JPH0745773Y2 - 恒温恒湿機 - Google Patents

恒温恒湿機

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JPH0745773Y2
JPH0745773Y2 JP1990051027U JP5102790U JPH0745773Y2 JP H0745773 Y2 JPH0745773 Y2 JP H0745773Y2 JP 1990051027 U JP1990051027 U JP 1990051027U JP 5102790 U JP5102790 U JP 5102790U JP H0745773 Y2 JPH0745773 Y2 JP H0745773Y2
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humidity
temperature
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三泰 西沢
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Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は信頼性試験等の環境試験に利用する恒温恒湿機
に関する。
〔従来技術及び課題〕
一般に、被制御室内に電子部品等を所定期間収容し、所
定の温度条件及び湿度条件によって信頼性試験等を行う
恒温恒湿機は知られている。この種の恒温恒湿機は、通
常、被制御室内に湿度センサ及び温度センサを設けると
ともに、湿度及び温度の検出結果に基づいて被制御室内
の湿度と温度が設定値になるように制御するフィードバ
ック制御系を備えている。
従来、恒温恒湿機に設ける湿度センサとしては、主に、
乾球と濡れた布を被覆した湿球の温度差から相対湿度を
求める乾湿球式湿度センサが用いられていた。しかし、
乾湿球式湿度センサは水を必要とするため、給水時には
安定するまでに時間がかかるとともに、低湿時には布が
乾いたり凍結する問題を生じ、特に、低湿時の検出誤差
が大きくなる難点があった。
一方、高分子薄膜等を用いた静電容量式湿度センサやセ
ラミック等を用いた電気抵抗式湿度センサ等のように、
水を必要としない各種湿度センサも実用化されている
が、静電容量式湿度センサの場合、高温高湿時に経時変
化が大きくなる難点があるとともに、電気抵抗式湿度セ
ンサの場合、水滴に弱く、一度結露するとその都度乾燥
させる必要があるなどの難点がある。
このように、従来の湿度センサはいずれも一長一短があ
り、検出範囲を低湿領域及び/又は低温領域から高湿領
域及び/又は高温領域まで十分に確保し、しかも、全範
囲を高精度に検出するようには困難となる問題があっ
た。
本考案はこのような従来技術に存在する課題を解決した
もので、検出範囲を低湿領域及び/又は低温領域から高
湿領域及び/又は高温領域まで、飛躍的に拡大できると
ともに、全範囲を高精度に検出できる恒温恒湿機の提供
を目的とするものである。
〔課題を解決するための手段〕
本考案は湿度センサ及び温度センサにより被制御室内の
湿度及び温度を検出し、被制御室内の湿度及び温度が設
定値となるように制御する制御系を備えてなる恒温恒湿
機1を構成するに際して、特に、検出原理の異なる複数
の湿度センサ、例えば乾湿球式湿度センサ2a及び電気抵
抗式湿度センサ(又は静電容量式湿度センサ)2bと、各
湿度センサ2a及び2bに対して湿度及び/又は温度の異な
る検出範囲Ea、Ebを設定し、湿度及び/又は温度の検出
結果により各湿度センサ2a、2bを選択し又は同時に用い
るとともに、各湿度センサの検出範囲が重複する範囲
で、各湿度センサ2aと2bの検出結果を平均する平均値演
算機能部4を備える制御部3を設けたことを特徴とす
る。
この場合、乾湿球式湿度センサ2aは低湿領域及び/又は
低温領域を除く検出範囲Eaで、また、電気抵抗式湿度セ
ンサ(又は静電容量式湿度センサ)2bは高湿領域及び/
又は高温領域を除く検出範囲Ebで用いることができる。
なお、制御部3には、いずれかの湿度センサ、例えば乾
湿球式湿度センサ2aを基準にして他の電気抵抗式湿度セ
ンサ(又は静電容量式湿度センサ)2bに対する補正を行
う補正機能部5、各湿度センサ2aと2bにおける検出結果
