JP2002310473A - ファンフィルタユニットの設置工法及び該工法に使用する揚重機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 天井部にファンフィルタユニットを設置する
にあたり，従来よりも施工時間，工期を短縮する。 【解決手段】 ファンフィルタユニットを搭載するフレ
ーム１１の対向する端部２辺がその載置面にほぼ納まる
ように構成され，かつ床面Ｆとの間に高さ方向に一部空
隙を有する架台１を，床面Ｆに設置する。その後この架
台１上でフレーム１１を組み上げ，一旦架台１ごと，小
型リフト２１で持ち上げ，支持脚４を取り付ける。その
後架台１を床面Ｆに降ろし，以後照明器具の取り付けを
行う。その後再び支持脚４を取り外して架台１を床面Ｆ
に設置し，ファンフィルタユニット３１を搭載した後，
リフタで架台１ごとフレーム１１を揚重する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は，ファンフィルタユ
ニットの設置工法及び該設置工法に使用する揚重機に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】クリーンルームの天井にファンフィルタ
ユニットを設置するにあたっては，例えば特開平７−４
２９７９号工法に開示されているように，揚重機上で碁
盤目状の天井枠(いわゆるフレーム)を組み立てるととも
に，ファンフィルタユニットを該天井枠に搭載し，ファ
ンフィルタユニット搭載天井枠を形成し，その後前記揚
重機を伸長させて，天井枠に予め取り付けてあった吊り
ボルトを，クリーンルームの天井に固定された吊りボル
トと連結するようにしていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら，前記従
来の工法は，天井枠の組み立て，ならびに組み上がった
天井枠へのファンフィルタユニットの搭載をすべて揚重
機の上で行っていたため，一回で揚重する天井枠の大き
さが限られていた。すなわち，揚重機のステージよりも
大きい天井枠をくみ上げると，ファンフィルタユニット
を搭載するにあたりバランスに留意しないと転倒するお
それがあり，また搭載地点に注意しないと天井枠自体が
大きくしなり，後の作業に悪影響をおよぼすおそれがあ
る。

【０００４】そのため前記従来の工法では，揚重機上で
組み立てる天井枠は揚重機のステージとほぼ同じ大きさ
に限られている。その結果，一回で揚重する天井枠の大
きさ，つまりは一回で揚重するファンフィルタユニット
の台数が限られてしまい，施工時間，工期が長くなって
しまうという問題があった。

【０００５】仮に天井枠を床面に直接置いて，天井枠の
組み立てやファンフィルタユニットの搭載作業を実施し
ようとすると，天井枠下面から行う作業ができなくな
り，またファンフィルタユニット搭載済みの天井枠を揚
重機で揚重することがそのままでは困難である。

【０００６】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あり，従来よりも施工時間，工期が短縮できる新規なフ
ァンフィルタユニットの設置工法を提供して，前記問題
の解決を図ることを目的としている。また本発明は，当
該ファンフィルタユニットの設置工法に使用するのに適
した新規な揚重機を提供して，さらにフレーム取り付け
の際の正確な位置決めを迅速にして，よりいっそう施工
時間，及び工期の短縮を図ることをもその目的としてい
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め，請求項１によれば，クリーンルームの天井にファン
フィルタユニットを搭載したフレームを取り付けてファ
ンフィルタユニットを設置する工法であって，前記ファ
ンフィルタユニットの載置面において格子状または短冊
状に枠部材が組み合わされてなり，少なくとも前記フレ
ームの対向する端部２辺がその載置面にほぼ納まるよう
に構成され，かつ床面との間に高さ方向に一部空隙を有
する架台を，床面に設置する工程と，前記床面に設置し
た架台上でフレームを組み上げる工程と，前記フレーム
に吊りボルトを固定する工程と，前記フレーム上にファ
ンフィルタユニットを搭載する工程と，昇降機で前記架
台を持ち上げ，前記架台下面に揚重機をセットする工程
と，前記揚重機によって前記フレームを架台ごとクリー
ンルームの所定位置に揚重する工程と，前記クリーンル
ーム天井における所定の部材に前記吊りボルトを連結す
る工程とを有することを特徴とする，ファンフィルタユ
ニットの設置工法が提供される。

