JPH0730034A - 半導体用リードフレーム及び半導体装置 - Google Patents

半導体用リードフレーム及び半導体装置

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JPH0730034A
JPH0730034A JP17323593A JP17323593A JPH0730034A JP H0730034 A JPH0730034 A JP H0730034A JP 17323593 A JP17323593 A JP 17323593A JP 17323593 A JP17323593 A JP 17323593A JP H0730034 A JPH0730034 A JP H0730034A
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silver
plating
silver plating
leakage
resin
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Tokumasa Namima
徳方 波間
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Abstract

(57)【要約】 【目的】半導体用リードフレームとその製造方法に関す
る。インナーリードのダイパッド側先端への銀メッキを
施す際に銀メッキが漏れてもモールドエリア内にに止め
樹脂封止してしまいアウターリードの露出する部分へは
銀漏れ防止ができ安定した半導体の稼働と安価な半導体
用リードフレームの製造方法を得る。 【構成】半導体用リードフレームのインナーリード先端
からモールドエリア間に銀メッキ漏れ止め用突起、銀メ
ッキ漏れ止め用溝を設け漏れ出した銀メッキをモールド
エリア内に止めモールド工程で樹脂封止してしまいアウ
ターリードまで漏れ出す銀メッキを押さえ込む。 【効果】アウターリードまで漏れ出る銀メッキがない為
にモールド工程での樹脂封止後の脱銀工程を省く事が可
能となる。又アウターリードの漏れ銀による半田メッキ
ふくれ、漏れ銀によるアウターリード間のリークが完全
に防止できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体用リードフレー
ムとその製造方法に係わり、更に詳しくはリードフレー
ムインナーリード部インナーリードに銀メッキを施す際
の銀漏れ防止を行い半導体装置の信頼性向上に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】図6においてフレーム枠1の略中央に集
積回路チップを搭載固着するダイパッド2を有してい
る。更にダイパッド2はタイバー3によってフレーム枠
1に支持されている。又フレーム枠1の内壁からは多数
の細いインナーリード4が前記ダイパッド2に向かって
延在しており、各インナーリード4はモールド工程でモ
ールドエリア6内の樹脂封止時に樹脂の流出を防止する
為のダムバー5で支持されている。このダムバー5はダ
イパッド2に搭載固着された集積回路チップとインナー
リード4のダイパッド側先端部をワイヤで配線する際の
補強部材となっており樹脂封止後各リード間のダムバー
5を切断する。フレーム枠1の内壁からダイパッド2に
向かって延在しているインナーリード4のダイパッド2
側の先端には銀メッキ7が施してありダイパッド2に搭
載固着された集積回路チップとインナーリード4の先端
部をワイヤで配線した時のインナーリードとワイヤの合
金を促進しワイヤボンディングの熱圧着の強度を上げる
ためである。
【0003】銀メッキの種類は、メッキを施す部分の違
いによって主に次の2つがある。
【0004】1)ダイパッド2の全体及びリード4の先
端部にメッキを施す部分銀メッキ。
【0005】2)リード4の先端部のみにメッキを施す
リング銀メッキ。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上記のように半導体用
リードフレームは図6インナーリード4のダイパッド側
先端に銀メッキ7を施してあり半導体装置の組立時に集
積回路チップとインナーリード4とを結ぶワイヤ熱圧着
力を高める為にはどうしても銀メッキ7の部分必要であ
る。しかし銀メッキ7を施す際に銀メッキを必要としな
い部分を完全にマスキングする事は難しく特にインナー
リード側面への漏れはおさえられない。漏れ出した銀メ
ッキが図6モールドライン6を通過しダムバー5に至っ
てしまう。モールドライン6からダムバー5間に漏れだ
した銀メッキはモールドライン6の内側を樹脂封止後に
脱銀剤を使用し脱銀を行っているが漏れ銀を完全に除去
するのは困難である。銀漏れが極小なりとも含まれてい