の相対偏差に対して許容範囲を設定し、相対偏差が許容
範囲を越えたときにアラームを発生する警報機能部6を
設けることができる。
〔作用〕
本考案に係る恒温恒湿機1によれば、被制御室R内には
検出原理の異なる乾湿球式湿度センサ2aと電気抵抗式湿
度センサ(又は静電容量式湿度センサ)2bが設けられる
ため、被制御室R内の湿度は双方の湿度センサ2a、2bに
よって検出される。
一方、制御部3では各湿度センサ2a、2bに対して湿度及
び/又は温度の異なる検出範囲Ea、Ebを設定するととも
に、検出される湿度及び/又は温度を監視し、当該湿度
及び/又は温度が低湿領域及び/又は低温領域を除く検
出範囲Ea内にあれば、低湿及び/又は低温を除く領域の
検出に適した乾湿球式湿度センサ2aの検出結果が選択さ
れ、この検出結果により湿度制御が行われる。
他方、検出される湿度及び/又は温度が高湿領域及び/
又は高温領域を除く検出範囲Eb内にあれば、高湿及び/
又は高温を除く領域の検出に適した電気抵抗式湿度セン
サ(又は静電容量式湿度センサ)2bの検出結果が選択さ
れ、この検出結果により湿度制御が行われる。
また、検出される湿度及び/又は温度が検出範囲EaとEb
の重複する範囲Emにあれば、各湿度センサ2aと2bの検出
結果を同時に用いることができるため、平均値演算機能
部4により、双方の湿度センサ2a、2bの検出結果から平
均値を算出して利用する。さらにまた、必要により、補
正機能部5により、乾湿球式湿度センサ2aの検出結果を
基準にして他の湿度センサ2bに対する補正を行うことも
できる。
なお、重複する範囲Emでは各湿度センサ2aと2bにおける
検出結果の相対偏差を知ることができるため、当該相対
偏差が予め設定した許容範囲を越えたときには湿度セン
サの故障等による異常が考えられるため、警報機能部6
からアラームを発生させることができる。
〔実施例〕
次に、本考案に係る好適な実施例を挙げ、図面に基づき
詳細に説明する。
まず、恒温恒湿機1の構成について第1図〜第3図を参
照して説明する。
恒温恒湿機1における機械的構成は第2図に示すように
なる。同図において、Rは被制御室であり、ドア31の開
閉により開放又は密閉される。被制御室Rの内部後側に
は仕切板32を配し、この仕切板32の後方に、送風機33、
加熱器34、冷却器35、加湿器36等の各種機能部を配す
る。また、被制御室Rの内部には、本考案に従って検出
原理の異なる二種の湿度センサ、即ち、乾湿球式湿度セ
ンサ2aと電気抵抗式湿度センサ(又は静電容量式湿度セ
ンサ)2bを設置する。なお、乾湿球式湿度センサ2aは第
1図に示すように、温度制御用の温度センサを兼ねる乾
球温度検出部2adと、濡れた布を被覆した湿球温度検出
部2amからなり、また、電気抵抗式湿度センサはセラミ
ック系素子を、静電容量式湿度センサは高分子系素子を
用いて構成したものである。
一方、恒温恒湿機1の制御系における主要部の構成は第
1図に示すようになる。2aは前記乾湿球式湿度センサで
あり、前述した乾球温度検出部2adと湿球温度検出部2am
からなる。また、3は制御部であり、乾球温度検出部2a
dの出力は同部3における温度制御系Stに付与される。
温度制御系Stは乾球温度検出部2adに接続するセンサ補
正部11、温度の設定値Xtを設定する温度設定部12、セン
サ補正部11から得る温度の検出値Ytと設定値Xtを比較
し、その偏差を出力する比較部13、当該偏差に基づき、
偏差を零にする温度制御出力を前記加熱器34等に供給す
る温度制御回路部14を備える。
また、湿度制御系Shは次のように構成する。まず、前記
センサ補正部11の出力側は相対湿度演算部15に接続す
る。一方、湿球式温度検出部2amはセンサ補正部16に接
続し、さらにセンサ補正部16の出力側は相対湿度演算部
15の入力側に接続する。この相対湿度演算部15の出力側
は選択機能部17と平均値演算機能部4の入力側にそれぞ
れ接続する。他方、電気抵抗式湿度センサ(又は静電容
量式湿度センサ)2bはセンサ補正部19を介して選択機能
部17と平均値演算機能部4の入力側にそれぞれ接続す
る。なお、平均値演算機能部4の出力側は選択機能部17
の入力側に接続する。
一方、20は切換機能部であり、選択機能部17の出力側、
センサ補正部11の出力側、検出範囲を設定する検出範囲
設定部21をそれぞれ接続する。検出範囲設定部21には検