【０００８】このようなファンフィルタユニットの設置
工法によれば，少なくとも前記フレームの対向する端部
２辺がその載置面にほぼ納まるように構成され，前記フ
レームを支持する架台を床面に設置し，この架台上でフ
レームを組み上げたり，ファンフィルタユニットを搭載
するようにしたので，揚重機のステージの大きさに左右
されないサイズのフレームを選択することが可能であ
る。それによってフレームに搭載できるファンフィルタ
ユニットの台数を増加させることが可能である。そして
前記架台は，フレームの対向する端部２辺を複数箇所で
支持する形状であるから，フレーム自体を安定して支持
できる。さらにまた架台自体は床面との間に高さ方向に
一部空隙を有する形態であるから，フレームの下面から
の作業が可能で，また昇降機の昇降部を進入させて持ち
上げることも容易である。なおここで使用する昇降機は
後述の実施の形態で使用する小型リフトが適している
が，一般のフォークリフトも使用できる。またリフタと
も呼ばれている揚重機も既存のものを使用できる。また
ほぼ納まるとは，例えばフレーム外周の骨材，枠材は，
架台から外れてはいるものの，フレームの外周の骨材，
枠材に掛け渡されている横フレーム，縦フレームなどの
内側鋼材，桟等は架台上に納まって架台に支持されてい
る構成も含むものである。またフレームの端部２辺がす
べて架台上に載置される必要はなく，前記２辺のうち，
４／５以上が架台上に載置される構成であればよい。ま
た少なくとも前記フレームの対向する端部２辺が複数箇
所で支持される載置面を持った架台としてもよい。

【０００９】請求項２の発明は，クリーンルームの天井
にファンフィルタユニットを搭載したフレームを取り付
けてファンフィルタユニットを設置する工法であって，
前記ファンフィルタユニットの載置面において少なくと
も前記フレームの対向する端部２辺がその載置面にほぼ
納まるように構成され，かつ床面との間に高さ方向に一
部空隙を有する架台を床面に設置する工程と，前記床面
に設置した架台上でフレームを組み上げる工程と，前記
フレームに吊りボルトを固定する工程と，昇降機で前記
架台ごとフレームを持ち上げ，前記架台下面に支持脚を
取り付ける工程と，その後前記支持脚で前記架台を支持
させる工程と，前記フレームに照明器具を取り付け，電
気配線を施す工程と，昇降機で前記架台ごとフレームを
持ち上げ，前記架台下面の支持脚を取りはずし，前記架
台を床面に設置する工程と，前記フレーム上にファンフ
ィルタユニットを搭載する工程と，昇降機で前記架台を
持ち上げ，前記架台下面に揚重機をセットする工程と，
前記揚重機によって前記フレームを前記架台ごとクリー
ンルームの所定位置に揚重する工程と，前記クリーンル
ーム天井における所定の部材に前記吊りボルトを連結す
る工程とを有し，することを特徴とする，ファンフィル
タユニットの設置工法が提供される。

【００１０】クリーンルームの天井には，清浄空気を供
給するファンフィルタユニットの他に，さの下面（室内
側）に照明器具が取り付けられている。請求項２の発明
では，そのような照明器具の取付，及び必要な配線が支
持脚によって支持されている架台上で行える。したがっ
て，面倒なこの種の作業が天井への取り付け前に行え，
しかも無理のない姿勢でかかる作業が行えるので作業性
が良好である。

