JPH0735950U - 液体瞬間加熱用容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】容器内の液体の加熱時間を増大し、気泡溜まり
を発生させず、ヒータ熱を有効に利用して昇温時間を短
縮し、均一な温度調節を行える液体瞬間加熱用容器を提
供する。 【構成】容器本体１は一端側に収束するテーパを有する
円錐台形状に形成されており、他端側には液の入口２及
び出口３が設けられている。更に、容器本体１には一端
から他端まで貫通する４本の円筒管４が一体的に設けら
れており、円筒管４内には加熱用ヒータとしてのハロゲ
ンランプ５が夫々挿入されて固定板６及び７により両端
を支持されている。容器本体１の内部空間は中板８によ
り、容器本体１の一端近傍の連通部９で連通する二つの
部屋１０及び１１に仕切られており、中板８も傾斜がつ
けられている。容器本体１の外周は鏡面を有する反射板
１２で覆われており、容器本体１の両端側に位置する固
定板６及び７も反射板として形成されている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は液体瞬間加熱用容器に関し、特に、例えば半導体製造行程、液晶基板 製造行程、電子部品製造行程等の精密洗浄あるいは一般洗浄において洗浄装置又 はウエットエッチング装置等に使用される洗浄用純水や各種エッチング薬液等の 液体を加熱及び温度調整しながら供給する容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】

例えば近年の半導体製造行程において、半導体回路の集積度が高まるにつれて 、ドーパン元素、重金属元素、エッチングや洗浄液の成分元素、有機汚染物、パ ーティクル等の汚染物を除去するための洗浄技術の重要度も増している。

【０００３】 代表的な洗浄行程は、イニシャル洗浄、酸化前洗浄、拡散前洗浄、膜付前洗浄 、レジスト剥離洗浄等であり、行程によって除去すべき内容も多少異なるが、洗 浄水は初期に利用されていたイオン交換水から超純水と呼ばれる理論値に近い水 が利用されるようになり、良品率の向上と細分化に貢献している。

【０００４】 又、最近ではバクテリアの死骸や材料から出るイオン性の汚染さえも問題視さ れる様になったので、洗浄水に直接接触する洗浄装置の材料として、汚染物をほ とんど含まない透明な石英硝子の使用が進められいる。

【０００５】 このような洗浄行程において、洗浄水を加熱して温水にすると洗浄効果が大き く増大する。例えば純水の温度が３０℃から５０℃に昇温すると汚染物の溶解度 は３倍近くに増大することが知られている。このため、洗浄水は石英硝子で覆わ れた洗浄槽に投入された専用のヒータで加熱、温度調整されることが多い。

【０００６】 又、洗浄水に限らず、例えば選択拡散用の開口部の形成やコンタクトホールの 形成等のために実施するＳｉＯ₂エッチングにおいて、ＨＦとＮＨ₄ＦとＨ₂Ｏの 混合物からなるエッチング薬液が使用されるが、かかる薬液も洗浄水加熱用ヒー タと同様のヒータによって最適温度に加熱される。

【０００７】 最近では、処理槽にヒータを直接投入し加熱することは、ヒータが割れた場合 に被洗浄及びエッチング物にヒータの金属質汚染による悪影響が考えられるので 、別槽で加熱させて処理槽に供給させる方法が考えられてきた。しかしながら、 処理槽にヒータを直接投入して加熱するのと同様、昇温時間がかかる問題と、処 理槽内の液温が下がってしまい温度調節が困難という問題があり、幅広く浸透す るまでには至らなかった。

【０００８】 そこで、かかる洗浄行程において、洗浄、エッチング液を処理槽以外で加熱さ せて供給し更に循環してやれば、連続的に加熱させる時の液温が高い状態になる ので、昇温時間も短縮できると共に処理槽内の液温も一定温度に調節できるのと 、加熱方法においても直接液に触れないで間接的に加熱するハロゲンランプによ る方法がヒータの金属質汚染の影響を受けないこととが知られており、最近、よ うやく使われ始め出した。

【０００９】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、この技術においても、液が連続的に流れているので加熱部で液 の入出時間が短いと昇温能力も小さく昇温時間もかかるという問題と、純水や過 酸化水素又は濃度の薄い薬液等の液を加熱させる場合、沸騰して加熱部で気泡溜 まりが生じ、液の流れが悪くなって一定しない、液温を正確に検出し得ず温度調 節が難しい、又、その気泡が処理槽内に押し出されて被洗浄及びエッチング物に 当たると均一な処理がなされない等の問題点がある。

【００１０】 本考案の目的は、容器内の液体の加熱時間を増大し、気泡溜まりを発生させず 、ヒータ熱を有効に利用して昇温時間を短縮し、均一な温度調節を行える液体瞬 間加熱用容器を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】

本考案によれば、前述の目的は、液体を収容すると共に該液体を通過させるべ く入口及び出口を有する石英硝子製の密閉容器本体と、一部分で互いに連通する 二つの部屋を画定すべく容器本体の内部空間を仕切る中板と、液体が二つの部屋 を通過する間に加熱されるようにヒータを収容すべく容器本体と一体的に形成さ れた石英硝子製の管とを備えている液体瞬間加熱用容器によって達成される。

【００１２】

【作用】

本考案の液体瞬間加熱用容器によれば、中板が容器本体の内部空間を仕切って 一部分で互いに連通する二つの部屋を画定している。従って、液体が容器本体内 を通過する距離を容器本体の全長のほぼ２倍に延長し得、液体が容器本体内を循 環してヒータにより加熱される時間を増大し得る。

