JPH0730444B2 - シートプラズマ式イオンプレーティング装置 - Google Patents
シートプラズマ式イオンプレーティング装置Info
- Publication number
- JPH0730444B2 JPH0730444B2 JP1031695A JP3169589A JPH0730444B2 JP H0730444 B2 JPH0730444 B2 JP H0730444B2 JP 1031695 A JP1031695 A JP 1031695A JP 3169589 A JP3169589 A JP 3169589A JP H0730444 B2 JPH0730444 B2 JP H0730444B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet plasma
- shaped material
- ion plating
- strip
- sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はシートプラズマ式イオンプレーティング装置に
関するものである。
関するものである。
（従来の技術） 従来、連続的に走行する帯状材に蒸着膜を形成する装置
として、例えば、特開昭63−57767号公報に示すような
シートプラズマを利用したイオンプレーティング装置が
ある。本装置は、帯状材の下方にシートプラズマガンを
配置し、シートプラズマを帯状材の下方に設けた蒸着源
物質収納ルツボに収束して、該蒸着源物質の蒸発及びイ
オン化を行い、帯状材表面に薄膜を形成するものであ
る。
として、例えば、特開昭63−57767号公報に示すような
シートプラズマを利用したイオンプレーティング装置が
ある。本装置は、帯状材の下方にシートプラズマガンを
配置し、シートプラズマを帯状材の下方に設けた蒸着源
物質収納ルツボに収束して、該蒸着源物質の蒸発及びイ
オン化を行い、帯状材表面に薄膜を形成するものであ
る。
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、前記従来のイオンプレーティング装置で
は、シートプラズマガン帯状材の長手方向でシートプラ
ズマを形成するように配置されているため、帯状材の幅
が前記シートプラズマの幅よりも大きくなる場合、複数
のシートプラズマガンが必要となる。
は、シートプラズマガン帯状材の長手方向でシートプラ
ズマを形成するように配置されているため、帯状材の幅
が前記シートプラズマの幅よりも大きくなる場合、複数
のシートプラズマガンが必要となる。
また、前述のように複数のシートプラズマガンを使用す
ると、シートプラズマが部分的に重なる部分において
は、プラズマ密度が変わるため、帯状材表面に均一な薄
膜を生成することが困難となる。
ると、シートプラズマが部分的に重なる部分において
は、プラズマ密度が変わるため、帯状材表面に均一な薄
膜を生成することが困難となる。
さらに、電磁コイルで磁力を発生させて、シートプラズ
マを蒸着源物質収納ルツボに向けて曲げるため、均一な
プラズマ分布が得にくい、等の問題点がある。
マを蒸着源物質収納ルツボに向けて曲げるため、均一な
プラズマ分布が得にくい、等の問題点がある。
本発明は前記問題点に鑑みてなされたもので、走行する
帯状材に対し、連続的にその表面に均一な薄膜をコーテ
ィングすることのできるシートプラズマ式イオンプレー
ティング装置を提供することを目的とする。
帯状材に対し、連続的にその表面に均一な薄膜をコーテ
ィングすることのできるシートプラズマ式イオンプレー
ティング装置を提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段） 本発明は前記目的を達成するために、シートプラズマ式
イオンプレーティング装置において、走行する帯状材表
面に蒸着膜を形成するシートプラズマ式イオンプレーテ
ィング装置において、前記帯状材の下方両側部にシート
プラズマガンと収束用陽極とを対向配置し、前記帯状材
の幅方向にシートプラズマを形成すると共に、前記シー
トプラズマの下方に帯状材を横断して長方形状の蒸着源
物質収納ルツボを配置するものである。
イオンプレーティング装置において、走行する帯状材表
面に蒸着膜を形成するシートプラズマ式イオンプレーテ
ィング装置において、前記帯状材の下方両側部にシート
プラズマガンと収束用陽極とを対向配置し、前記帯状材
の幅方向にシートプラズマを形成すると共に、前記シー
トプラズマの下方に帯状材を横断して長方形状の蒸着源
物質収納ルツボを配置するものである。
（作用） 前記構成からなるため、シートプラズマが走行する帯状
材を横断するように形成され、蒸着源物質が帯状材のほ
ぼ全幅域に蒸発することになり、前記帯状材表面に均一
な薄膜を生成することができる。
材を横断するように形成され、蒸着源物質が帯状材のほ
ぼ全幅域に蒸発することになり、前記帯状材表面に均一
な薄膜を生成することができる。
（実施例） 次に、本発明の一実施例を添付図面にしたがって説明す
る。
る。
第１図及び第２図は本発明に係るイオンプレーティング
装置の要部を示し、各構成部を真空室（図示せず）内に
設けるものである。
装置の要部を示し、各構成部を真空室（図示せず）内に
設けるものである。
図において、例えば、アルミニウム，銅，鉄等からなる
ストリップ又はプラスチックフィルム等の帯状材１は、
図示しない搬送手段により一方向に走行するものであ
る。
ストリップ又はプラスチックフィルム等の帯状材１は、
図示しない搬送手段により一方向に走行するものであ
る。
そして、帯状材１の下方一方側部に第１シートプラズマ
ガン２が設けてあり、他方側部には第１シートプラズマ
ガン２に対向して収束用陽極４が設けてあり、帯状材１
の幅方向にシートプラズマ６を形成させるようになって
いる。また、前記第１シートプラズマガン２の対向側の