【００１１】そして請求項２の発明によれば，揚重機の
ステージの大きさに左右されないサイズのフレームを選
択することができるから，フレームに搭載できるファン
フィルタユニットの台数を増加させることが可能であ
る。また架台は，フレームの対向する端部２辺を複数箇
所で支持する形状であるから，フレーム自体を安定して
支持でき，さらにまた架台自体は請求項１の場合と同
様，床面との間に高さ方向に一部空隙を有する形態であ
るから，フレームの下面からの作業が可能で，また昇降
機の昇降部を進入させて持ち上げることも容易である。

【００１２】照明器具を取り付け，電気配線を施す工程
の後にフレームやフレームに取り付けた機器，部材等を
清掃する工程を採り入れてもよい。またファンフィルタ
ユニットの取り付けの前または後に，前記フレームに少
なくともブランクパネル，レタンチャンバ又は高性能フ
ィルタのいずれかを取り付ける工程を付加してもよい。
ブランクパネルとは，碁盤目状に構成されているフレー
ムにおいて，ファンフィルタユニットを搭載していない
エリアを塞ぐパネルであり，かかる作業も架台上で行え
るから，作業性が良好である。またブランクパネルに替
えて，特許第２５１５５９３号に示された吸込ユニット
や高性能フィルタ（ＨＥＰＡフィルタ，ＵＬＰＡフィル
タ）を載置したり，取り付けて，気流を天井に還流させ
る方式としてもよい。

【００１３】前記架台は，格子状または短冊状に枠部材
が組み合わされていることが好ましい。これによって架
台下面からフレームに対する作業がしやすくなり，また
重量も軽減できるからである。

【００１４】また本発明の揚重機は，前記ファンフィル
タユニットの設置工法に用いるための揚重機であって，
昇降するステージ上に，揚重しようとする物体の下面に
接触してこれを支持する回転自在な球体を有することを
特徴とするものである。かかる揚重機を使用すると，揚
重しようとする物体，例えば架台の下面とステージ上面
との間に回転自在な球体が介在することになるので，フ
ァンフィルタユニット搭載済みのフレームの位置合わせ
の微調整が容易に行える。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下，本発明の好ましい実施の形
態について説明する。図１は，実施の形態ににかかるフ
ァンフィルタユニットの設置工法に使用する架台１を示
しており，この架台１はアルミ製の角パイプやアングル
材によって全体が構成されており，上面の載置部２の外
形は四角形をなし，その四辺は枠材２ａ，２ｂ，２ｃ，
２ｄによって構成されている。そして対向する１組の枠
材２ａ，２ｃ間には，アルミ製の角パイプからなる縦桟
２ｅが複数本，平行に渡されている。

【００１６】枠材２ａ，２ｃの下面両端部には，各々支
持脚取り付け部３が垂直に固定されている。この支持脚
取り付け部３は，例えば長さが４００ｍｍの長さを有す
る角パイプで構成されており，図１に示したように，例
えば長さが８００ｍｍの長さを有する角パイプで構成さ
れた支持脚４の上端部を挿入して連結することが可能で
ある。連結後の固定にあたっては，バースストップを外
側から差し込むことによって実現でき，支持脚４は支持
脚取り付け部３に対して取り付け自在である。

【００１７】次に設置工法のプロセスについて説明す
る。まず図２に示したように，施工対象のクリーンルー
ムの床面Ｆに，架台１を設置する。このとき，支持脚４
は支持脚取り付け部３から取り外した状態で設置する。
したがって，架台１の下面は，床面Ｆから４００ｍｍの
高さに位置している。すなわち架台１の下面と床面との
間には，空隙が生じている。

【００１８】その後架台１上に，ファンフィルタユニッ
トを搭載するフレーム１１を組み立てる。フレーム１１
の全体構成は，図３に示したように，縦フレーム材１２
と横フレーム材１３とを縦横に組み合わせて碁盤目状に
構成される。縦フレーム材１２，横フレーム材１３はい
ずれも断面がＴ字型のいわゆるＴバー形状を為してい
る。また特に横フレーム材１３については，長手方向に
沿って形成されている中空の挿通部１３ａと，この挿通
部１３ａの上面に形成された挿通部１３ａに通ずるスリ
ット形状の通過部１３ｂとを上部に有している（図
４）。

