JPH07272832A - 窒化珪素質セラミックヒータ - Google Patents
窒化珪素質セラミックヒータInfo
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- JPH07272832A JPH07272832A JP6273994A JP6273994A JPH07272832A JP H07272832 A JPH07272832 A JP H07272832A JP 6273994 A JP6273994 A JP 6273994A JP 6273994 A JP6273994 A JP 6273994A JP H07272832 A JPH07272832 A JP H07272832A
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- Japan
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- silicon nitride
- brazing material
- brazing
- vickers hardness
- heater
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Abstract
(57)【要約】
【構成】窒化珪素質セラミック基体２中に発熱体３を埋
設し、電極取り出し部４にロウ材５を用いてリード線６
を固定するセラミックヒータにおいて、上記ロウ材５の
ビッカース硬度を２２５ｋｇ／ｍｍ2 以下とする。 【効果】製造工程や使用時に熱サイクルが加わってもロ
ウ付け部にクラックが生じにくく、耐久性の優れた窒化
珪素質セラミックヒータ１を提供することができる。
設し、電極取り出し部４にロウ材５を用いてリード線６
を固定するセラミックヒータにおいて、上記ロウ材５の
ビッカース硬度を２２５ｋｇ／ｍｍ2 以下とする。 【効果】製造工程や使用時に熱サイクルが加わってもロ
ウ付け部にクラックが生じにくく、耐久性の優れた窒化
珪素質セラミックヒータ１を提供することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、石油ファンヒータ等の
各種燃焼機器の点火用ヒータ、酸素センサ等の各種セン
サや測定機器の加熱用ヒータ、自動車用グロープラグ等
に利用されるセラミックヒータに関するものである。
各種燃焼機器の点火用ヒータ、酸素センサ等の各種セン
サや測定機器の加熱用ヒータ、自動車用グロープラグ等
に利用されるセラミックヒータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、アルミナを主成分とするセラ
ミックス中に、Ｗ，Ｍｏ等の高融点金属からなる発熱体
を埋設してなるアルミナセラミックヒータが一般的に用
いられている。
ミックス中に、Ｗ，Ｍｏ等の高融点金属からなる発熱体
を埋設してなるアルミナセラミックヒータが一般的に用
いられている。
【０００３】また、より高温用のヒータとして窒化珪素
質セラミックスヒータも用いられている。この構造は、
高融点金属線などからなる発熱体を窒化珪素質セラミッ
クス中に埋設し、発熱体の両端を表面に露出させてリー
ド取り出し部とし、銀等のロウ材によってこのリード取
り出し部にリード線を接合したものである。
質セラミックスヒータも用いられている。この構造は、
高融点金属線などからなる発熱体を窒化珪素質セラミッ
クス中に埋設し、発熱体の両端を表面に露出させてリー
ド取り出し部とし、銀等のロウ材によってこのリード取
り出し部にリード線を接合したものである。
【０００４】窒化珪素質セラミックヒータは、常温強
度、高温強度が高く熱膨張率が小さいため、特に高温用
ヒータとして利用価値が高く、ディーゼルエンジンの始
動補助用グロープラグや燃焼器の点火用ヒータ、酸素セ
ンサ等の素子加熱用ヒータ等に用いられている（特公昭
６２−１９０３４号、特公昭６３−５１３５６号公報等
参照）。
度、高温強度が高く熱膨張率が小さいため、特に高温用
ヒータとして利用価値が高く、ディーゼルエンジンの始
動補助用グロープラグや燃焼器の点火用ヒータ、酸素セ
ンサ等の素子加熱用ヒータ等に用いられている（特公昭
６２−１９０３４号、特公昭６３−５１３５６号公報等
参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記窒化珪
