JPH0742979A - ファンフィルタユニットの設置工法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】作業効率の向上、安全性の改善、設置工期の短
縮を図ることのできるファンフィルタユニットの設置施
工方法を提案する。 【構成】クリーンルーム１の天井を形成すると共に、複
数のファンフィルタユニット４を搭載するための天井枠
５を地上で組立て、該天井枠５にファンフィルタユニッ
ト４を搭載して、天井枠５と複数のファンフィルタユニ
ット４とが一体となったＦＦＵ搭載天井枠２２を形成
し、ＦＦＵ搭載天井枠２２を天井部まで揚重機２０で揚
重して天井部に設けた葡萄棚９にＦＦＵ搭載天井枠２２
ごと取り付ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はファンフィルタユニット
の設置工法に係り、特に、クリーンルームの天井部に設
置するファンフィルタユニット設置工法に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１３にクリーンルームの天井部にファ
ンフィルタユニットを設置した完成図を示す。同図にお
いて、１はクリーンルーム、２はグレーチィング床、３
はクリーンルームを収納する建屋の天井、４はファンフ
ィルタユニット、５はクリーンルームの天井を形成する
と共にファンフィルタユニットを搭載する碁盤目状の天
井枠、６は天井枠を吊るす吊りボルト、７は天井枠に固
定された天井枠用吊りボルト、８は吊りボルトと天井枠
用吊りボルトを接続するターンバックル、９は天井枠を
吊りボルトを介して吊る葡萄棚、１０は葡萄棚を建屋の
天井に固定する固定部材、１１はフラットバー、１２と
１３は葡萄棚を構築するＨ型鋼と各パイプである。

【０００３】そして、従来、クリーンルーム１の天井部
へファンフィルタユニット４（以下ＦＦＵという）を設
置する工法は以下の手順で行われていた。先ず、建屋の
天井３に固着したフラットバー１１に、固定部材１０を
介して一対の平行なＨ型鋼１２を溶接固定する。次に、
このＨ型鋼１２の所定箇所に２本ずつ対になった複数の
角パイプ１３を交差状に抱き合わせて溶接固定し、葡萄
棚を構築する。この対になった角パイプ１３は吊りボル
ト６の直径分の隙間が開いており、この隙間に天井枠５
を吊るための複数の吊りボルト６を挿通し、吊りボルト
６の上端はナットで葡萄棚９に固定し、下端にはターン
バックル８を取り付ける。次に、２〜４人の作業員がク
リーンルーム１の床２に置かれているＦＦＵ４を人力で
クリーンルーム１の床２に設置された図示しないテーブ
ルリフタ等の揚重機に持ち上げて載せる。次に、ＦＦＵ
４を載せた揚重機ごと床２を移動させて、天井枠５のＦ
ＦＵ４搭載位置の真下まできたらＦＦＵ４を揚重する。
次に、天井枠５上で待機していた２〜４人の作業員が揚
重機上のＦＦＵ４を持ち上げて天井枠５上に仮置きして
から、碁盤目状に形成された天井枠５の所定位置に搭載
する。この揚重及び搭載作業を天井枠５の碁盤目の数だ
け繰り返して、クリーンルーム１の天井部へのＦＦＵ４
の設置が完了する。

【０００４】尚、前記天井枠５は、碁盤目状に桟が組ま
れており、この碁盤目状の上に一つずつ直方体状のＦＦ
Ｕ４が搭載され、この碁盤目からＦＦＵ４のクリーンエ
アがクリーンルーム１内に吹き出される。ところで、Ｆ
ＦＵ４にはガラス繊維でできた破れ易いフィルタが装着
されており、このフィルタ面が天井枠５側にくるように
搭載しなくてはならないため、搭載時のＦＦＵ４の取扱
には細心の注意を要する。また、ＦＦＵ４同志の間隔が
不均一になると、、ＦＦＵ４からクリーンルーム１内に
吹き出されるクリーンエアの流れは、不均一部分で乱流
や渦流が発生し易いので、塵埃等のコンタミの原因とな
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
た手順で行う従来のファンフィルタユニットの設置工法
は以下の欠点がある。 （１）足場の悪い天井枠５上で作業員がＦＦＵ４を一つ
ずつ天井枠５の碁盤目状の桟に搭載する作業は、重労働
であると共に長時間を要し、作業効率が悪いという欠点
がある。 （２）高所作業の比率が多いため、作業員が転落する等
の危険があり、安全面での欠点がある。 （３）クリーンルーム１の天井部には、通常配管、電線
ケーブル等が配設されており、ＦＦＵ４を天井枠５に搭
載する際に、ＦＦＵ４のフィルタ等を前記配管や電線ケ
ーブル等にぶつけて破損し易いという欠点がある。 （４）ＦＦＵ４を揚重する揚重機が、ＦＦＵ４を設置す
る碁盤目に合わせて床２を移動する為、ＦＦＵ４の設置
作業中は床２を他の作業に使用できないという欠点があ
る。 （５）クリーンルーム１の床２は、通常グレーチィング
床で形成されている為、揚重機の移動により床２面が破
損しないように床２面全体に養生を行う必要があり、こ
の養生作業に長時間を要するという欠点がある。