出範囲パターンが設定される。検出範囲パターンは第3
図に示すようになり、温度と湿度の双方により二次元に
設定される。第3図において、左下がりの斜線を引いた
範囲は低温領域及び低湿領域を除く検出範囲Ea、右下が
りの斜線を引いた範囲は高温領域及び高湿領域を除く検
出範囲Ebであり、また、双方が重複する範囲をEmで示
す。これらの範囲は使用する湿度センサの種類等に応じ
て任意に設定する。
また、22は比較部であり、入力側には選択機能部17の出
力側を接続するとともに、湿度の設定値Xhを設定する湿
度設定部23を接続する。比較部22は選択機能部17の出力
である湿度の検出値(平均値を含む)Yhと当該設定値Xh
を比較し、その偏差を出力する機能を有する。24は比較
部22から得る偏差に基づき、偏差を零にする湿度制御出
力を前記加湿器36等に供給する湿度制御回路部である。
さらにまた、必要により次の機能部が設けられる。5は
補正機能部であり、中間における検出範囲Emにおいて、
乾湿球式湿度センサ2aの検出結果を基準として他の湿度
センサ2bに対する補正を行う。6は警報機能部である。
検出範囲Emでは各湿度センサ2aと2bにおける検出結果の
相対偏差を知ることができるため、当該相対偏差が予め
設定した許容範囲を越えたときには湿度センサ2a、2bの
故障等による異常が考えられるため、この警報機能部6
によりアラームを発生させる。
次に、本考案に係る恒温恒湿機1の機能について説明す
る。
まず、温度制御系Stの機能について説明する。乾球温度
検出部2adの出力信号はセンサ補正部11により補正さ
れ、温度の検出値Ytとして比較部13に付与される。比較
部13では当該検出値Ytと温度設定部12から付与される設
定値Xtを比較しその偏差を得、この偏差は温度制御回路
部14に付与される。そして、温度制御回路部14からは当
該偏差を零にする温度制御出力が加熱器34等に供給さ
れ、被制御室Rの温度を設定値Xtにするためのフィード
バック制御が行われる。
一方、湿度制御系Shの機能は次のようになる。湿球温度
検出部2amの出力信号はセンサ補正部16により補正さ
れ、湿球温度の検出値Ycとして相対湿度演算部15に付与
される。同演算部15は検出値Ycと前記検出値Ytから相対
湿度を演算して求め、得られた相対湿度は湿度の検出値
Yhaとして選択機能部17及び平均値演算機能部4に付与
される。また、電気抵抗式湿度センサ(又は静電容量式
湿度センサ)2bの出力信号はセンサ補正部19により補正
され、湿度の検出値Yhbとして選択機能部17及び平均値
演算機能部4に付与される。平均値演算機能部4では入
力する検出値YhaとYhbの平均値Yhmを算出し、この平均
値Yhmは選択機能部17に付与される。これにより、選択
機能部17の出力側には、検出値Yh、即ち、各検出値Yh
a、Yhb、又は平均値Yhmのいずれかが選択されて出力
し、この選択は切換機能部20からの選択指令に基づいて
行われる。
切換機能部20には湿度の各検出値Yha、Yhb、又は平均値
Yhm、さらには温度の検出値Ytが付与されるとともに、
検出範囲設定部21からは設定された検出範囲パターンが
付与される。このため、今、湿度及び温度の各検出値Yh
a…、Ytが検出範囲Ea(高温領域及び高湿領域)にあれ
ば、切換機能部20から検出値Yhaを選択するための選択
指令が選択機能部17に付与される。よって、この場合に
は、高温及び高湿の検出に適した乾湿球式湿度センサ2b
による検出結果に基づいて湿度制御が行われることにな
る。また、湿度及び温度の各検出値Yha…、Ytが検出配
設Eb(低温領域及び低湿領域)にあれば、切換機能部20
から検出値Yhbを選択するための選択指令が選択機能部1
7に付与される。この場合には、低温及び低湿の検出に
適した電気抵抗式湿度センサ(又は静電容量式湿度セン
サ)2bによる検出結果に基づいて湿度制御が行われるこ
とになる。さらにまた、湿度及び温度の検出値Yha…、Y
tが重複する範囲Emにあれば、平均値Yhmを選択するため
の選択指令が選択機能部17に付与される。この場合に
は、湿度センサ2aと2bの双方の検出結果の平均値に基づ
いて湿度制御が行われる。
そして、選択された湿度の検出値Yha、Yhb又は平均値Yh
mは比較部22に付与される。比較部22では当該検出値Yh
a、Yhb又は平均値Yhmと湿度設定部23から付与される設