素質セラミックヒータにおいて、窒化珪素質セラミック
ス自体の熱膨張率は３．１×１０-6／℃と小さいのに対
し、リード線を接合するために用いる銀系のロウ材の熱
膨張率は、１７〜２４×１０-6／℃と大きいものであっ
た。そのために、ロウ付け後の冷却時や、使用時に熱サ
イクルが加わったような場合には、上記窒化珪素質セラ
ミック基体とロウ材との熱膨張差によって応力が発生
し、窒化珪素質セラミック基体のロウ付け部周辺にクラ
ックが生じやすく、耐久性が低いという問題点があっ
た。
素質セラミックヒータにおいて、窒化珪素質セラミック
ス自体の熱膨張率は３．１×１０-6／℃と小さいのに対
し、リード線を接合するために用いる銀系のロウ材の熱
膨張率は、１７〜２４×１０-6／℃と大きいものであっ
た。そのために、ロウ付け後の冷却時や、使用時に熱サ
イクルが加わったような場合には、上記窒化珪素質セラ
ミック基体とロウ材との熱膨張差によって応力が発生
し、窒化珪素質セラミック基体のロウ付け部周辺にクラ
ックが生じやすく、耐久性が低いという問題点があっ
た。
【０００６】なお、アルミナセラミックヒータでは、ア
ルミナ自体の熱膨張率が８×１０-6／℃と比較的高いこ
とと、使用温度が低いことにより、上記のようなクラッ
クの問題が生じることはない。これに対し、窒化珪素質
セラミックヒータを特に高温の用途に用いる場合に上記
問題が顕著であった。
ルミナ自体の熱膨張率が８×１０-6／℃と比較的高いこ
とと、使用温度が低いことにより、上記のようなクラッ
クの問題が生じることはない。これに対し、窒化珪素質
セラミックヒータを特に高温の用途に用いる場合に上記
問題が顕著であった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明は、窒化
珪素質セラミックヒータにおいて、リード線を接合する
ためのロウ材のビッカース硬度を２２５ｋｇ／ｍｍ2 以
下としたことを特徴とする。
珪素質セラミックヒータにおいて、リード線を接合する
ためのロウ材のビッカース硬度を２２５ｋｇ／ｍｍ2 以
下としたことを特徴とする。
【０００８】本発明によれば、ロウ材のビッカース硬度
を２２５ｋｇ／ｍｍ2 以下と低くすることにより、熱膨
張差により生じる応力をロウ材が吸収し、窒化珪素質セ
ラミック基体のクラックを防止するようにしたのであ
る。なお、ロウ材のビッカース硬度は、組成だけでなく
ロウ付け時の条件等によっても若干変動する。これに対
し本発明では、最終的に形成されたロウ材のビッカース
硬度のみが重要であり、このビッカース硬度を上記範囲
内に制御すればクラックを防止できることを見出したの
である。
を２２５ｋｇ／ｍｍ2 以下と低くすることにより、熱膨
張差により生じる応力をロウ材が吸収し、窒化珪素質セ
ラミック基体のクラックを防止するようにしたのであ
る。なお、ロウ材のビッカース硬度は、組成だけでなく
ロウ付け時の条件等によっても若干変動する。これに対
し本発明では、最終的に形成されたロウ材のビッカース
硬度のみが重要であり、このビッカース硬度を上記範囲
内に制御すればクラックを防止できることを見出したの
である。
【０００９】また、本発明で用いる具体的な硬度の低い
ロウ材としては、Ａｕ−Ｎｉ，Ａｕ−Ｃｕ，Ａｇ−Ｃ
ｕ，Ａｇの一種を主成分とし、活性金属としてＭｏ，
Ｖ，Ｔｉ，Ｍｎ，Ｚｒ，Ｓｉの少なくとも一種以上を含
有するものを用いる。ここで活性金属を添加するのはセ
ラミックに対する濡れ性を良くするためである。
ロウ材としては、Ａｕ−Ｎｉ，Ａｕ−Ｃｕ，Ａｇ−Ｃ
ｕ，Ａｇの一種を主成分とし、活性金属としてＭｏ，
Ｖ，Ｔｉ，Ｍｎ，Ｚｒ，Ｓｉの少なくとも一種以上を含
有するものを用いる。ここで活性金属を添加するのはセ
ラミックに対する濡れ性を良くするためである。
【００１０】
【実施例】以下本発明の実施例を詳細に説明する。
【００１１】図１に示すように、窒化珪素質セラミック
ヒータ１はセラミック基体２の内部に発熱体３を埋設
し、該発熱体３の両端をセラミック基体２の表面に露出
してリード取り出し部４とし、ここにロウ材５によって
リード線６を接合してある。
ヒータ１はセラミック基体２の内部に発熱体３を埋設
し、該発熱体３の両端をセラミック基体２の表面に露出
してリード取り出し部４とし、ここにロウ材５によって
リード線６を接合してある。
【００１２】上記セラミック基体２としては、窒化珪素
