JPH07286294A - 部分めっき装置 - Google Patents
部分めっき装置Info
- Publication number
- JPH07286294A JPH07286294A JP10475394A JP10475394A JPH07286294A JP H07286294 A JPH07286294 A JP H07286294A JP 10475394 A JP10475394 A JP 10475394A JP 10475394 A JP10475394 A JP 10475394A JP H07286294 A JPH07286294 A JP H07286294A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- plating solution
- cell
- partial
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高精度かつ高速の部分めっき操作を行うこと
ができる部分めっき装置を提供する。 【構成】 めっき液が導入されセル内に部分的に露出し
た被めっき材に対して電解めっきが行なわれるめっきセ
ルと、前記めっきセル内にめっき液を導入するためのめ
っき液導入管と、前記めっきセルからめっき液を排出す
るためのめっき液排出管と、前記めっき液排出管の経路
上に設けられる吸引ポンプと、前記めっき液排出管から
排出されるめっき液が貯えられ前記めっき液導入管と連
通されるめっき液タンクとから構成される部分めっき装
置。
ができる部分めっき装置を提供する。 【構成】 めっき液が導入されセル内に部分的に露出し
た被めっき材に対して電解めっきが行なわれるめっきセ
ルと、前記めっきセル内にめっき液を導入するためのめ
っき液導入管と、前記めっきセルからめっき液を排出す
るためのめっき液排出管と、前記めっき液排出管の経路
上に設けられる吸引ポンプと、前記めっき液排出管から
排出されるめっき液が貯えられ前記めっき液導入管と連
通されるめっき液タンクとから構成される部分めっき装
置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、リードフレーム等の透
孔を有する被めっき材の両面に部分めっきを行うための
部分めっき装置、特に高精度かつ高速の部分めっき操作
を行うことができる部分めっき装置に関する。
孔を有する被めっき材の両面に部分めっきを行うための
部分めっき装置、特に高精度かつ高速の部分めっき操作
を行うことができる部分めっき装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、透孔を有する被めっき材、例えば
ＩＣリードフレームの両面に部分めっきを施す場合、図
３に示すような部分めっき装置が使用されている。この
部分めっき装置は、所定径の透孔を有し被めっき材のリ
ードフレーム１を挟持するための下部マスク２及び上部
マスク３と、めっき液流路の一部を成すと同時に電解め
っきセルを形成するめっきセル４と、マスク透孔に対応
し１または複数個に分岐した流路を有するめっき液導入
管５と、めっきセル４内に配置され所定の電源に接続さ
れてめっき電流を印加する一対の陽極９と、下部マスク
２、リードフレーム１及び上部マスク３間に挿通されリ
ードフレーム１の位置決めをするガイドピン１０と、上
部マスク３上方から加圧しリードフレーム１と上部セル
３との間のシール並びにリードフレーム１と下部セル２
間のシール力を付与するためのエアシリンダー１１と、
めっきセル４下流に接続されるめっき液排出管８と、め
っき液排出管８から排出されるめっき液を一時貯えるた
めのめっき液タンク６と、めっき液タンク６からめっき
液導入管５へめっき液を導くための加圧ポンプ７とから
構成される。
ＩＣリードフレームの両面に部分めっきを施す場合、図
３に示すような部分めっき装置が使用されている。この
部分めっき装置は、所定径の透孔を有し被めっき材のリ
ードフレーム１を挟持するための下部マスク２及び上部
マスク３と、めっき液流路の一部を成すと同時に電解め
っきセルを形成するめっきセル４と、マスク透孔に対応
し１または複数個に分岐した流路を有するめっき液導入
管５と、めっきセル４内に配置され所定の電源に接続さ
れてめっき電流を印加する一対の陽極９と、下部マスク
２、リードフレーム１及び上部マスク３間に挿通されリ
ードフレーム１の位置決めをするガイドピン１０と、上
部マスク３上方から加圧しリードフレーム１と上部セル
３との間のシール並びにリードフレーム１と下部セル２
間のシール力を付与するためのエアシリンダー１１と、
めっきセル４下流に接続されるめっき液排出管８と、め
っき液排出管８から排出されるめっき液を一時貯えるた
めのめっき液タンク６と、めっき液タンク６からめっき
液導入管５へめっき液を導くための加圧ポンプ７とから
構成される。
【０００３】この装置による部分めっき操作は、加圧ポ