【００１９】架台１上でフレーム１１を組み立てた後の
平面の様子を図５に示した。図５からもわかるように，
架台１は，フレーム１１の両側端部の２辺，すなわち縦
フレーム１２，１２を複数の縦桟２ｅで複数箇所で支持
する構成となっている。したがって，フレーム１１は，
架台１上で安定して支持される。

【００２０】フレーム１１の組立が終わると，前出図４
に示したように，吊りボルト１４を所定位置にセットす
る。この吊りボルト１４の下端部は，前記挿通部１３ａ
内で係止される形状を有し，通過部１３ｂに沿って長手
方向にスライド自在で，かつ任意の位置に固定自在であ
る。そしてフレーム１１の構成が前記したようにいずれ
も断面がＴ字型の縦フレーム材１２と横フレーム材１３
を用い，さらに横フレーム材１３の高さを従来よりも高
くしたため，吊りボルト１４の配設ピッチｐは，従来の
３倍の距離をおくことが可能になっている。すなわち，
本実施の形態では図４に示したように，横フレーム材１
３の高さＨを従来よりも長くとることで上下に押される
力（圧縮，引っ張り）に抗して，たわみを押さえるよう
にした。例えば高さＨを従来の８５ｍｍから１２０ｍｍ
にすると，断面二次モーメントが２３５．５４３ｃｍ^４
となり，吊りボルト等の吊り金物で本設する前の小型リ
フトによる高さ位置の設定，揚重機による揚重時にも，
従来既存のフレームを使用した場合と比べ，約１．７倍
のたわみに耐える強度が付与される。その結果，大規模
な天井ユニットの揚重が可能になっている。したがっ
て，例えば長期荷重が４０ｋｇ／ｍ^２のとき，たわみ量
を０．１ｃｍに抑える場合でも，配設ピッチｐを従来の
３倍の２２５０ｍｍとすることが可能になった。そして
そのように配設ピッチｐを従来よりも大きくとることが
できるから，吊り元鋼材に吊りボルトを装着する作業の
作業量を低減させることが可能になり，作業の迅速化が
図れる。

【００２１】以上のフレーム１１の組立作業，並びに吊
りボルト１４のセットは，地上高４００ｍｍ以上の架台
１上で行えるから，作業がしやすい。また架台１自体
も，いわゆる短冊状の枠構成となっているから，下面か
らの締め付け作業や縦フレーム材１２，横フレーム材１
３の配置，微調整を行いやすい。

【００２２】次に図６に示したように，小型リフト２１
によって架台１ごとフレーム１１を持ち上げる。この小
型リフト２１は，いわゆるフォークリフトを小型化した
構成を有し，バッテリ，モータによって駆動されて昇降
する昇降部２１ａを前方に備えている。そして該昇降部
２１ａを架台１の端部から下面に進入させ，その後昇降
部２１ａを上昇させて，図６のように，架台１ごとフレ
ーム１１を持ち上げる。この場合，既述したように，架
台１は支持脚取り付け部３によって支持されているか
ら，昇降部２１ａの架台１下面への進入は容易である。
なお本実施の形態では，４台の小型リフトを用いて，架
台１を持ち上げるようにした。

【００２３】そしてそのように小型リフト２１によって
架台１をフレーム１１ごと持ち上げた状態で，架台１下
面の支持脚取り付け部３に支持脚４を取り付ける。支持
脚４を取り付けた後は，小型リフト２１の昇降部２１ａ
を降下させ，フレーム１１を載置した架台１を支持脚４
で支持させる。したがって，この状態では，架台１の下
面は，地上高１２００ｍｍの高さに位置している。

