CN109782539B - 应用于黄光工艺的显影方法和治具结构 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种应用于黄光工艺的显影方法和治具结构，涉及黄光工艺显影技术领域。该应用于黄光工艺的显影方法包括将玻璃物料放入治具结构中进行油墨喷涂；通过曝光将第一光罩上的图案投影到所述玻璃物料上，所述第一光罩上的图案相对于所述玻璃物料的外轮廓外扩；利用显影液进行显影，以将所述玻璃物料飞溅的油墨显影干净。本发明在进行油墨喷涂前将玻璃物料通过治具结构固定，油墨飞溅到非喷涂面的量较少；再通过外扩第一光罩的图案使玻璃物料油墨喷涂的面上完全受到光照，最后利用显影液将油墨显影干净，降低了边面油形成的概率。本发明解决了现有技术中存在的易形成了边面油技术问题。

Description

应用于黄光工艺的显影方法和治具结构

技术领域

本发明涉及黄光工艺显影技术领域，尤其是涉及一种应用于黄光工艺的显影方法和治具结构。

背景技术

微影技术是将光罩上的主要图案先转移至感光材料上，利用光线透过光罩照射在感光材料上，再以溶剂浸泡将感光材料受光照射到的部分加以溶解或保留，如此形成的光阻图案会和光罩完全相同或呈互补。由于微影制程的环境是采用黄光照明而非一般摄影暗房的红光，所以这一部分的制程被简称为“黄光”。微影制程很好地实现了黄光工艺治具结构视觉上的精准度。

以现有的3D手机前盖黄光制作工艺为例，首先是在玻璃平面基板上粘贴双面胶纸，在把玻璃手机前盖按照固定位置粘贴在平面基板上。玻璃手机前盖一面呈凹面，一面呈凸面，需要进行油墨喷涂的面为凹面，故将凸面与玻璃平面基板粘贴。对凹面进行油墨喷涂后，油墨易飞溅到玻璃的凸面上，经过后续步骤，在凸面倒边位置飞溅的油墨不易被显影干净，从而形成了边面油，现有的解决方案是通过人工擦拭，然而擦拭过程又易造成二次不良，如边透、牙缺等，可靠性低、生成成本高。

基于此，本发明提供了一种应用于黄光工艺的显影方法和装置以解决上述的技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种应用于黄光工艺的显影方法，以解决现有技术中存在的易形成了边面油，通过人工擦拭又易造成二次不良，如边透、牙缺等，可靠性低、生成成本高的技术问题。

本发明的目的还在于提供一种治具结构,所述治具结构用在上述应用于黄光工艺的显影方法中，用于解决上述技术问题。

基于上述第一目的，本发明提供了一种应用于黄光工艺的显影方法，包括：

步骤a，将玻璃物料放入治具结构中进行油墨喷涂；

步骤b，通过曝光将第一光罩上的图案投影到所述玻璃物料上，所述第一光罩上的图案相对于所述玻璃物料的外轮廓外扩；

步骤c，利用显影液进行显影，以将所述玻璃物料飞溅的油墨显影干净。

结合上述技术方案，进一步的，在步骤a和b之间，还包括：

通过曝光将第二光罩上的图案投影到所述玻璃物料上，所述第二光罩上的图案相对于所述玻璃物料的外轮廓内缩；

对经过曝光的所述玻璃物料再次进行油墨喷涂。

结合上述技术方案，进一步的，所述第一光罩上的图案相对于所述玻璃物料的外轮廓外扩0.05-0.1mm。

结合上述技术方案，进一步的，所述第二光罩上的图案相对于所述玻璃物料的外轮廓内缩0.03-0.08mm。

结合上述技术方案，进一步的，所述显影液的浓度为6.8-8ms/cm，所述显影液的温度为30-31℃。

结合上述技术方案，进一步的，所述显影液的喷淋压力为0.5-1.2Pa。

基于上述第二目的，本发明提供了一种治具结构,所述治具结构上设置有与所述玻璃物料相对应的型腔；所述型腔与真空气泵的抽气口连通。

结合上述技术方案，进一步的，所述型腔的长和宽的大小比所述玻璃物料的上公差单边大0.1-0.15mm。

结合上述技术方案，进一步的，所述型腔的长边和短边高度比所述玻璃物料高0.1-0.15mm。

结合上述技术方案，进一步的，所述型腔的倒角位置比所述玻璃物料低0.1-0.15mm。

本发明提供的所述应用于黄光工艺的显影方法，将玻璃物料放入治具结构中进行油墨喷涂；通过曝光将第一光罩上的图案投影到所述玻璃物料上，所述第一光罩上的图案相对于所述玻璃物料的外轮廓外扩；利用显影液进行显影，以将所述玻璃物料飞溅的油墨显影干净。本发明在进行油墨喷涂前将玻璃物料通过治具结构固定，油墨飞溅到非喷涂面的量较少；再通过外扩第一光罩的图案使玻璃物料油墨喷涂的面上完全受到光照，最后利用显影液将油墨显影干净，降低了边面油形成的概率。