ンプ７を始動してめっき液をめっき液タンク６からめっ
き液導入管５へ圧送し、めっきセル４内にめっき液を充
満させ電解を行った後、めっき液をめっき液排出管８を
経由してめっき液タンク６に戻し、このめっき液を再度
めっき導入管５に送ることにより、めっき液を所定時間
連続して循環させてリードフレーム１上にめっき層を形
成するものである。めっきすべきリード部分はマスク透
孔内に露出され、めっき液流路内に配置した陽極９とリ
ードフレーム１との間にめっき電流を印加することによ
り露出したリードフレームの両面に部分めっきが施され
る。
ンプ７を始動してめっき液をめっき液タンク６からめっ
き液導入管５へ圧送し、めっきセル４内にめっき液を充
満させ電解を行った後、めっき液をめっき液排出管８を
経由してめっき液タンク６に戻し、このめっき液を再度
めっき導入管５に送ることにより、めっき液を所定時間
連続して循環させてリードフレーム１上にめっき層を形
成するものである。めっきすべきリード部分はマスク透
孔内に露出され、めっき液流路内に配置した陽極９とリ
ードフレーム１との間にめっき電流を印加することによ
り露出したリードフレームの両面に部分めっきが施され
る。
【０００４】なお、上部マスク３はめっき液排出管８と
共にエアシリンダ１１により昇降または押圧され、リー
ドフレーム１の交換及び部分めっき操作時のめっき液の
シールが行われる。
共にエアシリンダ１１により昇降または押圧され、リー
ドフレーム１の交換及び部分めっき操作時のめっき液の
シールが行われる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
部分めっき装置ではめっきセル下部に配置された加圧ポ
ンプによりめっき液を加圧するとめっきセル内の液圧が
大気圧以上となるため、マスクとリードフレーム間のシ
ール性が低下してめっき液の漏出によるめっき滲み（マ
スキングされるべき領域へめっきが付着してしまうこ
と）が生じめっきエリア精度が低下しやすいという欠点
があった。
部分めっき装置ではめっきセル下部に配置された加圧ポ
ンプによりめっき液を加圧するとめっきセル内の液圧が
大気圧以上となるため、マスクとリードフレーム間のシ
ール性が低下してめっき液の漏出によるめっき滲み（マ
スキングされるべき領域へめっきが付着してしまうこ
と）が生じめっきエリア精度が低下しやすいという欠点
があった。
【０００６】これを防止するための方法としては（１）
マスク押圧力を大きくする、（２）マスク用ゴム材質を
シール性の良好な軟質のものとする、（３）めっき液の
流速を落としてめっき液圧を液漏れの生じない程度に調
節する等があるが、（１）の方法ではリードフレームが
変形し、（２）の方法ではマスクの変形によるめっきエ
リア精度の低下が起こり、（３）の方法ではめっき液流
速の低下に伴う限界電流密度の低下が起こり、また高速
でのめっきが困難になる他流速分布の不均一化によるめ
っき厚のばらつき増加を招くという問題があった。
マスク押圧力を大きくする、（２）マスク用ゴム材質を
シール性の良好な軟質のものとする、（３）めっき液の
流速を落としてめっき液圧を液漏れの生じない程度に調
節する等があるが、（１）の方法ではリードフレームが
変形し、（２）の方法ではマスクの変形によるめっきエ
リア精度の低下が起こり、（３）の方法ではめっき液流
速の低下に伴う限界電流密度の低下が起こり、また高速
でのめっきが困難になる他流速分布の不均一化によるめ
っき厚のばらつき増加を招くという問題があった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題に鑑
みてなされたものであり、めっき滲みを防止しかつ部分
めっきを高速化するため、めっき液が導入されセル内に
部分的に露出した被めっき材に対して電解めっきが行わ
れるめっきセルと、前記めっきセル内にめっき液を導入
するためのめっき液導入管と、前記めっきセルからめっ
き液を排出するためのめっき液排出管と、前記めっき液
排出管の経路上に設けられる吸引ポンプと、前記めっき
液排出管から排出されるめっき液が貯えられ前記めっき
液導入管と連通されるめっき液タンクとから構成される
部分めっき装置を提供するものである。
みてなされたものであり、めっき滲みを防止しかつ部分
めっきを高速化するため、めっき液が導入されセル内に
部分的に露出した被めっき材に対して電解めっきが行わ
れるめっきセルと、前記めっきセル内にめっき液を導入
するためのめっき液導入管と、前記めっきセルからめっ
き液を排出するためのめっき液排出管と、前記めっき液
排出管の経路上に設けられる吸引ポンプと、前記めっき
液排出管から排出されるめっき液が貯えられ前記めっき
液導入管と連通されるめっき液タンクとから構成される
部分めっき装置を提供するものである。
【０００８】
【作用】本発明の部分めっき装置においては、吸引ポン
プが配置されることにより、めっき液の循環経路（めっ
き液タンク→めっき液導入管→めっきセル→めっき液排
