KR101967672B1

KR101967672B1 - 메탈마스크 전해연마 장치

Info

Publication number: KR101967672B1
Application number: KR1020170159358A
Authority: KR
Inventors: 양재성
Original assignee: 주식회사 다윈
Priority date: 2017-11-27
Filing date: 2017-11-27
Publication date: 2019-04-11

Abstract

본 발명은 메탈마스크 전체를 전해조에 침지시키는 구성 대신에 개구부가 있는 서스마스크 부분만을 전해연마하는 메탈마스크 전해연마 장치에 관한 것으로, 상기 메탈마스크에 중심맞추어서 상측에 위치설정하고 있는 상판, 상기 상판의 상측에 한 측이 고정되어 상판을 상하로 이동시키는 공압 실린더와 상기 공압 실린더의 타 측이 고정되어 있는 공압 펌프를 포함하는 가압수단, 상기 메탈마스크의 중심 맞추어서 하측에 위치설정하고 있는 하판, 상기 상판의 한 측면에 연결된 주입구와 연결되는 주입관과 상기 하판의 한 측면에 연결된 배출구에 연결되는 배출관을 포함하는 전해액을 저장하는 탱크와 상기 가압수단을 고정하고 상기 하판을 지지하는 지지대와 정류기를 포함한다.

Description

메탈마스크 전해연마 장치{An apparatus for electrolytic polishing a metal mask}

본 발명은 메탈마스크 전해연마 장치에 관한 것으로, 특히 서스마스크에서 레이저로 가공으로 형성된 개구부의 매끄럽지 못한 부분, 특히 모서리 부분의 버를 제거할 때, 메쉬나 프레임에 악영향을 주지 않도록 서스마스크 부분만 전해액에 침지하는 메탈마스크 전해연마 장치에 관한 것이다.

본 기술은 SMT(Surface Mount Technology)중 크림솔더(Cream Solder)를 사용하여 솔더링을 실시할 부분에 정확히, 적정량의 크림솔더(Cream Solder)를 공급하는 메탈마스크(Metal Mask)에 관한 것으로, 크림솔더는 메탈마스크의 개구부에 일정한 압력을 가하여 밀어 넣어 기판상에 인쇄된다.

메탈마스크는 크게 프레임, 메탈마스크(패턴부)와 메쉬로 구성되며, 프레임은 알루미늄 주물 또는 알루미늄 파이프로 만들어지면, 메쉬는 스테인레스나 폴리에스텔로 만들어지며, 메탈마스크는 통상적으로 스테인레스 스틸(SUS 304)로 만들어진다. 여기서 메탈마스크(패턴부)를 서스마스크(SUS mask)로 칭하기로 한다. 통상적으로 사각형의 알루미늄 프레임에 폴리에스텔 메쉬를 접합제로 접착하고 견장기를 통해서 팽팽하게 하여 장력을 준다. 폴리에스텔 메쉬위에 서스마스크의 가장자리를 부착하고 나머지 폴리에스텔 메쉬를 절단하고 폴리에스텔 메쉬와 서스마스크 가장자리에 에폭시를 코팅하여 방수한다. 그리고 중요한 작업으로 서스마스크에 인쇄될 회로에 대응하는 개구부를 형성한다. 개구부를 형성하는 방법으로는 크게 에칭, 적층(dmditive), YAG레이저(적외선 열레이저), 엑시머레이저(자외선 비열 레이저)등으로 제작된다. 적층법의 경우 에칭법에 비해 구멍의 단면이 깨끗한 수직 형태를 얻을 수 있다. 수직 형태의 구멍 단면은 크림솔더(Cream Solder)의 판 빠짐성을 양호하게 한다. 또한, 임의의 판두께를 지정할 수 있으며, 두께 오차가 없기 때문에 정확한 치수를 얻을 수 있다. 미세피치(QFP 0.3~0.2mm)에 대응 가능하다. 반면, 에칭법에 비해 생산기간이 2일정도 더 걸리며, 메탈마스크의 재질이 Ni인 경우에만 가능하기 때문에 SUS304에 비해 강도 및 장력 유지력이 떨어진다.