下流部に第２シートプラズマガン３が設けてあり、対向
する第２収束用陽極５へ前記同様シートプラズマ７を形
成させるようになっている。
ガン２が設けてあり、他方側部には第１シートプラズマ
ガン２に対向して収束用陽極４が設けてあり、帯状材１
の幅方向にシートプラズマ６を形成させるようになって
いる。また、前記第１シートプラズマガン２の対向側の
下流部に第２シートプラズマガン３が設けてあり、対向
する第２収束用陽極５へ前記同様シートプラズマ７を形
成させるようになっている。
さらに、前記シートプラズマ6,7の下方には、それぞれ
蒸着源物質（例えば、酸化インジウム，酸化スズ等）を
収納した長方形状のルツボ8,9が帯状材１を横断して設
けてあり、このルツボ8,9は、例えば、電子ビーム照射
又は高周波誘導加熱，抵抗加熱等により前記蒸着源物質
を蒸発させるようになっている。
蒸着源物質（例えば、酸化インジウム，酸化スズ等）を
収納した長方形状のルツボ8,9が帯状材１を横断して設
けてあり、このルツボ8,9は、例えば、電子ビーム照射
又は高周波誘導加熱，抵抗加熱等により前記蒸着源物質
を蒸発させるようになっている。
前記構成からなるため、長方形状のルツボ8,9内から蒸
発した蒸着源物質は、走行する帯状材１の幅方向に形成
されるシートプラズマ6,7によってイオン化され、連続
的に走行する帯状材１の下面に付着して均一な薄膜を形
成する。
発した蒸着源物質は、走行する帯状材１の幅方向に形成
されるシートプラズマ6,7によってイオン化され、連続
的に走行する帯状材１の下面に付着して均一な薄膜を形
成する。
なお、前記実施例においては、２個のシートプラズマガ
ンを互いに向きが反対になるように配置したが、１個の
シートプラズマガンであってもよい。
ンを互いに向きが反対になるように配置したが、１個の
シートプラズマガンであってもよい。
しかし、実施例のようにすれば、第３図に示すように、
プラズマ密度が全体的に均等となり、均一なイオンプレ
ーティングを行うことができる。
プラズマ密度が全体的に均等となり、均一なイオンプレ
ーティングを行うことができる。
（発明の効果） 以上の説明で明らかなように、本発明に係るイオンプレ
ーティング装置においては、走行する帯状材の幅方向に
シートプラズマを形成し、しかもシートプラズマの下方
に帯状材を横断して長方形状の蒸着源物質収納ルツボを
配置したので、従来に比べてさらに幅の広い帯状材に連
続的に均一な薄膜を形成することができる。
ーティング装置においては、走行する帯状材の幅方向に
シートプラズマを形成し、しかもシートプラズマの下方
に帯状材を横断して長方形状の蒸着源物質収納ルツボを
配置したので、従来に比べてさらに幅の広い帯状材に連
続的に均一な薄膜を形成することができる。
第１図は本発明に係るイオンプレーティング装置の要部
斜視図、第２図は第１図の側面図、第３図は帯状材の幅
方向におけるプラズマの密度の関係を示すグラフであ
る。 １……帯状材、2,3……シートプラズマガン、6,7……シ
ーピラズマ、8,9……ルツボ。
斜視図、第２図は第１図の側面図、第３図は帯状材の幅
方向におけるプラズマの密度の関係を示すグラフであ
る。 １……帯状材、2,3……シートプラズマガン、6,7……シ
ーピラズマ、8,9……ルツボ。
Claims (1)
- 【請求項１】走行する帯状材表面に蒸着膜を形成するシ
ートプラズマ式イオンプレーティング装置において、前
記帯状材の下方両側部にシートプラズマガンと収束用陽
極とを対向配置し、前記帯状材の幅方向にシートプラズ
マを形成すると共に、前記シートプラズマの下方に帯状
材を横断して長方形状の蒸着源物質収納ルツボを配置し
たことを特徴とするシートプラズマ式イオンプレーティ
ング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1031695A JPH0730444B2 (ja) | 1989-02-09 | 1989-02-09 | シートプラズマ式イオンプレーティング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1031695A JPH0730444B2 (ja) | 1989-02-09 | 1989-02-09 | シートプラズマ式イオンプレーティング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02209475A JPH02209475A (ja) | 1990-08-20 |
| JPH0730444B2 true JPH0730444B2 (ja) | 1995-04-05 |
Family
ID=12338211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1031695A Expired - Lifetime JPH0730444B2 (ja) | 1989-02-09 | 1989-02-09 | シートプラズマ式イオンプレーティング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0730444B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07122133B2 (ja) * | 1986-08-19 | 1995-12-25 | 株式会社ト−ビ | イオンプレ−テイング方法とその装置 |
-
1989
- 1989-02-09 JP JP1031695A patent/JPH0730444B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02209475A (ja) | 1990-08-20 |
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