る半導体装置は後工程である半田メッキでの半田メッキ
フクレ或いは銀漏れ残りによるアウターリード8間のリ
ーク等が発生し長期間安定的に半導体装置が稼働しなか
った。
【0007】本発明は上記の課題を解決する為になされ
たものであり、インナーリードのダイパッド側先端への
銀メッキを施す際に銀メッキが漏れてもモールドエリア
内に止め樹脂封止してしまいアウターリードの露出する
部分へは銀漏れ防止ができ安定した半導体の稼働と安価
な半導体用リードフレームの製造方法を得ることを目的
とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体用リード
フレームはダイパッド側インナーリード先端部への銀メ
ッキを施す際の銀メッキ漏れ対策として銀メッキ付け工
程でのマスキングは従来の方法で行い漏れた銀メッキを
モールド樹脂封止エリア内に止め、止めた銀メッキを樹
脂封止してしまう事にある。
【0009】銀メッキをモールド樹脂封止エリア内に止
める手段としてインナーリード先端からモールドエリア
間に銀メッキ漏れ止め用突起を設け漏れ出した銀メッキ
の流れをこの突起で止め樹脂封止し漏れ銀メッキを樹脂
で封じ込めてしまう。又インナーリード先端からモール
ドエリア間に銀メッキ漏れ止め用返しの有る突起を設け
突起の付け根部分に銀溜まりを設定し漏れ出した銀メッ
キをこの銀溜まりに止め樹脂封止し漏れ銀メッキを樹脂
で封じ込めてしまう。又インナーリード先端からモール
ドエリア間に銀メッキ漏れ止め用銀溜まり溝を設け漏れ
出した銀メッキをこの銀溜まりに止め樹脂封止し漏れ銀
メッキを樹脂で封じ込めてしまう事ができる為に半導体
装置が組立完成後に銀メッキ漏れ残りによる半田メッキ
ふくれ、銀メッキ漏れ残りによるアウターリード間のリ
ークがなくなり長期間安定した半導体装置の稼働が可能
となる。
【0010】
【実施例】図1は本発明の第1の実施例を示す半導体装
置用リードフレームの平面図である。図1においてフレ
ーム枠1の略中央に集積回路チップを搭載固着するダイ
パッド2を有している。更にダイパッド2はタイバー3
によってフレーム枠1に支持されている。又フレーム枠
1の内壁からは多数の細いインナーリード4が前記ダイ
パッド2に向かって延在しておりダイパッド側先端には
銀メッキ7が施してある。この銀メッキ7を施す際に銀
メッキ7の部分のインナーリード4の側面から銀メッキ
が漏れ出す、漏れ出した銀メッキはインナーリード4の
先端からモールドエリア6間に設けられた銀メッキ漏れ
止め用突起9により止められる。モールド工程でモール
ドエリア6内を樹脂封止して漏れ銀メッキを樹脂で封じ
込めてしまう。ダムバー5に至る漏れ出る銀メッキは皆
無となり樹脂封止後の脱銀工程が不要となるばかりでな
くアウターリード8の銀メッキ漏れ残りによる半田メッ
キふくれ、又銀メッキ漏れ残りによるアウターリード間
のリークが押さえられ安価でしかも長期間安定した半導
体装置の稼働が可能となる。
【0011】図2は本発明の第2の実施例を示す半導体
装置用リードフレームの部分平面図であり、図3は第2
の実施例を示す半導体装置用リードフレームのインナー
リードの部分拡大平面図である。図2、3においてフレ
ーム枠の略中央に集積回路チップを搭載固着するダイパ
ッド2を有している。フレーム枠の内壁からは多数の細
いインナーリード4が前記ダイパッド2に向かって延在
しておりダイパッド側先端には銀メッキ7が施してあ
る。この銀メッキ7を施す際に銀メッキ7の部分のイン
ナーリード4の側面に銀メッキが漏れ出す、漏れ出した
銀メッキはインナーリード4の先端からモールドエリア
6間に設けられた銀メッキ漏れ止め用返しのある突起1
0、更にはこの突起の付け根部分に設けてある漏れ銀溜
まり溝11に溜まる溝に溜まった銀メッキをモールド工
程でモールドエリア6内を樹脂封止して漏れ銀メッキを
樹脂で封じ込めてしまう。ダムバーにまで至る漏れ出す
銀メッキは皆無となり樹脂封止後の脱銀工程が不要とな
るばかりでなくアウターリードの銀メッキ漏れ残りによ
る半田メッキふくれ、又銀メッキ漏れ残りによるアウタ
ーリード間のリークが押さえられ安価でしかも長期間安
定した半導体装置の稼働が可能となる。
【0012】図4は本発明の第3の実施例を示す半導体
装置用リードフレームの部分平面図であり、図5は第3
の実施例を示す半導体装置用リードフレームのインナー
リードの部分拡大平面図である。図4、5においてフレ
ーム枠の略中央に集積回路チップを搭載固着するダイパ
ッド2を有している。フレーム枠の内壁からは多数の細
いインナーリード4が前記ダイパッド2に向かって延在
しておりダイパッド側先端には銀メッキ7が施してあ
る。この銀メッキ7を施す際に銀メッキ7の部分のイン
ナーリード4の側面に銀メッキが漏れ出す、漏れ出した
銀メッキはインナーリード4の先端からモールドエリア