레이저(Laser)법은 에칭법의 근본적인 문제였던 0.3mm 피치홀 가공이 가능하며, Auto CAD에 의한 설계와 레이저 가공으로 모든 제작 절차가 끝남으로 제작일수를 줄일 수 있다. 반면, 레이저 가공시 홀 주위가 열처리됨에 따라 연성이 저하되게 되며, 가공 뒷면 및 가공면에 버(찌꺼기, bur)가 생성되고 가공면이 직선이 아닌 오목형상을 연속으로 인쇄 시 문제가 발생할 수 있다.

특허 등록번호 10-0767047(등록일자 2007년10월08일)의 발명의 명칭이 "전해연마지그 및 이를 이용한 메탈마스크의 전해연마방법"에서는, 메탈마스크를 수용한 상태로 전해연마장치 내부에 삽입 고정되어 메탈마스크에 형성된 버(Burr) 및 이물이 제거되도록 하는 전해연마지그 및 이를 이용한 메탈마스크의 전해연마방법을 개시하고 있으며, 여기서는 마스크 전체가 전해연마용액내에 담수하고 있기 때문에, 폴리에스텔로 만들어진 메쉬와, 메쉬와 서스마스크의 접합부가 인산, 글리세린, 염산, 질산, 황산, 크롬산, 질산 중 적어도 하나를 포함하는 전해연마용액에 노출되어 약화되어 메탈마스크를 장시간 사용할 수 없는 문제점이 있다.

그리고 특허 등록번호 10-0739298(등록일자 2007년07월12일)의 발명의 명칭이 "전해 연마장치 및 이를 이용한 마스크의 전해 연마방법"에서는, 모서리 등에 버와 매끄럽지 못한 표면을 매끄럽게 가공하기 위한 개구부가 형성된 마스크를 전해연마시키는 장치로서, 상기 마스크를 침지시키기 위한 전해액이 담겨진 전해조, 상기 전해액에 일부가 침지되며, 상기 마스크와 접속되어 상기 마스크에 (+) 전하를 공급하는 제1 전극, 상기 전해액 중에 일부가 침지되어 (-) 전하를 갖는 제2 전극 및 상기 마스크와 대응되는 영역의 적어도 일 측에 구비되는 보조 전극을 포함하며, 상기 전해액 내부의 일영역에 기포 발생부가 더 구비하는 것으로 특징으로 한다.

이 특허문헌의 도면들의 참고하면 알 수 있듯이, 메탈마스크 전체를 전해조에 침지시키는 구성으로 이전 특허문헌과 마찬가지로 폴리에스텔로 만들어진 메쉬와, 메쉬와 서스마스크의 접합부가 전해연마용액(전해질)에 노출되어 약화되어 메탈마스크를 장시간 사용할 수 없는 문제점이 있다.

전해연마 장치를 보다 간단하게 하고 작업 공정도 단순화할 수 있으며, 가공할 필요가 없는 부분을 제외하고 가공할 부분이 있는 즉, 개구부를 형성하는 서스마스크 부분만을 전해액에 침지시키는 장치가 필요하다.

특허 등록번호 10-0767047(등록일자 2007년10월08일) 특허 등록번호 10-0739298(등록일자 2007년07월12일)

상술한 종래 기술의 문제점을 해소하기 위해서, 본 발명의 목적은 메탈마스크 전체를 전해액에 침지시키는 구성 대신에 개구부가 있는 서스마스크 부분만을 침지시켜서 연마하는 메탈마스크 전해연마 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 메탈마스크의 메쉬의 약화를 줄일 수 있어서 메탈마스크를 장시간 사용할 수 있는 메탈마스크 전해연마 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 장치를 간단하게 할 수 있고 작업 공정도 단순화하여 자동화 작업에 매우 유리한 메탈마스크 전해연마 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 전해액의 밀봉 공간을 확인할 수 있는 투명창이 제공된 메탈마스크 전해연마 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 메탈마스크를 수평으로 유지하고 이동시킬 수 있고 장치를 지지하는 지지대가 제공된 메탈마스크 전해연마 장치를 제공하는 것이다.

