JP2000227253A - 流体加熱装置 - Google Patents
流体加熱装置Info
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- JP2000227253A JP2000227253A JP11027259A JP2725999A JP2000227253A JP 2000227253 A JP2000227253 A JP 2000227253A JP 11027259 A JP11027259 A JP 11027259A JP 2725999 A JP2725999 A JP 2725999A JP 2000227253 A JP2000227253 A JP 2000227253A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 石英二重管構造の流体加熱装置において、流
体の滞留部ができない構造とすることである。 【解決手段】 石英ガラス製の筒体Ａ1の円筒形筒部１
０内には、３個の石英ガラス製の管体１７，１８，２１
が挿入配置されている。これら管体の夫々には、図示し
ていないハロゲンランプが挿入配置される。上記筒体Ａ
1には、流体流入口１５を有する流入パイプ１５ａ及び
流体流出口１６を有する流出パイプ１６ａが取り付けら
れている。この場合、流入パイプ１５ａは筒体Ａ1の軸
方向に交叉して傾けて取り付ける。これにより流入パイ
プ１５ａを介して流入する流体は筒体Ａ1の筒部１０の
内壁に沿って回転して流れるので、滞留することがなく
なる。
体の滞留部ができない構造とすることである。 【解決手段】 石英ガラス製の筒体Ａ1の円筒形筒部１
０内には、３個の石英ガラス製の管体１７，１８，２１
が挿入配置されている。これら管体の夫々には、図示し
ていないハロゲンランプが挿入配置される。上記筒体Ａ
1には、流体流入口１５を有する流入パイプ１５ａ及び
流体流出口１６を有する流出パイプ１６ａが取り付けら
れている。この場合、流入パイプ１５ａは筒体Ａ1の軸
方向に交叉して傾けて取り付ける。これにより流入パイ
プ１５ａを介して流入する流体は筒体Ａ1の筒部１０の
内壁に沿って回転して流れるので、滞留することがなく
なる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造設備等
における純水等の洗浄液、エッチング液、フォトレジス
トの剥離液等の流体を加熱するのに好適な流体加熱装置
に係り、特に半導体生産設備の中で半導体ウエハー洗浄
装置を構成する薬液加熱装置（インラインヒーター）の
主要部品をなす石英二重管構造の流体加熱装置の改良に
関する。
における純水等の洗浄液、エッチング液、フォトレジス
トの剥離液等の流体を加熱するのに好適な流体加熱装置
に係り、特に半導体生産設備の中で半導体ウエハー洗浄
装置を構成する薬液加熱装置（インラインヒーター）の
主要部品をなす石英二重管構造の流体加熱装置の改良に
関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体のチップを生産する工程に、シリ
コンウエハーを洗浄する工程がある。洗浄液には純水の
ほかに燐酸や硫酸その他の強腐食性の薬液が使われるた
め、また半導体が汚染を極端に嫌うため、洗浄装置はふ
っ素樹脂や石英ガラスを材料とした部品によって作られ
ている。
コンウエハーを洗浄する工程がある。洗浄液には純水の
ほかに燐酸や硫酸その他の強腐食性の薬液が使われるた
め、また半導体が汚染を極端に嫌うため、洗浄装置はふ
っ素樹脂や石英ガラスを材料とした部品によって作られ
ている。
【０００３】インラインヒーターは、薬液を洗浄処理に
必要な温度に加熱する装置で、薬液はウエハー洗浄処理
槽からポンプを介してインラインヒーターに供給され
る。インラインヒーター内には薬液を加熱するためのコ
イル状ヒーターやハロゲンランプなどが設置されてい
る。薬液はインラインヒーターを通過する数秒〜十数秒
の間に加熱されて処理槽に返され、何度も循環するうち
に設定温度まで達し、一定に保たれる。
必要な温度に加熱する装置で、薬液はウエハー洗浄処理
槽からポンプを介してインラインヒーターに供給され
る。インラインヒーター内には薬液を加熱するためのコ
イル状ヒーターやハロゲンランプなどが設置されてい
る。薬液はインラインヒーターを通過する数秒〜十数秒
の間に加熱されて処理槽に返され、何度も循環するうち
に設定温度まで達し、一定に保たれる。
【０００４】ここで石英二重管はハロゲンランプ加熱方
式のインラインヒーターに用いられる。ハロゲンランプ
