35への
通電を実行してヨーク34の下側をN極とするようにし
ている。
【0013】尚、図中16は、前記磁力発生部3の磁力
を検出するホール素子であり、前記電機子コイル13の
通電は、前記ホール素子16の検出結果に基づいて制御
するように構成されている。つまり、ホール素子16に
てN極を検出すると、電機子コイル13にはaの方向の
電流を流し、S極を検出するとbの方向の電流を流し
て、移動体Aに推力F1を発生させるのである。尚、図
3は、電機子コイル13にaの方向の電流を流す場合の
磁力発生部3と電機子コイル13の位置関係の一例を示
している。
【0014】移動経路B2は、図4に示すように、直交
する2方向(X方向,Y方向)の夫々に軸芯を向けた2
種類のトロイダルコイル41X,41Yの複数個を、異
なる2方向(X方向,Y方向)夫々に分散配置したコイ
ル敷設部4と、磁力を透過するカバー体5とより構成さ
れている。よって、移動経路B2では、移動体Aの走行
輪1は、前記カバー体5上を移動することとなる。コイ
ル敷設部4は、図4及び図5に示すように、下ガイドヨ
ーク42、横ガイドヨーク43、及び、前記トロイダル
コイル41X,41Yを備えたセンターヨーク44夫々
を接合して構成されており、前記トロイダルコイル41
X,41Yを備えたセンターヨーク44は、図6に示す
ヨーク44aが2個と、図7に示すヨーク44bが1個
とにより構成されている。つまり、トロイダルコイル4
1X,41Yを、ヨーク44a,44b夫々に巻き付け
て配線しておき、そのヨーク44a,44bを下ガイド
ヨーク42と横ガイドヨーク43に組み付けて、コイル
敷設部4を構成することができるので、容易にコイル敷
設部4を構成することができるようになっている。尚、
トロイダルコイル41X,41Y上には、ホール素子4
5が設けられており、ホール素子45の検出結果に基づ
いてトロイダルコイル41X,41Y夫々の通電を制御
するように構成されている。つまり、ホール素子45上
に磁力発生部3のN極が存在するときのみ、トロイダル
コイル41X,41Yを通電するのである。
【0015】そして、図8に示すように、トロイダルコ
イル41Yにe方向(X方向)の電流Iを流すと、磁力
発生部3にY方向の推力F2を与えることができ、e方
向(X方向)の電流Iの値を変えることにより推力F2
の大きさを自由に変更することができる。又、図9に示
すように、トロイダルコイル41Xにf方向(Y方向)
の電流Iを流すと、磁力発生部3にX方向の推力F3を
与えることができ、同様に、f方向(Y方向)の電流I
の値を変えることにより推力F3の大きさを自由に変更
することができる。従って、トロイダルコイル41Yに
て発生する推力F2とトロイダルコイル41Xにて発生
する推力F3との合力の方向に、磁力発生部3つまり移
動体Aを移動させることができることとなるので、トロ
イダルコイル41X,41Y夫々の電流値を変更するこ
とにより、移動体Aを所望の方向へ移動させることがで
きるのである。
【0016】例えば、図1に示すように、移動経路B2
に進入してきた移動体Aをそのまま直進させて同じ方向
の移動経路B1へと移動させたい場合には、トロイダル
コイル41Yにe方向(X方向)の電流Iを流してやれ
ば良いし、移動体Aを別の方向の移動経路B1へと分岐
させたい場合には、合力(F2+F3)の方向が分岐さ
せたい移動経路B1の方向と一致するように、トロイダ
ルコイル41Yにe方向(X方向)の電流Iを流し、且
つ、トロイダルコイル41Xにf方向(Y方向)の電流
Iを流してやれば良いこととなる。
【0017】次に、各電機子コイル13及び各トロイダ
ルコイル41X,41Yを作動させながら移動体Aを運
行する制御について説明する。移動体側には、図11
(イ)に示すように、移動経路判別センサ36の検出結
果に基づいて、前述の如く、トロイダルコイル36の通
電を制御する移動体側コントローラ100が設けられて
いる。地上側には、図11(ロ)に示すように、設備全
体の運行を管理する地上側メインコントローラ101
と、そのメインコントローラ101に対して光ファイバ
ーケーブル等を用いて送受信できるように接続される、
複数個の移動経路B1制御用サブコントローラ102及
び複数個の移動経路B2制御用サブコントローラ103
とが設けられている。
【0018】移動経路B1制御用サブコントローラ10
2は、各移動経路B1毎に設けられて、移動経路B1上
における移動体Aの移動を管理し、移動経路B2制御用
サブコントローラ103は、各移動経路B2毎に設けら
れて、移動経路B2上における移動体Aの移動を管理す
るものである。メインコントローラ101は、ステーシ
ョンSTに停止している移動体Aの行き先情報を各サブ
コントローラ102,103に指令することを主として
行うものであって、このため、各サブコントローラ10
2,103は、移動体AがステーションSTに停止して
いる否か、移動体Aが移動経路B1,B2上に在席して
いるか否か、及び、ステーションSTに停止している移
動体Aの再起動要求等の各種情報を、メインコントロー
ラ101に対して送信することになる。
【0019】移動経路B1制御用サブコントローラ10