本发明提供的所述治具结构，所述治具结构上设置有与所述玻璃物料相对应的型腔；所述型腔与真空气泵的抽气口连通。所述治具结构除了用于固定玻璃物料，治具结构中的型腔还能够包裹所述玻璃物料的非喷涂面，减少了油墨飞溅。

基于此，本发明较之原有技术，具有降低边面油形成概率，提高可靠性和降低成本的优点。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例一提供的应用于黄光工艺的显影方法的工艺流程图；

图2为本发明实施例二提供的应用于黄光工艺的显影方法的另一种工艺流程图；

图3为本发明实施例三提供的治具结构第一视角的结构示意图；

图4为本发明实施例三提供的治具结构第二视角的结构示意图；

图5为本发明实施例三提供的治具结构第三视角的结构示意图。

图标：100-治具本体；101-型腔；102-定位凸台。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

现有的3D手机前盖黄光制作工艺，是在玻璃平面基板上粘贴双面胶纸，在把玻璃手机前盖按照固定位置粘贴在平面基板上。玻璃手机前盖一面呈凹面，一面呈凸面，需要进行油墨喷涂的面为凹面，故将凸面与玻璃平面基板粘贴。对凹面进行油墨喷涂后，油墨易飞溅到玻璃的凸面上，经过后续步骤，在凸面倒边位置飞溅的油墨不易被显影干净，从而形成了边面油，现有的解决方案是通过人工擦拭，然而擦拭过程又易造成二次不良，如边透、牙缺等，可靠性低、生成成本高。

实施例一

在本实施例中提供了一种应用于黄光工艺的显影方法，如图1所示，该应用于黄光工艺的显影方法包括：

步骤a，将玻璃物料放入治具结构中进行油墨喷涂；

步骤b，通过曝光将第一光罩上的图案投影到所述玻璃物料上，所述第一光罩上的图案相对于所述玻璃物料的外轮廓外扩；

步骤c，利用显影液进行显影，以将所述玻璃物料飞溅的油墨显影干净。

以玻璃物料为3D手机前盖为例，3D手机前盖的一面呈凹面，另一面呈凸面，加工面为凹面。由于传统的加工中，凸面通过双面胶纸粘贴在玻璃平面基板上，进行油墨喷涂的过程油墨容易飞溅到凸面的倒边位置，经过后续步骤后也不易将其显影干净，形成了边面油。本实施例在进行油墨喷涂工艺前，首先利用一个治具结构，治具结构上设置有与3D手机前盖的凸面相吻合的型腔，该型腔与真空气泵的抽气口连通，3D手机前盖放置在治具结构上后，通过真空负压吸附在型腔中。其中，所述型腔的长和宽的大小比所述玻璃物料的上公差单边大0.1-0.15mm；所述型腔的长边和短边高度比所述玻璃物料高0.1-0.15mm；所述型腔的倒角位置比所述玻璃物料低0.1-0.15mm。利用上述治具结构进行油墨喷涂后，在3D手机前盖凸面飞溅的油墨相比传统的方式较少。

3D手机前盖的凹面进行油墨喷涂后，需要进行一次曝光，以将第一光罩上的图案投影到所述3D手机前盖的凹面上。为了使得3D手机前盖的凹面完全受到UV光照，曝光时，所述第一光罩上的图案相对于所述玻璃物料的外轮廓外扩0.05-0.1mm。如此，显影过程中，3D手机前盖凸面的油墨由于收到光照射的能量小于凹面区域，增加显影液的喷淋压力便能溶于显影液中，不易形成边面油，更不易造成边透、牙缺等二次不良。

本实施例的可选方案中，所述显影液的浓度为6.8-8ms/cm，所述显影液的温度为30-31℃。

本实施例中，显影液的浓度由原来的5.2-6.5ms/cm增加至6.8-8ms/cm，显影液的温度由25-28℃增加至30-31℃；另外，显影液的喷淋压力也由原来0.2-0.5Pa增加至0.5-1.2Pa，进一步改善了出现边面油的情况。

基于此，本发明较之原有技术，具有不易形成边面油的缺陷，可靠性较高的优点。

实施例二

本实施例提供的所述应用于黄光工艺的显影方法，是对实施例一提供的所述应用于黄光工艺的显影方法的进一步改进。

同样以玻璃物料为3D手机前盖为例，3D手机前盖的一面呈凹面，另一面呈凸面，加工面为凹面。

如图2所示，在本实施例中提供了一种应用于黄光工艺的显影方法，包括：

步骤a，将玻璃物料放入治具结构中进行油墨喷涂。

本实施例在进行油墨喷涂工艺前，首先利用一个治具结构，治具结构上设置有与3D手机前盖的凸面相吻合的型腔，该型腔与真空气泵的抽气口连通，3D手机前盖放置在治具结构上后，通过真空负压吸附在型腔中。其中，所述型腔的长和宽的大小比所述玻璃物料的上公差单边大0.1-0.15mm；所述型腔的长边和短边高度比所述玻璃物料高0.1-0.15mm；所述型腔的倒角位置比所述玻璃物料低0.1-0.15mm。利用上述治具结构进行油墨喷涂后，在3D手机前盖凸面飞溅的油墨相比传统的方式较少。

