CN212834079U - 一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动刷镀镍的电镀刷 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动刷镀镍的电镀刷，包括燕尾连接件，储液盒，金属固定板和金属丝；燕尾连接件由连接部和移动部组成，连接部为燕尾凸台，移动部为中空的长方体结构，移动部内置有储液盒，移动部与金属固定板固定连接。本实用新型的优点在于电镀刷设置有金属丝，金属丝能够完全贴合被镀工件的弯曲表面，保证刷镀时镀层均匀；第一红外传感器和第二红外传感器位于金属板的斜对角处，通过红外测距从而检测金属固定板与被镀件的距离和角度状态，提高电镀刷的电镀精确度。

Description

一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动刷镀镍的电镀刷

技术领域

本实用新型涉及刷镀镍技术领域，特别是涉及一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动刷镀镍的电镀刷。

背景技术

半导体蚀刻也称半导体光化学蚀刻，通过曝光制版将蚀刻区域的保护膜去除，去除保护膜的区域在蚀刻时被溶解和腐蚀，进而形成凹凸和镂空成型的效果；随着芯片集成度提高和尺寸的缩小，高精确的等离子体刻蚀工艺越来越重要，其中半导体蚀刻设备中的蚀刻反应腔室是不可缺少的部件，由于等离子体在蚀刻过程中，蚀刻反应腔的表面同样会被等离子体损伤，尤其是气体入口附近，因为等离子体的尖端放电效应，此处受损最为严重，这样对蚀刻反应腔室产生两方面的问题，首先由于反应腔壁受损，其产生的微小粒子容易影响到反应腔中的被蚀刻物质，在其上形成缺陷，从而给后续工艺以及良率带来负面影响；另一方面，反应腔在使用到一定程度后就需要根据受损程度更换以保证设备的正常使用。

为了保护蚀刻设备，通常会对蚀刻反应腔的表面进行电刷镀，电刷镀也称为涂镀或无槽电镀，属于电化学加工中电镀工艺的范筹，利用电镀液中的金属离子在电场的作用下将镀覆沉积到阴极，金属离子在作为负极的工件表面上放电结晶，形成金属覆盖层，电镀时采用一个同阳极连接并能提供电镀需要的电解液的电镀笔，将电镀笔在作为阴极的工件上移动进行电镀，其中电镀笔为不溶性阳极，镀液采用有机镍合物的金属盐水溶液，刷镀时电镀笔与工件表面接触并不断地移动。

现有的刷镀镍装置依靠一个与阳极接触的电镀笔提供电镀需要的电解液，电镀时电镀笔在被镀的阴极上移动，电镀笔使用定制的电镀溶液和专用的直流电源，工作时被镀工件连接电源的负极，镀笔连接电源的正极，连接阳极的电镀笔周围包裹着电镀液，电镀笔在工件表面擦拭，电镀液中的金属离子在工件表面与阳极相接触的各点上发生放电结晶，随着时间增长镀层逐渐加厚从而覆盖在被镀工件的表面。但是目前的刷镀镍装置无法满足半导体蚀刻反应腔室的表面处理要求，在使用现有刷镀镍装置进行电镀过程中，被镀工件与镀笔存在相对运动速度不均匀的现象，运动速度不均匀会造成在断续结晶的过程中镀层表面会产生颗粒物，而且电镀层与电镀层之间的结合力不良，从而引起镀层起泡和脱落的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动刷镀镍的电镀刷，电镀刷能够完全贴合被镀工件的弯曲表面，通过红外传感器能够检测电镀刷与被镀件的距离和角度状态，提高电镀刷的电镀精确度，保证刷镀时镀层均匀。

一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动刷镀镍的电镀刷，包括燕尾连接件，储液盒，金属固定板和金属丝；燕尾连接件由连接部和移动部组成，连接部为燕尾凸台，移动部为中空的长方体结构，移动部内置有储液盒，移动部与金属固定板固定连接，金属固定板为长方体板状结构，金属固定板的下表面设置有通孔、速度传感器和红外传感器，通孔与储液盒相互连通，金属丝安装于金属固定板的通孔处，速度传感器安装于金属固定板的中心，红外传感器安装于金属固定板的两端。

