JPH0727802B2 - サ−ミスタ用酸化物半導体 - Google Patents
サ−ミスタ用酸化物半導体Info
- Publication number
- JPH0727802B2 JPH0727802B2 JP61249920A JP24992086A JPH0727802B2 JP H0727802 B2 JPH0727802 B2 JP H0727802B2 JP 61249920 A JP61249920 A JP 61249920A JP 24992086 A JP24992086 A JP 24992086A JP H0727802 B2 JPH0727802 B2 JP H0727802B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermistor
- oxide semiconductor
- atomic
- resistance value
- present
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Thermistors And Varistors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、０℃〜500℃の範囲で温度センサーとして利
用できるところの負の抵抗温度係数を有するサーミスタ
用酸化物半導体に関するものである。
用できるところの負の抵抗温度係数を有するサーミスタ
用酸化物半導体に関するものである。
従来の技術 従来、この種のサーミスタ用酸化物半導体は、Mn−Co−
Ni系,Mn−Co−Cu系およびMn−Ni−Cr系で構成された組
成を有するものであった。
Ni系,Mn−Co−Cu系およびMn−Ni−Cr系で構成された組
成を有するものであった。
発明が解決しようとする問題点 このような従来の構成では、高温で熱的および化学的に
不安定であり300℃を超えるような温度領域では使用す
ることができないという問題があった。
不安定であり300℃を超えるような温度領域では使用す
ることができないという問題があった。
本発明は、このような問題点を解決するもので、０℃〜
500℃で適当な抵抗値を示し、熱的にも化学的にも安定
なサーミスタ用酸化物半導体を提供することを目的とす
るものである。
500℃で適当な抵抗値を示し、熱的にも化学的にも安定
なサーミスタ用酸化物半導体を提供することを目的とす
るものである。
問題点を解決するための手段 この問題点を解決するために本発明のサーミスタ用酸化
物半導体は金属元素としてマンガンを主成分とし、ニッ
ケル0.1〜5.0原子％，クロム0.1〜5.0原子％，ジルコニ
ウムとハフニウムを合わせて10.0〜28.0原子％およびイ
ットリウム0.2〜2.9原子％の６種を含有し、この６種の
合計が100原子％となるような組成としたものである。
物半導体は金属元素としてマンガンを主成分とし、ニッ
ケル0.1〜5.0原子％，クロム0.1〜5.0原子％，ジルコニ
ウムとハフニウムを合わせて10.0〜28.0原子％およびイ
ットリウム0.2〜2.9原子％の６種を含有し、この６種の
合計が100原子％となるような組成としたものである。
作 用 この構成により、サーミスタ用酸化物半導体は０℃〜50
0℃で適当な抵抗値を示し、熱的にも化学的にも安定す
ることとなる。
0℃で適当な抵抗値を示し、熱的にも化学的にも安定す
ることとなる。
実施例 以下、本発明の実施例について説明する。市販の原料Y2
O3,ZrO2,HfO2を後述する表に示す組成比となるよう配合
した。これをボールミルで混合後乾燥させ、1100℃で仮
焼する。これを再びボールミルで粉砕し、得られたスラ
リーを乾燥する。このスラリー乾燥後の粉体に市販の原
料MnCo3,NiO,Cr2O3を加え、後述する表に示す組成とな
るように配合した。これをボールミルで混合後乾燥さ
せ、900℃で仮焼する。これを再びボールミルで粉砕
し、得られたスラリーを乾燥する。このスラリーの乾燥
後、ポリビニールアルコールをバインダとして添加混合
し、所要量採って13mmφ×2mmtのディスク状に加圧成形
し、これを空気中1450℃の温度で２時間焼成した。こう
して得られたディスク状焼結体の両面に白金電極を設け
た。このようにして製造したディスク状酸化物半導体の
各組成比について、250℃における比抵抗値，サーミス
タ定数および500℃1000時間後における抵抗値経時変化
率を下記の表に併せて示す。
O3,ZrO2,HfO2を後述する表に示す組成比となるよう配合
した。これをボールミルで混合後乾燥させ、1100℃で仮
焼する。これを再びボールミルで粉砕し、得られたスラ
リーを乾燥する。このスラリー乾燥後の粉体に市販の原
料MnCo3,NiO,Cr2O3を加え、後述する表に示す組成とな
るように配合した。これをボールミルで混合後乾燥さ
せ、900℃で仮焼する。これを再びボールミルで粉砕
し、得られたスラリーを乾燥する。このスラリーの乾燥
後、ポリビニールアルコールをバインダとして添加混合
し、所要量採って13mmφ×2mmtのディスク状に加圧成形
し、これを空気中1450℃の温度で２時間焼成した。こう
して得られたディスク状焼結体の両面に白金電極を設け
た。このようにして製造したディスク状酸化物半導体の
各組成比について、250℃における比抵抗値，サーミス
タ定数および500℃1000時間後における抵抗値経時変化
率を下記の表に併せて示す。
比較用試料はいずれも500℃での抵抗値経時変化率が±
５％以上と高く、実用上安定性に欠けるため請求範囲外
とした。なお、今回の試料はディスク状サーミスタとし
たが、焼成後角型にカッティングし、ガラス封入サーミ
スタとして用いてもよい。
５％以上と高く、実用上安定性に欠けるため請求範囲外
とした。なお、今回の試料はディスク状サーミスタとし
たが、焼成後角型にカッティングし、ガラス封入サーミ
スタとして用いてもよい。
発明の効果 以上のように本発明によれば、Mnを主成分とするMn−Ni
−Cr系酸化物半導体にＹを固溶したZrO2とHfO2を加えた
サーミスタ用酸化物半導体とすることにより、500℃で
の使用に対して長期にわたり高い安定性を維持できると
いう効果が得られた。すなわち、250℃〜500℃の範囲で
高い信頼性が要求される温度センサーとして有用なもの
である。
−Cr系酸化物半導体にＹを固溶したZrO2とHfO2を加えた
サーミスタ用酸化物半導体とすることにより、500℃で
の使用に対して長期にわたり高い安定性を維持できると
いう効果が得られた。すなわち、250℃〜500℃の範囲で
高い信頼性が要求される温度センサーとして有用なもの
である。
Claims (1)
- 【請求項１】金属元素としてマンガンを主成分とし、ニ
ッケル0.1〜5.0原子％，クロム0.1〜5.0原子％，ジルコ
ニウムとハフニウムを合わせて10.0〜28.0原子％および
イットリウム0.2〜2.9原子％の６種を合計100原子％含
有することを特徴とするサーミスタ用酸化物半導体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61249920A JPH0727802B2 (ja) | 1986-10-21 | 1986-10-21 | サ−ミスタ用酸化物半導体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61249920A JPH0727802B2 (ja) | 1986-10-21 | 1986-10-21 | サ−ミスタ用酸化物半導体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63104305A JPS63104305A (ja) | 1988-05-09 |
| JPH0727802B2 true JPH0727802B2 (ja) | 1995-03-29 |
Family
ID=17200151
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61249920A Expired - Lifetime JPH0727802B2 (ja) | 1986-10-21 | 1986-10-21 | サ−ミスタ用酸化物半導体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0727802B2 (ja) |
-
1986
- 1986-10-21 JP JP61249920A patent/JPH0727802B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63104305A (ja) | 1988-05-09 |
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