【０００６】本発明はこのうような事情に鑑みてなされ
たもので、作業効率の向上、安全性の改善、設置工期の
短縮を図ることのできるファンフィルタユニットの設置
工法を提案することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、クリーンルームの天井部に複数のファンフ
ィルタユニットを設置するファンフィルタユニットの設
置工法に於いて、前記クリーンルームの天井面の一部を
形成する天井枠を組立て、該天井枠にファンフィルタユ
ニットを搭載して、天井枠と複数のファンフィルタユニ
ットとが一体となった一体物を予め形成し、前記一体物
を前記天井部まで揚重して天井部に設けた取付部材に前
記一体物ごと取付けることにより、クリーンルームの天
井面の形成及びファンフィルタユニットの設置を一度に
行うことを特徴とする。

【０００８】また、本発明は前記目的を達成するため
に、クリーンルームの天井部に設けた取付部材に吊設部
材を介して天井枠を吊設し、揚重手段で揚重したファン
フィルタユニットを前記天井枠に順次搭載いていくファ
ンフィルタユニットの設置工法に於いて、前記吊設部材
に支持されたスライドレールを配設すると共に、前記ス
ライドレールを走行する走行手段を設け、前記ファンフ
ィルタユニットを所定の一か所から揚重した後、前記フ
ァンフィルタユニットを前記走行手段で所定の搭載場所
まで移動させてから前記天井枠に搭載することを特徴と
する。

【０００９】

【作用】第１の発明によれば、クリーンルームの天井の
一部を形成する為の天井枠を組立て、該天井枠にファン
フィルタユニットを搭載して、天井枠と複数のファンフ
ィルタユニットとが一体となった一体物を予め形成し、
前記一体物を前記天井部まで揚重して天井部に設けた取
付部材に前記一体物ごと取付けるようにした。これによ
り、クリーンルームの天井面の形成及びファンフィルタ
ユニットの設置を一度に行うことができると共に、高所
作業が削減されるので、作業効率が向上すると共に、作
業員の安全性が改善される。

【００１０】また、天井枠を複数個で構成する場合に
は、前記天井枠は、ファンフィルタユニットを等間隔で
搭載する碁盤目状の桟で形成されると共に、各天井枠同
志を隣接させた時の隣接部には前記ファンフィルタユニ
ット１個分の碁盤目が形成される形状を有するように形
成する。そして、前記一体物を前記取付部材に取付けた
後に、ファンフィルタユニットを別途揚重して前記隣接
部に形成される碁盤目に搭載するようにする。これによ
り、天井枠に搭載されるファンフィルタユニットの間隔
が等しくなるので、ＦＦＵからクリーンルーム内に吹き
出されるクリーンエアに乱流や渦流が発生しない。

【００１１】また、前記取付部材をレール状に形成し、
前記レールを走行する走行手段を設けると共に、所定一
か所から揚重した前記一体物を前記走行手段により所定
の設置場所に移動させるようにした。これにより、前記
一体物を揚重するための揚重機をクリーンルームの床面
の一か所に固定して揚重作業を行うことができるので、
揚重機が固定されていない床面を他の作業に有効利用で
きると共に、揚重機を移動させる必要がないので、床面
全体を養生する必要がない。