【００２４】その後図７に示したように，照明器具や配
線をフレーム１１に対して行う。従来の工法では天井に
フレームを設置した後に，この種の工事を実施していた
が，かかる従来方法と比較すると，作業性が極めて良好
である。また架台１自体は短冊状に構成されたフレーム
構成であるから，架台１を通しての下面からの作業に支
障はない。配線後は，適宜結線したり，さらにはそのよ
うなフレーム１１，照明器具周りを清掃するようにして
もよい。クリーンアップと呼ばれている塵埃の吸引，清
拭などの清掃作業も地上にて行えるので，従来よりも効
率よく，かつ迅速に行える。

【００２５】前記清掃作業等が終了した後，再び小型リ
フト２１によって架台１を持ち上げ，架台１下面の支持
脚取り付け部３から支持脚４を取り外した後，図８に示
したように，架台１を降下させ，支持脚取り付け部３で
架台１を支持させるようにして架台１を床面Ｆに置く。
その後図９に示したように，フレーム１１の所定の位置
にファンフィルタユニット３１を搭載する。ファンフィ
ルタユニット３１への配線，結線（通信線，動力線）等
もこのときに実施する。また天井全面にファンフィルタ
ユニットを設置するほどの高い清浄度を求める設備はそ
れほど多くなく，所望の清浄度に応じてファンフィルタ
ユニットを間引いて設置する。その場合，間引きされた
区画，すなわちフレーム１１においてファンフィルタユ
ニット３１を搭載しない区画については，ブランクパネ
ル３２を設置する。一方，室内の空気の一部を室内から
天井に循環させてダクトスペースを低減させる方式で
は，吸い込みユニットや高性能フィルタを載置する。

【００２６】ファンフィルタユニット３１の搭載，並び
にブランクパネル３２を取り付けた後，図１０に示した
ように，小型リフト２１を用いて，ファンフィルタユニ
ット３１搭載済みのフレーム１１を架台１ごと持ち上
げ，揚重機としてのリフタ４１を架台１下面の所定位置
にセットする。

【００２７】このリフタ４１は，基台部４２と，この基
台部４２上に設けられている，いわゆるパンタグラフ構
造などの伸縮自在な伸縮部４３と，伸縮部４３の上に設
けられているステージ４４とを有しており，伸縮部４３
の伸長により，ステージ４４上に支持している物体を揚
重することができる構成を有している。また基台部４２
の下面には，キャスタ４５が設けられており，任意の位
置にリフタ４１を移動させることが可能になっている。

【００２８】ステージ４４上には，図１１に示したよう
なスライド調整板５１を設けることが好ましい。このス
ライド調整板５１は，基板５２上に，ボール型のローラ
５３を回転自在に支持している支持部５４を複数有して
いる。そしてこのスライド調整板５１を図１２に示した
ように，例えばステージ４４上の四隅に設置する。この
状態で，ステージ４４を架台１下面の中心に移動させ
る。

【００２９】後は，その状態でリフタ４１の伸縮部４３
を伸長させて，ファンフィルタユニット３１搭載済みの
フレーム１１を架台１ごと持ち上げて，図１３に示した
ように，天井部Ｃの所定位置まで揚重する。次いで作業
員６１が高所作業車６２に乗って，フレーム１１に取り
付けた吊りボルト１４を天井部Ｃの所定の部材，例えば
ターンバックルを装着した吊りボルトに連結する作業を
行えばよい。したがって，これまでの一連の作業のなか
で，高所で行う作業はそのような吊りボルト１４の連結
作業だけであり，他の作業は全て地上で行える。

【００３０】なおフレーム１１を架台１ごと持ち上げ
て，天井部Ｃの所定位置まで揚重した場合，フレーム１
１の位置合わせの微調整が必要なときでも，スライド調
整板５１がステージ４４上に設けてあるので，作業員６
１がフレーム１１を手で動かしてかかる微調整を容易に
実施できる。

