JPH0210630A - 陰極線管の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、陰極線管の排気処理工程に使用する陰極線管
の製造装置に関する。

（従来の技術） 従来より、陰極線管の製造工程として、陰極線管内を真
空にするための排気処理工程がある。

一般に上記排気工程で処理される陰極線管の中空外囲器
はガラスからなり、その構成は、第４図に示すように、
その表示面となるフェース部１、電子銃部を設置するネ
ック部２を端部に形成した中空外囲器の中間部分を占め
るファンネル部３で構成されている。

このような中空外囲器を有する陰極線管の排気処理作業
は、同図に示したように陰極線管のファンネル部３を陰
極線管支持部材用ホルダー４を介して陰極線管支持部材
５により固定して行われる。

前記ネック部２の端末に設置するチップ管６は排気用マ
ニホールド７に接続されており、この排気用マニホール
ド７とネック部２の端末間にはチッピング装置８が配置
されている。この部分には図示を省略した電子銃部通電
用端子およびチッピング装置用ヒータ通電用端子が配設
されている。

こうしてチップ管６を介して排気用マニホールド７に接
続された陰極線管の中空外囲器は、排気炉内に搬送され
、ここで図示を省略した排気カート内に設置された真空
ポンプ９．１０の作動にょり陰極線管内の気体が排出さ
れる。

この真空引き作業時には、加えられる熱負荷により発生
する吸着ガスも同時に排出して高真空状態に維持して高
品位の陰極線管を製造することが必要である。

この排気処理工程ではネック部２の外周に周設された高
周波コイル１１により中空外囲器を加熱するとともに、
ネック部２に設置された図示を省略した電子銃部加熱し
、さらにこの電子銃部を構成するカソードも図示を省略
した通電用端子から通電して陰極スリーブに塗付したア
ルカリ土類炭酸塩の加熱分解とガス抜き工程を施す。

こうして陰極の通電による加熱分解と電子銃部の加熱即
ちガス抜き工程終了後、チッピング装置８に設置した図
示を省略したヒータ通電用端子の稼働によりチップ管６
を封止切断して陰極線管の排気処理工程が終了する。

ところで、上述した陰極線管の排気工程では、中空外囲
器であるガラスが熱負荷により外部、内部についた傷お
よびサーマルショックにより破壊に至るいわゆる爆縮が
生じる場合がある。

このような爆縮が生じた場合には、急激に大気が真空ポ
ンプ９．１０へ流入し、動作中の真空ポンプ９．１０が
損傷するという問題が発生する。

しかも、第５図に示ような１つの真空ポンプ９．１０に
複数の例えば２つの陰極線管１２．１３を接続して処理
する排気機構であれば、片側の陰枡線管１２が破壊した
場合は、同一真空系に接続されているために両方とも不
良となるという問題があった。

このように中空外囲器であるガラスが破壊すると真空ポ
ンプの破損という問題が発生し、さらに複数個の陰極線
管を同一の真空系で接続した構成の排気機構の場合には
、この排気機構に接続された全ての陰極線管が損傷して
しまうという問題があった。

また、真空系内へガラスの破片等の異物が流入すると、
これら異物の洗浄を行わなければならず、例えば油拡散
ポンプ等を使用している場合には、そのオイル交換が必
要となり、設備の稼働率の低下、メンテナンス作業の繁
雑化を招くという問題もあった。

（発明が解決しようとする課題） 本発明は上述した問題点を解決するためになされたもの
で、陰極線管の中空外囲器が爆縮による破壊を生じた場
合に、排気系への大気の流入を遮断して、真空系の損傷
、他の陰極線管への損害の波及を防止するとともに、設
備の稼働率の向上、設備コストの低減、保守の作業性向
上を図ることができる陰極線管の製造装置を提供するこ
とを目的とするものである。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明の陰極線管の製造装置は、陰極線管内の雰囲気気
体を真空系により排気する陰極線管の製造装置において
、一端が前記陰極線管に接続され他端が真空系に接続さ
れた排気管系と、この排気管系に内挿され前記陰極線管
側から前記真空系側へ予、め定められた設定圧力以上の
圧力が加わった場合に前記排気管系を閉じる弁機構とを
設けたことを特徴とするものである。

（作　用） 本発明は、陰極線管の排気処理工程で排気用チップ管を
接続するマニホールドに急激な大気の流入により動作す
る弁機構を設け、陰極線管外囲器であるガラスが真空ポ
ンプ動作後に爆縮により破壊した場合にこの弁機構が動
作し、大気の流入を瞬時に阻止できるように構成し、排
気系への大気の流入による、真空系の損傷、他の陰極線
管への損害の波及を防止するものである。

（実施例） 以下、本発明の一実施例について図を参照して説明する
。

第１図は、実施例の排気装置の構成を示す断面図で、陰
極線管ネック部２０のステム２１にはチップ管２２が取
付けられており、このチップ管２２を挿着した排気機構
２３を介して真空ポンプ２４．２５に接続されている。

この排気機構２３は、底部に接続部２６を有する筒状の
マニホールド２７と、このマニホールド２７の頂部近傍
に設けられたフランジ２８とマニホールド２７とを冷却
するための冷却水の冷却水路２９および冷却管３０と、
フランジ２８の段付開口部の段部３１に支持されるチッ
プ管受３２と、このチップ管受３２に載置される環状パ
ツキン部材３３と、フランジ２８の外周のねじ２８ａに
係止されるナツト部３４に設けられた内向きフランジ３
４ａおよびベアリング３５を介して環状パツキン部材３
３を押圧する環状体スリーブ３６とから構成されている
。