【００１２】また、第２の発明によれば、クリーンルー
ムの天井部に天井枠を吊設する吊設部材に支持されたス
ライドレールを配設すると共に、前記スライドレールを
走行する走行手段を設け、前記ファンフィルタユニット
を所定の一か所から揚重した後、前記ファンフィルタユ
ニットを前記走行手段で所定の搭載場所まで移動させて
から前記天井枠に搭載するようにした。これにより、従
来のファンフィルタユニットの設置工法のように、天井
枠を取付部材に取り付けた後、ファンフィルタユニット
を揚重して設置する場合にも、作業効率を向上させるこ
とができると共に、揚重機をクリーンルームの床面の一
か所に固定して揚重作業を行うことができるので、揚重
機が固定されていない床面を他の作業に有効利用できる
と共に、揚重機を移動させる必要がないので、床面全体
を養生する必要がない。

【００１３】

【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るファンフ
ィルタユニットの設置施工方法の好ましい実施例を詳述
する。図１は本発明に係るファンフィルタユニットの設
置工法の第１実施例を示す説明図である。尚、図１３で
示した同じ部材、類似部材には同符号を付して説明する
と共に、従来のファンフィルタユニットの設置工法と同
じ作業については詳しい説明を省略する。

【００１４】建屋の天井部に葡萄棚９を構築し、この葡
萄棚９に吊りボルト６の上端を固定し、その下端にはタ
ーンバックル８を取付けておく作業は従来と同様であ
る。本発明では以上の準備をしてから、クリーンルーム
１の床２に設置したテーブルリフタ等の揚重機２０上で
碁盤目状の天井枠５を組立て、この碁盤目状になった天
井枠５の桟に予めＦＦＵ４を搭載し、ＦＦＵ４と天井枠
５とが一体となったＦＦＵ搭載天井枠２２を形成する。
また、ＦＦＵ搭載天井枠２２の天井枠５四隅には、前記
ターンバックル８に取り付けるための天井枠用吊りボル
ト７を固着しておく。

【００１５】次に、揚重機２０を伸長動作させてＦＦＵ
搭載天井枠２２を揚重し、天井枠用吊りボルト７をター
ンバックル８に取り付ける。このように、ＦＦＵ搭載天
井枠２２を揚重機２２で順次揚重してターンバックル８
に取り付ける作業を繰り返すことにより、ファンフィル
タユニットの設置を完了させる。尚、天井枠５の組立て
は、揚重機２０上に限定されるものではなく、クリーン
ルーム１の床２面上で組立ててもよく、あるいはクリー
ンルーム１床２面以外の作業場等の他所で製作したもの
を使用してもよい。また、ＦＦＵ搭載天井枠２２の揚重
はテーブルリフタ、油圧ジャッキ等の揚重機２０の他に
チェーンブロック等の吊上機でもよい。

【００１６】また、上述したように天井枠５が複数個で
構成される場合、天井枠５の形状を横桟２４、２４…と
縦桟２６、２６…で図２のように形成すると、図３に示
すように、天井枠５同志が隣接する隣接部２８に配設さ
れたＦＦＵ４同志の間隔が、他のＦＦＵ４同志の間隔に
比べて縦桟２６一本分広くなる。このように、ＦＦＵ４
同志の間隔が不均一になると、ＦＦＵ４からクリーンル
ーム１内に吹き出されるクリーンエア３０の流れは、不
均一部分で乱流や渦流が発生し易いので、塵埃等のコン
タミの原因となる。

【００１７】このことから、天井枠５を複数個で構成す
る場合には、図４に示す形状とすることが好ましい。即
ち、天井枠５の左右両端には縦桟２６を設けずに、ＦＦ
Ｕ搭載天井枠２２を葡萄棚９に吊り下げて天井枠２２の
天井枠同志を接続した際に、天井枠５同志が隣接した隣
接部２８に、図５に示すように、ファンフィルタユニッ
ト４を１個分を搭載する前記碁盤目状の空間３２が形成
されるようにした。そして、前記空間３２には、ファン
フィルタユニット４を別途揚重して搭載する。これによ
り、図６に示すように、ＦＦＵ４同志の間隔は全て均一
になるので、ＦＦＵ４からクリーンルーム１内に吹き出
されるクリーンエア３０の流れに乱流や渦流が発生しな
いようにできる。