2には、ステーションSTに進入してきた移動体Aの進
入速度,進行距離,及び進入方向を検出するための二相
センサ15Aと、移動経路B2より移動経路B1に進入
してきた移動体Aの進入速度を検出するための二相セン
サ15Bと、移動体Aの磁力発生部3の磁力を検出する
ホール素子16と、そのホール素子16及び二相センサ
15a,15bの検出結果に基づいて各電機子コイル1
3の推力を調節する推力設定器17aとが接続されてい
る。移動経路B2制御用サブコントローラ103には、
移動経路B1より移動経路B2に進入してきた移動体A
の進入速度を検出するための二相センサ15Bと、移動
体Aの磁力発生部3の磁力を検出するホール素子45
と、そのホール素子45及び二相センサ15bの検出結
果に基づいてトロイダルコイル41X,41Yの推力を
調節する推力設定器17bとが接続されている。従っ
て、サブコントローラ103は、2種類のトロイダルコ
イル41X,41Y夫々の通電を制御する制御手段とし
て機能する。
【0020】尚、サブコントローラ102,103は、
二相センサ15Bの検出結果より、移動体Aが移動経路
B1より移動経路B2に進入してきたこと、及び、移動
体Aが移動経路B2より移動経路B1に進入してきたこ
とを判別することができるように構成されている。又、
移動体Aを、ステーションSTに停止させる場合、又
は、ステーションSTより発進させる場合には、積み荷
の荷崩れを防止するため、前記二相センサ15aの検出
結果に基づいて、移動体Aを予め設定された目標速度に
沿って減速移動又は加速移動をさせるべく、電機子コイ
ル13を制御するように構成されている。
【0021】〔別実施例〕 上記実施例では、移動経路B1を直線上に構成して
いるが、移動経路B1を湾曲させて構成しても良い。
尚、その際には、図12に示すように、電機子コイル1
3を扇形状に設けると良い。 上記実施例では、移動経路B1において、常に何れ
かの電機子コイル13にて移動体Aに推力を与えられる
ように、等間隔に電機子コイル13を配置しているが、
電機子コイル13夫々を間隔を開けて配置して、間欠的
に推力を与えるようにしても良いし、更に、高推力が必
要なところ(例えば、ステーションST近傍にて加速又
は減速させるところ)には、電機子コイル13を多く配
置するようにしても良い(図13参照)。 上記実施例では、センターヨーク44は、2個のヨ
ーク44aと1個のヨーク44bとより構成されている
が、ヨーク44a,44bを更に小さなヨークに分離し
て構成するようにしても良い。これにより、ヨークの組
み合わせ方で、コイル敷設部4の大きさ(形状)を自由
に変更することができ、設備の設置を一層便利なものと
することができる。 上記実施例では、移動経路B2において、ホール素
子45の検出結果に基づいて、各トロイダルコイル41
X,41Y夫々を制御するようにしているが、ホール素
子45を中止して、移動経路B2上に移動体Aが存在す
る間は、全てのトロイダルコイル41X,41Yを通電
するようにしても良い。つまり、移動体Aを直進させた
い場合には、トロイダルコイル41Yを全て通電し、移
動体Aを別の方向の移動経路B1へと分岐させたい場合
には、トロイダルコイル41X,41Yを全て通電する
ようにすれば良い。これにより、移動経路B2上におけ
る各トロイダルコイル41X,41Yの制御を一層容易
にすることができることとなる。尚、移動経路B2上に
移動体Aが存在するか否かは、前述の如く、二相センサ
15Bにより検出することができる。 上記実施例では、移動体Aが移動経路B2を移動す
る場合において、移動体Aのトロイダルコイル35を通
電してヨーク34の下側をN極としているが、トロイダ
ルコイル35への通電を停止してヨーク34の下側をS
極のままで、制御するようにしても良い。つまり、この
場合には、ホール素子45にてS極とN極の判別をし
て、その判別結果に基づいて、トロイダルコイル41
X,41Yの電流の方向を制御する必要がある。これに
より、移動体A側のトロイダルコイル35、コントロー
ラ100、及び移動経路判別センサ36を中止すること
ができ、移動体Aの制御は地上側のみで行うこととなる
ので、移動体Aにバッテリー等を搭載する必要がなく、
一層の省力化を図ることができる。 上記実施例では、図1に示すように、移動経路B1
より進入してきた移動体Aを、移動経路B2で、斜め方
向の移動経路B1へと分岐させるようにしているが、そ
の他の方向へ分岐するように移動経路B1,B2を構成
するようにしても良い。例えば、図14に示すように移
動経路B1,B2を構成して、移動経路B1より進入し
てきた移動体Aを、移動経路B2上で一旦停止させ、更
に車体横方向に移動させて、別の移動経路B1へと移動
させるようにしても良い。尚、移動体Aを移動経路B2
の中心で停止させるには、移動体Aの前後方向に位置す
るホール素子45の出力が車体前後方向で同じなるよう
に、つまり、ホール素子45aとホール素子45d、ホ
ール素子45bとホール素子45c、ホール素子45e
とホール素子45fが、同じ出力になるように、移動体
Aを移動させるべくトロイダルコイル41X,41Yを