出管）が負圧（大気圧以下）となり、マスクと被めっき
材間のシール性が向上しめっき滲みを防止することがで
きる。
プが配置されることにより、めっき液の循環経路（めっ
き液タンク→めっき液導入管→めっきセル→めっき液排
出管）が負圧（大気圧以下）となり、マスクと被めっき
材間のシール性が向上しめっき滲みを防止することがで
きる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を詳細に説明する。図
１は本発明の部分めっき装置の一実施例を示し、従来の
部分めっき装置と重複する部分の説明は省略するが、め
っきセル４からめっき液を吸引排出するためにめっき液
排出管８の経路上に設けられた吸引ポンプ１２を含んで
構成される。この吸引ポンプ１２はめっき液排出管８内
（およびめっきセル４内）に負圧をもたらし排出管８か
らめっき液タンク６方向へめっき液を排出し得るもので
あればよく、本技術分野において慣用される全ての形式
のポンプ装置を適用することができる。また、吸引ポン
プ１２はめっき液排出管８の経路上、すなわちめっきセ
ル４〜めっき液排出管８排出口の経路、の何れかの位置
に設けることができ、例えばめっき液排出管８からバイ
パスされた経路（この経路は装置外部にあってもよい、
ただし当該経路及びめっきセル）にも配置することもで
きる。
１は本発明の部分めっき装置の一実施例を示し、従来の
部分めっき装置と重複する部分の説明は省略するが、め
っきセル４からめっき液を吸引排出するためにめっき液
排出管８の経路上に設けられた吸引ポンプ１２を含んで
構成される。この吸引ポンプ１２はめっき液排出管８内
（およびめっきセル４内）に負圧をもたらし排出管８か
らめっき液タンク６方向へめっき液を排出し得るもので
あればよく、本技術分野において慣用される全ての形式
のポンプ装置を適用することができる。また、吸引ポン
プ１２はめっき液排出管８の経路上、すなわちめっきセ
ル４〜めっき液排出管８排出口の経路、の何れかの位置
に設けることができ、例えばめっき液排出管８からバイ
パスされた経路（この経路は装置外部にあってもよい、
ただし当該経路及びめっきセル）にも配置することもで
きる。
【００１０】本装置によるめっき操作は以下のように行
われる。上部マスク３及びめっき液排出管８を上昇させ
た状態で下部マスク２上にリードフレーム１を位置決め
し載置した後、上部マスク３及びめっき液排出管８を下
降させエアシリンダー１１によりこれらを押圧してめっ
き液タンク６→めっき液導入管５→めっきセル４→めっ
き液排出管８→吸引ポンプ１２からなるめっき液流路を
形成する。次いで、吸引ポンプ１２を起動し、めっきセ
ル４内の空気を排除すると共にめっき液タンク６からめ
っき液を吸引してめっきセル４を含む流路内にめっき液
を充満させ、この経路内においてめっき液を循環させ
る。次に、陽極９とリードフレーム１との間に所定時間
めっき電流を印加することにより、めっきセル４内に露
出したリードフレーム１の両面に部分めっきが行われ
る。めっき終了後吸引ポンプ１２を停止し、めっき４内
のめっき液を下方に排出した後上部マスク３を上昇さ
せ、めっき済みのリードフレーム１を取り出して一連の
めっき操作が完了する。
われる。上部マスク３及びめっき液排出管８を上昇させ
た状態で下部マスク２上にリードフレーム１を位置決め
し載置した後、上部マスク３及びめっき液排出管８を下
降させエアシリンダー１１によりこれらを押圧してめっ
き液タンク６→めっき液導入管５→めっきセル４→めっ
き液排出管８→吸引ポンプ１２からなるめっき液流路を
形成する。次いで、吸引ポンプ１２を起動し、めっきセ
ル４内の空気を排除すると共にめっき液タンク６からめ
っき液を吸引してめっきセル４を含む流路内にめっき液
を充満させ、この経路内においてめっき液を循環させ
る。次に、陽極９とリードフレーム１との間に所定時間
めっき電流を印加することにより、めっきセル４内に露
出したリードフレーム１の両面に部分めっきが行われ
る。めっき終了後吸引ポンプ１２を停止し、めっき４内
のめっき液を下方に排出した後上部マスク３を上昇さ
せ、めっき済みのリードフレーム１を取り出して一連の
めっき操作が完了する。
【００１１】図２は本発明の他の実施例を示し、上記実
施例の吸引ポンプ１２に加え、めっき液導入管５とめっ
き液タンク６との間に配置されるめっき液送入用の補助
ポンプ１３を含んで構成される。この補助ポンプ１３
（加圧ポンプ）によりめっき液循環開始時にめっきセル
４内の空気の排出が迅速に行うことができる。補助ポン
プ１３を使用する場合には空気が排出されるまでの立ち
上がり時間に限定するか、あるいはめっき操作中に連続
して使用する場合は吸引ポンプ１２によるめっきセル４
内のめっき液圧の減圧効果が０とならない範囲において
補助ポンプ１３の加圧力を制限して使用するようにす
る。
施例の吸引ポンプ１２に加え、めっき液導入管５とめっ
き液タンク６との間に配置されるめっき液送入用の補助
ポンプ１３を含んで構成される。この補助ポンプ１３
