JPH0739254Y2 - レ−ザ−ビ−ム発振ユニツト - Google Patents
レ−ザ−ビ−ム発振ユニツトInfo
- Publication number
- JPH0739254Y2 JPH0739254Y2 JP1985002564U JP256485U JPH0739254Y2 JP H0739254 Y2 JPH0739254 Y2 JP H0739254Y2 JP 1985002564 U JP1985002564 U JP 1985002564U JP 256485 U JP256485 U JP 256485U JP H0739254 Y2 JPH0739254 Y2 JP H0739254Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- holder member
- oscillator
- block
- beam oscillator
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔考案の利用分野〕 本考案は、例えば、半導体ウエハーに回路パターンを焼
付けるために用いられるレテイクルやマスクなどの検査
対象物の表面に異物が付着しているか否かを検査を行う
異物検査装置のようなレーザービーム利用装置に装着さ
れるレーザービーム発振装置の改良に関する。
付けるために用いられるレテイクルやマスクなどの検査
対象物の表面に異物が付着しているか否かを検査を行う
異物検査装置のようなレーザービーム利用装置に装着さ
れるレーザービーム発振装置の改良に関する。
かかるレーザービーム利用装置に対するレーザービーム
発振装置の装着は、従来は、次のようにして行われてい
た。
発振装置の装着は、従来は、次のようにして行われてい
た。
即ち、第2図に示すように、レーザービーム利用装置側
に固定的に組付けられている円筒状装着部aの内部空間
内に、レーザービーム発振装置としてのレーザービーム
発振器本体bに挿入した後で、前記円筒状装着部aの長
手方向における2箇所の周囲に夫々複数個ずつ設けられ
た調節ネジc…を操作することにより、所定の方向dに
向かつてレーザービームeが発振されるように、前記レ
ーザービーム発振器本体bの円筒状装着部aに対する取
付け姿勢を調整する、という光軸合わせを行うようにし
ていた。
に固定的に組付けられている円筒状装着部aの内部空間
内に、レーザービーム発振装置としてのレーザービーム
発振器本体bに挿入した後で、前記円筒状装着部aの長
手方向における2箇所の周囲に夫々複数個ずつ設けられ
た調節ネジc…を操作することにより、所定の方向dに
向かつてレーザービームeが発振されるように、前記レ
ーザービーム発振器本体bの円筒状装着部aに対する取
付け姿勢を調整する、という光軸合わせを行うようにし
ていた。
ところで、かかるレーザービーム利用装置においては、
そのレーザービーム発振源であるレーザービーム発振器
本体bの消耗度が比較的激しいために、そのレーザービ
ーム発振器本体bを頻繁に交換する必要があるが、上記
従来手段による場合には、その交換の度に、そのレーザ
ービーム利用装置側において、いちいち上記したような
面倒な光軸合わせ作業を行わねばならないため、その装
着作業には多大な手数と時間を要するのみならず、その
光軸合わせ作業は非常に高度な技術を要するもので、と
てもユーザー側のみで対処できる性質のものでは無く、
従つて、その交換の度に専門の技術者を呼ばなければな
らず、この点からも時間およびコストの両面で効率が極
めて悪い、という問題があつた。
そのレーザービーム発振源であるレーザービーム発振器
本体bの消耗度が比較的激しいために、そのレーザービ
ーム発振器本体bを頻繁に交換する必要があるが、上記
従来手段による場合には、その交換の度に、そのレーザ
ービーム利用装置側において、いちいち上記したような
面倒な光軸合わせ作業を行わねばならないため、その装
着作業には多大な手数と時間を要するのみならず、その
光軸合わせ作業は非常に高度な技術を要するもので、と
てもユーザー側のみで対処できる性質のものでは無く、
従つて、その交換の度に専門の技術者を呼ばなければな
らず、この点からも時間およびコストの両面で効率が極
めて悪い、という問題があつた。
本考案は、かかる従来事情に鑑みてなされたものであつ
て、その目的は、レーザービーム発振源であるレーザー
ビーム発振器本体の交換作業を、たとえ専門の技術者で
なくても、容易にしかも短時間で効率的に行えるように
せんとすることにある。
て、その目的は、レーザービーム発振源であるレーザー
ビーム発振器本体の交換作業を、たとえ専門の技術者で
なくても、容易にしかも短時間で効率的に行えるように
せんとすることにある。
[考案の概要] 本考案の特徴は、レーザービーム発振器と、レーザービ
ーム発振器を格納するホルダー部材と、レーザービーム
発振器の軸心とホルダー部材の軸心が合致するようにレ