制御すれば良い。又、図14に示すように、移動体Aの
停止位置近傍に二相センサ15を設けて、移動体Aの停
止位置を正確に検出するようにしても良い。
【0022】例えば又、図15に示すように移動経路B
1,B2を構成して、移動経路B1より進入してきた移
動体Aを、移動経路B2上で一旦停止させたのち、車体
を回転させて別の移動経路B1へと移動させるようにし
ても良い。尚、図15の場合、トロイダルコイル41
X,41Yに図中の矢印の方向に電流を流してやれば移
動体Aを回転させることができ、しかも、90度回転し
た位置で停止させることができる。このトロイダルコイ
ル41X,41Yに流す電流の方向は、トロイダルコイ
ル41X,41Yと移動体Aの停止位置関係により変わ
ることとなる。
【0023】更に又、例えば図16に示すように、移動
経路B1,B2を構成して、移動経路B1より進入して
きた移動体Aを、移動経路B2上で一旦停止させ、更に
車体横方向に移動させて、別の移動経路B1へと移動さ
せるようにしても良い。尚、この場合、移動体Aは各移
動経路B1上を車体前後方向又は左右方向へと移動する
こととなるので、移動体Aが何方の方向へも移動できる
ように、図に示す如く、移動体Aの磁力発生部3を、下
面が正方形の4個のN極と1個のS極とより構成し、電
機子コイル13を、正方形にて構成している。従って、
各移動経路B1において、移動体Aを車体前後方向又は
左右方向へと移動することができるので、一層便利な移
動設備を提供することができるに到った。尚、図16で
は、移動経路B2上で移動体Aを回転させることができ
るように、移動体A及び移動経路B1,B2が構成され
ている。 上記実施例では、移動体Aを走行輪1によって走行
させるようにした場合を例示したが、例えば、磁気浮上
式に構成しても良く、移動体Aの具体構造等、各部の具
体構成は各種変更することができる。
【0024】尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を
便利にするために符号を記すが、該記入により本発明は
添付図面の構成に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【図1】直流リニアモータ利用の移動設備の平面図
【図2】直流リニアモータ利用の移動体正面図
【図3】直流リニアモータ利用の移動体側面図
【図4】移動経路の分岐部の構成説明図
【図5】移動経路の分岐部の断面図
【図6】トロイダルコイルとセンターヨークの構成説明
【図7】トロイダルコイルとセンターヨークの構成説明
【図8】トロイダルコイルの電流方向と推力の方向の関
係説明図
【図9】トロイダルコイルの電流方向と推力の方向の関
係説明図
【図10】二相センサの構成説明図
【図11】制御構成のブロック図
【図12】別実施例にかかる移動経路の平面図
【図13】別実施例にかかる移動経路の平面図
【図14】別実施例にかかる移動設備の平面図
【図15】別実施例にかかる移動設備の平面図
【図16】別実施例にかかる移動設備の平面図
【図17】従来例にかかる移動設備の平面図
【符号の説明】
A 移動体 41X,41Y コイル 103 制御手段

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 地上側に設置されたコイルによって、移
    動体(A)を、2次元方向に移動させる直流リニアモー
    タ利用の移動設備であって、 前記コイルが、直交する2方向の夫々に軸芯を向けた2
    種類のコイル(41X,41Y)の複数個を、異なる2
    方向夫々に分散配置して構成され、 前記2種類のコイル(41X,41Y)夫々の通電を制
    御する制御手段(103)が設けられている直流リニア
    モータ利用の移動設備。
JP19571393A 1993-08-06 1993-08-06 直流リニアモータ利用の移動設備 Pending JPH0748028A (ja)

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JP (1) JPH0748028A (ja)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10234174A (ja) * 1997-02-19 1998-09-02 Toshiba Corp Xy移動用アクチュエータおよび半導体接続装置
WO1999010970A1 (fr) * 1997-08-21 1999-03-04 Nikon Corporation Dispositif de positionnement, unite d'entrainement et aligneur equipe d'un tel dispositif
EP1016182A2 (en) * 1997-04-28 2000-07-05 Ultratech Stepper Inc. Magnetically-positioned x-y stage having six-degrees of freedom
JP2000191140A (ja) * 1998-12-26 2000-07-11 Minebea Co Ltd リニアモ―タを用いた搬送システム