（Ｓｉ3 Ｎ4 ）６０〜９０重量％と、焼結助剤としてＹ
2 Ｏ3 、Ｙｂ2 Ｏ3 等の希土類元素酸化物、Ａｌ2 Ｏ3
の少なくとも一種以上を含み、残部がＳｉＯ2 等の不純
物から成るものであって、必要に応じて、着色剤や熱膨
張率調整剤として、ＭｏＳｉ2 ，ＭｏＣ，ＷＳｉ2 ，Ｗ
Ｏ3 ，ＷＣ等の少なくとも一種を４〜１０重量％の範囲
で含有したものを用いる。
（Ｓｉ3 Ｎ4 ）６０〜９０重量％と、焼結助剤としてＹ
2 Ｏ3 、Ｙｂ2 Ｏ3 等の希土類元素酸化物、Ａｌ2 Ｏ3
の少なくとも一種以上を含み、残部がＳｉＯ2 等の不純
物から成るものであって、必要に応じて、着色剤や熱膨
張率調整剤として、ＭｏＳｉ2 ，ＭｏＣ，ＷＳｉ2 ，Ｗ
Ｏ3 ，ＷＣ等の少なくとも一種を４〜１０重量％の範囲
で含有したものを用いる。
【００１３】また、窒化珪素質セラミックスの結晶粒径
については、耐熱衝撃性、強度の点から針状をしたβ相
粒子の長径を１０μｍ以下とすることが望ましい。さら
に、水分等の染み込みを防止し、滑らかな表面粗さを得
るためには緻密質体とすることが好ましい。
については、耐熱衝撃性、強度の点から針状をしたβ相
粒子の長径を１０μｍ以下とすることが望ましい。さら
に、水分等の染み込みを防止し、滑らかな表面粗さを得
るためには緻密質体とすることが好ましい。
【００１４】一方、内部に埋設する発熱体３としては、
Ｗ，Ｍｏ，Ｔｉ等の高融点金属単体、またはＷＣ，Ｔｉ
Ｎ等の高融点金属化合物を用いる。さらに、セラミック
基体と熱膨張率を合わせるために、上記高融点金属化合
物の粉末にＳｉ3 Ｎ4 、ＢＮ等の粉末を添加してもよ
い。このような組成からなる発熱体３としては、上記材
料をペースト状として所定の発熱パターンとなるように
印刷したり、あるいは高融点金属線をコイル状や板状等
とし、その両端に高融点金属棒を接続して埋設し、該高
融点金属棒の一部を露出させてリード取り出し部４とし
て機能させる。
Ｗ，Ｍｏ，Ｔｉ等の高融点金属単体、またはＷＣ，Ｔｉ
Ｎ等の高融点金属化合物を用いる。さらに、セラミック
基体と熱膨張率を合わせるために、上記高融点金属化合
物の粉末にＳｉ3 Ｎ4 、ＢＮ等の粉末を添加してもよ
い。このような組成からなる発熱体３としては、上記材
料をペースト状として所定の発熱パターンとなるように
印刷したり、あるいは高融点金属線をコイル状や板状等
とし、その両端に高融点金属棒を接続して埋設し、該高
融点金属棒の一部を露出させてリード取り出し部４とし
て機能させる。
【００１５】また、ロウ材５としては、Ａｕ−Ｎｉ，Ａ
ｕ−Ｃｕ，Ａｇ−Ｃｕ，Ａｇの一種を主成分とし、活性
金属としてＭｏ，Ｖ，Ｔｉ，Ｍｎ，Ｚｒ，Ｓｉの少なく
とも一種以上を含有するものであって、ビッカース硬度
２２５ｋｇ／ｍｍ2 以下のものを用いる。ここで、活性
金属を含有させるのは、セラミック基体２との濡れ性を
高めるためであり、合計の含有量が１％未満では濡れ性
を高める効果に乏しく、１０％より多いとロウ付け時の
作業温度が高くなるため、１〜１０％の範囲内が好まし
く、より好適には１〜５％の範囲が良い。なお、使用す
る雰囲気によって、Ａｇ系のロウ材を用いるとマイグレ
ーションを生じて短絡してしまう恐れがある場合は、Ａ
ｕ系のロウ材を用いることが好ましい。
ｕ−Ｃｕ，Ａｇ−Ｃｕ，Ａｇの一種を主成分とし、活性
金属としてＭｏ，Ｖ，Ｔｉ，Ｍｎ，Ｚｒ，Ｓｉの少なく
とも一種以上を含有するものであって、ビッカース硬度
２２５ｋｇ／ｍｍ2 以下のものを用いる。ここで、活性
金属を含有させるのは、セラミック基体２との濡れ性を
高めるためであり、合計の含有量が１％未満では濡れ性
を高める効果に乏しく、１０％より多いとロウ付け時の
作業温度が高くなるため、１〜１０％の範囲内が好まし
く、より好適には１〜５％の範囲が良い。なお、使用す
る雰囲気によって、Ａｇ系のロウ材を用いるとマイグレ
ーションを生じて短絡してしまう恐れがある場合は、Ａ
ｕ系のロウ材を用いることが好ましい。
【００１６】さらに、リード線６としてはＮｉの金属線
を用いる。
を用いる。
【００１７】また、本発明の他の実施例として、図２に
電極取り出し部のみの断面図を示すように、セラミック
基体２の表面に発熱体３を露出させてリード取り出し部
４を形成し、この表面にロウ材５を介してＦｅ基の金属
板７を接合し、さらにこの金属板７の表面にロウ材５を
介してリード線６を接合することもできる。