电镀刷设置有金属丝，金属丝能够均匀覆盖被镀工件，金属丝具有较好柔韧性能够弯曲和变形，当刷镀曲面被镀工件时金属丝能够完全贴合被镀工件的表面，保证刷镀时镀层均匀。

进一步，燕尾连接件设置有燕尾凸台，燕尾凸台能够与燕尾槽相互匹配连接，燕尾凸台与燕尾槽为滑动式连接。

进一步，金属固定板设置有第一红外传感器和第二红外传感器，第一红外传感器设置于金属固定板的右上角位置，第二红外传感器设置于金属固定板的左下角位置。

外传感器用于探测距离，第一红外传感器和第二红外传感器位于金属板的斜对角处，当第一红外传感器和第二红外传感器探测到距离相等时，金属固定板处于水平状态，当第一红外传感器和第二红外传感器探测到距离不相等时，金属固定板处于倾斜状态，从而能够检测金属固定板与被镀件的距离和角度状态，提高电镀刷的电镀精确度。

进一步，金属固定板的下表面均匀分布有多个通孔，所述的通孔为圆形结构，每个通孔安装有多根金属丝，金属丝和通孔为固定连接。

进一步，燕尾连接件内置有储液盒，储液盒设置有供液装置，供液装置通过通孔将液体输送到金属丝上。

进一步，电镀刷的储液盒设置有通孔，金属固定板设置有通孔，储液盒通过通孔与金属固定板和金属丝连通。

电镀刷内置有储液盒，储液盒中的电镀液通过通孔均匀分布于金属丝上，在电镀过程中镀层厚度均匀，镀层之间的结合力牢固避免镀层起泡和脱落。

进一步，储液盒与金属固定板连接的通孔处设置有多个密封圈。

刷镀镍设备

一种全自动刷镀镍设备，包括操作平台，移动机构和电镀刷，移动机构固定安装于操作平台上，电镀刷与移动机构为可拆卸式连接；所述的操作平台包含机架，固定器，液体回收盒和数控装置，固定器安装于机架的两端，液体回收盒位于机架的中间，液体回收盒与机架固定连接，数控装置位于液体回收盒的下方，数控装置与机架固定连接；所述的移动机构由垂直移动支架，水平横向移动支架和水平纵向移动支架组成，垂直移动支架固定安装于操作平台的机架上，水平横向移动支架安装于垂直移动支架上，水平纵向移动支架安装于水平横向移动支架上，所述的电镀刷包含燕尾连接件，储液盒，金属固定板和金属丝，电镀刷的燕尾连接件与水平纵向移动支架安装连接，储液盒安装于金属固定板的上方，金属丝安装于金属固定板的下方。

刷镀镍设备包括操作平台、移动机构和电镀刷，刷镀镍设备通过操作平台对移动机构和电镀刷全自动操作，对于外形不平整的工件，刷镀镍设备通过控制移动机构的速度和距离保证电镀刷的移动精度，同时刷镀镍设备通过控制电镀刷的镀液剂量保证镀层厚度均匀，避免镀液浪费降低电刷镀的成本。

进一步，移动机构固定安装于操作平台的机架上，移动机构的垂直移动支架与操作平台相互垂直，垂直移动支架通过螺栓固定于操作平台的四个角。

进一步，电镀刷的燕尾连接件与水平纵向移动支架为可拆卸式连接，燕尾连接件与水平纵向移动支架有一个自由度，燕尾连接件与水平纵向移动支架通过燕尾槽导轨水平移动。

进一步，移动机构通过水平横向移动支架带动电镀刷在垂直方向上移动，移动机构通过水平纵向移动支架带动电镀刷在水平面做横向左右移动。

移动机构带动电镀刷自动移动，保证被镀工件与电镀刷的相对运动速度均匀，从而在断续结晶的过程中镀层表面不会产生波浪纹和颗粒物。

进一步，操作平台的侧面设置有连接孔，连接孔安装有固定器。

移动机构

一种全自动刷镀镍设备的移动机构，包括垂直移动支架，水平横向移动支架和水平纵向移动支架；所述的垂直移动支架由四根圆柱体立柱组成，圆柱体立柱垂直于水平面且相互平行，四根圆柱体立柱分别位于长方形的四个角；所述的水平横向移动支架由两根长方体立柱组成，长方体立柱安装于垂直移动支架的圆柱体立柱上，长方体立柱与圆柱体立柱相互垂直，两根长方体立柱位于同一水平面且相互平行，所述的水平纵向移动支架为正方体立柱，正方体立柱安装于水平横向移动支架的长方体立柱上，长方体立柱与水平横向移动支架的长方体立柱相互垂直，长方体立柱设置有燕尾槽。