본 발명은 메탈마스크의 개구부의 버나 매끄럽지 못한 표면을 가공함에 있어서, 개구부가 있는 서스마스크 부분만을 침지시켜서 연마하기 위한 메탈마스크 전해연마 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 메탈마스크 전해연마 장치는 상기 메탈마스크에 중심맞추어서 상측에 위치설정하고 있는 상판, 상기 상판의 상측에 한 측이 고정되어 상판을 상하로 이동시키는 공압 실린더와 상기 공압 실린더의 타 측이 고정되어 있는 공압 펌프를 포함하는 가압수단, 상기 메탈마스크의 중심 맞추어서 하측에 위치설정하고 있는 하판, 상기 상판의 한 측면에 연결된 주입구와 연결되는 주입관과 상기 하판의 한 측면에 연결된 배출구에 연결되는 배출관을 포함하는 전해액을 저장하는 탱크와, 상기 가압수단을 고정하고 상기 하판을 지지하는 지지대와 상기 전해액에 전류를 공급하기 위한 정류기를 포함한다.

상기 상판은 연기의 외부 배출을 위해서 연기 배출구와 전해액의 주입을 위한 주입구와 하단의 4각 테두리를 둘러싸서 돌출하는 돌출부와 서스마스크를 밀봉하기 위한 상기 돌출부와 상기 서스마스크 사이에 접착고정된 밀봉 링을 포함한다.

상기 하판은 전해액의 배출을 위한 배출구와 상단의 4각 테두리를 둘러싸서 돌출하는 돌출부와 상기 서스마스크를 밀봉하기 위한 상기 돌출부와 상기 서스마스크 사이에 접착고정된 밀봉 링을 포함한다.

상기 상판은 상부에 투명창을 더 포함한다.

상기 지지대는 상기 하판을 수평상태로 위치설정시키는 수평판과, 수직 직각 기둥을 포함하는 사방탁자의 형상을 이루고 있으며, 상기 수직 직각 기둥의 모서리가 직각으로 형성되어 있으며. 상기 지지대는 상기 메탈마스크의 위치설정시 가이드 바로서 작용하고 또한 메탈마스크의 수평을 유지할 수 있는 수단을 더 포함한다.

상기 가압수단은 기계 수단 또는 유압 수단을 포함할 수 있다.

본 발명의 개구부가 있는 서스마스크 부분만을 침지시켜서 연마하는 메탈마스크 전해연마 장치를 제공함으로써, 메탈마스크의 메쉬부를 약화를 줄일 수 있어서 메탈마스크를 장시간 사용할 수 있다. 그리고 장치를 간단하게 할 수 있고 작업 공정도 단순화하여 자동화 작업에 매우 유리하다. 또한 인체에 해로운 전해액을 누설하지 않고 안정하게 작업을 할 수 있다. 메탈마스크를 수평으로 유지한 채로 작업할 수 있게 하여 메탈마스크의 비틀림으로 인한 수선작업을 줄일 수 있으며, 메탈마스크의 수명을 연장할 수 있다.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술하는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1 본 발명에 사용되는 일반적인 메탈마스크의 사시도이다.
도 2은 본 발명의 양호한 실시 예를 도시적으로 설명하는 메탈마스크 전해연마 장치의 개략도이다.
도 3은 본 발명의 메탈마스크 전해연마 장치의 상판의 사시도(a)와 저면도(b)를 도시한다.
도 4는 본 발명의 메탈마스크 전해연마 장치의 하판의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 지지대의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 메탈마스크 전해연마 장치의 전해연마 작업시의 구성도이다.

본 명세서에 개시되어 있는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태들로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다.