US6127749A (en) * 1999-02-10 2000-10-03 Nikon Corporation Of Japan Two-dimensional electric motor
JP2002136099A (ja) * 2000-10-20 2002-05-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd リニアモータ及び部品実装装置
DE102014212256A1 (de) * 2014-06-26 2015-12-31 Robert Bosch Gmbh Förderer mit Zugmittelabschnitt und Linearmotorabschnitt
JP2018170507A (ja) * 2012-06-28 2018-11-01 ユニバーサル インスツルメンツ コーポレーションUniversal Instruments Corporation フレキシブルな組み立て機械、システムおよび方法
JP2021512027A (ja) * 2018-01-31 2021-05-13 レイトラム,エル.エル.シー. 衛生的な磁気トレイおよびコンベヤ
JP2021518318A (ja) * 2018-04-13 2021-08-02 レイトラム,エル.エル.シー. 電磁コンベアシステム
WO2022208988A1 (ja) * 2021-03-29 2022-10-06 株式会社日立ハイテク 検体検査システム、及び搬送方法

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10234174A (ja) * 1997-02-19 1998-09-02 Toshiba Corp Xy移動用アクチュエータおよび半導体接続装置
EP1016182A2 (en) * 1997-04-28 2000-07-05 Ultratech Stepper Inc. Magnetically-positioned x-y stage having six-degrees of freedom
EP1016182A4 (en) * 1997-04-28 2002-04-17 Ultratech Stepper Inc Magnetically positioned X-Y table with six degrees of freedom
US6259174B1 (en) 1997-08-21 2001-07-10 Nikon Corporation Positioning apparatus, drive unit and exposure apparatus incorporating the positioning apparatus
WO1999010970A1 (fr) * 1997-08-21 1999-03-04 Nikon Corporation Dispositif de positionnement, unite d'entrainement et aligneur equipe d'un tel dispositif
JP2000191140A (ja) * 1998-12-26 2000-07-11 Minebea Co Ltd リニアモ―タを用いた搬送システム
US6127749A (en) * 1999-02-10 2000-10-03 Nikon Corporation Of Japan Two-dimensional electric motor
US6455956B1 (en) 1999-02-10 2002-09-24 Nikon Corporation Two-dimensional electric motor
JP2002136099A (ja) * 2000-10-20 2002-05-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd リニアモータ及び部品実装装置
JP2018170507A (ja) * 2012-06-28 2018-11-01 ユニバーサル インスツルメンツ コーポレーションUniversal Instruments Corporation フレキシブルな組み立て機械、システムおよび方法
DE102014212256A1 (de) * 2014-06-26 2015-12-31 Robert Bosch Gmbh Förderer mit Zugmittelabschnitt und Linearmotorabschnitt
JP2021512027A (ja) * 2018-01-31 2021-05-13 レイトラム,エル.エル.シー. 衛生的な磁気トレイおよびコンベヤ
JP2021518318A (ja) * 2018-04-13 2021-08-02 レイトラム,エル.エル.シー. 電磁コンベアシステム
WO2022208988A1 (ja) * 2021-03-29 2022-10-06 株式会社日立ハイテク 検体検査システム、及び搬送方法

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