JPH07333118A - Ｘ線顕微鏡用試料カプセル - Google Patents
Ｘ線顕微鏡用試料カプセルInfo
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- JPH07333118A JPH07333118A JP6130498A JP13049894A JPH07333118A JP H07333118 A JPH07333118 A JP H07333118A JP 6130498 A JP6130498 A JP 6130498A JP 13049894 A JP13049894 A JP 13049894A JP H07333118 A JPH07333118 A JP H07333118A
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- Japan
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- Pending
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Abstract
るまま、その整合重ね合わせ状態を崩すことなく試料保
持空間に新たな溶液などを容易に作業性よく添加するこ
とができるようにすること。 【構成】 Ｘ線を透過する窓シールド材２ａ，２ｂによ
りシールドされた観察窓部２ａ，２ｂを有する２枚の窓
付き基板２，３を整合重ね合わせ、観察試料を装填する
ための試料保持空間５を２枚の窓付き基板２，３間に設
けたＸ線顕微鏡用の試料カプセルにおいて、窓付き基板
３には、２枚の窓付き基板２，３の整合重ね合わせ状態
にて他方の窓付き基板２の板面の一部を露呈させて試料
保持空間５の一部を開放する切欠部３ｃが設けられる。
Description
る生体試料などを保持するＸ線顕微鏡用試料カプセルに
関する。
鏡や電子顕微鏡などの観察手段に負うところが大きい。
光学顕微鏡は、液体中の生きた生体試料を扱えるのが特
長であるが、可視光の波長に空間分解能が制限され、こ
れに対し電子顕微鏡は、空間分解能は高いが、真空中に
試料を置かなければならない。そのため、電子顕微鏡で
生体試料を観察するには観察窓付きの試料カプセル内に
生体試料を密封保持しなくてはならないが、電子線を透
過する観察窓部材が存在しないため、現状では電子顕微
鏡で生体試料を観察できない。
可能性を持つＸ線顕微鏡が注目され、その開発がなされ
てきている。そして微細精密工学の発展によるＸ線顕微
鏡用のＸ線光学素子の性能向上のもとにＸ線顕微鏡の試
験機が作られるまでになっている。
適している波長２．４〜４．４ｎｍのＸ線は空気に吸収
されるため、試料を真空中に置く必要がある。電子線と
違ってＸ線の場合には、Ｘ線を透過する窒化珪素の薄膜
を窓シールド材とした試料カプセルを用いれば生体試料
を観察でき、窒化珪素は可視光も透過するから、この試
料カプセルは光学顕微鏡にも使用できる。
鏡装置の概略構成例を示している。Ｘ線顕微鏡は、使用
波長のＸ線が数ｍｍ程度の空気層で吸収されるため主要
部分を真空容器２０内に配置されて真空下で作動するも
のであり、高輝度パルスレーザ光Ｌを集光レンズ２１に
より集光し、集光した高輝度パルスレーザ光Ｌをレーザ
光取り込み窓２２を通して標的板２３の表面に照射し、
プラズマＰを生成させる。プラズマＰから発生したＸ線
Ｌｘのうち、所望の波長のＸ線だけをフィルタ２４によ
り取り出し、集光用Ｘ線光学素子ウォルタ鏡２５によっ
て試料カプセル１の観察窓部に集光し、そのＸ線を試料
カプセル１内の試料に照射する。試料カプセル１を透過
したＸ線は結像用Ｘ線光学素子ウォルタ鏡２６を通過し
て撮像器２７の受光面上に結像する。
用いられる試料カプセルの従来例を示している。試料カ
プセル１は、各々四角形状の観察窓部２ａ，３ａをＸ線
透過性の窒化珪素膜２ｂ，３ｂによりシールドして成る
２枚の正方形状の窓付き基板２，３をスペーサ４を介し
て整合重ね合わせて構成され、この２枚の窓付き基板
２，３間に観察試料が装填される試料保持空間４が形成
される。この試料保持空間４の厚さは５〜１０μｍであ
る。
構成され、シリコンウエハ上に窒化珪素膜２ｂ，３ｂを
化学気相堆積法（ＣＶＤ）によって形成した後、シリコ
ンウエハのバックエッチングによって観察窓部２ａ，３