进一步，水平横向移动支架与垂直移动支架之间只有一个自由度，垂直移动支架与水平面相互垂直，且垂直移动支架与水平面为固定连接，水平横向移动支架通过环套结构安装于垂直移动支架上，水平横向移动支架在垂直方向移动。

进一步，水平纵向移动支架与水平横向移动支架之间只有一个自由度，水平纵向移动支架与两根水平横向移动支架相互垂直，水平纵向移动支架在水平面做横向左右移动。

移动机构通过垂直移动支架、水平横向移动支架和水平纵向移动支架实现对电镀刷在垂直方向和水平方向的移动控制，在处理多个被镀工件时，自动控制可以减轻操作人员的劳动强度，提高工作效率的同时保证镀层质量，避免操作人员长期近距离接触镀液，保护操作人员的健康安全。

进一步，水平横向移动支架和水平纵向移动支架安装有电机，电机位于水平横向移动支架和水平纵向移动支架的两端，电机与水平横向移动支架和水平纵向移动支架固定连接。

进一步，水平横向移动支架与垂直移动支架通过环套结构连接，环套结构采用法兰直线轴承，水平纵向移动支架与水平横向移动支架通过滑轨结构连接，滑轨结构采用线性滑轨平台。

进一步，水平纵向移动支架为正方体立柱，水平纵向移动支架设置有导轨，导轨采用燕尾槽结构，燕尾槽设置于正方体立柱的下表面。

操作平台

一种全自动刷镀镍设备的操作平台，包括机架，固定器，液体回收盒和数控装置，所述的机架为长方体结构，机架的中间设置有工件槽，所述的固定器安装于机架的两侧，固定器由侧板和两根固定杆组成，两根固定杆位于同一水平面且相互平行，固定杆的一端穿过机架与侧板固定连接，固定杆与机架为滑动连接，所述的液体回收盒为中空的长方体结构，液体回收盒位于机架的中间，液体回收盒与机架固定连接，液体回收盒设置有导流口，所述的数控装置包含显示屏和操作台，操作台位于显示屏的侧边，数控装置位于液体回收盒的下方，数控装置与机架固定连接。

进一步，液体回收盒为长方体结构，液体回收盒的上表面由第一钢板和第二钢板组成，钢板的一侧与机架固定连接，钢板的另一侧悬空且设置有斜面，两片钢板固定于机架的两侧，两片钢板之间形成导流槽。

进一步，数控装置包含操作面板、显示屏、控制器和运算器，控制器和运算器集成于数控装置内部，操作面板和显示屏固定于数控装置表面。

数控装置接收输入信息，并将该信息进行识别、储存和运算，输出相应的指令脉冲给移动机构和电镀刷，进而控制设备进行全自动刷镀镍操作。

进一步，液体回收盒安装有压力传感器，液体回收盒的钢板表面安装有绝缘垫，压力传感器包含第一压力传感器和第二压力传感器，第一压力传感器安装于第一钢板上，第二压力传感器安装于第二钢板上，钢板受到压力会发生弯曲形变。

压力传感器用于检测被镀工件所受到的压力，在对不规则工件进行电刷镀时，通过检测被镀工件所受到的不同压力值调节移动机构的运动状态，当检测到的压力值过大，移动机构向上移动减小电镀刷对被镀工件的压力，从而实现对不规则工件进行全自动的数控电刷镀。

进一步，固定器由侧板和两根固定杆组成，侧板为长方形木板，固定杆上设置有卡扣，固定杆与侧板通过强力胶连接。

进一步，液体回收盒设置有斜面开口的中空凹槽，开口为漏斗结构，液体回收盒上表面放置被镀工件，液体回收盒上表面为具有弹性的钢板，钢板表面设置有绝缘垫。

本实用新型的优点在于：电镀刷设置有金属丝，金属丝能够完全贴合被镀工件的弯曲表面，保证刷镀时镀层均匀。第一红外传感器和第二红外传感器位于金属板的斜对角处，通过红外测距从而检测金属固定板与被镀件的距离和角度状态，提高电镀刷的电镀精确度。

附图说明

图1是一种全自动刷镀镍设备的结构示意图。

图2是一种刷镀镍设备的电镀刷结构示意图。

图3是一种电镀刷的金属固定板的结构示意图。

图4是一种刷镀镍设备的移动机构结构示意图。

图5是一种刷镀镍设备的操作平台结构示意图。

图中标识：操作平台1，移动机构2，电镀刷3，机架4，固定器5，液体回收盒6，数控装置7，垂直移动支架8，水平横向移动支架9，水平纵向移动支架10，燕尾连接件11，储液盒12，金属固定板13，通孔14，速度传感器15，红外传感器16，金属丝17，压力传感器18。