본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 특정한 개시 형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.

이하에서는, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

도 1 본 발명에 사용되는 일반적인 메탈마스크의 사시도이다. 메탈마스크는 PCB의의 랜드 위치에 따라서 솔더크림을 도포할 수 있게 가공한 치공구이다. 특허 등록번호 10-0170660의 공보에 개시된 바와 같이, 메탈마스크(1)는 서스마스크(2), 프레임(3) 및 메쉬(5)를 포함한다. 본 발명의 양호한 실시 예에서는 프레임(2)은 알루미늄 재질이며 4각형을 형성하고 있다. 메쉬(5)는 폴리에스텔재질이며, 서스마스크(2)는 스테인레스 스틸(SUS 304) 재질로 구성되어 있다. 사각형의 알루미늄 프레임(3)에 폴리에스텔 메쉬(4)를 견장기를 통해서 팽팽하게 하여 접착하고, 폴리에스텔 메쉬(4)위에 서스마스크(2)의 가장자리를 부착하고 나머지 폴리에스텔 메쉬를 절단하고 폴리에스텔 메쉬(4)와 서스마스크(2) 가장자리에 에폭시를 코팅하여 방수한다. 그리고 서스마스크(2)에 레이저를 이용해서 개구부(5)를 형성한다. 레이저 가공시에 개구부 주위가 열처리됨에 따라서 가공 뒷면 및 가공면에서 버가 생기고 매끄럽지 못한 표면도 생기게 된다. 이는 추후의 솔더크림으로 인쇄할 때 개구부의 형상이 정밀하게 인쇄되지 못하는 문제를 야기한다.

그리고, 보통 메탈마스크의 두께는 0.15 내지 0.1mm이다. 개구부의 가공상태와 마스크 원판의 상태가 매우 중요하다. 메쉬의 인장은 두드려서 소리가 경쾌하면 양품이고 게이지로 측정시 초기치보다 1/3 내지 1/2이하면 폐기해야 한다. 그리고 프레임의 뒤틀림은 정반 위에 놓고 네귀퉁이를 측정했을 때 0.1mm이나, 실제측정하여 30% 이상 틀어지면 폐기처리해야 한다. 사용후 개구부는 보관용 랩을 붙여서 보관해야 한다.

도 2은 본 발명의 양호한 실시 예를 도시적으로 설명하는 메탈마스크 전해연마 장치의 개략도이다. 통상적으로 상술한 바와 같이 메탈마스크의 두께는 0.15 내지 0.1mm이지만, 도면에서는 이해를 돕기 위해서 두께가 과장해서 도시되어 있다. 메탈마스크 전해연마 장치는 레이저 가공시에 개구부 주위가 열처리됨에 따라서 가공 뒷면 및 가공면에서 생긴 버와 매끄럽지 못한 표면을 해결하기 위한 것으로, 메탈마스크의 전체를 전해액에 침지시키지 않고 개구부가 가공된 서스마스크(2) 부분만 가공하기 위한 것이다. 도 2에 도시한 바와 같이, 메탈마스크 전해연마 장치는 메탈마스크(1)에 중심맞추어서 상측에 위치설정하고 있는 상판(10), 상판(10)의 상측에 한 측이 고정되어 상판을 상하로 이동시키는 공압 실린더(31)와 공압 실린더의 타 측이 고정되어 있는 공압 펌프(32)를 포함하는 가압수단(30), 메탈마스크(1)의 중심 맞추어서 하측에 위치설정하고 있는 하판(20), 상판(10)의 한 측면에 연결된 주입구(14)와 연결되는 주입관(44)과 하판(20)의 한 측면에 연결된 배출구(24)에 연결되는 배출관(43)을 포함하는 전해액을 저장하는 탱크(40)를 포함한다. 공압 펌프(32)는 지지대(50)에 의해 고정되어 있다. 지지대(50)는 메탈마스크의 메쉬(4)의 인장력을 유지하고 프레임(3)의 뒤틀림을 방지해야 한다. 의 양호한 실시 예에서는 메탈마스크의 위치설정시 가이드 바로서 작용하고 또한 메탈마스크의 수평을 유지할 수 있는 수단을 더 포함한다.