ａが形成される。窓付き基板２，３は１ｃｍ角程度の大
きさであり、観察窓部２ａ，３ａは２００μｍ角程度で
あり、これらは１０μｍ程度の精度で作製される。
ル１は、試料カプセルホルダ６のホルダ本体７に形成さ
れたカプセル収納室７ａ内に収納される。試料カプセル
１とホルダ本体７との間にＯリング９を、押さえカバー
板８と試料カプセル１の間にＯリング１０を、押さえカ
バー板８とホルダ本体７との間にＯリング１１をそれぞ
れ介在し、押さえカバー８をねじ１２によりホルダ本体
７に螺着してカプセル収納室７ａを蓋するように締結固
定する。これにより、窓付き基板２，３はＯリングの弾
圧力で押圧されて試料カプセルホルダ６に締結装填され
る。
よって損傷を受け易いため、知らずに損傷を受けた試料
を観察していたということを避けるには、観察後に損傷
の程度を調べておく必要がある。損傷の程度を調べるの
に、試薬を加えて反応をみる方法がある。試料が細胞な
らば染色剤を加えて、染色されるかどうかで細胞の生死
が判定できる。運動性の蛋白質ならば基質を加えて、運
動性を見ることで損傷の程度が判定できる。
１では、試料保持空間５は窓付き基板２，３の側端で開
口しているだけで、窓付き基板２，３間の数μｍの隙間
に溶液を入れなければならず、窓付き基板板２，３が整
合重ね合わされた状態のまま試料保持空間５に溶液を添
加することは難しい。
重ね合わせ状態にあるまま、その整合重ね合わせ状態を
崩すことなく試料保持空間に新たな溶液などを容易に作
業性よく添加することができるよう改良されたＸ線顕微
鏡用試料カプセルを提供することにある。
応づけて説明すると、本発明によるＸ線顕微鏡用試料カ
プセルは、Ｘ線を透過する窓シールド材２ｂ，３ｂによ
りシールドされた観察窓部２ａ，３ａを有する２枚の窓
付き基板２，３を整合重ね合わせ、観察試料を装填する
ための試料保持空間５を２枚の窓付き基板２，３間に設
けたＸ線顕微鏡用試料カプセルに適用される。そして、
２枚の窓付き基板２，３の少なくとも一方に、２枚の窓
付き基板２，３の整合重ね合わせ状態で他方の窓付き基
板の板面の一部を露呈させて試料保持空間５の一部を開
放する切欠部３ｃを設けることにより、上述の目的を達
成する。
切欠部３ｃにより試料保持空間５の一部が開放される。
この開放部Ａより試料保持空間５に溶液を新たに添加で
きる。
解決するための手段と作用の項では、本発明を分かり易
くするために実施例の図を用いたが、これにより本発明
が実施例に限定されるものではない。
と同一構成の部分は、上述の従来例に付した符号と同一
の符号を付してその説明を省略する。図１は本発明によ
るＸ線顕微鏡用試料カプセルの一実施例を示している。
窓付き基板２と３は同一寸法の正方形板をなし、その窓
付き基板３の一つの角部には三角形状に切り欠かれた切
欠部３ｃが設けられている。
されているように、窓付き基板２と整合状態で重ね合わ
され、両者の間に形成される試料保持空間５に生体試料
が保持されるのは従来と同様である。基板２と３が重ね
合わされた状態では、窓付き基板２の一部が切欠部３ｃ
の部分で露呈し、試料保持空間５に連なる開放部Ａが形
成される。この開放部Ａは、窓付き基板２，３を重ね合
わせ状態のまま新たな溶液を試料保持空間５に添加する
添加口として使用される。溶液の添加に際しては、この
開放部Ａより溶液を窓付き基板２の露呈面上に滴下す
る。
るように、従来と同じ試料カプセルホルダ６に締結装填
され、Ｘ線顕微鏡装置にセットされる。
試料カプセル１の試料保持空間５に生理食塩水に懸濁し
た筋原線維を装填し、試料カプセル１を試料カプセルホ
ルダ６に締結装填し、これを図６に示されている構造の
Ｘ線顕微鏡装置にセットして筋原線維の観察を行った。
射してから試料カプセルホルダ６と共に試料カプセル１
を取り出し、そして窓付き基板２，３の整合重ね合わせ
状態をずらすことなく試料カプセル１を試料カプセルホ
ルダ６から取り外した。光学顕微鏡による観察では、試
料の形態に異常は見られなかった。光学顕微鏡下で２μ
ＭのフリーＣａイオンと２ｍＭのＭｇ−ＡＴＰ（アデノ
シン３燐酸）の溶液１滴を開放部Ａより窓付き基板２の
露呈面上に滴下し、これらを試料保持空間５内の試料液
に拡散添加したところ、過剰にＸ線を照射しなかった部
分の筋原線維は収縮し、過剰にＸ線を照射した部分の筋
原線維は収縮しないことが観察された。これによって、
過剰のＸ線を照射された筋原線維は損傷を受けて、収縮