ーザービーム発振器をホルダー部材内部に保持する調節
ネジと、ホルダー部材に設けられた溝と、レーザービー
ム利用装置に固定されたブロックと、ブロックに設けら
れら溝を有し、ホルダー部材の溝をブロックの溝に嵌合
したときに、ホルダー部材の軸心がレーザービーム利用
装置に対し所定の方向を向くように、ブロックを配置し
たことにある。
ーム発振器を格納するホルダー部材と、レーザービーム
発振器の軸心とホルダー部材の軸心が合致するようにレ
ーザービーム発振器をホルダー部材内部に保持する調節
ネジと、ホルダー部材に設けられた溝と、レーザービー
ム利用装置に固定されたブロックと、ブロックに設けら
れら溝を有し、ホルダー部材の溝をブロックの溝に嵌合
したときに、ホルダー部材の軸心がレーザービーム利用
装置に対し所定の方向を向くように、ブロックを配置し
たことにある。
このように構成したことにより、一度、ブロックを適正
に配置すれば、その後、レーザービーム発振器を交換す
るときに、レーザービーム発振器の軸心とホルダー部材
の軸心を合致させれば、ホルダー部材をブロックに固定
したときに、自動的に、レーザービーム発振器の軸心が
レーザービーム利用装置に対し所望の方向を向くように
できる。
に配置すれば、その後、レーザービーム発振器を交換す
るときに、レーザービーム発振器の軸心とホルダー部材
の軸心を合致させれば、ホルダー部材をブロックに固定
したときに、自動的に、レーザービーム発振器の軸心が
レーザービーム利用装置に対し所望の方向を向くように
できる。
そのため、レーザービーム利用装置のレーザービーム発
振器を交換する際に、レーザービーム発振器の光軸合わ
せがきわめて簡単になり、光軸合わせのための複雑な技
術が必要なくなり、光軸合わせの手間と時間が短縮され
る。
振器を交換する際に、レーザービーム発振器の光軸合わ
せがきわめて簡単になり、光軸合わせのための複雑な技
術が必要なくなり、光軸合わせの手間と時間が短縮され
る。
以下、本考案に係るレーザービーム発振ユニツトの具体
的実施例を図面(第1図)に基づいて説明する。
的実施例を図面(第1図)に基づいて説明する。
第1図において実線で示されるAが本考案にかかるレー
ザービーム発振ユニツトであり、一方、想像線で示され
るBがレーザービーム利用装置側に設けられているレー
ザービーム発振ユニツト装着部である。
ザービーム発振ユニツトであり、一方、想像線で示され
るBがレーザービーム利用装置側に設けられているレー
ザービーム発振ユニツト装着部である。
前記レーザービーム発振ユニツトAは、円筒部材から成
るホルダー部材1と、そのホルダー部材1内に挿入装着
されるレーザービーム発振器本体2とから構成されるも
のであり、しかも、それらホルダー部材1とレーザービ
ーム発振器本体2とは、前記レーザービーム発振ユニツ
ト装着部Bに取り付けられる前に、予め、一体的に組付
けられていると共に、その組付け状態において一定の方
向に(この例では、ホルダー部材1の軸芯Pに一致する
ように)にレーザービーム3が発振されるように、前記
ホルダー部材1の長手方向における2箇所の周囲に夫々
複数個ずつ設けられた調節ネジ4…を操作することによ
り、前記レーザービーム発振器本体2のホルダー部材1
に対する組付け姿勢を調整固定してある。
るホルダー部材1と、そのホルダー部材1内に挿入装着
されるレーザービーム発振器本体2とから構成されるも
のであり、しかも、それらホルダー部材1とレーザービ
ーム発振器本体2とは、前記レーザービーム発振ユニツ
ト装着部Bに取り付けられる前に、予め、一体的に組付
けられていると共に、その組付け状態において一定の方
向に(この例では、ホルダー部材1の軸芯Pに一致する
ように)にレーザービーム3が発振されるように、前記
ホルダー部材1の長手方向における2箇所の周囲に夫々
複数個ずつ設けられた調節ネジ4…を操作することによ
り、前記レーザービーム発振器本体2のホルダー部材1
に対する組付け姿勢を調整固定してある。
そして、前記円筒部材から成るホルダー部材1は、その
外周部の長手方向における2箇所、即ち、前記レーザー
ビーム利用装置側の装着部Bに支持される箇所に、形状
および寸法ならびに製作精度が一定に規格化された凹溝
5,5を備えており、任意のレーザービーム利用装置に対
して互換性を有するものに構成されている。
外周部の長手方向における2箇所、即ち、前記レーザー
ビーム利用装置側の装着部Bに支持される箇所に、形状
および寸法ならびに製作精度が一定に規格化された凹溝
5,5を備えており、任意のレーザービーム利用装置に対
して互換性を有するものに構成されている。
なお、前記レーザービーム利用装置側の装着部Bは、前
記レーザービーム発振ユニツト1における前記凹溝5,5
に適合する上下および前後夫々の一対のVブロツク6…
と、その上下Vブロツク6,6同士を前記レーザービーム
発振ユニツト1を挟持する状態で互いに固定するための
