JPH07307006A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 トラック合わせを高精度に行なう必要がな
く、高精度なトラック幅を有する磁気ギャップを形成す
ることにある。 【構成】 高飽和磁束密度を有する金属磁性膜１２から
なるコア１３をヘッド基板１４に形成し、その金属磁性
膜１２の膜厚方向でトラック幅Ｔを規制するヘッドコア
１１を、非磁性体からなるスライダ８の媒体摺動方向に
沿う側面に貼着した磁気ヘッドにおいて、前記ヘッドコ
ア１１は、スライダ８との貼着面の全面に金属磁性膜１
２を形成し、ヘッド基板１４の頂端部に媒体摺動方向に
沿って露呈する前記金属磁性膜１２からヘッド基板１４
へかけてテーパ状の傾斜面１６を形成して前記金属磁性
膜１２のみからなる媒体摺接面１７を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッド及びその製造
方法に関し、詳しくは、ＨＤＤ装置などに使用され、高
飽和磁束密度を有する金属磁性膜をヘッド基板に形成し
た積層型ヘッドコアをスライダ組み付けた磁気ヘッド及
びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、ＨＤＤ装置に使用される磁気ヘ
ッドには、高飽和磁束密度を有する金属磁性膜をヘッド
基板に形成した積層型ヘッドコアをスライダに組み付け
た磁気ヘッドがある。

【０００３】この種の磁気ヘッドの従来例を図８乃至図
１１に示して以下に説明する。

【０００４】まず、積層型ヘッドコア１は、図８に示す
ように高飽和磁束密度を有するセンダスト等の金属磁性
膜２からなるコア３をセラミック等の非磁性体からなる
ヘッド基板４，５で挟み込んだ構造を有する。このヘッ
ドコア１は、図９に示すように前記コア３をヘッド基板
４，５で挟み込んだ一対の半体６ａ，６ｂを突き合わ
せ、ガラス等で接合一体化することにより形成され、図
１０に示すようにその頂端面である媒体摺接面７の接合
部位にＳｉＯ₂ 等の絶縁薄膜〔図示せず〕をギャップス
ペーサとした磁気ギャップｇを設け、この磁気ギャップ
ｇにより前記媒体摺接面７を摺動する磁気記録媒体〔デ
ィスク〕への情報記録及び磁気記録媒体からの情報再生
を行なう。

【０００５】この磁気ギャップｇでは、前記金属磁性膜
２の膜厚がトラック幅Ｔを規制するため、薄膜状の金属
磁性膜２とＳｉＯ₂ 等の絶縁薄膜〔図示せず〕とを交互
に積層したラミネート層〔図示せず〕とすることにより
コア３を形成し、情報の記録及び再生時にうず電流によ
る損失を抑制し、所定のトラック幅Ｔとなるように設計
している。

【０００６】図１１に示すようにこのヘッドコア１をス
ライダ８に貼着一体化してヘッドコア１に線材を巻回す
ることによりコイル〔図示せず〕を形成し、磁気ヘッド
を構成する。具体的に、スライダ８はセラミック等の非
磁性体からなるブロック状のもので、前記ディスクと対
向する面にはそのディスク走行方向に沿って二条のレー
ル状エアベアリング部９を形成し、このエアベアリング
部９によりディスクの対するヘッドコア１を浮上量を適
正状態に維持する。一方、前述した構造のヘッドコア１
は、スライダ８のディスク走行方向に沿う側面に貼着さ
れ、その媒体摺接面７で磁気ギャップｇを有するコア３
をディスク走行方向に沿わせて配置する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述した従
来の磁気ヘッドでは、ヘッドコア１が、コア３をヘッド
基板４，５で挟み込んだ一対の半体６ａ，６ｂを突き合
わせて接合一体化することにより製造され、その媒体摺
接面７に、金属磁性膜２の膜厚で規制されるトラック幅
Ｔを有する磁気ギャップｇを形成している。

【０００８】前記コア３及びヘッド基板４，５からなる
一対の半体６ａ，６ｂは、一つの母材から切り出された
ものであるが、両者の突き合わせ時、その位置決めが非
常に困難なため、磁気ギャップｇでのトラック合わせが
高精度に行なうことが難しく、その結果、図１２に示す
ように一方の半体６ａと他方の半体６ｂとのトラック幅
Ｔが一致せず、所望のヘッド特性を得ることが困難であ
った。

【０００９】また、前記ヘッドコア１では、磁路を形成
するコア３が金属磁性膜２のみからなり、前述したよう
にトラック幅Ｔを規制するのがその金属磁性膜２からな
るコア３の厚みであるため、そのコア３の厚みをトラッ
ク幅Ｔと一致した寸法とせざるを得ず、その結果、コア
３での磁気抵抗が大きくなって良好なヘッド特性を得に
くい傾向にあった。