【００１８】このように、本発明のファンフィルタユニ
ットの設置工法によれば、足場のよい地上で予めＦＦＵ
搭載天井枠２２を形成し、このＦＦＵ搭載天井枠２２を
揚重して葡萄棚９に吊り下げるようにした。従って、従
来のファンフィルタユニットの設置工法のように、天井
枠５を葡萄棚９に取付けてからＦＦＵ４を揚重して一つ
ずつ天井枠５に搭載していく工法に比べて作業効率が良
くなるので、工期を大幅に短縮することができる。

【００１９】また、作業員の高所作業が削減されるの
で、作業員の安全性を改善できる。また、天井枠５への
ＦＦＵ４の搭載が足場のよい地上で行われるので、ＦＦ
Ｕ４を天井枠５に搭載する際に、ＦＦＵ４のフィルタを
破損することがない。従って、従来のファンフィルタユ
ニットの設置工法のように、葡萄棚９に吊り下げられた
天井枠５にＦＦＵ４を揚重して搭載する際に、ＦＦＵ４
のフィルタ等がクリーンルーム１の天井部に配設された
図示しない配管や電線ケーブル等にぶつかって破損する
という欠点を解消できる。

【００２０】また、天井枠５の形状を図４に示したよう
に形成すれば、天井枠５を複数個で構成する場合でも、
ＦＦＵ４からクリーンルーム１内に吹き出されるクリー
ンエア３０に乱流や渦流が発生することがない。次に、
図７に従って、本発明のファンフィルタユニットの設置
工法の第２実施例を説明する。

【００２１】尚、第１実施例と同じ部材、類似部材につ
いては同符号を付し、詳しい説明は省略する。また、後
述する第３及び第４実施例も同様である。第２実施例
は、建屋の天井３に葡萄棚９を構築し、葡萄棚９に吊り
下げた吊りボルト６の下端にターンバックル８を取付け
ておくまでは、第１実施例と同様である。

【００２２】次に、クリーンルーム１の床２に所定間隔
で配置された複数の油圧ジャッキ３４、３４…の上に天
井枠５を組立てた後、天井枠５にＦＦＵ４を搭載して前
記搭載天井枠２２を形成する。次に、油圧ジャッキ３４
をコントローラ３６で制御しながら、ＦＦＵ搭載天井枠
２２を揚重して、ＦＦＵ搭載天井枠２２の天井枠用吊り
ボルト７をターンバックル８に取り付ける。この時、油
圧ジャッキ３４の近傍に非接触型の光波距離センサ３
８、３８…を設け、この光波距離センサ３８でＦＦＵ搭
載天井枠２２の上昇距離を検知し、検知結果に基づいて
コントローラ３６により複数の油圧ジャッキ３４の上昇
速度が一定になるように制御する。

【００２３】このように、第２実施例では、複数の油圧
ジャッキ３４の揚重操作をコントローラ３６で精度良く
制御できるようにしたので、例えば、天井枠５をクリー
ンルーム１の天井面と同じ大きさに１個組立て、この天
井枠５に全てのＦＦＵ４を搭載したＦＦＵ搭載天井枠２
２を形成し、このＦＦＵ搭載天井枠２２を複数の油圧ジ
ャッキで一度に揚重して葡萄棚に吊り下げることができ
る。これにより、第２実施例の場合は、第１実施例のよ
うに揚重操作を繰り返すことなく一回の揚重操作でファ
ンフィルタユニットを設置できるので、作業効率を大幅
に向上させることができる。

【００２４】次に、図８、図９に従って、本発明のファ
ンフィルタユニットの設置工法の第３実施例を説明す
る。第３実施例は、葡萄棚９を構成する一対のＨ型鋼１
２、１２をレールとして利用するものである。このＨ型
鋼１２に、図９に示すように、車輪付き吊り金具４０を
複数セットする。そして、車輪付き吊り金具４０に吊り
ボルト６を取付け、吊りボルト６の下端にはターンバッ
クル８を取り付けておく。