6間に設けられた銀メッキ漏れ止め用溝12更にはこの
溝の底に設けてある漏れ銀溜まり溝11に溜まる溝に溜
まった銀メッキをモールド工程でモールドエリア6内を
樹脂封止して漏れ銀メッキを樹脂で封じ込めてしまう事
によってダムバーにまで至る漏れ出す銀メッキは皆無と
なり樹脂封止後の脱銀工程が不要となるばかりでなくア
ウターリードの銀メッキ漏れ残りによる半田メッキふく
れ、又銀メッキ漏れ残りによるアウターリード間のリー
クが押さえられ安価でしかも長期間安定した半導体装置
の稼働が可能となる。
【0013】銀メッキ漏れ止め用突起或いは銀メッキ漏
れ止め用返しのある突起或いは銀メッキ漏れ止め用溝付
きの半導体用リードフレームの製造方法の例としてエッ
チング加工或いはプレス加工で充分満足できるリードフ
レームの供給が可能である。
【0014】
【発明の効果】以上述べたとおり本発明によれば半導体
用リードフレームのインナーリード、ダイパッド側先端
にワイヤを熱圧着した時のインナーリードとワイヤの結
線力を高める為に銀メッキを施す。この銀メッキを施す
際に平面的なマスクを使用してマスキングを行うがリー
ドの側面はマスキングできない為に銀メッキがリード側
面を伝い漏れ出す。漏れ出した銀メッキをモールドエリ
ア内に止まったままモールド工程で樹脂封止し漏れ銀メ
ッキを樹脂で封じこめてしまう。モールドエリア内に漏
れ銀メッキを止める手段としてインナーリードに漏れ銀
止め用突起或いは漏れ銀止め用銀溜まり溝を設け漏れ銀
をモールドエリア内に止めモールド工程で樹脂封止をす
るものである。アウターリードまで漏れ出る銀メッキが
ない為にモールド工程での樹脂封止後の脱銀工程を省く
事が可能となる。又アウターリードの漏れ銀による半田
メッキふくれ、漏れ銀によるアウターリード間のリーク
が完全に防止できる。又漏れ銀メッキ対策用リードフレ
ームはエッチング加工或いはプレス加工で安価に製作で
き本発明によって長期間安定した稼働のできる半導体装
置の供給を可能とする。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施例を示す平面図。
【図2】 本発明の第2の実施例を示す部分平面図。
【図3】 本発明の第2の実施例を示す部分拡大平面
図。
【図4】 本発明の第3の実施例を示す部分平面図。
【図5】 本発明の第3の実施例を示す部分拡大平面
図。
【図6】 従来の方法を示す平面図。
【符号の説明】
1…フレーム枠 2…ダイパッド 3…タイバー 4…インナーリード 5…ダムバー 6…モールドエリア 7…銀メッキ 8…アウターリード 9…銀メッキ漏れ止め用突起 10…銀メッキ漏れ止め用返しのある突起 11…漏れ銀溜まり溝 12…銀メッキ漏れ止め用溝

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 集積回路チップを搭載する略四角形のダ
    イパッド、と前記ダイパッドの周縁に配置され、一端を
    ダイパッドに向けたインナーリードによって構成され前
    記インナーリード先端部に銀メッキを施したリードフレ
    ームにおいて、前記インナーリードの中間部に突起を設
    けた事を特徴とする半導体用リードフレーム。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のインナーリード先端部に
    銀メッキを施したリードフレームにおいて、前記インナ
    ーリードの中間部に溝を設けた事を特徴とする半導体用
    リードフレーム。
  3. 【請求項3】 請求項1ないし請求項2記載の半導体用
    リードフレームを用いたことを特徴とする半導体装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100135659A (ko) * 2009-06-17 2010-12-27 엘에스아이 코포레이션 신뢰성 향상을 위한 리드 프레임 디자인

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100135659A (ko) * 2009-06-17 2010-12-27 엘에스아이 코포레이션 신뢰성 향상을 위한 리드 프레임 디자인
JP2011003903A (ja) * 2009-06-17 2011-01-06 Lsi Corp 信頼性を改善するためのリード・フレーム設計
US8869389B2 (en) 2009-06-17 2014-10-28 Lsi Corporation Method of manufacturing an electronic device package

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