【００１０】そこで、本発明は上記問題点に鑑みて提案
されたもので、その目的とするところは、トラック合わ
せを高精度に行なう必要がなく、磁気抵抗を可及的に小
さくし得る磁気ヘッドを提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の技術的手段として、本発明は、高飽和磁束密度を有す
る金属磁性膜からなるコアをヘッド基板に形成し、その
金属磁性膜の膜厚方向でトラック幅を規制するヘッドコ
アを、非磁性体からなるスライダの媒体摺動方向に沿う
側面に貼着した磁気ヘッドにおいて、前記ヘッドコア
は、スライダとの貼着面の全面に金属磁性膜を形成し、
ヘッド基板の頂端部に媒体摺動方向に沿って露呈する前
記金属磁性膜からヘッド基板へかけてテーパ状の傾斜面
を形成して前記金属磁性膜のみからなる媒体摺接面を有
することを特徴とする。

【００１２】また、本発明は、高飽和磁束密度を有する
金属磁性膜からなるコアをヘッド基板に形成し、その金
属磁性膜の膜厚方向でトラック幅を規制するヘッドコア
を、非磁性体からなるスライダの媒体摺動方向に沿う側
面に貼着した磁気ヘッドにおいて、前記ヘッドコアは、
二つのヘッド基板で挟み込んだ金属磁性膜をスライダと
の貼着面に対して斜め配置し、ヘッド基板の頂端部に媒
体摺動方向に沿って露呈する前記金属磁性膜からヘッド
基板へかけてテーパ状の傾斜面を形成して前記金属磁性
膜のみからなる媒体摺接面を有することを特徴とする。

【００１３】尚、前記ヘッド基板は強磁性体からなるこ
とが望ましい。

【００１４】更に、本発明方法は、高飽和磁束密度を有
する金属磁性膜からなるコアをヘッド基板に形成し、そ
の金属磁性膜の膜厚方向でトラック幅を規制するヘッド
コアを、非磁性体からなるスライダの媒体摺動方向に沿
う側面に貼着した磁気ヘッドの製造方法において、前記
ヘッドコアのスライダとの貼着面の少なくとも媒体摺接
面縁部にコアを露呈させると共に、前記貼着面と反対側
にコアからヘッド基板へかけてテーパ状の傾斜面を形成
するように加工することを特徴とする。

【００１５】

【作用】本発明の磁気ヘッドのヘッドコアは、スライダ
との貼着面の全面に金属磁性膜を形成するか、或いは二
つのヘッド基板で挟み込んだ金属磁性膜をスライダとの
貼着面に対して斜め配置し、かつ、ヘッド基板の頂端部
に媒体摺動方向に沿って露呈する前記金属磁性膜からヘ
ッド基板へかけてテーパ状の傾斜面を形成して前記金属
磁性膜のみからなる媒体摺接面を有するから、ヘッドコ
アでの突き合わせ精度にかかわりなく、所望のトラック
幅を持つ磁気ギャップを形成できる。

【００１６】また、上述したようにヘッドコアの頂端部
以外での金属磁性膜の膜厚を大きくすることが可能なの
で磁気抵抗の低減化が容易で、更に、媒体摺接面が金属
磁性膜のみからなるため、ヘッド基板を強磁性体で構成
すれば、より一層の磁気抵抗の低減化が図れる。

【００１７】

【実施例】本発明に係る磁気ヘッドの実施例を図１乃至
図７に示して説明する。尚、図８乃至図１２と同一部分
には同一参照符号を付して重複説明は省略する。

【００１８】本発明の特徴は、スライダ８に貼着される
ヘッドコア１１にある。

【００１９】まず、図１乃至図３に示す実施例における
積層型ヘッドコア１１は、高飽和磁束密度を有するＦｅ
ＴａＮ等の金属磁性膜１２からなるコア１３をセラミッ
ク等の非磁性体からなるヘッド基板１４上に形成したも
のである。このヘッドコア１１は、前記コア１３を形成
したヘッド基板１４の一対の半体１５ａ，１５ｂを突き
合わせ、ガラス等で接合一体化することにより形成され
る。

【００２０】ここで、前記ヘッドコア１１は、図４に示
すヘッドコア母材１９から製作される。即ち、図中破線
Ｌで示すようにヘッドコア母材１９の頂端部を研磨加工
により切削除去することによって媒体摺接面１７を形成
する。その上で、破線Ｍで示す位置でヘッドコア母材１
９の内側面を研磨加工により切削除去することによって
スライダ８との貼着面１８を形成し、更に、破線Ｎで示
す位置でヘッドコア母材１９の頂端部を研削加工により
切削除去することによって傾斜面１６を形成する。