電極取り出し部のみの断面図を示すように、セラミック
基体２の表面に発熱体３を露出させてリード取り出し部
４を形成し、この表面にロウ材５を介してＦｅ基の金属
板７を接合し、さらにこの金属板７の表面にロウ材５を
介してリード線６を接合することもできる。
【００１８】図２の構造では、リード線６とセラミック
基体２の間に金属板７を介在させることにより、両者の
熱膨張差を吸収し、高温での耐久性を向上させることが
できる。なお、このような金属板７はコバール等の、低
熱膨張で、ロウ材５に溶出しにくいようなＦｅ基金属を
用いる。
基体２の間に金属板７を介在させることにより、両者の
熱膨張差を吸収し、高温での耐久性を向上させることが
できる。なお、このような金属板７はコバール等の、低
熱膨張で、ロウ材５に溶出しにくいようなＦｅ基金属を
用いる。
【００１９】図２のような接合構造の製造方法は、セラ
ミック基体２を円柱状に加工し、内部に埋設した発熱体
３を露出させてリード線取り出し部４とし、この表面に
ロウ材５を貼付し、さらに金属板７を載置して真空炉中
で９８０〜１３００℃で処理してロウ付けを行えば良
い。
ミック基体２を円柱状に加工し、内部に埋設した発熱体
３を露出させてリード線取り出し部４とし、この表面に
ロウ材５を貼付し、さらに金属板７を載置して真空炉中
で９８０〜１３００℃で処理してロウ付けを行えば良
い。
【００２０】また、ロウ材５として金属粉末を用いる場
合は、所定量のバインダー及び溶剤を添加してペースト
化したものをプリント法でリード取り出し部４上に形成
し、１１００〜１５００℃でメタライズ処理した後、コ
バール等のＦｅ基金属板７を載置して真空炉中で９８０
〜１３００℃で熱処理してロウ付けを行う。
合は、所定量のバインダー及び溶剤を添加してペースト
化したものをプリント法でリード取り出し部４上に形成
し、１１００〜１５００℃でメタライズ処理した後、コ
バール等のＦｅ基金属板７を載置して真空炉中で９８０
〜１３００℃で熱処理してロウ付けを行う。
【００２１】なお、以上の実施例ではセラミック基体２
を円柱状に形成したものを示したが、この他に角柱状、
平板状、筒状など用途に応じてさまざまな形状とするこ
とができる。また、一つのセラミック基体２中に発熱体
３を複数本備え、多層構造として各発熱体３同士を直列
又は並列に接続するような構造としても良い。
を円柱状に形成したものを示したが、この他に角柱状、
平板状、筒状など用途に応じてさまざまな形状とするこ
とができる。また、一つのセラミック基体２中に発熱体
３を複数本備え、多層構造として各発熱体３同士を直列
又は並列に接続するような構造としても良い。
【００２２】実験例 ここで、表１に示す種々の組成のロウ材を用いて、図２
に示す本発明実施例の窒化珪素質セラミックヒータ１を
試作し、クラックの発生状況と接合強度を調べる実験を
行った。
に示す本発明実施例の窒化珪素質セラミックヒータ１を
試作し、クラックの発生状況と接合強度を調べる実験を
行った。
【００２３】得られた各試料について、まずロウ材５の
ビッカース硬度を測定した。それぞれロウ付けした金属
板７を研削除去し、ロウ材５表面を粒径１μｍのダイヤ
モンドペーストで鏡面研磨した後、ビッカース硬度を測
定した。
ビッカース硬度を測定した。それぞれロウ付けした金属
板７を研削除去し、ロウ材５表面を粒径１μｍのダイヤ
モンドペーストで鏡面研磨した後、ビッカース硬度を測
定した。
【００２４】また、クラック評価として、ロウ付け部を
ダイヤモンドカッターで切断し、粒径１μｍのダイヤモ
ンドペーストで切断面を鏡面研磨した後、金属顕微鏡で
クラックの有無を観察し、クラックの存在するものは
×、存在しないものは○とした。
ダイヤモンドカッターで切断し、粒径１μｍのダイヤモ
ンドペーストで切断面を鏡面研磨した後、金属顕微鏡で
クラックの有無を観察し、クラックの存在するものは
×、存在しないものは○とした。
【００２５】さらに、ロウ付け強度としてピーリング評
価を行った。これは、２×２ｍｍの範囲にロウ付け部を
形成して直径０．５ｍｍのＮｉピンを接合し、このピン
をロウ付け部に対して垂直方向に引っ張ってピンが剥が
れた時の強度を測定したものである。
価を行った。これは、２×２ｍｍの範囲にロウ付け部を
形成して直径０．５ｍｍのＮｉピンを接合し、このピン
をロウ付け部に対して垂直方向に引っ張ってピンが剥が
れた時の強度を測定したものである。