（加圧ポンプ）によりめっき液循環開始時にめっきセル
４内の空気の排出が迅速に行うことができる。補助ポン
プ１３を使用する場合には空気が排出されるまでの立ち
上がり時間に限定するか、あるいはめっき操作中に連続
して使用する場合は吸引ポンプ１２によるめっきセル４
内のめっき液圧の減圧効果が０とならない範囲において
補助ポンプ１３の加圧力を制限して使用するようにす
る。
【００１２】
【発明の効果】以上詳しく説明した通り、本発明の部分
めっき装置によれば、めっき液が導入されセル内に部分
的に露出した被めっき材に対して電解めっきが行なわれ
るめっきセルと、前記めっきセル内にめっき液を導入す
るためのめっき液導入管と、前記めっきセルからめっき
液を排出するためのめっき液排出管と、前記めっき液排
出管の経路上に設けられる吸引ポンプと、前記めっき液
排出管から排出されるめっき液が貯えられ前記めっき液
導入管と連通されるめっき液タンクとから構成したた
め、めっき滲みを防止しかつ部分めっきを高速化するこ
とができる。
めっき装置によれば、めっき液が導入されセル内に部分
的に露出した被めっき材に対して電解めっきが行なわれ
るめっきセルと、前記めっきセル内にめっき液を導入す
るためのめっき液導入管と、前記めっきセルからめっき
液を排出するためのめっき液排出管と、前記めっき液排
出管の経路上に設けられる吸引ポンプと、前記めっき液
排出管から排出されるめっき液が貯えられ前記めっき液
導入管と連通されるめっき液タンクとから構成したた
め、めっき滲みを防止しかつ部分めっきを高速化するこ
とができる。
【図１】本発明による部分めっき装置の一実施例を示す
断面図である。
断面図である。
【図２】本発明による部分めっき装置の他の実施例を示
す断面図である。
す断面図である。
【図３】従来の部分めっき装置の一例を示す断面図であ
る。
る。
１ リードフレーム ２ 下部マスク ３ 上部マスク ４ めっきセル ５ めっき液導入管 ６ めっき液タンク ７ 加圧ポンプ ８ めっき液排出管 ９ 陽極 １０ ガイドピン １１ エアシリンダ １２ 吸引ポンプ １３ 補助ポンプ
Claims (2)
- 【請求項１】 めっき液が導入され、部分的に露出した
被めっき材に対して電解めっきが行われるめっきセル
と、 前記めっきセル内にめっき液を導入するためのめっき液
導入管と、 前記めっきセルからめっき液を排出するためのめっき液
排出管と、 前記めっき液排出管の経路上に設けられる吸引ポンプ
と、 前記めっき液排出管から排出されるめっき液が貯えられ
前記めっき液導入管と連通されるめっき液タンクとから
構成されることを特徴とする、部分めっき装置。 - 【請求項２】 前記めっき液タンクと前記めっき液導入
管との間の経路上に補助ポンプが配置されることを特徴
とする、請求項１記載の部分めっき装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10475394A JPH07286294A (ja) | 1994-04-19 | 1994-04-19 | 部分めっき装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10475394A JPH07286294A (ja) | 1994-04-19 | 1994-04-19 | 部分めっき装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07286294A true JPH07286294A (ja) | 1995-10-31 |
Family
ID=14389257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10475394A Pending JPH07286294A (ja) | 1994-04-19 | 1994-04-19 | 部分めっき装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07286294A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001051685A3 (en) * | 2000-01-10 | 2002-09-19 | Michael John Sole | Removal of metals from solution |
-
1994
- 1994-04-19 JP JP10475394A patent/JPH07286294A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001051685A3 (en) * | 2000-01-10 | 2002-09-19 | Michael John Sole | Removal of metals from solution |
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