は薬液の通路の外側に置かれ、加熱容器の壁を通して薬
液を加熱するために、特に光（色温度約２５００Ｋ）の
透過性の良い石英ガラスが用いられる。
式のインラインヒーターに用いられる。ハロゲンランプ
は薬液の通路の外側に置かれ、加熱容器の壁を通して薬
液を加熱するために、特に光（色温度約２５００Ｋ）の
透過性の良い石英ガラスが用いられる。
【０００５】図４及び図５は従来の石英二重管構造の流
体加熱装置の一例を示す。同図において、Ａ1は石英ガ
ラス製の筒体、１０は筒体を形成している円筒形筒部、
１１，１２は筒部の長手方向の両端を閉成している端面
板部である。筒体Ａ1内には、一方の端面板部１１から
他方の端面板部１２に向けて張り出して筒室を上下２つ
の分室ａ1，ａ2に区画すると共に一方の端面板部１２と
の間に両分室ａ1，ａ2を連通する開口部１３を残すよう
にした石英ガラス製の仕切板部材１４が設けられてい
る。
体加熱装置の一例を示す。同図において、Ａ1は石英ガ
ラス製の筒体、１０は筒体を形成している円筒形筒部、
１１，１２は筒部の長手方向の両端を閉成している端面
板部である。筒体Ａ1内には、一方の端面板部１１から
他方の端面板部１２に向けて張り出して筒室を上下２つ
の分室ａ1，ａ2に区画すると共に一方の端面板部１２と
の間に両分室ａ1，ａ2を連通する開口部１３を残すよう
にした石英ガラス製の仕切板部材１４が設けられてい
る。
【０００６】前記分室ａ1，ａ2を形成している筒体Ａ1
には、仕切板部材１４の開口部１３のない端面板部１１
側で流体流入口１５を有する流入パイプ１５ａ、流体流
出口１６を有する流出パイプ１６ａがそれぞれ取り付け
られている。
には、仕切板部材１４の開口部１３のない端面板部１１
側で流体流入口１５を有する流入パイプ１５ａ、流体流
出口１６を有する流出パイプ１６ａがそれぞれ取り付け
られている。
【０００７】前記各分室ａ1，ａ2には、流体の流入口・
流出口のある側の端面板部１１を貫通して他方の端面板
部１２に達するように挿入した石英ガラス製の管体１
７，１８がそれぞれ配設され、各管体内にハロゲンラン
プ１９，２０が挿入されている。１９ａ，２０ａはハロ
ゲンランプの前記流体流入口・流出口側のみに設けた電
極リードである。
流出口のある側の端面板部１１を貫通して他方の端面板
部１２に達するように挿入した石英ガラス製の管体１
７，１８がそれぞれ配設され、各管体内にハロゲンラン
プ１９，２０が挿入されている。１９ａ，２０ａはハロ
ゲンランプの前記流体流入口・流出口側のみに設けた電
極リードである。
【０００８】上記構成の流体加熱装置にあっては、筒体
Ａ1に形成された下側の分室ａ1の流体流入口１５から送
り込まれた流体は、まず分室ａ1の長手方向に流れる間
にハロゲンランプ１９の輻射熱により加熱され、さらに
開口部１３から上側の分室ａ 2に入り、Ｕターンして長
手方向に流れる間にハロゲンランプ２０の輻射熱により
再び加熱され、流出口１６より筒体の外に送り出され
る。
Ａ1に形成された下側の分室ａ1の流体流入口１５から送
り込まれた流体は、まず分室ａ1の長手方向に流れる間
にハロゲンランプ１９の輻射熱により加熱され、さらに
開口部１３から上側の分室ａ 2に入り、Ｕターンして長
手方向に流れる間にハロゲンランプ２０の輻射熱により
再び加熱され、流出口１６より筒体の外に送り出され
る。
【０００９】さて上述した構成の流体加熱装置では、２
個の石英ガラス製の管体１７，１８は仕切板部材１４で
仕切られているので、流体は筒部１０の中をまんべんな
く流れ、筒部１０内の流体の流れは均一で、流体が滞流
する部分ができることはない。
個の石英ガラス製の管体１７，１８は仕切板部材１４で
仕切られているので、流体は筒部１０の中をまんべんな
く流れ、筒部１０内の流体の流れは均一で、流体が滞流
する部分ができることはない。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかるに図６及び図７
に示すように、石英ガラス製の管体を３個（１７，１
８，２１）用いる流体加熱装置では、これが問題とな
る。即ち、管体が３個あっても石英ガラス製の仕切板部
材で各管体間を仕切ることはできるが、石英の材料は融
点が高く加工が困難なため、コストが高くなり実用的で
はないので、上記仕切板部材は用いない。このように仕
切板部材を用いないと、筒部１０の手前から流体が流入
して奥から流体を出す方式となる。この場合、筒部１０
の手前の上部Ｐ 1に流体の滞留部ができやすくなる。な
お、筒体１０の奥下部Ｐ2は流れの主流から外れるが流
出口１６に近いため流出パイプ１６ａに向かう緩やかな
流体の流れができる。