【００２６】これらの結果は表１に示す通りであり、ビ
ッカース硬度が２２５ｋｇ／ｍｍ2以下のロウ材を用い
ればクラックの発生を防止できることがわかる。
ッカース硬度が２２５ｋｇ／ｍｍ2以下のロウ材を用い
ればクラックの発生を防止できることがわかる。
【００２７】また、マイグレーションを防ぐ観点からは
Ａｕ系のロウ材を用いることが好ましいが、Ａｕ−Ｎｉ
系についてＮｉの添加量を多くしたもの（Ｎｏ．６，
７，８，１４，１５）は、Ｎｉの融点が高いためにロウ
付け温度を高くしなければならず、その結果リード線６
のＮｉ成分が溶出して接合強度がピーリング評価で３ｋ
ｇｆより小さくなった。通常の使用をする場合、ピーリ
ング評価で３ｋｇｆ以上必要であるため、これらの例は
不適であった。さらに、Ｎｉの含有量を変化させた時の
ロウ材のビッカース硬度の変化を図３に示すように、Ｎ
ｉ添加量に応じてビッカース硬度が変化するが、ビッカ
ース硬度２２５ｋｇ／ｍｍ2 以下とし、ピーリング評価
で３ｋｇｆ以上とするためにはＮｉ含有量を２５重量％
以下とすれば良い。
Ａｕ系のロウ材を用いることが好ましいが、Ａｕ−Ｎｉ
系についてＮｉの添加量を多くしたもの（Ｎｏ．６，
７，８，１４，１５）は、Ｎｉの融点が高いためにロウ
付け温度を高くしなければならず、その結果リード線６
のＮｉ成分が溶出して接合強度がピーリング評価で３ｋ
ｇｆより小さくなった。通常の使用をする場合、ピーリ
ング評価で３ｋｇｆ以上必要であるため、これらの例は
不適であった。さらに、Ｎｉの含有量を変化させた時の
ロウ材のビッカース硬度の変化を図３に示すように、Ｎ
ｉ添加量に応じてビッカース硬度が変化するが、ビッカ
ース硬度２２５ｋｇ／ｍｍ2 以下とし、ピーリング評価
で３ｋｇｆ以上とするためにはＮｉ含有量を２５重量％
以下とすれば良い。
【００２８】
【表１】
【００２９】次に表１中Ｎｏ．４，５，６のセラミック
ヒータについて、４０〜４５０℃の熱サイクルを５００
回処理した後のクラックの有無を調べた。それぞれ１０
本用意し、クラックの生じた本数を調べたところ、図４
に示すような結果であった。この結果よりロウ材のビッ
カース硬度が２２５ｋｇ／ｍｍ2 よりも高い比較例（Ｎ
ｏ．６）に比べ、ビッカース硬度の低い本発明実施例
（Ｎｏ．４，５）は熱サイクルに対してもクラックが生
じにくいことがわかる。
ヒータについて、４０〜４５０℃の熱サイクルを５００
回処理した後のクラックの有無を調べた。それぞれ１０
本用意し、クラックの生じた本数を調べたところ、図４
に示すような結果であった。この結果よりロウ材のビッ
カース硬度が２２５ｋｇ／ｍｍ2 よりも高い比較例（Ｎ
ｏ．６）に比べ、ビッカース硬度の低い本発明実施例
（Ｎｏ．４，５）は熱サイクルに対してもクラックが生
じにくいことがわかる。
【００３０】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、窒化珪
素質セラミックス中に発熱体を埋設し、電極取出部にロ
ウ材を用いてリード線を固定したセラミックヒータにお
いて、上記ロウ材としてビッカース硬度２２５ｋｇ／ｍ
ｍ2 以下のものを用いたことによって、窒化珪素質セラ
ミックスとロウ材との熱膨張差をロウ材自体が緩和する
ため、製造工程や使用時に熱サイクルを受けてもロウ付
け部にクラックが生じにくく、耐久性の優れた窒化珪素
質セラミックヒータを提供することができる。
素質セラミックス中に発熱体を埋設し、電極取出部にロ
ウ材を用いてリード線を固定したセラミックヒータにお
いて、上記ロウ材としてビッカース硬度２２５ｋｇ／ｍ
ｍ2 以下のものを用いたことによって、窒化珪素質セラ
ミックスとロウ材との熱膨張差をロウ材自体が緩和する
ため、製造工程や使用時に熱サイクルを受けてもロウ付
け部にクラックが生じにくく、耐久性の優れた窒化珪素
質セラミックヒータを提供することができる。
【図１】本発明の窒化珪素質セラミックヒータを示す斜
視図である。
視図である。
【図２】図１中のＸ−Ｘ線断面に相当する、本発明の他
の実施例を示す断面図である。
の実施例を示す断面図である。
【図３】Ａｕ−Ｎｉ系ロウ材における、Ｎｉ含有量とビ
ッカース硬度との関係を示すグラフである。
ッカース硬度との関係を示すグラフである。
【図４】セラミックヒータにおける、熱サイクルとロウ
付け部のクラック発生数の関係を示すグラフである。
付け部のクラック発生数の関係を示すグラフである。