【００２５】次に、クリーンルーム１の床２面に設置し
た揚重機２０上で実施例１と同様にＦＦＵ搭載天井枠２
２を形成し、揚重機２０でＦＦＵ搭載天井枠２２を揚重
させて、天井枠用吊りボルト７をターンバックル８に取
り付ける。次に、ＦＦＵ搭載天井枠２２に予め取り付け
ておいたロープ４２を床２面にいる作業員４４が引っ張
ってＦＦＵ搭載天井枠２２を所定の設置場所まで移動さ
せる。この操作を繰り返すことにより、ファンフィルタ
ユニット４の設置を行うことができる。

【００２６】第３実施例の場合は、クリーンルーム１の
床２面に設置する揚重機２０の設置場所が一か所でよい
為、揚重機２０を設置していない床２面では他の作業を
行うことができる。これにより、第１実施例と同様の効
果を得ることができる上に、床２面を有効利用すること
ができる。また、揚重機２０の設置による床２面の損傷
を防止するための養生を床２面全体に施す必要がなくな
り、養生資材の節約になると共に、養生するための作業
時間を削減できる。また、揚重箇所が一か所なため、足
場のよい床２面に揚重機２０を設置して揚重作業をでき
るので、揚重機２０が転倒する等の危険を防止できる。

【００２７】尚、ＦＦＵ搭載天井枠２２に取付けたロー
プ４２を作業員４４が引っ張ってＦＦＵ搭載天井枠２２
を移動させることには限定されず、後から揚重したＦＦ
Ｕ搭載天井枠２２で前に揚重したＦＦＵ搭載天井枠２２
を押すようにして移動させてもよい。次に、図１１、図
１２、図１３に従って、本発明のファンフィルタユニッ
トの設置工法の第４実施例を説明する。

【００２８】第４実施例は、葡萄棚９に、吊りボルト
６、ターンバックル８及び天井枠用吊りボルト７を介し
て予め天井枠５を吊り下げておく。次に、天井枠用吊り
ボルト７の略中間高さ位置に、スライドレール４６を固
定治具４８を用いて固定し、一対の対抗するレール軌道
を形成する。そして、対抗するスライドレール４６に、
図１１に示すＬ字状のスライドプレート５０を夫々スラ
イド自在に嵌合させる。

【００２９】以上の準備をしてから、クリーンルーム１
の床２面に置かれているＦＦＵ４を揚重機２０で揚重
し、図１２に示すようにスライドプレート５０にＦＦＵ
４の両側に形成された突起部５２を載せる。次に、天井
枠５上に待機していた作業員がＦＦＵ４を人力で押すか
引くかしてスライドレール４６に沿ってスライドプレー
ト５０をスライドさせてＦＦＵ４を所定の設置場所まで
移動させる。次に、ＦＦＵ４を所定の設置場所に移動さ
せたら、前記突起部５２にＦＦＵ吊上治具５４を掛けて
ＦＦＵ４をスライドプレート５０から持ち上げ、天井枠
５の碁盤目を形成する桟に搭載する。

【００３０】尚、ＦＦＵ４を天井枠５に全て搭載した
ら、天井枠用吊りボルト７からスライドレール４６を取
り外して、次の施工場所で使用してもよく、また、その
まま取り付けておいて、ＦＦＵ４を修理したり更新した
りする時に使用してもよい。第４の発明によれば、従来
のファンフィルタユニットの設置工法のように、葡萄棚
９に予め天井枠５を吊るしてから、ＦＦＵ４を揚重して
天井枠５に設置する場合にも、クリーンルーム１の床２
面に設置する揚重機２０の設置場所が一か所でよい。従
って、第３実施例と同様の効果を得ることができる。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係るファン
フィルタユニットの設置工法によれば、以下の効果を奏
することができる。 クリーンルームの天井面の形成と、複数のファンフィ
ルタユニットの設置とが一度の作業で完了するため、フ
ァンフィルタユニットの設置工期が短縮できる。

【００３２】天井枠上での高所作業量が削減されるの
で、作業員の安全性を向上できる。 設置工期が短縮され、工数低減が図れるので、コスト
的に低価格のクリーンルームを提供できる。 複数のＦＦＵからクリーンルームに吹き出されるクリ
ーンエアの流れが一定となり、変流や渦流が発生しない
ようにできる。