本实施例在进行一次油墨喷涂后，做了如下操作：

步骤x，通过曝光将第二光罩上的图案投影到所述玻璃物料上，所述第二光罩上的图案相对于所述玻璃物料的外轮廓内缩；

步骤y，对经过曝光的所述玻璃物料再次进行油墨喷涂。

本实施例经过步骤a油墨喷涂之后，需要进行一次曝光，以将第二光罩上的图案投影到所述3D手机前盖的凹面上。其中，所述第二光罩上的图案相对于所述玻璃物料的外轮廓内缩0.03-0.08mm，内缩的目的主要是使得3D手机前盖的凸面弧边倒边位置不受光照。

步骤b，通过曝光将第一光罩上的图案投影到所述玻璃物料上，所述第一光罩上的图案相对于所述玻璃物料的外轮廓外扩。

在步骤b之后，喷涂在3D手机前盖的凹面上的油墨为两层，进行了两次曝光，即接受两次光照，第一次是将第二光罩上的图案内缩后进行，第二次是将第一光罩的图案外扩后进行，因此，3D手机前盖的凸面弧边倒边位置的油墨为两层，但只接受了一次的光照，在后续的显影过程中，油墨的厚度相比实施例一中只经过一次油墨喷涂的情况厚度较大，被显影后不易出现边透的情况。

步骤c，利用显影液进行显影，以将所述玻璃物料飞溅的油墨显影干净。

3D手机前盖凸面喷溅的油墨由于收到光照射的能量小于凹面区域，将显影液的喷淋压力由由原来0.2-0.5Pa增加至0.5-1.2Pa便能溶于显影液中，因此不易形成边面油，更不易造成边透、牙缺等二次不良。

另外，本实施例中，显影液的浓度由原来的5.2-6.5ms/cm增加至6.8-8ms/cm，显影液的温度由25-28℃增加至30-31℃，进一步提高了显影的效果。

实施例三

如图3和图4所示，该实施例提供了一种治具结构，所述治具结构，所述治具结构上设置有与所述玻璃物料相对应的型腔；所述型腔与真空气泵的抽气口连通。

具体的，治具结构包括治具本体100，与玻璃物料对应的型腔101设置在治具本体100的一侧，治具本体100的另一侧设置有真空吸附孔和定位凸台102，型腔通过真空吸附孔与真空气泵的抽气口连通，定位凸台用于使治具结构方便的卡在载板上，并起到固定在载板上的作用。

本实施例的可选方案中，所述型腔的长和宽的大小比所述玻璃物料的上公差单边大0.1-0.15mm。

本实施例的可选方案中，所述型腔的长边和短边高度比所述玻璃物料高0.1-0.15mm。

本实施例的可选方案中，所述型腔的倒角位置比所述玻璃物料低0.1-0.15mm，如图5所示。

本实施例提供的治具结构，能够包裹玻璃物料的非喷涂面，即3D手机前盖的凸面，为使凹面能够整面均匀喷涂，将型腔设计为长和宽的大小比所述玻璃物料的上公差单边大0.1-0.15mm，型腔的长边和短边高度比所述玻璃物料高0.1-0.15mm，型腔的倒角位置比所述玻璃物料低0.1-0.15mm的结构形式，既保证了整面喷涂凹面，又减少了凸面的油墨飞溅。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (3)

1.一种应用于黄光工艺的显影方法，其特征在于，包括：

步骤a，将玻璃物料放入治具结构中进行油墨喷涂；

通过曝光将第二光罩上的图案投影到所述玻璃物料上，所述第二光罩上的图案相对于所述玻璃物料的外轮廓内缩；

对经过曝光的所述玻璃物料再次进行油墨喷涂；

步骤b，通过曝光将第一光罩上的图案投影到所述玻璃物料上，所述第一光罩上的图案相对于所述玻璃物料的外轮廓外扩；

步骤c，利用显影液进行显影，以将所述玻璃物料飞溅的油墨显影干净；

所述第一光罩上的图案相对于所述玻璃物料的外轮廓外扩0.05-0.1mm；

所述第二光罩上的图案相对于所述玻璃物料的外轮廓内缩0.03-0.08mm。

2.根据权利要求1所述的应用于黄光工艺的显影方法，其特征在于，所述显影液的浓度为6.8-8ms/cm，所述显影液的温度为30-31℃。

3.根据权利要求2所述的应用于黄光工艺的显影方法，其特征在于，所述显影液的喷淋压力为0.5-1.2Pa。

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