【００３１】そのようにしてフレーム１１を天井部Ｃの
所定の位置に取り付けた後は，リフタ４１の伸縮部４３
を収縮させて架台１を降ろし，小型リフト２１で持ち上
げた後，リフタ４１を移動させて架台１の下面から待避
させ，次いで小型リフト２１によって架台１を床面に降
ろして，支持脚取り付け部３で架台１を支持させる。な
お以上の工程では，クリーンルーム全域又はフレーム１
１の設置されるされる複数の区画で行われる。そこでリ
フタ４１又は小型リフト２１で次の施工位置まで架台１
を移動させることが好適である。これによって再び図２
に示したフレーム１１の組立作業が直ちに実施できる。

【００３２】以上のように，本実施の形態によれば，フ
レーム１１を架台１上で組み立て，さらに架台１に支持
されたフレーム１１にファンフィルタユニット３１を搭
載するようにし，リフタ４１による揚重もファンフィル
タユニット３１の搭載後のフレーム１１を架台１ごと行
うので，リフタ４１のステージ４４の大きさに左右され
ないサイズのフレーム１１を選択することができる。し
たがって，フレーム１１に搭載できるファンフィルタユ
ニット３１の台数を増加させることが可能である。

【００３３】また架台１には，予め支持脚取り付け部３
が取り付けてあり，さらにこの支持脚取り付け部３に対
して支持脚４が取り付け自在であるから，作業内容によ
って高さを変更することが可能で，地組作業での各種作
業の作業性が極めて良好である。また小型リフト２１の
昇降部２１ａを進入させて持ち上げることも容易であ
る。架台１自体はフレーム１１の対向する端部２辺を複
数箇所で支持する形態であるから，フレーム１１の下面
からの作業が可能で，かつフレームを安定して支持でき
る。

【００３４】さらにまた従来高所で行われていた，照明
器具の取り付け，各社配線，結線等も全て地組作業の中
で実施できるので，全体として従来よりも高所での作業
量が減少しており，工期の短縮化も図れる。

【００３５】

【発明の効果】本発明のファンフィルタユニットの設置
工法によれば，従来よりも作業性が良好でかつ工期の短
縮化が図れる。また本発明のリフタを使用すれば，ファ
ンフィルタユニット搭載済みのフレームを天井部に取り
付ける際の微調整が容易である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態にかかる設置工法において
使用した架台の斜視図である。

【図２】本発明の実施の形態にかかる設置工法の施工手
順を示し，床面に設置した架台上でフレームを組み立て
た様子を示す側面図である。

【図３】本発明の実施の形態にかかる設置工法において
使用したフレームの平面図である。

【図４】図３のフレームの縦フレーム材と横フレーム材
の斜視図である。

【図５】架台上載置されたのフレームの平面図である。

【図６】本発明の実施の形態にかかる設置工法の施工手
順を示し，小型リフトによってフレームを架台ごと持ち
上げた様子を示す側面図である。

【図７】本発明の実施の形態にかかる設置工法の施工手
順を示し，架台の下面に支持脚を取り付けて支持させた
様子を示す側面図である。

【図８】本発明の実施の形態にかかる設置工法の施工手
順を示し，照明器具を取り付けた後に支持脚を取り外し
て架台を床面に設置した様子を示す側面図である。

【図９】本発明の実施の形態にかかる設置工法の施工手
順を示し，架台上のフレームにファンフィルタユニット
を搭載した様子を示す側面図である。

【図１０】本発明の実施の形態にかかる設置工法の施工
手順を示し，小型リフトによって架台を持ち上げ，架台
下面の所定位置にリフタを移動させた様子を示す側面図
である。

【図１１】本発明の実施の形態にかかる設置工法におい
て使用したスライド調整板の斜視図である。

【図１２】リフタによって架台を揚重する際の，架台，
フレーム及びステージの平面図である。

【図１３】本発明の実施の形態にかかる設置工法の施工
手順を示し，フレームを揚重後，作業員が吊りボルトを
連結している様子を示す側面図である。

【符号の説明】

１ 架台 ３ 支持脚取り付け部 ４ 支持脚 １１ フレーム １２ 縦フレーム材 １３ 横フレーム材 １４ 吊りボルト ２１ 小型リフト ２１ａ 昇降部 ３１ ファンフィルタユニット ３２ ブランクパネル ４１ リフタ ４３ 伸縮部 ４４ ステージ ５１ スライド調整板 ５３ ローラ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3L058 BF01 BF09 BG00