도 3은 본 발명의 메탈마스크 전해연마 장치의 상판의 사시도(a)와 저면도(b)를 도시한다.

상판(10)의 상측에는 전해액의 투입속도와 양을 눈으로 확인할 수 있게 투명창(11)으로 덮여져 있다. 그리고 전해액은 질산 불산등의 혼산을 사용하게 되는데 질산 불산의 경우 인체에 접촉시 대단히 유해하기 때문에 어떠한 누설이 일어나서는 안된다. 작업중에서 이들 화학품의 연기가 발생하며, 이런 연기를 인체에 해롭기 때문에 외부로 배출해야 한다. 연기의 외부 배출을 위해서 상판(10)에 연기 배출구(13)를 포함하고 있으며, 전해액의 주입을 위한 주입구(14)와 하단의 4각 테두리를 둘러싸서 돌출하는 돌출부(15)를 포함한다.

도 3의 b에 도시한 상판(10)의 저면도는 돌출부(15) 사이에 밀봉 링(16)가 접착고정되어 있다. 밀봉 링(16)는 공압 실린더(31)의 하강해서 상판(10)을 가압하면 밀봉 링(16)는 역시 서스마스크(2)를 가압해서 서스마스크(2)와 밀봉 링(16)의 접착부분은 어떠한 액체나 기체도 유출되지 않게 된다.

도 4는 본 발명의 메탈마스크 전해연마 장치의 하판의 사시도를 도시한다. 도 4에 도시한 바와 같이, 하판(20)은 전해액의 배출하기 위한 중앙에서부터 하단으로 이어지는 배출구(24)와 상단의 4각 테두리를 둘러싸서 돌출하는 돌출부(25)를 포함한다. 도 3의 b와 마찬가지로 돌출부(25) 사이에 밀봉 링(26)이 접착고정되어 있다. 밀봉 링(26)은 공압 실린더(31)의 하강해서 상판(10)을 가압하고 그 아래에 놓여진 서스마스크(2)를 가압하여 하판(20)의 밀봉 링(26)과 접촉하고 있는 서스마스크(2)의 부분을 가압해서 서스마스크(2)와 밀봉 링(26)의 접착부분은 어떠한 액체나 기체도 유출되지 않게 된다. 배출구(24)는 배출관(44)을 통해서 탱크(40)에 연결되어 있다. 전해연마가 종료되고 배출관(43)에 설치된 밸브를 열면 전해액은 배출관(43)을 통해서 탱크로 들어간다.

하판(20)은 도 5에 도시한 바와 같은 지지대(50)의 수평판(52)상에 놓여 있으며 수평판에는 배출관(43)을 삽입할 수 있는 구멍이 제공되어 있다. 지지대(50)는 상술한 바와 같이 하판(20)을 수평상태로 위치설정시키는 수평판(52)과, 수직 직각 기둥(51)을 포함하는 사방탁자의 형상을 이루고 있다. 상부에는 공압펌프(32)를 고정하기 위한 수평바가 설치되어 있다. 지지대(50)는 메탈마스크의 메쉬(4)의 인장력을 유지하고 프레임(3)의 뒤틀림을 방지하도록 구성되어 있다. 양호한 실시 예에서는 수직 직각 기둥(51)의 모서리(53)가 직각으로 형성되어 있으며, 상기 모서리(53)에는 클램프(70)가 슬라이드가능한 방식으로 고정되어서 메탈마스크(1)의 위치설정시 가이드 바로서 작용하고 또한 메탈마스크의 수평을 유지할 수 있게 한다. 직각 모서리에 의해서 X 및 Y 방향으로의 프레임(3)의 흔들림이나 비틀어짐이 방지될 수 있다. 클램프(70)는 메탈마스크(1)의 위치설정후 공압실린더(31)의 하강시에 클램프(70)도 메탈마스크(1)를 단단하고 고정하여 어떠한 흔들림이나 비틀어짐이 없게 수직 직각 기둥(51)을 따라서 하강한다. 도면에서는 기둥(51)에 하나만 도시되어 있지만 통상적으로 4개의 기둥(51) 모두에 설치되어 있다. 따라서 클램프(70)에 의해 항상 메탈마스크(1)가 수평으로 유지될 수 있어, 전해액이 서스마스크(2)를 균일하게 연마할 수 있게 한다. 그리고 지지대(50)와 클램프(70)는 서스마스크(2)의 부분을 정확하게 위치시키고, 메탈마스크의 뒤틀림과 메쉬의 인장력 저하를 방지할 수 있다. 따라서 메탈마스크의 수명을 연장하고 또한 재사용시 메탈마스크의 수선 작업을 줄일 수 있다.