に示すように、石英ガラス製の管体を３個（１７，１
８，２１）用いる流体加熱装置では、これが問題とな
る。即ち、管体が３個あっても石英ガラス製の仕切板部
材で各管体間を仕切ることはできるが、石英の材料は融
点が高く加工が困難なため、コストが高くなり実用的で
はないので、上記仕切板部材は用いない。このように仕
切板部材を用いないと、筒部１０の手前から流体が流入
して奥から流体を出す方式となる。この場合、筒部１０
の手前の上部Ｐ 1に流体の滞留部ができやすくなる。な
お、筒体１０の奥下部Ｐ2は流れの主流から外れるが流
出口１６に近いため流出パイプ１６ａに向かう緩やかな
流体の流れができる。
【００１１】このように流体の滞留部ができると、部分
的に流体温度が高くなり、熱効率に悪影響を及ぼし、悪
くすると、流体が突沸する危険性がある。
的に流体温度が高くなり、熱効率に悪影響を及ぼし、悪
くすると、流体が突沸する危険性がある。
【００１２】本発明の目的はかかる従来技術の問題点を
改良するため、筒部内の流体が渦を作って流れるように
して、流体の混合効果を上げて流体の滞留する部分を無
くするようにした流体加熱装置を提供することにある。
改良するため、筒部内の流体が渦を作って流れるように
して、流体の混合効果を上げて流体の滞留する部分を無
くするようにした流体加熱装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、流体の流入口および流出口を設けた石英
ガラス製の筒体の内部に、石英ガラス製の管体を挿入配
置し、上記管体内にハロゲンランプを挿入配置してなる
流体加熱装置において、上記流入口に接続する流体の流
入パイプを、上記筒体の軸方向に交叉して該筒体の放射
方向に対し傾けて支持したことを要旨とする。
め、本発明は、流体の流入口および流出口を設けた石英
ガラス製の筒体の内部に、石英ガラス製の管体を挿入配
置し、上記管体内にハロゲンランプを挿入配置してなる
流体加熱装置において、上記流入口に接続する流体の流
入パイプを、上記筒体の軸方向に交叉して該筒体の放射
方向に対し傾けて支持したことを要旨とする。
【００１４】本発明の流体加熱装置において、前記管体
は少なくとも３個前記筒体内に挿入配置してもよい。
は少なくとも３個前記筒体内に挿入配置してもよい。
【００１５】或いは、上記何れかの発明の装置におい
て、前記流入パイプを、前記筒体の軸方向に直交する方
向でかつ該筒体の接線方向に向けて前記筒体に取り付け
てもよい。
て、前記流入パイプを、前記筒体の軸方向に直交する方
向でかつ該筒体の接線方向に向けて前記筒体に取り付け
てもよい。
【００１６】また本発明の各装置において、前記流入パ
イプは前記筒体の先端部に取り付けられ、かつ折り返し
て筒体の後端部まで延長してもよい。更に本発明の各装
置において、前記流入パイプは前記筒体の後端部に取り
付けられ、前記流出口には流体の流出パイプが接続さ
れ、該流出パイプは前記筒体の先端部に取り付けられ、
かつ折り返して筒体の後端部まで延長してもよい。
イプは前記筒体の先端部に取り付けられ、かつ折り返し
て筒体の後端部まで延長してもよい。更に本発明の各装
置において、前記流入パイプは前記筒体の後端部に取り
付けられ、前記流出口には流体の流出パイプが接続さ
れ、該流出パイプは前記筒体の先端部に取り付けられ、
かつ折り返して筒体の後端部まで延長してもよい。
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明においては、前述した流体
加熱装置において、流体が前記筒部の内壁に沿って回転
するようにして流入口上部に流体の滞留部ができないよ
うにする。そのため、本発明の装置は、上記流入口に接
続する流体の流入パイプを、上記筒体の軸方向に交叉し
て傾けて支持することを特徴としている。
加熱装置において、流体が前記筒部の内壁に沿って回転
するようにして流入口上部に流体の滞留部ができないよ
うにする。そのため、本発明の装置は、上記流入口に接
続する流体の流入パイプを、上記筒体の軸方向に交叉し
て傾けて支持することを特徴としている。
【００１８】
【実施例】図１，図２及び図３は本発明の流体加熱装置
の一実施例を示す。同図において、Ａ1は石英ガラス製
の筒体、１０は該筒体を形成している円筒形筒部、１１
及び１２は夫々該筒部の長手方向の両端を閉成している
端面板部である。筒体Ａ1の流入口１０ａ及び流出口１
０ｂには、端面板部１１側で流体流入口１５を有する流
入パイプ１５ａ、流体流出口１６を有する流出パイプ１
６ａが夫々取り付けられている。
の一実施例を示す。同図において、Ａ1は石英ガラス製
の筒体、１０は該筒体を形成している円筒形筒部、１１
