JP2656278B2 - 液冷投写管の冷却液充填方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明目的］ （産業上の利用分野） この発明は、液冷投写管の冷却液充填方法に関する。

（従来の技術） 液冷投写管は、第２図に示すように、外囲器（１）の
前面部内面に形成された蛍光面（２）に電子銃（３）か
ら放出される大電流の電子ビームを高電圧で加速して照
射するため、蛍光面（２）およびこれを支持する外囲器
（１）の前面部が加熱される。したがつて、その加熱を
防止するために、外囲器（１）の前面部外側に金属製支
持筒体（５）を接着剤（６）により液密に固定し、この
支持筒体（５）にガラスプレート（７）を液密に支持す
る金属製支持リング（８）を取付けて、ガラスプレート
（７）と外囲器（１）の前面部外面との間に冷却液充填
部（９）を設け、この冷却液充填部（９）に冷却液を充
填した構造に形成されている。（10）はその支持リング
（８）を液密に取付けるためのＯリングである。

従来、この液冷投写管の冷却液の充填は、第３図に示
すように、外囲器（１）の前面部に取付けられた支持筒
体（５）の側面に形成された直径1mm程度の冷却液注入
口（11）から冷却液充填部（９）にステンレス製ノズル
（12）を差込み、高圧ポンプ（13）によりこのノズル
（11）に冷却液槽（12）中の冷却液を圧送して充填して
いた。

（発明が解決しようとする課題） 上記方法により液冷投写管の冷却液充填部に冷却液を
充填すると、つぎの問題がある。

（イ） 冷却液注入口の大きさに制限があるため、注入
ノズルが細く、充填に時間がかかる。たとえば７インチ
管で充填に約30分かかり、作業能率が低い （ロ） 発泡防止のためノズルの先端を冷却液充填部の
底部近くまで挿入する必要があり、そのためにガラスプ
レートや外囲器の前面部を傷付けたり、あるいは汚染す
ることがある。この場合、修理は不可能であるため廃棄
処分となり、材料能率の低下、製造コストの上昇をまね
く （ハ） 冷却液の注入にしたがつて冷却液充填部内の空
気は、注入口とノズルとの隙間から脱出するが、この冷
却液充填部内の空気を完全に脱出させることが困難であ
り、少量の気泡が残る。また、この気泡が規格以上に大
きいときは、再注入をおこなう必要があり、作業能率を
低下する （ニ） 冷却液充填後、保証テストとして一定温度で一
定時間加温試験をおこなうが、このとき、冷却液充填部
内に吸着されていた気体が微少泡となつて放出され、そ
れが合体して規格以上に大きな気泡となることがあり、
この場合、再注入が必要となる （ホ） 冷却液の注入に高圧ポンプを用いているため、
その高い圧力によりポンプのシール部分が破損し、液漏
れや充填冷却液中に泡を巻込むことがある （ヘ） 自動化が困難である この発明は、上記問題点を解決するためになされたも
のであり、液冷投写管に冷却液を短時間に注入でき、し
かも気泡を残さず、またガラスプレートや外囲器の前面
部を傷付けたりあるいは汚染することない冷却液充填方
法とすることを目的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 液冷投写管の冷却液充填方法におて、冷却液槽を液冷
投写管の冷却液充填部に接続し、液冷投写管、接続され
た冷却液槽およびこの冷却液槽に充填された冷却液を真
空脱泡装置内に設置して、この真空脱泡装置内を減圧
し、その後、この真空脱泡装置内の減圧を解除して、上
記液冷投写管の冷却液充填部に冷却液槽内の冷却液を充
填するようにした。

（作用） 上記方法により冷却液を充填すると、減圧によつて液
冷投写管の冷却液充填部内の空気および冷却液充填部に
吸着されている気体を排出して、その後の減圧解除によ
り、短時間に気泡を残さない冷却液充填をおこなうこと
ができる。また、冷却液充填部内にノズルを挿入する必
要がないので、ガラスプレートや外囲器の前面部を傷付
けたり、汚染したりすることがなくなる。