能を失ったことが分かった。
セルの他の実施例を示している。この実施例において
は、窓付き基板３の一つの対角線上にある二つの角部に
各々三角形状の切欠部３ｃが設けられ、試料カプセル１
としては二つの角部に各々開放部Ａが形成される。した
がって、一方の開放部Ａより新たな溶液を滴下しなが
ら、もう一方の開放部Ａに濾紙などを置いて余剰液を吸
い取ることができ、試料保持空間５内の溶液交換を効果
的に行える。
の切欠部３ｃとは異なった角部において、窓付き基板２
に切欠部２ｃを設け、試料カプセル１の両面から試料液
を滴下可能に構成してもよい。
顕微鏡用試料カプセルによれば、２枚の窓付き基板が正
規の整合重ね合わせ状態にあるまま、切欠部により試料
保持空間の一部が開放され、この開放部より試料保持空
間に溶液を新たに添加できるから、その整合重ね合わせ
状態を崩すことなく試料保持空間に溶液などを容易に作
業性よく添加することができる。
ルの一実施例を示す平面図、（ｂ）はその正面図。
カプセルホルダに対するセット状態を示す断面図。
ルの他の実施例を示す平面図、（ｂ）はその正面図。
ルの他の実施例を示す平面図、（ｂ）はその正面図。
す平面図、（ｂ）はその断面図。
ルホルダに対するセット状態を示す断面図。
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｘ線を透過する窓シールド材によりシー
ルドされた観察窓部を有する２枚の窓付き基板を整合重
ね合わせ、観察試料を装填するための試料保持空間を前
記２枚の窓付き基板間に設けたＸ線顕微鏡用試料カプセ
ルにおいて、 前記２枚の窓付き基板の少なくとも一方に、２枚の窓付
き基板の整合重ね合わせ状態で他方の窓付き基板の板面
の一部を露呈させて試料保持空間の一部を開放する切欠
部を設けたことを特徴とするＸ線顕微鏡用試料カプセ
ル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6130498A JPH07333118A (ja) | 1994-06-13 | 1994-06-13 | Ｘ線顕微鏡用試料カプセル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6130498A JPH07333118A (ja) | 1994-06-13 | 1994-06-13 | Ｘ線顕微鏡用試料カプセル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07333118A true JPH07333118A (ja) | 1995-12-22 |
Family
ID=15035713
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6130498A Pending JPH07333118A (ja) | 1994-06-13 | 1994-06-13 | Ｘ線顕微鏡用試料カプセル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07333118A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200092549A (ko) * | 2019-01-25 | 2020-08-04 | 한국과학기술원 | 팽창저항성이 우수한 전자현미경용 액상 칩 |
-
1994
- 1994-06-13 JP JP6130498A patent/JPH07333118A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200092549A (ko) * | 2019-01-25 | 2020-08-04 | 한국과학기술원 | 팽창저항성이 우수한 전자현미경용 액상 칩 |
| US11747286B2 (en) | 2019-01-25 | 2023-09-05 | Korea Advanced Institute Of Science And Technology | Liquid chip for electron microscope having excellent bulging resistance |
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