定値Yhを比較してその偏差を得、この偏差は湿度制御回
路部24に付与される。そして、湿度制御回路部24から当
該偏差を零にする温度制御出力が加湿器36等に供給さ
れ、被制御室Rの湿度を設定値Yhにするためのフィード
バック制御が行われる。
以上、実施例について詳細に説明したが、本考案はこの
ような実施例に限定されるものではない。例えば、検出
範囲の区画及びその数は任意に設定できるし、湿度又は
温度の一方のみで設定してもよい。また、湿度センサは
例示に限らず、他の任意の湿度センサ、例えば固体電解
室、白金系金属触媒、塩化リチウム等を利用した湿度セ
ンサを用いてもよいし、その組合わせも任意である。さ
らにまた、各部の機能実現はハードウェア構成、ソフト
ウェア処理のいずれで実施してもよい。その他、細部の
構成等において、本考案の要旨を逸脱しない範囲で任意
に変更できる。
〔考案の効果〕
このように、本考案に係る恒温恒湿機は検出原理の異な
る複数の湿度センサと、各湿度センサに対して湿度及び
/又は温度の異なる検出範囲を設定し、湿度及び/又は
温度の検出結果により各湿度センサを選択し又は同時に
用いるとともに、各湿度センサの検出範囲が重複する範
囲で、各湿度センサ2aと2bの検出結果を平均する平均値
演算機能部4を備える制御部を設けたため、次のような
顕著な効果を奏する。
湿度の検出範囲を低湿領域から高湿領域まで飛躍的に
拡大できるとともに、全範囲にわたって正確性を損なう
ことなく高精度に検出できる。
特に、検出範囲が重複する範囲では各湿度センサの検
出結果を平均するため、一方の湿度センサの検出結果に
多少の誤差が発生しても、その誤差を半分に低減でき
る。
最適な実施形態により、補正やアラーム発生等で対処
すれば、より信頼性を高めることができる。また、湿度
サイクル試験や湿度ショック試験等の自動化が容易とな
る。
【図面の簡単な説明】
第1図:本考案に係る恒温恒湿機における制御系のブロ
ック回路図、 第2図:同恒温恒湿機の模式的構成を示す縦断側面図、 第3図:同恒温恒湿機の温度及び湿度の検出範囲パター
ン図。 尚図面中、 1:恒温恒湿機 2a:乾湿球式湿度センサ 2b:電気抵抗式湿度センサ (又は静電容量式湿度センサ) 3:制御部、4:平均値演算機能部 5:補正機能部、6:警報機能部 R:被制御室 Ea,Eb:検出範囲 Em:検出範囲が重複する範囲

Claims (5)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】湿度センサ及び温度センサにより被制御室
    内の湿度及び温度を検出し、被制御室内の湿度及び温度
    が設定値となるように制御する制御系を備えてなる恒温
    恒湿機において、検出原理の異なる複数の湿度センサ
    と、各湿度センサに対して湿度及び/又は温度の異なる
    検出範囲を設定し、湿度及び/又は温度の検出結果によ
    り各湿度センサを選択し又は同時に用いるとともに、各
    湿度センサの検出範囲が重複する範囲で、各湿度センサ
    の検出結果を平均する平均値演算機能部を備える制御部
    を設けたことを特徴とする恒温恒湿機。
  2. 【請求項2】低湿領域及び/又は低温領域を除く検出範
    囲で用いる乾湿球式湿度センサと、高湿領域及び/又は
    高温領域を除く検出範囲で用いる電気抵抗式湿度センサ
    を備えることを特徴とする請求項1記載の恒温恒湿機。
  3. 【請求項3】低湿領域及び/又は低温領域を除く検出範
    囲で用いる乾湿球式湿度センサと、高湿領域及び/又は
    高温領域を除く検出範囲で用いる静電容量式湿度センサ
    を備えることを特徴とする請求項1記載の恒温恒湿機。
  4. 【請求項4】制御部には各湿度センサの検出範囲が重複
    する範囲で、いずれかの湿度センサを基準にして他の湿
    度センサに対する補正を行う補正機能部を備えることを
    特徴とする請求項1記載の恒温恒湿機。
  5. 【請求項5】制御部には各湿度センサにおける検出結果
    の相対偏差に対して許容範囲を設定し、相対偏差が許容
    範囲を越えたときにアラームを発生する警報機能部を備
    えることを特徴とする請求項1記載の恒温恒湿機。
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