도 6은 본 발명의 메탈마스크 전해연마 장치의 전해연마 작업시의 구성도이다. 도 6에 도시한 바와 같이, 서스마스크(2)의 개구부(5)의 버나 매끄럽지 못한 부분을 제거하기 위해서 전해액을 이들 사이에 투입해서 일정기간 전해연마를 야기해야 한다. 인체에 해로운 전해액을 완전히 밀봉하기 위해서 공압 실린더(31)가 상판(10)을 가압해서 상판(10)과 하판(20) 사이에 삽입된 서스마스크(2)를 상판(10)과 하판(20)의 밀봉 링(16, 26)을 통해서 완전히 밀봉된 상태로 유지한 상태에서 밀봉 공간(80)을 형성한다. 밀봉 공간(80)의 밀봉 상태를 확인하고 탱크(40)로부터 전해액을 펌프를 통해서 밀봉 공간(80)으로 주입하면 전해액은 상판(10)을 통해서 개구부(5)로 주입되고 개구부(5)를 통해서 하판(20)으로 배출된다. 밀봉 공간(60)에서 개구부(5)는 전해액에 완전히 침지하게 되어 버와 매끄럽지 못한 표면과 반응하여 이를 제거한다. 작업이 끝나면, 배출관(43)의 밸브를 열어서 전해액을 탱크(40)로 돌려보낸다.

도 2를 다시 참고하면, 정류기(60)는 밀봉 공간(80)내의 전해액의 반응을 위해서 전류를 공급한다. 정류기(60)의 양극은 메탈마스크 측면에 제공된 전극안내수단(양호한 실시 예에서는 클램프(70))를 통해서 서스마스크(2)에 전기적 연결되고 음극은 하판(20)의 내부를 통해서 전기적 연결되어 있다.

상판(10)을 상하로 이동시키는 가압수단(30) 대신에 기계 수단, 예를 들어 나사방식을 이용한 수단 또는 유압 수단 등을 사용할 수 있다.

다음으로 본 발명의 메탈마스크 전해연마 장치를 이용한 서스마스크(2)의 개구부(5)의 가공 방법에 대해서 간략하게 설명하겠다.

먼저, 지지대 위에 하판을 고정하고, 하판 위에 메탈마스크의 서스마스크가 하판의 밀봉 링과 접촉하도록 배치하고, 공압실린더를 작동해서 상판의 밀봉 링과 서스마스크와 접촉하게 하고, 공압실린더를 더 가압하여 서스마스크와 하판의 밀봉 링과 상판의 밀봉 링상의 밀봉 공간을 형성하고, 밀봉 상태를 확인하고, 펌프를 작동시켜서 밀봉 공간에 전해액을 주입하여 서스마스크의 개구부를 침지하고, 그리고 정류기를 통해서 전류를 가하여 개구부 상의 버나 매끄럽지 못한 표면을 전해연마한다.