【００１３】 本考案による容器の好ましい特徴によれば、容器本体及び中板は気泡溜まりが 生じないようにテーパがつけられているのがよい。これにより、中心軸が水平に なるように容器本体を配置した場合、加熱中に発生する気泡あるいは外部から液 体と一緒に導入された気泡を容器本体及び中板のテーパに沿って出口の方へ案内 し得、加熱効率及び均一な温度上昇を阻害する気泡溜まりを防止し得る。

【００１４】 本考案による容器の他の好ましい特徴によれば、ヒータの熱が外部に放出する のを防止すべく容器本体の外周に反射板が設けられているのがよい。これにより 、ヒータの熱を反射し、ほぼ全ての熱量を循環する液体に与えて昇温時間を短縮 し得る。

【００１５】 本考案による容器の更に他の好ましい他の特徴によれば、ヒータは、二つの部 屋において夫々液体の予備加熱と温度調節とを同時に行うように構成されている のがよい。これにより、二つの部屋を互いに独立して個別に加熱し得、微妙な温 度調節を容易かつ正確に行い得る。

【００１６】

【実施例】

以下、本考案を図面に示す好ましい実施例を用いて詳述する。

【００１７】 図１は液体瞬間加熱用容器の縦断面を、図２は、図１のII−II線における断面 を示している。

【００１８】 容器本体１は一端側に収束するテーパを有する円錐台形状に形成されており、 他端側には液体の入口２及び出口３が設けられている。更に、容器本体１には一 端から他端まで貫通する円筒管４が一体的に設けられており、各円筒管４内には 加熱用ヒータとしてのハロゲンランプ５が挿入されて固定板６及び７により両端 を支持されている。尚、円筒管４の数は仕様、用途等に応じて任意に決定される 。容器本体１の内部空間は中板８により、容器本体１の一端近傍の連通部９で連 通する二つの部屋１０及び１１に仕切られており、中板８も傾斜がつけられてい る。容器本体１の外周は鏡面を有する反射板１２で覆われており、容器本体１の 両端側に位置する固定板６及び７も反射板として形成されている。

【００１９】 容器本体１は使用時、図１に示すように中心軸が地面に対して水平をなすよ うに配置される。入口２から導入された液体は、二つの部屋の一方１０、連通部 ９及び他方１１を通って循環され、出口３から排出される。従って、通過距離を 延ばして液体が容器本体内を循環する時間を増大し得る。この液体は容器本体内 を循環する間にハロゲンランプ５に直接接触することなく波長加熱される。しか も、二つの部屋の一方１０を連続加熱する部屋とすると共に他方１１を温度調節 する部屋として個別に加熱させることにより、温度調節の際、全てのヒータを入 切する必要がなくなり微妙な温度調節ができる。

【００２０】 容器本体１は水平に配置されているため、加熱中に発生した、あるいは外部か ら液体と一緒に導入された気泡は容器本体のテーパ面及び傾斜中板８に沿って出 口３の方へ案内されて排出が促され、加熱効率及び均一な温度上昇を阻害する気 泡溜まりが発生するのを防止し得る。

【００２１】 又、反射板１２及び固定板６、７によりハロゲンランプ５の熱を放出すること なく反射し、ほぼ全ての熱量を液体に与えて昇温時間を短縮し得る。

【００２２】 容器本体１内の洗浄を行う際は、出口３から純水等の液や清浄な空気を流し込 み、入口２から排出する。図３に示すように中板８の根元に穴１３を設けること により、液溜まりを生じることなく洗浄を行い得る。

【００２３】

【考案の効果】

本考案の液体瞬間加熱用容器によれば、液体が容器本体内を循環してヒータに より加熱される時間を増大し得、加熱効率及び均一な温度上昇を阻害する気泡溜 まりを防止し得、ほぼ全ての熱量を循環する液体に与えて昇温時間を短縮し得、 微妙な温度調節を容易かつ正確に行い得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例の縦断面図である。

【図２】図１のII−II線における断面図である。

【図３】中板の部分図である。

【符号の説明】

１ 容器本体 ２ 入口 ３ 出口 ４ 円筒管 ５ ハロゲンランプ ６、７ 固定板 ８ 中板 ９ 連通部 １０、１１ 部屋 １２ 反射板 １３ 穴

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 液体を収容すると共に該液体を通過させ
   るべく入口及び出口を有する石英硝子製の密閉容器本体
   と、一部分で互いに連通する二つの部屋を画定すべく前
   記容器本体の内部空間を仕切る中板と、液体が前記二つ
   の部屋を通過する間に加熱されるようにヒータを収容す
   べく前記容器本体と一体的に形成された石英硝子製の管
   とを備えている液体瞬間加熱用容器。
2. 【請求項２】 前記容器本体及び前記中板は気泡溜まり
   が生じないようにテーパがつけられている請求項１に記
   載の液体瞬間加熱用容器。
3. 【請求項３】 前記ヒータの熱が外部に放出するのを防
   止すべく前記容器本体の外周に反射板が設けられている
   請求項１又は２に記載の液体瞬間加熱用容器。
4. 【請求項４】 前記ヒータは、前記二つの部屋において
   夫々液体の予備加熱と温度調節とを同時に行うように構
   成されている請求項１から３のいずれか一項に記載の液
   体瞬間加熱用容器。