具体实施方式

针对现有技术存在的不足，本实用新型提供了一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动刷镀镍的电镀刷，电镀刷能够完全贴合被镀工件的弯曲表面，通过红外传感器能够检测电镀刷与被镀件的距离和角度状态，提高电镀刷的电镀精确度，保证刷镀时镀层均匀。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

作为一种实施方式，如图1所示，一种全自动刷镀镍设备，包括操作平台1，移动机构2和电镀刷3，移动机构2固定安装于操作平台1上，电镀刷3与移动机构2为可拆卸式连接；所述的操作平台1包含机架4，固定器5，液体回收盒6和数控装置7，固定器5安装于机架4的两端，液体回收盒6位于机架4的中间，液体回收盒6与机架4固定连接，数控装置7位于液体回收盒6的下方，数控装置7与机架4固定连接；所述的移动机构2由垂直移动支架8，水平横向移动支架9和水平纵向移动支架10组成，垂直移动支架8固定安装于操作平台1的机架4上，水平横向移动支架9安装于垂直移动支架8上，水平纵向移动支架10安装于水平横向移动支架9上，所述的电镀刷3包含燕尾连接件11，储液盒12，金属固定板13和金属丝17，电镀刷3的燕尾连接件11与水平纵向移动支架10安装连接，储液盒12安装于金属固定板13的上方，金属丝17安装于金属固定板13的下方。

优选的，刷镀镍设备包括操作平台1、移动机构2和电镀刷3，刷镀镍设备通过操作平台1对移动机构2和电镀刷3全自动操作，对于外形不平整的工件，刷镀镍设备通过控制移动机构2的速度和距离保证电镀刷3的移动精度，同时刷镀镍设备通过控制电镀刷3的镀液剂量保证镀层厚度均匀，避免镀液浪费降低电刷镀的成本。

优选的，移动机构2固定安装于操作平台1的机架4上，移动机构2的垂直移动支架8与操作平台1相互垂直，垂直移动支架8通过螺栓固定于操作平台1的四个角。

作为一种实施方式，电镀刷3的燕尾连接件11与水平纵向移动支架10为可拆卸式连接，燕尾连接件11与水平纵向移动支架10有一个自由度，燕尾连接件11与水平纵向移动支架10通过燕尾槽导轨水平移动。

优选的，移动机构2通过水平横向移动支架9带动电镀刷3在垂直方向上移动，移动机构2通过水平纵向移动支架10带动电镀刷3在水平面做横向左右移动。

优选的，移动机构2带动电镀刷3自动移动，保证被镀工件与电镀刷3的相对运动速度均匀，从而在断续结晶的过程中镀层表面不会产生波浪纹和颗粒物。

优选的，操作平台1的侧面设置有连接孔，连接孔安装有固定器5。

作为一种实施方式，电镀刷3的储液盒12设置有通孔14，金属固定板13设置有通孔14，储液盒12通过通孔14与金属固定板13和金属丝17连通。

优选的，电镀刷3内置有储液盒12，储液盒12中的电镀液通过通孔14均匀分布于金属丝17上，在电镀过程中镀层厚度均匀，镀层之间的结合力牢固避免镀层起泡和脱落。

优选的，储液盒12与金属固定板13连接的通孔14处设置有多个密封圈。

一种移动机构的实施方案

作为一种实施方式，如图4所示，一种全自动刷镀镍设备的移动机构，包括垂直移动支架8，水平横向移动支架9和水平纵向移动支架10；所述的垂直移动支架8由四根圆柱体立柱组成，圆柱体立柱垂直于水平面且相互平行，四根圆柱体立柱分别位于长方形的四个角；所述的水平横向移动支架9由两根长方体立柱组成，长方体立柱安装于垂直移动支架8的圆柱体立柱上，长方体立柱与圆柱体立柱相互垂直，两根长方体立柱位于同一水平面且相互平行，所述的水平纵向移动支架10为正方体立柱，正方体立柱安装于水平横向移动支架9的长方体立柱上，长方体立柱与水平横向移动支架9的长方体立柱相互垂直，长方体立柱设置有燕尾槽。

优选的，水平横向移动支架9与垂直移动支架8之间只有一个自由度，垂直移动支架8与水平面相互垂直，且垂直移动支架8与水平面为固定连接，水平横向移动支架9通过环套结构安装于垂直移动支架8上，水平横向移动支架9在垂直方向移动。