【００３３】揚重操作をクリーンルーム床面の一か所
でできるので、床面を有効に利用することができると共
に、揚重機の設置による床面の損傷を防止するための養
生を床面全体に施す必要がなくなり、養生資材の節約に
なると共に、養生するための作業時間を削減できる。ま
た、揚重箇所が一か所なため、足場のよい箇所で揚重で
きるので、揚重機が転倒する等の危険を防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明に係るファンフィルタユニットの
設置工法の第１実施例を説明する説明図

【図２】ファンフィルタユニットから吹き出すクリーン
エアに乱流や渦流ができやすい天井枠の形状を示した平
面図

【図３】図２の天井枠を使用した場合のファンフィルタ
ユニット同志の間隔を説明する説明図

【図４】ファンフィルタユニットから吹き出すクリーン
エアに乱流や渦流ができにくい天井枠の形状を示した平
面図

【図５】図４の天井枠を使用して本発明のファンフィル
タユニットの設置工法を行った場合の施工途中の斜視図

【図６】図４の天井枠を使用した場合のファンフィルタ
ユニット同志の間隔を説明する説明図

【図７】本発明に係るファンフィルタユニットの設置工
法の第２実施例を説明する説明図

【図８】本発明に係るファンフィルタユニットの設置工
法の第３実施例を説明する説明図

【図９】第３実施例の走行手段の構造を説明する説明図

【図１０】本発明に係るファンフィルタユニットの設置
工法の第４実施例を説明する説明図

【図１１】第４実施例のスライドレールとスライドプレ
ートの嵌合状態を説明する斜視図

【図１２】第４実施例の設置工法を説明する説明図

【図１３】クリーンルームの天井部にファンフィルタユ
ニットの設置を完成した断面図

【符号の説明】

１…クリーンルーム ２…グレーチィング床 ３…建屋の天井 ４…ファンフィルタユニット ５…天井枠 ６…吊りボルト ７…天井枠用吊りボルト ８…ターンバックル ９…葡萄棚 １２…葡萄棚を構成するＨ形鋼 １３…葡萄棚を構成する各パイプ ２０…揚重機 ２２…ＦＦＵ搭載天井枠

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 市川 裕之 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】クリーンルームの天井部に複数のファンフ
   ィルタユニットを設置するファンフィルタユニットの設
   置工法に於いて、 前記クリーンルームの天井面の一部を形成する天井枠を
   組立て、 該天井枠にファンフィルタユニットを搭載して、天井枠
   と複数のファンフィルタユニットとが一体となった一体
   物を予め形成し、 前記一体物を前記天井部まで揚重して天井部に設けた取
   付部材に前記一体物ごと取付けることにより、クリーン
   ルームの天井面の形成及びファンフィルタユニットの設
   置を一度に行うことを特徴とするファンフィルタユニッ
   トの設置工法。
2. 【請求項２】前記天井枠は、ファンフィルタユニットを
   等間隔で搭載する碁盤目状の桟で形成されると共に、各
   天井枠同志を隣接させた時の隣接部には前記ファンフィ
   ルタユニット１個分の碁盤目が形成される形状を有して
   成り、 前記一体物を前記取付部材に取付けた後に、ファンフィ
   ルタユニットを別途揚重して前記隣接部に形成される碁
   盤目に搭載することを特徴とする請求項１のファンフィ
   ルタユニットの設置工法。
3. 【請求項３】前記取付部材をレール状に形成し、前記レ
   ールを走行する走行手段を設けると共に、所定一か所か
   ら揚重した前記一体物を前記走行手段により所定の設置
   場所に移動させることを特徴とする請求項１のファンフ
   ィルタユニットの設置工法。
4. 【請求項４】クリーンルームの天井部に設けた取付部材
   に吊設部材を介して天井枠を吊設し、揚重手段で揚重し
   たファンフィルタユニットを前記天井枠に順次搭載いて
   いくファンフィルタユニットの設置工法に於いて、 前記吊設部材に支持されたスライドレールを配設すると
   共に、前記スライドレールを走行する走行手段を設け、 前記ファンフィルタユニットを所定の一か所から揚重し
   た後、前記ファンフィルタユニットを前記走行手段で所
   定の搭載場所まで移動させてから前記天井枠に搭載する
   ことを特徴とするファンフィルタユニットの設置工法。