【００２１】このように、破線Ｍで示すようにで前記ヘ
ッドコア１１では、そのスライダ８との貼着面１８の全
面にコア１３の金属磁性膜１２が露呈し、かつ、破線Ｎ
で示すようにコア１３の金属磁性膜１２からヘッド基板
１４へかけて形成された傾斜面１６の頂端縁部にコア１
３の金属磁性膜１２が露呈し、金属磁性膜１２のみから
なる媒体摺接面１７を形成する。これにより、突き合わ
せ時での半体１５ａ，１５ｂの位置合わせ精度にかかわ
りなく、仮に位置ずれがあってもトラック幅Ｔの両端を
半体１５ａと１５ｂとで完全に一致させることができ、
最終的に、媒体摺接面１７での磁気ギャップｇのトラッ
ク幅Ｔを所定値に規制できる。

【００２２】次に、本発明の他の実施例を図５及び図６
に示す。この実施例におけるヘッドコア２１は、高飽和
磁束密度を有するＦｅＴａＮ等の金属磁性膜２２からな
るコア２３をセラミック等の非磁性体からなるヘッド基
板２４，２５で挟み込んだものである。特に、このヘッ
ドコア２１は、二つのヘッド基板２４，２５で挟み込ん
だ金属磁性膜２２をスライダ８との貼着面２９に対して
斜め配置した構造を有する。このヘッドコア２１は、二
つのヘッド基板２４，２５でコア２３を挟み込んだ一対
の半体２６ａ，２６ｂを突き合わせ、ガラス等で接合一
体化することにより形成される。

【００２３】ここで、前記ヘッドコア２１は、図７に示
すヘッドコア母材３０から製作される。即ち、図中破線
Ｌで示すようにヘッドコア母材３０の頂端部を研磨加工
により切削除去することによって媒体摺接面２８を形成
する。その上で、破線Ｍで示す位置でヘッドコア母材３
０の内側面を研磨加工により切削除去することによって
スライダ８との貼着面２９を形成し、更に、破線Ｎで示
す位置でヘッドコア母材３０の頂端部を研削加工により
切削除去することによって傾斜面２７を形成する。

【００２４】このように、破線Ｍで示すように前記ヘッ
ドコア２１では、そのスライダ８との貼着面２９の媒体
摺接面２８の縁部のみにコア２３の金属磁性膜２２が露
呈し、かつ、破線Ｎで示すようにコア２３の金属磁性膜
２２からヘッド基板２４へかけて形成された傾斜面２７
の頂端縁部にコア２３の金属磁性膜２２が露呈し、金属
磁性膜２２のみからなる媒体摺接面２８を形成する。こ
れにより、突き合わせ時での半体２６ａ，２６ｂの位置
合わせ精度にかかわりなく、仮に位置ずれがあってもト
ラック幅Ｔの両端を半体２６ａと２６ｂとで完全に一致
させることができ、最終的に、媒体摺接面２８での磁気
ギャップｇのトラック幅Ｔを所定値に規制できる。

【００２５】この実施例では、前述した実施例と異な
り、金属磁性膜２２からなるコア２３がヘッドコア２４
のスライダ８との貼着面２９の全面に露呈せず、その頂
端部近傍のみに露呈するだけで、その金属磁性膜２２の
一部を研磨加工により除去するだけであるので、金属磁
性膜２２の加工面積が必要最小限で済み、金属磁性膜２
２に剥がれや加工歪みが発生することはない。

【００２６】上述した二つの実施例では、ヘッドコア１
１，２１の頂端部において、媒体摺接面１７，２８をコ
ア１３，２３の金属磁性膜１２，２２のみで構成し、そ
の金属磁性膜１２，２２の両側を研磨加工又は研削加工
により除去することにより磁気ギャップｇのトラック幅
Ｔを規制して所望値となるように設定しているので、コ
ア１３，２３のヘッドコア１１，２１の頂端部から下方
部分については、その金属磁性膜１２，２２の膜厚を磁
気ギャップｇのトラック幅Ｔに規制されることなく大き
くすることが可能であり、その結果、前記コア１３，２
３が磁路を構成する点で磁気抵抗を低減することが容易
となる。

【００２７】また、上記二つの実施例では、ヘッド基板
１４，２４，２５をセラミック等の非磁性体で構成した
場合について説明したが、本発明はこれに限定されるこ
となく、前記ヘッド基板１４，２４，２５をフェライト
等の強磁性体で構成することも可能である。この場合、
ヘッドコア１４，２４，２５の媒体摺接面１７，２８に
は金属磁性膜１２，２２のみからなるコア１３，２３が
露呈するだけで、ヘッド基板１４，２４，２５がディス
クと摺接しないため、そのヘッド基板１４，２４，２５
を強磁性体で構成しても問題はない。