及び１２は夫々該筒部の長手方向の両端を閉成している
端面板部である。筒体Ａ1の流入口１０ａ及び流出口１
０ｂには、端面板部１１側で流体流入口１５を有する流
入パイプ１５ａ、流体流出口１６を有する流出パイプ１
６ａが夫々取り付けられている。
【００１９】前記筒部１０には、流入パイプの流入口、
流出パイプの流出口のある側の端面板部１１を貫通して
他方の端面板部１２に達するように挿入した石英ガラス
製の３個の管体１７，１８，２１が夫々配設され、各管
体内には図示していないハロゲンランプが挿入配置され
ている。
流出パイプの流出口のある側の端面板部１１を貫通して
他方の端面板部１２に達するように挿入した石英ガラス
製の３個の管体１７，１８，２１が夫々配設され、各管
体内には図示していないハロゲンランプが挿入配置され
ている。
【００２０】而して本発明の装置においては、流体流入
口１５を有する流入パイプ１５ａが図２，３に示すよう
に筒体Ａ1の軸方向ｘに対して交叉して傾けて支持され
ている。これは、例えば、上記流入パイプ１５ａを、筒
体Ａ1の軸方向に直交する方向でかつ該筒体Ａ1の接線方
向に傾けて筒体Ａ1に取り付ける構造としてもよいが、
かかる構造に限定されるものではない。要するに流入パ
イプ１５ａを介して流入する流体が筒体Ａ1の内壁に沿
って回転するような流れとなるように流入パイプ１５ａ
を筒体Ａ1に取り付ける構造とすればよい。
口１５を有する流入パイプ１５ａが図２，３に示すよう
に筒体Ａ1の軸方向ｘに対して交叉して傾けて支持され
ている。これは、例えば、上記流入パイプ１５ａを、筒
体Ａ1の軸方向に直交する方向でかつ該筒体Ａ1の接線方
向に傾けて筒体Ａ1に取り付ける構造としてもよいが、
かかる構造に限定されるものではない。要するに流入パ
イプ１５ａを介して流入する流体が筒体Ａ1の内壁に沿
って回転するような流れとなるように流入パイプ１５ａ
を筒体Ａ1に取り付ける構造とすればよい。
【００２１】また、ハロゲンランプが挿入配置される石
英ガラス製の管体１７，１８，２１の３個を筒体Ａ1内
に設けるが、仕切板部材で各管体間を仕切らなくても流
体は渦を作るように流れて混合されるので、流体の滞留
部ができることはない。なお、筒体先端部に取り付けた
流入パイプ１５ａ又は流出パイプ１６ａを折り返し、筒
体後端部まで延長するようにしてもよい。
英ガラス製の管体１７，１８，２１の３個を筒体Ａ1内
に設けるが、仕切板部材で各管体間を仕切らなくても流
体は渦を作るように流れて混合されるので、流体の滞留
部ができることはない。なお、筒体先端部に取り付けた
流入パイプ１５ａ又は流出パイプ１６ａを折り返し、筒
体後端部まで延長するようにしてもよい。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、石
英ガラス製の管体を３個以上筒体内に挿入配置しても、
仕切板部材で各管体を仕切る必要なく、流体の滞留部の
生成を防止できるので、熱効率が向上し、流体の突沸の
危険もなく、しかも安価である。
英ガラス製の管体を３個以上筒体内に挿入配置しても、
仕切板部材で各管体を仕切る必要なく、流体の滞留部の
生成を防止できるので、熱効率が向上し、流体の突沸の
危険もなく、しかも安価である。
【図１】本発明の一実施例の流体加熱装置の断面図であ
る。
る。
【図２】図１の装置の正面図である。
【図３】図１の装置の側面図である。
【図４】従来の流体加熱装置の一例を示す断面図であ
る。
る。
【図５】図４の装置の正面図である。
【図６】従来の流体加熱装置の他の例を示す断面図であ
る。
る。
【図７】図６の装置の正面図である。
Ａ1 流体加熱装置を構成している筒体 １０ 筒体の円筒形筒部 １１，１２ 筒体の両端面板部 ａ1 ，ａ2 分室 １３ 開口部 １４ 仕切板部材 １５ 流体流入口 １５ａ 流入パイプ １６ 流体流出口 １６ａ 流出パイプ １７，１８ 管体 １７ａ，１８ａ 管体の端壁部 １９，２０ ハロゲンランプ １９ａ，２０ａ 電極リード
Claims (5)
- 【請求項１】 流体の流入口および流出口を設けた石英
ガラス製の筒体の内部に、石英ガラス製の管体を挿入配
置し、上記管体内にハロゲンランプを挿入配置してなる
流体加熱装置において、上記流入口に接続する流体の流
入パイプを、上記筒体の軸方向に交叉して該筒体の放射
方向に対し傾けて支持したことを特徴とする流体加熱装
置。 - 【請求項２】 前記管体は少なくとも３個前記筒体内に
挿入配置したことを特徴とする請求項１記載の流体加熱
装置。 - 【請求項３】 前記流入パイプを、前記筒体の軸方向に
直交する方向でかつ該筒体の接線方向に向けて前記筒体