（実施例） 以下、図面を参照してこの発明を実施例に基づいて説
明する。

第１図は液冷投射管（20）に冷却液槽（21）を接続
し、その冷却液槽（21）に冷却液（22）を充填して真空
脱泡装置（23）内に設置した状態の図である。

冷却液（22）の充填は、まず液冷投射管（20）の冷却
液注入口（11）に冷却液槽（21）を液密に接続する。そ
して、この冷却液槽（21）に所定量の冷却液（22）を充
填する。この状態では、液冷投射管（21）の冷却液充填
部には空気が入っており、かつ冷却液注入口（11）が細
いので、冷却液槽（21）を接続しても、冷却液充填部に
冷却液（22）が充填されることはない。

つぎに、上記冷却液槽（21）に接続された液冷投射管
（20）を真空脱泡装置（23）内に設置する。そして排気
管およびその中間部に設けられたバルブ（24）を介して
真空脱泡装置（23）内を減圧する。このとき、液冷投射
管（21）の冷却液充填部内の空気およびこの冷却液充填
部に吸着されていた気体も、冷却液注入口（11）、冷却
液槽（21）中に冷却液（22）を通って排出される。

所定時間減圧処理をおこなつたのち、その減圧を解除
して真空脱泡装置（23）内を大気圧にする。それによ
り、真空脱泡装置（23）と冷却液充填部との圧力差によ
り冷却液槽（21）内の冷却液（22）が冷却液注入口（1
1）を通って冷却液充填部に充填される。

その後、この液冷投射管（20）および冷却液槽（21）
を真空脱泡装置（23）から取出し、液冷投射管（20）と
冷却液槽（21）とを分離して冷却液注入口（11）を密封
する。

この方法により冷却液充填部に冷却液（22）を充填す
ると、つぎの効果がある。

（イ） 真空脱泡装置（23）内を減圧する時間が冷却液
充填の主な処理時間となり、３〜５分程度で冷却液（2
2）を充填することができ、従来の充填時間にくらべて1
/6〜1/10程度に短縮できる （ロ） 従来のように冷却液充填部にノズルを挿入する
必要がないので、ガラスプレートや外囲器前面部を傷付
けたりあるいは汚染することがない （ハ） 減圧処理により冷却液充填部内の空気を略完全
に排出して冷却液（22）を充填するので、冷却液充填部
内に気泡が残らない （ニ） 減圧処理により冷却液充填部に吸着された気体
も同時に排出されるので、冷却液充填後の保証テスト
で、加温しても気泡を発生しない （ホ） 従来のように高圧ポンプを使用しないので、装
置の故障が少なく、稼働能率が向上する （ヘ） 真空脱泡装置（23）の減圧、その解除をコント
ロールすればよく、自動化が容易である ［発明の効果］ 冷却液槽を液冷投与管の冷却液充填部に接続し、その
液冷投写管および接続された冷却液槽およびこの冷却液
槽に充填された冷却液を真空脱泡装置内に設置し、この
真空脱泡装置内を減圧し、その減圧を解除して上記液冷
投写管の冷却液充填部に冷却液槽内の冷却液を充填する
ようにしたので、減圧によつて液冷投写管の冷却液充填
部内の空気および冷却液充填部に吸着されている気体が
排出され、短時間に気泡を残さない冷却液充填をおこな
うことができる。また、冷却液充填部内にノズルを挿入
する必要がないので、ガラスプレートや外囲器の前面部
を傷付けたりあるいは汚染することがない。しかも、冷
却液充填の自動化が容易となるなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）および（Ｂ）図はそれぞれこの発明の一実
施例を説明するための図、第２図は液冷投写管の構成を
示す図、第３図（Ａ）および（Ｂ）図はそれぞれ従来の
冷却液充填方法を説明するための図である。 20……液冷投写管 21……冷却液槽 22……冷却液 23……真空脱泡装置

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】冷却液槽を液冷投与管の冷却液充填部に接
   続する工程と、上記冷却液槽に冷却液を充填する工程
   と、上記液冷投写管およびこの液冷投写管に接続された
   冷却液槽およびこの冷却液槽に充填された冷却液を真空
   脱泡装置内に設置してこの真空脱泡装置内を減圧する工
   程と、上記真空脱泡装置内の減圧を解除して上記液冷投
   写管の冷却液充填部に上記冷却液槽内の冷却液を充填す
   る工程とからなることを特徴とする液冷投写管の冷却液
   充填方法。