优选的，水平纵向移动支架10与水平横向移动支架9之间只有一个自由度，水平纵向移动支架10与两根水平横向移动支架9相互垂直，水平纵向移动支架10在水平面做横向左右移动。

优选的，移动机构2通过垂直移动支架8、水平横向移动支架9和水平纵向移动支架10实现对电镀刷3在垂直方向和水平方向的移动控制，在处理多个被镀工件时，自动控制可以减轻操作人员的劳动强度，提高工作效率的同时保证镀层质量，避免操作人员长期近距离接触镀液，保护操作人员的健康安全。

作为一种实施方式，水平横向移动支架9和水平纵向移动支架10安装有电机，电机位于水平横向移动支架9和水平纵向移动支架10的两端，电机与水平横向移动支架9和水平纵向移动支架10固定连接。

优选的，水平横向移动支架9与垂直移动支架8通过环套结构连接，环套结构采用法兰直线轴承，水平纵向移动支架10与水平横向移动支架9通过滑轨结构连接，滑轨结构采用线性滑轨平台。

优选的，水平纵向移动支架10为正方体立柱，水平纵向移动支架10设置有导轨，导轨采用燕尾槽结构，燕尾槽设置于正方体立柱的下表面。

一种电镀刷的实施方案

作为一种实施方式，如图2所示，一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动刷镀镍的电镀刷，包括燕尾连接件11，储液盒12，金属固定板13和金属丝17；燕尾连接件11由连接部和移动部组成，连接部为燕尾凸台，移动部为中空的长方体结构，移动部内置有储液盒12，移动部与金属固定板13固定连接，金属固定板13为长方体板状结构，金属固定板13的下表面设置有通孔14、速度传感器15和红外传感器16，通孔14与储液盒12相互连通，金属丝17安装于金属固定板13的通孔14处，速度传感器15安装于金属固定板13的中心，红外传感器16安装于金属固定板13的两端。

优选的，电镀刷3设置有金属丝17，金属丝17能够均匀覆盖被镀工件，金属丝17具有较好柔韧性能够弯曲和变形，当刷镀曲面被镀工件时金属丝17能够完全贴合被镀工件的表面，保证刷镀时镀层均匀。

优选的，燕尾连接件11设置有燕尾凸台，燕尾凸台能够与燕尾槽相互匹配连接，燕尾凸台与燕尾槽为滑动式连接。

作为一种实施方式，如图3所示，金属固定板13设置有第一红外传感器16和第二红外传感器16，第一红外传感器16设置于金属固定板13的右上角位置，第二红外传感器16设置于金属固定板13的左下角位置。

优选的，外传感器用于探测距离，第一红外传感器16和第二红外传感器16位于金属板的斜对角处，当第一红外传感器16和第二红外传感器16探测到距离相等时，金属固定板13处于水平状态，当第一红外传感器16和第二红外传感器16探测到距离不相等时，金属固定板13处于倾斜状态，从而能够检测金属固定板13距离被镀件的距离和角度状态，提高电镀刷3的电镀精确度。

优选的，金属固定板13的下表面均匀分布有多个通孔14，所述的通孔14为圆形结构，每个通孔14安装有多根金属丝17，金属丝17和通孔14为固定连接。

优选的，燕尾连接件11内置有储液盒12，储液盒12设置有供液装置，供液装置通过通孔14将液体输送到金属丝17上。

一种操作平台的实施方案

作为一种实施方式，如图5所示，一种全自动刷镀镍设备的操作平台，包括机架4，固定器5，液体回收盒6和数控装置7，所述的机架4为长方体结构，机架4的中间设置有工件槽，所述的固定器5安装于机架4的两侧，固定器5由侧板和两根固定杆组成，两根固定杆位于同一水平面且相互平行，固定杆的一端穿过机架4与侧板固定连接，固定杆与机架4为滑动连接，所述的液体回收盒6为中空的长方体结构，液体回收盒6位于机架4的中间，液体回收盒6与机架4固定连接，液体回收盒6设置有导流口，所述的数控装置7包含显示屏和操作台，操作台位于显示屏的侧边，数控装置7位于液体回收盒6的下方，数控装置7与机架4固定连接。

优选的，液体回收盒6为长方体结构，液体回收盒6的上表面由第一钢板和第二钢板组成，钢板的一侧与机架4固定连接，钢板的另一侧悬空且设置有斜面，两片钢板固定于机架4的两侧，两片钢板之间形成导流槽。