に取り付けたことを特徴とする請求項１又は２に記載の
流体加熱装置。 - 【請求項４】 前記流入パイプは前記筒体の先端部に取
り付けられ、かつ折り返して筒体の後端部まで延長した
ことを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の流体
加熱装置。 - 【請求項５】 前記流入パイプは、前記筒体の後端部に
取り付けられ、前記流出口には流体の流出パイプが接続
され、該流出パイプは前記筒体の先端部に取り付けら
れ、かつ折り返して筒体の後端部まで延長したことを特
徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の流体加熱装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11027259A JP2000227253A (ja) | 1999-02-04 | 1999-02-04 | 流体加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11027259A JP2000227253A (ja) | 1999-02-04 | 1999-02-04 | 流体加熱装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000227253A true JP2000227253A (ja) | 2000-08-15 |
Family
ID=12216090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11027259A Pending JP2000227253A (ja) | 1999-02-04 | 1999-02-04 | 流体加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000227253A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008096057A (ja) * | 2006-10-13 | 2008-04-24 | Toho Kasei Kk | 液体加熱装置 |
| JP2009030843A (ja) * | 2007-07-25 | 2009-02-12 | Kakin Sai | 導管装置 |
| WO2010110171A1 (ja) * | 2009-03-24 | 2010-09-30 | 株式会社Kelk | 流体加熱装置 |
| ES2407579A1 (es) * | 2010-01-13 | 2013-06-13 | Tecniderco Proyectos, S.L. | Intercambiador de calor de alto rendimiento. |
-
1999
- 1999-02-04 JP JP11027259A patent/JP2000227253A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008096057A (ja) * | 2006-10-13 | 2008-04-24 | Toho Kasei Kk | 液体加熱装置 |
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| JP4637882B2 (ja) * | 2007-07-25 | 2011-02-23 | 蔡樺欣 | 導管装置 |
| WO2010110171A1 (ja) * | 2009-03-24 | 2010-09-30 | 株式会社Kelk | 流体加熱装置 |
| JP2010223517A (ja) * | 2009-03-24 | 2010-10-07 | Kelk Ltd | 流体加熱装置 |
| KR101357056B1 (ko) * | 2009-03-24 | 2014-02-03 | 가부시키가이샤 케르쿠 | 유체 가열 장치 |
| US9062894B2 (en) | 2009-03-24 | 2015-06-23 | Kelk Ltd. | Fluid heating device |
| ES2407579A1 (es) * | 2010-01-13 | 2013-06-13 | Tecniderco Proyectos, S.L. | Intercambiador de calor de alto rendimiento. |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040309 |