このような排気機構２３へのチップ管２２の挿着は、ま
ずチップ管２２をチッピング装置３７を通してチップ管
受３２により位置決めを行う。

そして、ナツト部３４に設けられた孔部３４ｂとギヤ３
４ｃによりナツト部３４を回転させ、適当な力で環状バ
ッキング３３をチップ管２２に押圧する。

ところで、マニホールド２７内の上部には、陰極線管の
爆縮発生時に大気の流入を阻止するための弁機構が内装
されている。

この弁機構は、第２図（ａ）に示すように、マニホール
ド２７の上部内壁にＯリング３８を介して内設された段
付円筒状の弁受は本体３９と、この弁受は本体３９に内
挿された円盤状の弁本体４０と、この弁本体４０を支持
する支柱４１と、この支柱４１の外周に巻回されたスプ
リング機構４２等から主要部分が構成されている。

また、上記支柱４１が常に弁受は本体３９の中心に位置
するように、該支柱４１を囲むようにワイヤー状のスト
ラップ４３が周設されており、このストラップ４３の底
辺部に設けられたガイド穴４４に支柱４１の下端が挿入
されている。

さらに、このガイド穴４４はスプリング機構４２の下端
を固定しており、支柱４１の下降時に、該スプリング機
構４２が弁本体４０下面とガイド穴４４間で圧縮される
ように構成されている。

またスプリング機構４２の減衰力は、真空ポンプ２４．
２５の吸引力よりも強く設定されている。

このような排気装置の動作について以下に説明する。

正常動作時には、弁本体４０は、スプリング機構４２の
弾性力により上昇しており、従って弁受は本体３つの段
部と弁本体４０下面とは離間している。この状態では、
真空ポンプ２４．２５により吸引された陰極線管内の気
体は、チップ管２２内を通り、弁受は本体３９の段部と
弁本体４０下面との間隙を抜けて、真空ポンプ２４．２
５へと排気される。

ここで、陰極線管の爆縮が発生し、大気圧がマニホール
ド２７内に流入すると、この圧力が弁本体４０に加わり
、スプリング機構４２を伸縮させながら弁本体４０が下
降して、該弁本体４０下面に設けられたＯリングが弁受
は本体３９の段部に密若する（第２図（ｂ））。

こうして、マニホールド２７下流側への大気圧の流入を
阻止して、下流側の真空を保持する。

ところで、陰極線管の排気工程は、第３図に示すように
陰極線管を挿着位置５１により排気カートに挿着した後
、排気炉５２内を真空ポンプにより排気されながら移動
する。排気カートの移動により排気炉５２内にて陰極線
管の加熱、冷却が行われる。

この加熱、冷却の途中において、陰極線管が万一爆縮に
至った場合でも、本例によれば、マニホールド２７内に
挿着された弁本体４０が急激な大気の流入により瞬時に
閉じ、マニホールド２７を含めた排気系を高真空に保つ
ことができる。

このように、本例では、万一陰極線管中空外囲器である
ガラスが破損しても瞬時に弁本体４０が閉じられ、真空
ポンプ２４．２５内へのガラス破片および大気流入を防
止できる。

尚、上記弁本体４０の閉動作は、スプリング機構４２の
減衰力に大きく影響を受けるが、少なくとも真空ポンプ
２４．２５の吸引力により作動せず、かつ爆縮時の圧力
例えば大気圧流入時に確実に作動する減衰力が必要で、
本例では１００ｇ±５ｇのバネ圧に設定した。

また、弁本体４０は、陰極線管の爆縮およびアンローデ
ィングにより閉じるため、このままでは次の陰極線管の
排気作業ができなくなり、閉じた弁本体４０を開ける必
要がある。この弁本体４０の開動作は、第３図に示した
アンロードポジション５３の手前の排気炉出口５４近傍
にて真空系内を大気にするためのリーク機構を開放し、
真空系内に大気を流入させて弁本体４０を開とする。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の陰極線管の製造装置によ
れば、陰極線管の中空外囲器であるガラスが爆縮しても
真空系内へガラスの破片および大気の流入を防止するこ
とができるため、設備の稼働率の向上、設備コストの低
減、保守の作業性向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による一実施例の排気マニホールド部を
示す断面図、第２図は第１図の弁本体の動作を示す断面
図、第３図は排気炉概略図、第４は従来装置を示す装置
概略図、第５図は従来装置の応用例を示す装置概略図で
ある。 ２２・・・・・・・・・チップ管 ２３・・・・・・・・・排気機構 ２４．２５・・・真空ポンプ ２７・・・・・・・・・排気マニホールド３９・・・・
・・・・・弁受は本体 ４０・・・・・・・・・弁本体 ４１・・・・・・・・・支柱 ４２・・・・・・・・・スプリング機構４５・・・・・
・・・・０リング 出願人　　　　　　株式会社　東芝 代理人　弁理士　　須　山　佐　− 第３図 第１図 舐

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 陰極線管内の雰囲気気体を真空系により排気する陰極線
   管の製造装置において、 一端が前記陰極線管に接続され他端が真空系に接続され
   た排気管系と、この排気管系に内挿され前記陰極線管側
   から前記真空系側へ予め定められた設定圧力以上の圧力
   が加わった場合に前記排気管系を閉じる弁機構とを設け
   たことを特徴とする陰極線管の製造装置。