ボルト7…から構成されている。
記レーザービーム発振ユニツト1における前記凹溝5,5
に適合する上下および前後夫々の一対のVブロツク6…
と、その上下Vブロツク6,6同士を前記レーザービーム
発振ユニツト1を挟持する状態で互いに固定するための
ボルト7…から構成されている。
[考案の効果] 以上説明したように、本考案によれば、レーザービーム
利用装置のレーザービーム発振器を交換する際に、レー
ザービーム発振器の光軸合わせがきわめて簡単になり、
光軸合わせのための複雑な技術が必要なくなり、光軸合
わせの手間と時間が短縮される、という効果が得られ
る。
利用装置のレーザービーム発振器を交換する際に、レー
ザービーム発振器の光軸合わせがきわめて簡単になり、
光軸合わせのための複雑な技術が必要なくなり、光軸合
わせの手間と時間が短縮される、という効果が得られ
る。
第1図は本考案方法に係るレーザービーム発振ユニツト
の具体的実施例を示す斜視図である。 また、第2図は従来技術を説明するための斜視図であ
る。 1……ホルダー部材、2……レーザービーム発振器本
体、3……レーザービーム、5……凹溝、A……レーザ
ービーム発振ユニツト、B……レーザービーム利用装置
側の装着部。
の具体的実施例を示す斜視図である。 また、第2図は従来技術を説明するための斜視図であ
る。 1……ホルダー部材、2……レーザービーム発振器本
体、3……レーザービーム、5……凹溝、A……レーザ
ービーム発振ユニツト、B……レーザービーム利用装置
側の装着部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 大槻 久仁夫 京都府京都市南区吉祥院宮の東町2番地 株式会社堀場製作所内 (56)参考文献 特開 昭53−132294(JP,A) 実開 昭59−68305(JP,U)
Claims (1)
- 【請求項1】レーザービーム発振器と、前記レーザービ
ーム発振器を格納するホルダー部材と、前記レーザービ
ーム発振器の軸心と前記ホルダー部材の軸心が合致する
ように前記レーザービーム発振器を前記ホルダー部材内
部に保持する調節ネジと、前記ホルダー部材に設けられ
た溝と、レーザービーム利用装置に固定されたブロック
と、前記ブロックに設けられた溝を有し、前記ホルダー
部材の溝を前記ブロックの溝に嵌合したときに、前記ホ
ルダー部材の軸心がレーザービーム利用装置に対し所定
の方向を向くように、前記ブロックを配置したことを特
徴とするレーザービーム発振ユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985002564U JPH0739254Y2 (ja) | 1985-01-11 | 1985-01-11 | レ−ザ−ビ−ム発振ユニツト |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985002564U JPH0739254Y2 (ja) | 1985-01-11 | 1985-01-11 | レ−ザ−ビ−ム発振ユニツト |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61119373U JPS61119373U (ja) | 1986-07-28 |
JPH0739254Y2 true JPH0739254Y2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=30476360
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1985002564U Expired - Lifetime JPH0739254Y2 (ja) | 1985-01-11 | 1985-01-11 | レ−ザ−ビ−ム発振ユニツト |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0739254Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL7704397A (nl) * | 1977-04-22 | 1978-10-24 | Philips Nv | Gasontladingslaserinrichting. |
JPS5968305U (ja) * | 1982-10-29 | 1984-05-09 | 富士ゼロックス株式会社 | レ−ザチユ−ブの位置決め装置 |
-
1985
- 1985-01-11 JP JP1985002564U patent/JPH0739254Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS61119373U (ja) | 1986-07-28 |
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