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンルームの天井にファンフィルタ
   ユニットを搭載したフレームを取り付けてファンフィル
   タユニットを設置する工法であって，前記ファンフィル
   タユニットの載置面において格子状または短冊状に枠部
   材が組み合わされてなり，少なくとも前記フレームの対
   向する端部２辺がその載置面にほぼ納まるように構成さ
   れ，かつ床面との間に高さ方向に一部空隙を有する架台
   を，床面に設置する工程と，前記床面に設置した架台上
   でフレームを組み上げる工程と，前記フレームに吊りボ
   ルトを固定する工程と，前記フレーム上にファンフィル
   タユニットを搭載する工程と，昇降機で前記架台を持ち
   上げ，前記架台下面に揚重機をセットする工程と，前記
   揚重機によって前記フレームを架台ごとクリーンルーム
   の所定位置に揚重する工程と，前記クリーンルーム天井
   における所定の部材に前記吊りボルトを連結する工程と
   を有することを特徴とする，ファンフィルタユニットの
   設置工法。
2. 【請求項２】 クリーンルームの天井にファンフィルタ
   ユニットを搭載したフレームを取り付けてファンフィル
   タユニットを設置する工法であって，前記ファンフィル
   タユニットの載置面において少なくとも前記フレームの
   対向する端部２辺がその載置面にほぼ納まるように構成
   され，かつ床面との間に高さ方向に一部空隙を有する架
   台を床面に設置する工程と，前記床面に設置した架台上
   でフレームを組み上げる工程と，前記フレームに吊りボ
   ルトを固定する工程と，昇降機で前記架台ごとフレーム
   を持ち上げ，前記架台下面に支持脚を取り付ける工程
   と，その後前記支持脚で前記架台を支持させる工程と，
   前記フレームに照明器具を取り付け，電気配線を施す工
   程と，昇降機で前記架台ごとフレームを持ち上げ，前記
   架台下面の支持脚を取りはずし，前記架台を床面に設置
   する工程と，前記フレーム上にファンフィルタユニット
   を搭載する工程と，昇降機で前記架台を持ち上げ，前記
   架台下面に揚重機をセットする工程と，前記揚重機によ
   って前記フレームを前記架台ごとクリーンルームの所定
   位置に揚重する工程と，前記クリーンルーム天井におけ
   る所定の部材に前記吊りボルトを連結する工程とを有
   し，することを特徴とする，ファンフィルタユニットの
   設置工法。
3. 【請求項３】 照明器具を取り付け，電気配線を施す工
   程の後に少なくともフレーム又はフレームに取り付けた
   機器，部材等を清掃する工程を有することを特徴とす
   る，請求項２に記載のファンフィルタユニットの設置工
   法。
4. 【請求項４】 ファンフィルタユニットの搭載の前また
   は後に，前記フレームに少なくともブランクパネル，レ
   タンチャンバ又は高性能フィルタのいずれかを取り付け
   る工程を有することを特徴とする，請求項１，２又は３
   のいずれかに記載のファンフィルタユニットの設置工
   法。
5. 【請求項５】 前記架台は，格子状または短冊状に枠部
   材が組み合わされてなることを特徴とする，請求項２，
   ３又は４のいずれかに記載のファンフィルタユニットの
   設置工法。
6. 【請求項６】 請求項１，２，３，４又は５のいずれか
   に記載のファンフィルタユニットの設置工法に用いるた
   めの揚重機であって，昇降するステージ上に，揚重しよ
   うとする物体の下面に接触してこれを支持する回転自在
   な球体を有することを特徴とする，揚重機。