양호한 실 시예에서는 지지대 위에 하판을 고정하고, 지지대의 기둥에 설치된 클램프에 메탈마스크를 배치하고 클램프를 지지대의 기둥에서 수직으로 이동시켜서 메탈마스크를 수평상태로 서스마스크가 하판의 밀봉 링과 접촉하도록 배치하고, 공압실린더를 작동해서 상판의 밀봉 링과 서스마스크와 접촉하게 하고, 공압실린더를 더 가압하여 서스마스크와 하판의 밀봉 링과 상판의 밀봉 링상의 밀봉 공간을 형성하고, 밀봉 상태를 확인하고, 펌프를 작동시켜서 밀봉 공간에 전해액을 주입하여 서스마스크의 개구부를 침지하고, 그리고 정류기를 통해서 전류를 가하여 개구부 상의 버나 매끄럽지 못한 표면을 전해연마한다.

그리고 나서, 밀봉 공간내의 전해액을 배출하고 상술한 순서와 역순으로 해서 가공된 메탈마스크를 빼내고 새로운 메탈마스크를 다시 가공한다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다. 이는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

1: 메탈마스크
2: 서스마스크
5: 개구부
10: 상판
13 : 연기 배출구
15: 돌출부
16: 밀봉 링
20: 하판
25: 돌출부
26: 밀봉 링
31: 공압 실린더
50: 지지대
51: 기둥
52: 수평판
53: 수직 모서리
60: 정류기
70: 클램프

Claims

메탈마스크 전해연마 장치로서,
상기 메탈마스크에 중심맞추어서 상측에 위치설정하고 있는 상판,
상기 상판의 상측에 한 측이 고정되어 상판을 상하로 이동시키는 공압 실린더와 상기 공압 실린더의 타 측이 고정되어 있는 공압 펌프를 포함하는 가압수단,
상기 메탈마스크의 중심 맞추어서 하측에 위치설정하고 있는 하판,
상기 상판의 한 측면에 연결된 주입구와 연결되는 주입관과 상기 하판의 한 측면에 연결된 배출구에 연결되는 배출관을 포함하는 전해액을 저장하는 탱크,
상기 가압수단을 고정하고 상기 하판을 지지하는 지지대와,
상기 전해액에 전류를 공급하기 위한 정류기를 포함하며,
상기 상판은 연기의 외부 배출을 위해서 연기 배출구와 전해액의 주입을 위한 주입구와 하단의 4각 테두리를 둘러싸서 돌출하는 돌출부와 서스마스크를 밀봉하기 위한 상기 돌출부와 상기 서스마스크 사이에 접착고정된 밀봉 링을 포함하며,
상기 하판은 전해액의 배출을 위한 배출구와 상단의 4각 테두리를 둘러싸서 돌출하는 돌출부와 상기 서스마스크를 밀봉하기 위한 상기 돌출부와 상기 서스마스크 사이에 접착고정된 밀봉 링을 포함하는 메탈마스크 전해연마 장치.
제1항에 있어서,
상기 상판은 상부에 투명창을 더 포함하는 메탈마스크 전해연마 장치.
제1항에 있어서,
상기 지지대는 상기 하판을 수평상태로 위치설정시키는 수평판과, 수직 직각 기둥을 포함하는 사방탁자의 형상을 이루고 있으며, 상기 수직 직각 기둥의 모서리가 직각으로 형성되어 있으며. 상기 지지대는 상기 메탈마스크의 위치설정시 가이드 바로서 작용하고 또한 메탈마스크의 수평을 유지할 수 있는 수단을 더 포함하는 메탈마스크 전해연마 장치.
제1항에 있어서,
상기 정류기의 양극은 상기 메탈마스크에 장착된 전극 안내수단에 전기적으로 연결되고 상기 정류기의 음극은 상기 하판의 내부로 전기적으로 연결되는 메탈마스크 전해연마 장치.
제1항에 있어서,
상기 가압수단은 기계 수단 또는 유압 수단을 포함하는 메탈마스크 전해연마 장치.