JP2015001320A - 移載装置及び生産システム - Google Patents
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Abstract
Description
前記筐体は、前記筐体内の空気を循環させるための循環通気路を有し、前記清浄雰囲気形成手段は、前記筐体内を循環する前記空気を清浄にすることで、前記筐体内を清浄雰囲気にする。
前記筐体は、通気路を内部に有する支柱を有し、前記循環通気路は、前記支柱の前記通気路を含んで実現されている。このように前記支柱を通気路として兼用することで、前記循環通気路を備えた前記移載装置を小型化することができる。
前記筐体は、高圧室と、前記高圧室と比較して低圧である低圧室と、を有し、前記清浄雰囲気形成手段は、前記高圧室から前記低圧室に移動した前記空気を清浄にし、清浄にした前記空気を前記高圧室に供給する。
前記保持移動手段は、前記高圧室内に配置されている。以上の構成によれば、前記保持移動手段で発生したダストは、前記低圧室に排出されることになる。
前記清浄雰囲気形成手段は、前記筐体内に配置され、前記移載装置は、前記清浄雰囲気形成手段を前記筐体から引き出すための引出手段を有する。以上の構成によれば、前記清浄雰囲気形成手段のメンテナンス性が良好となる。
前記引出手段は、前記低圧室に配置されている。以上の構成によれば、前記引出手段で発生したダストは、前記高圧室に移動することがなく、前記低圧室に留まる。従って、前記保持移動手段によって保持される前記処理対象物を汚染することがない。
前記搬送装置と、前記処理装置と、上記何れかに記載の前記移載装置と、を備えた生産システムが提供される。
図2に示すように、パレット6は、ウエハ2を搭載するものである。即ち、本実施形態のウエハ搬送装置3は、ウエハ2を直接的に搬送するのではなく、ウエハ2を搭載したパレット6を搬送することで間接的にウエハ2を搬送する。
図1に示すように、浮上搬送装置7は、パレット浮上ユニット20と複数のカバー21、複数のFFU22(Fan Filter Unit)を備える。
(2)筐体10は、筐体10内の空気を循環させるための循環通気路Fを有する。FFU12は、筐体10内を循環する空気を清浄にすることで、筐体10内を清浄雰囲気にする。
(3)筐体10は、連絡通気路36a(通気路)を内部に有する中空支柱36(支柱)を有する。循環通気路Fは、中空支柱36の連絡通気路36aを含んで実現されている。このように中空支柱36を連絡通気路36aとして兼用することで、循環通気路Fを備えた移載装置5を小型化することができる。
(4)筐体10は、クリーン室41(高圧室)と、クリーン室41と比較して低圧である排気室42(低圧室)と、を有する。FFU12は、クリーン室41から排気室42に移動した空気を清浄にし、清浄にした空気をクリーン室41に供給する。
(5)FFU12は、クリーン室41内に配置されている。以上の構成によれば、FFU12で発生したダストは、排気室42に排出されることになる。
(6)FFU12は、筐体10内に配置される。移載装置5は、FFU12を筐体10から引き出すためのガイドレール機構R(引出手段)を有する。以上の構成によれば、FFU12のメンテナンス性が良好となる。
(7)ガイドレール機構Rは、排気室42に配置されている。以上の構成によれば、排気室42で発生したダストは、下内圧室43(高圧室)に移動することがなく、排気室42に留まる。従って、FFU12によって保持されるウエハ2を汚染することがない。
(8)半導体製造ライン1(生産システム)は、ウエハ搬送装置3と、プロセス装置4と、移載装置5と、を備えて構成されている。
2 ウエハ
3 ウエハ搬送装置
4 プロセス装置
5 移載装置
10 筐体
11 移載ロボット
12 FFU
Claims (8)
- 処理対象物を搬送する搬送装置と、前記処理対象物を処理する処理装置と、の間で前記処理対象物を移載する移載装置であって、
前記処理対象物を保持して移動させる保持移動手段と、
前記保持移動手段を収容する筐体と、
前記筐体内を清浄雰囲気にするための清浄雰囲気形成手段と、
を備えた、移載装置。 - 請求項1に記載の移載装置であって、
前記筐体は、前記筐体内の空気を循環させるための循環通気路を有し、
前記清浄雰囲気形成手段は、前記筐体内を循環する前記空気を清浄にすることで、前記筐体内を清浄雰囲気にする、
移載装置。 - 請求項2に記載の移載装置であって、
前記筐体は、通気路を内部に有する支柱を有し、
前記循環通気路は、前記支柱の前記通気路を含んで実現されている、
移載装置。 - 請求項1〜3の何れかに記載の移載装置であって、
前記筐体は、高圧室と、前記高圧室と比較して低圧である低圧室と、を有し、
前記清浄雰囲気形成手段は、前記高圧室から前記低圧室に移動した前記空気を清浄にし、清浄にした前記空気を前記高圧室に供給する、
移載装置。 - 請求項4に記載の移載装置であって、
前記保持移動手段は、前記高圧室内に配置されている、
移載装置。 - 請求項5に記載の移載装置であって、
前記清浄雰囲気形成手段は、前記筐体内に配置され、
前記移載装置は、前記清浄雰囲気形成手段を前記筐体から引き出すための引出手段を有する、
移載装置。 - 請求項6に記載の移載装置であって、
前記引出手段は、前記低圧室に配置されている、
移載装置。 - 前記搬送装置と、
前記処理装置と、
請求項1〜7の何れかに記載の前記移載装置と、
を備えた生産システム。
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JP2013124955A JP6060822B2 (ja) | 2013-06-13 | 2013-06-13 | 移載装置及び生産システム |
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Cited By (1)
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- 2013-06-13 JP JP2013124955A patent/JP6060822B2/ja active Active
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