优选的，数控装置7包含操作面板、显示屏、控制器和运算器，控制器和运算器集成于数控装置7内部，操作面板和显示屏固定于数控装置7表面。

优选的，数控装置7接收输入信息，并将该信息进行识别、储存和运算，输出相应的指令脉冲给移动机构2和电镀刷3，进而控制设备进行全自动刷镀镍操作。

作为一种实施方式，液体回收盒6安装有压力传感器18，液体回收盒6的钢板表面安装有绝缘垫，压力传感器18包含第一压力传感器18和第二压力传感器18，第一压力传感器18安装于第一钢板上，第二压力传感器18安装于第二钢板上，钢板受到压力会发生弯曲形变。

优选的，压力传感器18用于检测被镀工件所受到的压力，在对不规则工件进行电刷镀时，通过检测被镀工件所受到的不同压力值调节移动机构2的运动状态，当检测到的压力值过大，移动机构2向上移动减小电镀刷3对被镀工件的压力，从而实现对不规则工件进行全自动的数控电刷镀。

优选的，固定器5由侧板和两根固定杆组成，侧板为长方形木板，固定杆上设置有卡扣，固定杆与侧板通过强力胶连接。

优选的，液体回收盒6设置有斜面开口的中空凹槽，开口为漏斗结构，液体回收盒6上表面放置被镀工件，液体回收盒6上表面为具有弹性的钢板，钢板表面设置有绝缘垫。

本实用新型的有益效果：电镀刷设置有金属丝，金属丝能够完全贴合被镀工件的弯曲表面，保证刷镀时镀层均匀。第一红外传感器和第二红外传感器位于金属板的斜对角处，通过红外测距从而检测金属固定板与被镀件的距离和角度状态，提高电镀刷的电镀精确度。

本实用新型说明书中提到的所有专利和出版物都表示这些是本领域的公开技术，本实用新型可以使用。这里所引用的所有专利和出版物都被同样列在参考文献中，跟每一个出版物具体的单独被参考引用一样。这里所述的本实用新型可以在缺乏任何一种元素或多种元素，一种限制或多种限制的情况下实现，这里这种限制没有特别说明。例如这里每一个实例中术语“包含”，“实质由......组成”和“由......组成”可以用两者之一的其余2个术语代替。这里采用的术语和表达方式所为描述方式，而不受其限制，这里也没有任何意图来指明此书描述的这些术语和解释排除了任何等同的特征，但是可以知道，可以在本实用新型和权利要求的范围内做任何合适的改变或修改。可以理解，本实用新型所描述的实施例子都是一些优选的实施例子和特点，任何本领域的一般技术人员都可以根据本实用新型描述的精髓下做一些更改和变化，这些更改和变化也被认为属于本实用新型的范围和独立权利要求以及附属权利要求所限制的范围内。

Claims (7)

1.一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动刷镀镍的电镀刷，其特征在于：包括燕尾连接件，储液盒，金属固定板和金属丝；燕尾连接件由连接部和移动部组成，连接部为燕尾凸台，移动部为中空的长方体结构，移动部内置有储液盒，移动部与金属固定板固定连接，金属固定板为长方体板状结构，金属固定板的下表面设置有通孔、速度传感器和红外传感器，通孔与储液盒相互连通，金属丝安装于金属固定板的通孔处，速度传感器安装于金属固定板的中心，红外传感器安装于金属固定板的两端。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动刷镀镍的电镀刷，其特征在于：所述的燕尾连接件设置有燕尾凸台，燕尾凸台能够与燕尾槽相互匹配连接，燕尾凸台与燕尾槽为滑动式连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动刷镀镍的电镀刷，其特征在于：所述的金属固定板设置有第一红外传感器和第二红外传感器，第一红外传感器设置于金属固定板的右上角位置，第二红外传感器设置于金属固定板的左下角位置。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动刷镀镍的电镀刷，其特征在于：所述的金属固定板的下表面均匀分布有多个通孔，所述的通孔为圆形结构，每个通孔安装有多根金属丝，金属丝和通孔为固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动刷镀镍的电镀刷，其特征在于：所述的燕尾连接件内置有储液盒，储液盒设置有供液装置，供液装置通过通孔将液体输送到金属丝上。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动刷镀镍的电镀刷，其特征在于：所述的电镀刷的储液盒设置有通孔，金属固定板设置有通孔，储液盒通过通孔与金属固定板和金属丝连通。

7.根据权利要求6所述的一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动刷镀镍的电镀刷，其特征在于：所述的储液盒与金属固定板连接的通孔处设置有多个密封圈。

Images