【００２８】尚、コア１３，２３は金属磁性膜１２，２
２のラミネート層だけでなく、単層の金属磁性膜からな
るものでも適用可能である。

【００２９】

【発明の効果】本発明によれば、スライダとの貼着面の
全面に金属磁性膜を形成するか、或いは二つのヘッド基
板で挟み込んだ金属磁性膜をスライダとの貼着面に対し
て斜め配置し、かつ、ヘッド基板の頂端部に媒体摺動方
向に沿って露呈する前記金属磁性膜からヘッド基板へか
けてテーパ状の傾斜面を形成して前記金属磁性膜のみか
らなる媒体摺接面を有するから、ヘッドコアでの突き合
わせ精度にかかわりなく、所望のトラック幅を持つ高精
度な磁気ギャップを有するヘッドコアを実現でき、高性
能の磁気ヘッドを提供できる。

【００３０】また、上述したようにヘッドコアの頂端部
以外での金属磁性膜の膜厚を大きくすることが可能なの
で、磁路での磁気抵抗の低減化が容易で、更に、媒体摺
接面が金属磁性膜のみからなるため、ヘッド基板を強磁
性体で構成すれば、より一層の磁気抵抗の低減化が図れ
てヘッド特性の飛躍的な向上が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気ヘッドの一実施例を示す斜視図

【図２】図１のヘッドコアを示す磁気ヘッドの要部拡大
平面図

【図３】図１のヘッドコアを示す磁気ヘッドの要部拡大
正面図

【図４】図１のヘッドコアの製作要領を示す正面図

【図５】本発明の他の実施例を示す斜視図

【図６】図５のヘッドコアを示す磁気ヘッドの要部拡大
正面図

【図７】図５のヘッドコアの製作要領を示す正面図

【図８】従来の磁気ヘッドのヘッドコアを示す斜視図

【図９】図８のヘッドコアの突き合わせ前の状態を示す
側面図

【図１０】図９のヘッドコアの突き合わせ後の状態を示
す平面図

【図１１】図８のヘッドコアをスライダに貼着した磁気
ヘッドを示す斜視図

【図１２】突き合わせによる位置ずれ状態を示すヘッド
コアの平面図

【符号の説明】

８ スライダ １１ ヘッドコア １２ 金属磁性膜 １３ コア １４ ヘッド基板 １６ 傾斜面 １７ 媒体摺接面 ２１ ヘッドコア ２２ 金属磁性膜 ２３ コア ２４，２５ ヘッド基板 ２７ 傾斜面 ２８ 媒体摺接面 Ｔ トラック幅

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 高飽和磁束密度を有する金属磁性膜から
   なるコアをヘッド基板に形成し、その金属磁性膜の膜厚
   方向でトラック幅を規制するヘッドコアを、非磁性体か
   らなるスライダの媒体摺動方向に沿う側面に貼着した磁
   気ヘッドにおいて、前記ヘッドコアは、スライダとの貼
   着面の全面に金属磁性膜を形成し、ヘッド基板の頂端部
   に媒体摺動方向に沿って露呈する前記金属磁性膜からヘ
   ッド基板へかけてテーパ状の傾斜面を形成して前記金属
   磁性膜のみからなる媒体摺接面を有することを特徴とす
   る磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 高飽和磁束密度を有する金属磁性膜から
   なるコアをヘッド基板に形成し、その金属磁性膜の膜厚
   方向でトラック幅を規制するヘッドコアを、非磁性体か
   らなるスライダの媒体摺動方向に沿う側面に貼着した磁
   気ヘッドにおいて、前記ヘッドコアは、二つのヘッド基
   板で挟み込んだ金属磁性膜をスライダとの貼着面に対し
   て斜め配置し、ヘッド基板の頂端部に媒体摺動方向に沿
   って露呈する前記金属磁性膜からヘッド基板へかけてテ
   ーパ状の傾斜面を形成して前記金属磁性膜のみからなる
   媒体摺接面を有することを特徴とする磁気ヘッド。
3. 【請求項３】 前記ヘッド基板は強磁性体からなること
   を特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッド。
4. 【請求項４】 高飽和磁束密度を有する金属磁性膜から
   なるコアをヘッド基板に形成し、その金属磁性膜の膜厚
   方向でトラック幅を規制するヘッドコアを、非磁性体か
   らなるスライダの媒体摺動方向に沿う側面に貼着した磁
   気ヘッドの製造方法において、前記ヘッドコアのスライ
   ダとの貼着面の少なくとも媒体摺接面縁部にコアを露呈
   させると共に、前記貼着面と反対側にコアからヘッド基
   板へかけてテーパ状の傾斜面を形成するように加工する
   ことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。