１：セラミックヒータ ２：セラミック基体 ３：発熱体 ４：リード取り出し部 ５：ロウ材 ６：リード線 ７：金属板
Claims (2)
- 【請求項１】窒化珪素質セラミックス中に発熱体を埋設
し、電極取り出し部にロウ材を用いてリード線を固定し
たセラミックヒータにおいて、上記ロウ材のビッカース
硬度を２２５ｋｇ／ｍｍ2 以下としたことを特徴とする
窒化珪素質セラミックヒータ。 - 【請求項２】上記ロウ材が、Ａｕ−Ｎｉ，Ａｕ−Ｃｕ，
Ａｇ−Ｃｕ，Ａｇの一種を主成分とし、活性金属として
Ｍｏ，Ｖ，Ｔｉ，Ｍｎ，Ｚｒ，Ｓｉの少なくとも一種以
上を含有することを特徴とする請求項１記載の窒化珪素
質セラミックヒータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06062739A JP3121985B2 (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 窒化珪素質セラミックヒータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06062739A JP3121985B2 (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 窒化珪素質セラミックヒータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07272832A true JPH07272832A (ja) | 1995-10-20 |
| JP3121985B2 JP3121985B2 (ja) | 2001-01-09 |
Family
ID=13209067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06062739A Expired - Fee Related JP3121985B2 (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 窒化珪素質セラミックヒータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3121985B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002168829A (ja) * | 2000-11-29 | 2002-06-14 | Kyocera Corp | 検出素子 |
| JP2002168827A (ja) * | 2000-11-28 | 2002-06-14 | Kyocera Corp | 検出素子 |
| JP2003056848A (ja) * | 2001-08-13 | 2003-02-26 | Ngk Spark Plug Co Ltd | グロープラグ |
| US6794614B2 (en) | 2001-03-08 | 2004-09-21 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Ceramic heater with lead wire connection having brazing material containing a predominant amount of copper |
| WO2006011520A1 (ja) * | 2004-07-28 | 2006-02-02 | Kyocera Corporation | セラミックヒーター及びそれを用いた加熱用コテ |
| JP2006127995A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミックヒータ及びその製造方法並びにグロープラグ |
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| JP2017091956A (ja) * | 2015-11-16 | 2017-05-25 | 京セラ株式会社 | セラミックヒータ |
| CN110344797A (zh) * | 2019-07-10 | 2019-10-18 | 西南石油大学 | 一种井下高温可控的电加热装置和方法 |
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